JPS5840841U - 円形フオトマスクおよびウエハ−の搬送治具 - Google Patents
円形フオトマスクおよびウエハ−の搬送治具Info
- Publication number
- JPS5840841U JPS5840841U JP13502381U JP13502381U JPS5840841U JP S5840841 U JPS5840841 U JP S5840841U JP 13502381 U JP13502381 U JP 13502381U JP 13502381 U JP13502381 U JP 13502381U JP S5840841 U JPS5840841 U JP S5840841U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer transfer
- transfer jig
- plane
- circular
- photomask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案にかかる治具の正面図、第２図は第１図
のＡＡ’断面図で、図中１は円形フォトマスク、２は平
面板、３は空気噴射口、４は角度調整器、５は溝を示す
。
のＡＡ’断面図で、図中１は円形フォトマスク、２は平
面板、３は空気噴射口、４は角度調整器、５は溝を示す
。
Claims (1)
- 水平方向に対してα角度で搬送方向に下向し、鉛直方向
に対してβ角度で後方に傾斜した平面を有し、旦つ該平
面に多数設けられた噴射口より気体を噴出し、円形の被
搬送体を該平面に沿って回転下向する構造が設けられた
ことを特徴とする円形フォトマスクおよびウェハーの搬
送治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13502381U JPS5840841U (ja) | 1981-09-10 | 1981-09-10 | 円形フオトマスクおよびウエハ−の搬送治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13502381U JPS5840841U (ja) | 1981-09-10 | 1981-09-10 | 円形フオトマスクおよびウエハ−の搬送治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5840841U true JPS5840841U (ja) | 1983-03-17 |
Family
ID=29928414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13502381U Pending JPS5840841U (ja) | 1981-09-10 | 1981-09-10 | 円形フオトマスクおよびウエハ−の搬送治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5840841U (ja) |
-
1981
- 1981-09-10 JP JP13502381U patent/JPS5840841U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5840841U (ja) | 円形フオトマスクおよびウエハ−の搬送治具 | |
| JPS59134763U (ja) | 蓄熱装置 | |
| JPS5818820U (ja) | バス用燃料タンク | |
| JPS6076716U (ja) | バ−ナノズル | |
| JPS58162867U (ja) | 練習用ボ−ル | |
| JPS60133630U (ja) | ウエハホルダ | |
| JPS59194988U (ja) | 走向線定規 | |
| JPS585797U (ja) | 製図及び図案用版 | |
| JPS58128942U (ja) | 好気性発酵槽 | |
| JPS5878185U (ja) | 丸物部品の外径選別装置 | |
| JPS60124032U (ja) | 半導体ウエハ処理用縦型炉 | |
| JPS5888597U (ja) | ガンポ−ト | |
| JPS605114U (ja) | ウエハ−搬送車 | |
| JPS58104829U (ja) | 空気調和装置の横吹出しダクト | |
| JPS58124297U (ja) | 浄化槽の散気管の保持構造 | |
| JPS59135923U (ja) | 水中放水用減勢槽 | |
| JPS5820872U (ja) | 空気調和機の室外ユニツト | |
| JPS58150U (ja) | 給排気筒装置 | |
| JPS59195499U (ja) | 高温熔体用樋 | |
| JPS5897672U (ja) | 帳票搬送機構 | |
| JPS6068395U (ja) | 鉛溶解炉 | |
| JPS58178679U (ja) | 陰極線管内面目盛 | |
| JPS587089U (ja) | 放熱器 | |
| JPS58175859U (ja) | 取鍋 | |
| JPS5849133U (ja) | 空気調和機 |