JPS5842658U - 誘導結合高周波プラズマ発光分光装置 - Google Patents

誘導結合高周波プラズマ発光分光装置

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Publication number
JPS5842658U
JPS5842658U JP13739481U JP13739481U JPS5842658U JP S5842658 U JPS5842658 U JP S5842658U JP 13739481 U JP13739481 U JP 13739481U JP 13739481 U JP13739481 U JP 13739481U JP S5842658 U JPS5842658 U JP S5842658U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
high frequency
plasma emission
inductively coupled
plasma
Prior art date
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Pending
Application number
JP13739481U
Other languages
English (en)
Inventor
高田　紳一
Original Assignee
セイコーインスツルメンツ株式会社
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来用いられていた装置を示す構成図第２図は
本考案による誘導結合高周波プラズマ発光分光装置を示
す構成図、第３図は要部の斜視図、第４図は要部の他の
実施例を示す断面図、第５図は第２図の要部を示す断面
図である。 １０は分光器、１１はガス供給パイプ、１２はガスアダ
プタ、１３は案内パイプ、１４はプラズマ発光、１５は
プラズマトーチ部、１６は高周波コイル、１９はガス供
給部である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 円筒状をなすプラズマトーチ部と、このトーチ部に巻回
    された高周波コイルと、このトーチ部ト高周波コイルと
    の間に保持されトーチ部の長手方向に対し直角方向に延
    長されるガス案内パイプを有するガスアダプタ体と、こ
    のプラズマトーチ部にガスを供給するため前記ガス案内
    パイプに接続されたガス供給パイプと、このガス供給パ
    イプに接続された分光器とを備え、プラズマトーチ部上
    に形成されたプラズマ発光を前記ガスアダプタ体で包囲
    し不活性ガスをプラズマ発光に送り込むようにした構成
    よりなることを特徴とする誘導結合高周波プラズマ発光
    分光装置。
JP13739481U 1981-09-16 1981-09-16 誘導結合高周波プラズマ発光分光装置 Pending JPS5842658U (ja)

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JP13739481U JPS5842658U (ja) 1981-09-16 1981-09-16 誘導結合高周波プラズマ発光分光装置

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JP13739481U JPS5842658U (ja) 1981-09-16 1981-09-16 誘導結合高周波プラズマ発光分光装置

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JPS5842658U true JPS5842658U (ja) 1983-03-22

Family

ID=29930674

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JP13739481U Pending JPS5842658U (ja) 1981-09-16 1981-09-16 誘導結合高周波プラズマ発光分光装置

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JP (1) JPS5842658U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6184418A (ja) * 1984-10-01 1986-04-30 Keisebun:Kk クラツチ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS6184418A (ja) * 1984-10-01 1986-04-30 Keisebun:Kk クラツチ

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