JPS5844295A - 向流式漏れ検出を行なうのに適したタ−ボ分子ポンプ - Google Patents

向流式漏れ検出を行なうのに適したタ−ボ分子ポンプ

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JPS5844295A
JPS5844295A JP57146979A JP14697982A JPS5844295A JP S5844295 A JPS5844295 A JP S5844295A JP 57146979 A JP57146979 A JP 57146979A JP 14697982 A JP14697982 A JP 14697982A JP S5844295 A JPS5844295 A JP S5844295A
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pump
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evacuation
connection
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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Leybold Heraeus GmbH
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    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
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  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、向流式漏れ検出を行なうのに適したターゼ分
子ポンプに関する。
被検査体のシール性の検査は、被検査体が排気されて外
側から検査ガスを吹付けられることによって行なわれ得
る。被検査体が小さい場合には、この被検査体を検査ガ
スで満たして容器内に入れ、次いでこの容器を排気する
ことが周知である。検査ガスが被検査体の壁を通って漏
出すると、この被検査体は気密でないということになる
。排気導管に接続さ、れている検査ガス検出器によって
、気密でない被検査体の存在の事実が確認され得る。検
査ガス検也器としてはこの場合、有利にはヘリウムすな
わち質量数４の検査ガスに調節されている質量分析計が
しばしば用いられる。しかしながら質量分析計は１ＸＩ
Ｏ，ＩＪ・々−ル未満の圧力、有利にはｌ×１０−’ミ
ＩＪ−々−ル以下の圧力でしか稼動され得ないのに対し
て、漏れ検出が行なわれる圧力は著しく高いことがある
。そこで、質量骨°析計を排気する高真空ポンプを検査
ガスの向流において貫流させることが公知である（ドイ
ツ連邦共和国特許出願公開第１９３７２７１号明細書参
照）。
感度を低下させることなしに調節時間を短縮させるべく
被検査体における高い吸込み能力を得るためには、被検
査体ないしは検査容器の排気のためにも高真空ポンプの
使用を必要とするような圧力で漏れ検査を行なうと有利
である。
このためにドイツ連邦共和国特許出願公開第１６４８６
４８号明細書及び同第２０４９１１７号明細書に基づい
て公知のターＩ分子ポンプには、質量分析計を排気する
ためのポンプ段と、被検査体ないしは検査容器を排気す
るためのポンプ段との２つの−７ノ段が設けられている
。
この公知のターＩ分子ポンプでは、検査容器の接続部と
質量分析計のための接続部とが、軸方向で互いに前後に
配置されている２つのポンプ段の間において接続されて
いるのに対して、両ポンプ段の外端部には補助真空接続
部が位置していて、両補助真空接続部は、ポンプケーシ
ングの外側に位置している導管系を介してまとめられて
共通の補助真空ポンプに接続されている。
すなわち軸に位置している２クポンゾ段が内側から外側
に向かって貫流される上述の公知のターＩ分子ポンプに
おいては、検査容器の接続部を質量分析器の接続部から
仕切るのにかなり太き表困難が伴う。このためにドイツ
連邦共和国特許出願公開第１６４８６４８号明細書に開
示されているターＩ分子ポンプでは、多数の羽根列を有
していてガス密のラビリンスパツキンを形成するように
なっている特別のポンプ段示必要である。またドイツ連
邦共和国特許出願公開筒２０４９１１’７号明細書に開
示されているターＩ分子ポンプではシールの目的は、「
事実上−ガス非透過性の仕切シ壁」によって達成される
ようになっている。しかしながらこの仕切り壁は高真空
内にあシかつ中央の軸に対してシールされねばならない
ので、このような仕切シ壁を製作するのにかかる費用は
かなり高いものになる０さらに上述の公知のターＩ分子
ポンプには次のような欠点がある。すなわち、記録され
る検査ガスはかなり長い距離を、つまり、検査容器の接
続部から検査容器の排気のために働くポンプ段、ポンプ
ケーシングの外部にある補助真空導管系（部分的に向流
内を）、さらには向流内を質量分析計の排気のために働
くポンプ段を貫いて進まなくて鉱ならないので、漏れ検
出の感度はことごとく損なわれてしまう。
ゆえに本発明の課題は、向流式漏れ検出を行なうのに適
したターｉ分子ポンプを著しく簡単に構成することであ
る。
この課題を解決するために本発明の構成では、質量分析
計のための接続部と被検査体ないしは検査容器のための
接続部とが互いに向かい合ってポンプ装置の外端面の範
囲に配置されていて、両ポンプ段が外側から内側に向か
って貫流されるよう・になっておシ、両ポンプ段の間に
共通の補助真空接続部が設けられている。向流式漏れ検
出を行々うのに適したター・ぜ分子ポンプを本発明のよ
うに構成すると、両ポンプ段におけるシールの困難はも
はや生じない。また検査ガスが進まねばならない距離は
最適に短くなる。さらに、１つの補助真空接続部しか゛
必要でないので、ケーシングの外部に位置している導管
系を省くことができる。
次に図面につき本発明の詳細な説明する。
図示のターボ分子ポンプ１は、片側でつまシ片持ち式に
ケーシング３に支承されていてかつモータ牛によって駆
動されるロータ２を有している。図面にはロータ２の軸
６のだめの軸受け５が略示されている。この軸受け５は
ころがシ軸受は又はマグネット型軸受けとして構成され
ている。
ロータ２はロータ羽根円板７，８を有しており、両ロー
タ羽根円板７，８は対応するステータ羽根円板９，１１
と共に２つのポンプ段１２゜１３を形成している。両ポ
ンプ段のポンプ方向はそれぞれ外側から内側に向かって
いる矢印１４゜１５によって示されている。ステータ羽
根円板９．１１はスペーサリング１６を介してターボ分
子ポンプのケーシング３に保持されている。
ターボ分子ポンプ１のケーシング３は全部で３つの接続
部１７，１８．１９を有している。
接続管片として構成された接続部１７．１８は、両ポン
プ段１２．１３によって形成されているポンプ装置の外
端面の範囲に位置している。両ポンプ段１２．１３の間
には共通の補助真空接続部１９が配置されている。補助
真空接続部１９の範囲にはステータ羽根円板は配設され
ていないので、両ポンプ段１２．１３を互いに隔ててい
る中間室２１が形成されている。
ター２分子ポンプのポンプ特性が特に羽根の迎え角及び
間隔によって影響されることは、自体公知である。被検
査体又は質量分析計が両接続部１７．１８のいずれに接
続されているかに応じて、両ポンプ段１２．１３は異な
ったポンプ特性を有していることが望ましい。軸受け５
がころがシ軸受けとして構成されている場合、接続部１
７に″゛被検査体を接続部１８に質量分析計を接続する
と有利である。このようになっていると、質量分析計の
運転のために不可欠な特に低い圧力を軸受け５の範囲に
おいて生せしめることが不必要になるので、軸受は室か
ら進出する潤滑剤蒸気による支障は生じない。しかしな
がらこの考慮は、潤滑剤蒸気を完全に吸収する軸パツキ
ン又は上記支障に対して鈍感な質量分析計が使用される
場合、もしくは軸受け５がマグネット型軸受けとして構
成されている場合には、無用である。この２つの場合に
はさらにロータを片持ち式に支承することも不必要であ
る。
接続部１９に接続されている補助真空ポンプによって生
ぜしめられる圧力が０．２ミリノ々−ル以下なので、ポ
ンプ段１３には、接続部１７と接続されている被検査体
ないしは検査容器を有利には０．１ミリ・々−ル未滴の
圧力にまで排気するという役目がある。さらにこのポン
プ段１３は検査ガスを特に良好に搬送できることが望ま
れている。ゆえにポンプ段１３は、漏れ検査を迅速かつ
確実に行なうために検査ガスに対して可能な限り高い吸
込み能力及び圧縮能力を有していなくてはならない。
ポンプ段１２には、接続部１８に接続されている質量分
析計を少なくとも１０　（リパールの圧力にまで排気で
きること並びに検査ガスが向流内で可能な限シ妨げられ
ずに通過させられることが要求として課せられている。
ゆえにこのポンプ段１２は質量分析計の排気のために十
分な吸込み能力と検査ガスのだめの低い圧縮能力とを有
していることが望ましい。
ゆえに２つのポンプ段１２．１３に対する上述の要求を
満たすためには、被検査体ないしは検査容器を排気する
のに働くポンプ段１３が、質量分析計の排気のために働
きかつ検査ガスに対する向流を生ぜしめるポンプ段１２
よシも多くの羽根列を有していると、特に有利である。
本発明の特別な利点としては、種々異なった状況におい
ても上述のターゼ分子ポンプによって漏れ検出の実施が
極めて簡単であるということが挙げられる。例えばター
ダ分子ポンプのロータ回転数の変化によって、ポンプ段
１２．１３のその都度所望のポンプ特性（吸込み能力、
圧縮能力）が調節され得る。ターぎ分子モータによって
作動せしめられる漏れ検出器の感度のカリブレーション
もまた、ロータ２の回転数を調節することによって達成
され得る。感度のカリブレーションはまた、補助ポンプ
の有効吸込み能力が接続部１９において調節可能に構成
されていることによっても達成され得る。このことは例
えば補助ポンプ自体における処置によってか又は調節可
能々絞り弁によって実施可能である。
上に述べたことによって、種々異なった検査ガスを使用
する場合でも最適な値の調節が可能である。ゆえに、質
量数２０以下のすべての軽いガス例えばＨ２，Ｄ２　、
　ＨＤ、　ＴＨ，ＴＤ、　　Ｔ２゜Ｈｅ３．　Ｈｅ’−
、’ＣＨ４、Ｎｅ等を検査ガスとして使用することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明によるター２分子ポンプの１実施例の略示
図である。 １・・・ターＩ分子ポンプ、２・・・ロータ　３・・・
ケ印、１６・・・スペーサリング、１７，１８，１９・
・・接続部、２１・・・中間室

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、向流式漏れ検出を行なうのに適したターＩ分子ポン
    プであって、軸方向で互いに前後にポンプ段が質量分析
    計の排気のために、他方のポンプ段が被検査体又は検査
    容器の排気のために働く形式のものにおいて、質量分析
    計のための接続部と被検査体ないしは検査容器のための
    接続部とが互いに向かい合って前記ポンプ装置の外端面
    の範囲に配置されていて、両ポンプ段（１２，１３）が
    運転中に外側から内側に向かって貫流されるようになっ
    ており１両ポンプ段（１２，１３）の間に共通の補助★
    空接続部（１９）が設けられていることを特徴とす・る
    、向流式漏れ検出を行なうのに適したター２分子ポンプ
    。 ２　ポンプ装置のロータ（２）がマグネット型軸受けに
    よって支承されている特許請求の範囲第１項記載のター
    ー分子ポンプ。 ３、　ポンプ装置のロータ（２）が片持ち式に支承され
    ており、支承側に被検査体又は検査容“器のための接続
    部（１７）が位置している特許請求の範囲第１項記載の
    ターＩ分子ポンプ。 ４、被検査体又は検査容器の排気のために働くポンプ段
    （１３）が、質量分析計の排気のために働くポンプ段（
    １２）よシも大きな検査ガス圧縮能力を有している特許
    請求の範囲第１項記載のターＩ分子ポンプ。 ５、被検査体ないしは検査容器の排気のために働くポン
    プ段（１３）が、質量分析計の排気のために働くポンプ
    段（１２）よりも大きな検査ガス吸込み能力を有してい
    る特許請求の範囲第１項記載のターー分子ポンプ。 ６、被検査体ないしは検査容器の排気のために−働くポ
    ンプ段（１３）の羽根円板（１１）の数が、質量分析計
    の排気のために働くポンプ段（１２）の羽根円板（９）
    の数よりも多く設定されている特許請求の範囲第４項記
    載のターゼ分子ポンプ。
JP57146979A 1981-08-26 1982-08-26 向流式漏れ検出を行なうのに適したタ−ボ分子ポンプ Granted JPS5844295A (ja)

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DE19813133781 DE3133781A1 (de) 1981-08-26 1981-08-26 Fuer die durchfuehrung der gegenstrom-lecksuche geeignete turbomolekularpumpe
DE3133781.3 1981-08-26

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JPS5844295A true JPS5844295A (ja) 1983-03-15
JPS6356438B2 JPS6356438B2 (ja) 1988-11-08

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