JPS5844877B2 - Self-adhesive seal plate - Google Patents
Self-adhesive seal plateInfo
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- JPS5844877B2 JPS5844877B2 JP2358375A JP2358375A JPS5844877B2 JP S5844877 B2 JPS5844877 B2 JP S5844877B2 JP 2358375 A JP2358375 A JP 2358375A JP 2358375 A JP2358375 A JP 2358375A JP S5844877 B2 JPS5844877 B2 JP S5844877B2
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Landscapes
- Details And Applications Of Rotary Liquid Pumps (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、極めて苛酷な使用条件下でも長時間良好に使
用しうる回転式流体ポンプ用シールプレート材に関する
。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a seal plate material for a rotary fluid pump that can be used satisfactorily for a long period of time even under extremely severe usage conditions.
本件出願人は、特願昭４９−１４３０９８〜１４３１０
０号において、改良された回転式流体ポンプを開示した
が、この種ポンプにとって、いかなるシールフレートを
用いるかは、極めて重要な問題である。The applicant of this case has applied for patent application No. 49-143098-14310.
No. 0 discloses an improved rotary fluid pump, and for this type of pump, the question of what kind of seal plate to use is extremely important.
周知のように、シールプレートはロータに常時追従密着
して、ロータ室内の高真空度を維持することが好ましい
が、高回転のロータ側面と接触状態におかれるシールプ
レートの寿命は短く、これが原因で、回転式流体ポンプ
の性能は著しく阻害されてきた。As is well known, it is preferable for the seal plate to constantly follow the rotor and maintain a high degree of vacuum in the rotor chamber. However, the performance of rotary fluid pumps has been severely hampered.
したがって、本発明は、改良されたシールプレート材を
提供することにより、回転式流体ポンプの性能を向上さ
せることを目的とするものであり、その要旨とするとこ
ろは、カーボンとグラファイトあるいはカーボンもしく
はグラファイト１ｏ〜７５重量％、二硫化モリブデン０
，１〜６０重量％、フッ素樹脂１〜２０重量％でその総
和が７５重量％以内にある成分と、フッ素樹脂を除く耐
熱性樹脂と、からなり、その弾性率が２００ｋｇ／ｃｒ
Ａ以上である回転式流体ポンプ用シールプレート材に存
する。Accordingly, it is an object of the present invention to improve the performance of rotary fluid pumps by providing an improved seal plate material, the gist of which is to improve the performance of rotary fluid pumps by providing an improved seal plate material. 10 to 75% by weight, 0 molybdenum disulfide
, 1 to 60% by weight, a fluororesin of 1 to 20% by weight, the total of which is within 75% by weight, and a heat-resistant resin excluding the fluororesin, and its elastic modulus is 200kg/cr.
A seal plate material for a rotary fluid pump having a rating of A or higher.
以下、本発明のシールプレート材を真空ポンプに適用し
た場合について説明する。Hereinafter, a case will be described in which the seal plate material of the present invention is applied to a vacuum pump.
図は、回転式流体ポンプの断面図であり、本体１と両側
体２，３とから形成されたロータ室４内に、ロータ５が
駆動軸６により片持ち支持されている。The figure is a sectional view of a rotary fluid pump, in which a rotor 5 is cantilevered by a drive shaft 6 in a rotor chamber 4 formed by a main body 1 and both side bodies 2 and 3.
ロータ５の外周には多数の溝が切り込んであり、これら
溝中にはベーンが滑動自在に組込んである。A large number of grooves are cut into the outer periphery of the rotor 5, and vanes are slidably incorporated into these grooves.
ロータの回転に伴い流体は吸気ポート７から吸入され、
排気ポート８から吐出される。As the rotor rotates, fluid is sucked in from the intake port 7,
It is discharged from the exhaust port 8.
両側体２，３０ロータ対向面には凹部９，９が穿設しで
ある。Concave portions 9, 9 are bored in the surfaces of both side bodies 2, 30 facing the rotor.
そして本体１と両側体２，３との間には、シールプレー
ト１０，１１が設けである。Seal plates 10 and 11 are provided between the main body 1 and the side bodies 2 and 3.
参照数字１２，１３は分離室であり、これら分離室内に
は大気圧の空気が封入されていて、ロータ作動中常時、
シールプレート１０，１１をそれぞれロータ側面に密着
させるようにしている。Reference numerals 12 and 13 are separation chambers, and these separation chambers are filled with air at atmospheric pressure, and at all times during rotor operation.
Seal plates 10 and 11 are brought into close contact with the side surfaces of the rotor, respectively.
上記のように使用される本発明のシールプレー）１０，
１１は、下記理由により限定された成分から構成される
必要がある。Seal play of the present invention used as described above) 10,
11 needs to be composed of limited components for the following reasons.
（１） カーボンとグラファイトあるいはカーボンも
しくはグラファイトを１０〜７５重量％とじた理由
これら成分を１０重量％以下混入して形成したシールプ
レートは、真空度６００ ｍｍＨｇ以上 ５０ ｍｍＨ
ｇでスカッフィングを起こし、一方７５重量％以上混入
して形成したシールプレートは脆くて折損を生じやすい
。(1) Reason for combining carbon and graphite or 10 to 75% by weight of carbon or graphite A seal plate formed by mixing 10% by weight or less of these components must be manufactured at a vacuum level of 600 mmHg or more and 50 mmH.
g causes scuffing, while a seal plate formed with 75% by weight or more is brittle and prone to breakage.
この成分の特に好ましい混入値は４０〜５０重量％であ
る。Particularly preferred incorporation values for this component are 40 to 50% by weight.
（２）二硫化モリブデンを０．１〜６０重量％とじた理
由
二硫化モリブデンを添加すれば、シールプレートの摺動
特性が向上し、低摩擦係数が得られるが、０．１重量％
以下では目的とする低摩擦係数が得られず、又６０重量
％以上では硬度低下が著しく、弾性を失う。(2) Reason for adding 0.1 to 60% by weight of molybdenum disulfide Adding molybdenum disulfide improves the sliding properties of the seal plate and provides a low coefficient of friction, but 0.1% by weight
If it is less than 60% by weight, the desired low coefficient of friction cannot be obtained, and if it is more than 60% by weight, the hardness decreases significantly and elasticity is lost.
この成分の特に好ましい添加値は３〜１０重量％である
。Particularly preferred addition values for this component are 3 to 10% by weight.
（３） フッ素樹脂を１〜２０重量％とした理由フッ
素樹脂、例えば四弗化エチレン樹脂を添加することによ
り、シールプレートの摺動特性が向上し、低摩擦係数が
得られるが、１重量％以下では目的とする低摩擦係数が
得られず、又２０重量％以上では硬度低下が著しく、弾
性を失うため、６００ ｍｍＨｇ以上の真空度では使用
不能となる。(3) Reason for setting 1 to 20% by weight of fluororesin By adding fluororesin, for example, tetrafluoroethylene resin, the sliding properties of the seal plate can be improved and a low coefficient of friction can be obtained, but 1% by weight If it is less than 20% by weight, the desired low coefficient of friction cannot be obtained, and if it exceeds 20% by weight, the hardness decreases significantly and elasticity is lost, making it unusable at a vacuum degree of 600 mmHg or more.
この成分の最適添加値は１０％前後である。The optimum addition value of this component is around 10%.
（４）これら成分の総和を７５重量％以下とする理由
７５重量％以上混入した場合には、シールフレートの製
作上困難をともなうためである。(4) Reason for setting the total sum of these components to 75% by weight or less This is because if 75% by weight or more is mixed in, it will be difficult to manufacture the seal plate.
最も好ましいのは６０重量％である。Most preferred is 60% by weight.
（５） シールプレートの弾性率を２００ ｋｇ／ｃ
ｒＡ以上とした理由
２００ｋｇ／ｃｎｌ以下では、ポンプ作動時に於て、シ
ールプレートがロータ側面方向にたわみこみ、このため
ロータ側面とシールプレート側面間にスカッフィングを
生じ、性能低下をきたす。(5) The elastic modulus of the seal plate is 200 kg/c.
Reason for RA or more: At less than 200 kg/cnl, the seal plate flexes in the direction of the side surface of the rotor during pump operation, resulting in scuffing between the side surface of the rotor and the side surface of the seal plate, resulting in a decrease in performance.
従って、高真空度を発揮する真空ポンプを得ることがで
きないので、シールプレートの弾性率は２００ｋｙ／ｃ
ｖｉ以上とする必要がある。Therefore, it is not possible to obtain a vacuum pump that achieves a high degree of vacuum, so the elastic modulus of the seal plate is 200 ky/c.
It needs to be equal to or higher than vi.
なお３５０ｋｇ／ｃｒＡの弾性率とするのが最適である
。Note that an elastic modulus of 350 kg/crA is optimal.
なお、その他の混入成分には、ポリイミド樹脂あるいは
シリコン樹脂などの耐熱性樹脂が使用される。Note that heat-resistant resins such as polyimide resins and silicone resins are used as other mixed components.
本発明は上記の成分から構成されるが、耐摩耗性を一層
向上させるため少量の金属または非鉄フィラーを混入す
るのが好ましい。Although the present invention is composed of the above-mentioned components, it is preferable to mix a small amount of metal or non-ferrous filler in order to further improve wear resistance.
さらに、自己潤滑性を向上させ、初期馴染み性を良好に
するため、成形されシールプレートのロータ対向面にフ
ッ素樹脂、シリコン樹脂などの耐熱性樹脂を含浸せしめ
るのが好ましい。Furthermore, in order to improve self-lubricating properties and improve initial conformability, it is preferable to impregnate the rotor-facing surface of the molded seal plate with a heat-resistant resin such as fluororesin or silicone resin.
以下、本発明シールプレート材の実施例について説明す
る。Examples of the seal plate material of the present invention will be described below.
グラファイト３０．０重量％、二硫化モリブデン１．０
重量％、四弗化エチレン樹脂２．０重量％、残り、ポリ
イミド樹脂よりなるシールプレート材を製作した。Graphite 30.0% by weight, molybdenum disulfide 1.0
A seal plate material was produced, consisting of 2.0% by weight of tetrafluoroethylene resin and the rest of polyimide resin.
この時の弾性率は２１０ｋｇ／ｃｔＡであった。The elastic modulus at this time was 210 kg/ctA.
このシールプレート材を厚さ２關のシールプレートとし
て製作し、下記諸元の真空ポンプに使用し性能を確認し
た。This seal plate material was manufactured as a seal plate with a thickness of 2 mm, and its performance was confirmed by using it in a vacuum pump with the following specifications.
シリンダ内径刈紬方向長さ：５９．２０ｍｒｎ×３４．
３６７ｎ７／Ｌロータ外径×軸方向長さ： ５３．００
ｍｍＸ３４．２８ｍｍベーン使用本数 ：５本
ベーン厚さ×軸方向長さ二４朋Ｘ ３４．２８ｍｍベー
ン溝角度 ：１６゜
分離室軸方向深さ ：０．５關
リザーバタンク ：５１
ロータ材質 ：ＦＣ２５
ベーン材質 ：カーボン材（ＫＣＨ２１）そ
の性能は８００ ｒｐｍで６６０ｍｖｔＨｇ １１５０
０ｒｐｍで６８０ｍｍＨｇ 、３０００ｒｐｍで６９０
ｍｍ Ｈｇの性能を示した。Cylinder inner diameter length in cutting direction: 59.20 mrn x 34.
367n7/L Rotor outer diameter x axial length: 53.00
mm x 34.28 mm Number of vanes used: 5 Vane thickness x axial length 24 x 34.28 mm Vane groove angle: 16° Separation chamber axial depth: 0.5° Reservoir tank: 51 Rotor material: FC25 Vane Material: Carbon material (KCH21) Its performance is 660 mvtHg 1150 at 800 rpm
680mmHg at 0rpm, 690 at 3000rpm
It showed performance of mm Hg.
また３ ０００ ｒｐｍで１００時間連続運転後分解し
シールプレートを確認したところ何ら異常はなく極めて
良好な状態であることが確認された。Further, after 100 hours of continuous operation at 3,000 rpm, it was disassembled and the seal plate was checked, and it was confirmed that there was no abnormality and that it was in extremely good condition.
上記成分からなる本発明のシールプレート材は、高真空
度、高回転、無潤滑状態という極めて苛酷な条件下にお
かれても、長時間良好に使用し得、もって回転式流体ポ
ンプの性能を著しく向上させることができる。The seal plate material of the present invention consisting of the above components can be used satisfactorily for a long period of time even under extremely harsh conditions such as high vacuum, high rotation, and no lubrication, thereby improving the performance of rotary fluid pumps. can be significantly improved.
【図面の簡単な説明】
図は、本考案のシールプレートを真空ポンプに適用した
場合の断面図を示す。
１・・・・・・本体、２，３・・・・・・側体、９，９
・・・・・・側体の凹部、４・・・・・・ロータ室、５
・・・・・・ロータ、１０゜１１・・・・・°シールプ
レー）、１２，１３・・・・・・分離室。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The figure shows a cross-sectional view of the seal plate of the present invention applied to a vacuum pump. 1... Main body, 2, 3... Side body, 9, 9
・・・・・・Concavity of side body, 4 ・・・Rotor chamber, 5
......rotor, 10°11...° seal play), 12,13...separation chamber.
Claims (1)
を支持すると共に、前記本体と両側体間にシールプレー
ト材を介在させ、シールプレー１［’と両側体間にそれ
ぞれ分離室を形成し、分離室とロータ室との圧力差によ
りロータ作動中、前記シールプレート材をロータ側面に
密着させるようにした型式の回転式流体ポンプにおいて
、 前記シールプレート材が、カーボンとグラファイトある
いはカーボンもしくはグラファイト１゜〜７５重量％、
二硫化モリブデン０．１〜６０重量％、フッ素樹脂１〜
２０重量％でその総和が７５重量％以内にある成分と、
フッ素樹脂を除く耐熱性樹脂と、から形成されており、
その弾性率が２００ ｋｇ／ｃｒＡ以上であること、 を特徴とする回転式流体ポンプ用シールプレート材。[Claims] 1. A rotor is supported in a rotor chamber formed by a main body and both side bodies, and a seal plate material is interposed between the main body and both side bodies, and a seal plate 1[' and both side bodies are separated from each other. In a type of rotary fluid pump, the seal plate material is made of carbon, graphite, or Carbon or graphite 1° to 75% by weight,
Molybdenum disulfide 0.1~60% by weight, fluororesin 1~
A component whose total is within 75% by weight at 20% by weight;
It is made of heat-resistant resin excluding fluororesin.
A seal plate material for a rotary fluid pump, characterized in that its elastic modulus is 200 kg/crA or more.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2358375A JPS5844877B2 (en) | 1975-02-26 | 1975-02-26 | Self-adhesive seal plate |
| US05/653,953 US4050855A (en) | 1975-02-26 | 1976-01-30 | Dry air rotary pump or compressor |
| GB6475/76A GB1515635A (en) | 1975-02-26 | 1976-02-18 | Dry rotary air pump or compressor |
| DE2607444A DE2607444C2 (en) | 1975-02-26 | 1976-02-24 | Vane pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2358375A JPS5844877B2 (en) | 1975-02-26 | 1975-02-26 | Self-adhesive seal plate |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5197812A JPS5197812A (en) | 1976-08-28 |
| JPS5844877B2 true JPS5844877B2 (en) | 1983-10-05 |
Family
ID=12114585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2358375A Expired JPS5844877B2 (en) | 1975-02-26 | 1975-02-26 | Self-adhesive seal plate |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5844877B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6073077A (en) * | 1983-09-28 | 1985-04-25 | Mikuni Jukogyo Kk | Gear rotating device |
| JPS63183390U (en) * | 1988-02-12 | 1988-11-25 |
-
1975
- 1975-02-26 JP JP2358375A patent/JPS5844877B2/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5197812A (en) | 1976-08-28 |
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