JPS58469U - 基板保持具 - Google Patents

基板保持具

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Publication number
JPS58469U
JPS58469U JP9218581U JP9218581U JPS58469U JP S58469 U JPS58469 U JP S58469U JP 9218581 U JP9218581 U JP 9218581U JP 9218581 U JP9218581 U JP 9218581U JP S58469 U JPS58469 U JP S58469U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holding plate
substrate
board
substrate holding
plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9218581U
Other languages
English (en)
Inventor
中馬　俊夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP9218581U priority Critical patent/JPS58469U/ja
Publication of JPS58469U publication Critical patent/JPS58469U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来一般に用いられている基板取付治具を備え
た蒸着装置の垂直断面図、第２図は同水平断面図、第３
図は同分解斜視図、第４図は来者　案の一実施例に係る
基板保持具の正面図、第５図は同側面図、第６図は上記
の実施例におけるクリップ状板ばねの斜視図である。 １・・・モータ、２・・・ベルト、３・・・軸受箱、４
・・・軸、５・・・バックボード、６ａ、　６ｂ・・・
基板の押え板、７・・・基板、８．３０・・・基板保持
板、９・・・取手、−１０・・・ターゲット、１１・・
・チャンバ、１２川真空排気継手、１９．２１・・・ね
じ、３１・・・テーパ板、３２・・・ストッパピン、３
３・・・クリップ状板ば耗、３４・・・凹部、３５・・
・ダミー板、３６・・・係着ピン、３７・・・切欠き、
３８・・・コの字形板ばね。 ？　　１　　図 才　Ｊ　図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 基板保持板に、基板を所定位置に取りつける手段と、該
    基板保持板をバックボードに取りつける手段とを備えて
    なる基板保持具において、基板保持板の所定位置に置か
    れた基板の一辺に当接して該基板を抱持するように、側
    面にテーパを付したテーパ板を基板保持板に固着すると
    ともに、上記基板がテーパ板に当接する辺と隣接する辺
    に対向するストッパを基板保持板に固着し、上記と別体
    に、基板を基板保持板に対して挾みつけるクリップ状の
    板ばねを備え、かつ、前記のバックボードに、頭部を大
    径に形成した係着ピンを植設すると、　ともに、基板保
    持板の一辺に上記係着ピンに係合する切欠を設け、上記
    基板保持板の切欠を設けた辺の対辺の近傍に、・前記の
    バックボードを挾持する板ばねを取付けたことを特徴と
    する基板保持具。
JP9218581U 1981-06-24 1981-06-24 基板保持具 Pending JPS58469U (ja)

Priority Applications (1)

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JP9218581U JPS58469U (ja) 1981-06-24 1981-06-24 基板保持具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9218581U JPS58469U (ja) 1981-06-24 1981-06-24 基板保持具

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58469U true JPS58469U (ja) 1983-01-05

Family

ID=29887226

Family Applications (1)

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JP9218581U Pending JPS58469U (ja) 1981-06-24 1981-06-24 基板保持具

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58469U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6339371U (ja) * 1986-08-29 1988-03-14
JPH0330258U (ja) * 1989-07-26 1991-03-25
WO2017064988A1 (ja) * 2015-10-13 2017-04-20 株式会社神戸製鋼所 成膜装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6339371U (ja) * 1986-08-29 1988-03-14
JPH0330258U (ja) * 1989-07-26 1991-03-25
WO2017064988A1 (ja) * 2015-10-13 2017-04-20 株式会社神戸製鋼所 成膜装置
JP2017075342A (ja) * 2015-10-13 2017-04-20 株式会社神戸製鋼所 成膜装置

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