JPS5847247B2 - ボ− セン マタハ オビジヨウザイリヨ ノ シンク−シヨリ - Google Patents

ボ− セン マタハ オビジヨウザイリヨ ノ シンク−シヨリ

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Publication number
JPS5847247B2
JPS5847247B2 JP49102771A JP10277174A JPS5847247B2 JP S5847247 B2 JPS5847247 B2 JP S5847247B2 JP 49102771 A JP49102771 A JP 49102771A JP 10277174 A JP10277174 A JP 10277174A JP S5847247 B2 JPS5847247 B2 JP S5847247B2
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JP
Japan
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die
seal
section
wire
shaped element
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JP49102771A
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JPS5073859A (ja
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ブリアン ウエアイング ジヨセフ
ホール ハーバート
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EREKUTORISHICHII KAUNSHIRU ZA
JONSON NEFUYU NAN FUEROSU Ltd
Original Assignee
EREKUTORISHICHII KAUNSHIRU ZA
JONSON NEFUYU NAN FUEROSU Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by EREKUTORISHICHII KAUNSHIRU ZA, JONSON NEFUYU NAN FUEROSU Ltd filed Critical EREKUTORISHICHII KAUNSHIRU ZA
Publication of JPS5073859A publication Critical patent/JPS5073859A/ja
Publication of JPS5847247B2 publication Critical patent/JPS5847247B2/ja
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/168—Sealings between relatively-moving surfaces which permits material to be continuously conveyed

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Metal Extraction Processes (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は一定の断面をもつ長尺材料例えば棒または線を
、壁によって分離された異なる圧力下にある帯域を連続
的に供給せしめ得るシールあ・よびそのようなシールを
用いる装置に関する。
そのようなシールは、例えば真空下で連続作業で実施す
ることを要する熱処理または被覆処理に棒または線材を
付す装置で要求される。
本発明の１形態にも・いては、１定の断面の材料を１つ
の壁で分離されて異なる圧力下にある帯域を供給せしめ
得るシールは、間隔をあ・いて位置するホルダーに取付
けられた１対のダイス形要素、該ホルダー間をシールす
る管、その管中に密に取付けられた取外し可能なインサ
ートからなる。
ダイス形要素の寸法は、シールを通して供給される材料
の周りに０．１ないしＱ、２ｍｍのクリアランスを生ず
るような寸法である。
この配置によって、真空帯域中に供給される材料の外周
形状に合致し且つ材料の周りに密に取付は得る２つのダ
イス形要素をシールは有する。
代表的には円形の棒釦よび線の直径よりも０．１２ｍｍ
大きい線引ダイスである。
管中のインサートは円筒であることが好渣しい。
これらの物質は接する特定条件に適した材料から作成す
ることを要する。
インサートの材料は線または棒が加熱される温度に耐え
ねばならない。
インサートの材料は選別する物質を擦りへらしてはなら
ないし、且つ適当な耐摩耗性を有する必要がある。
インサートは、シールを通過する材料が低温度にあるな
らば例えば０ないし１２０℃の温度にあるならばプラス
チック例えばナイロンから作成されてよい。
又はシールは、シールを通過する材料が高温度にあるな
らばセラミック材料例えば非焼成または１部焼成パイロ
フィライトから作成されてよいし、またはアスベスト例
工ばシンダニオ（５ｙｎｄａｎｉｏ）から作成されても
よい。
そのよう彦インサートはシールを通して供給される材料
の周りに密に適合する穴を有し、且つダイス形要素より
も大きな許容値を有すべきである。
代表的には、円形枠または線材の場合には、インサード
ロ径は棒または線の直径よりも１闘犬きくあってよい。
然しなから、そのようなインサートを非常に長くし、且
つ外測管内に密に適合させることによって、装置を通し
て空気の漏れを非常に少彦く維持し得る。
そのようなシールは、連続的に排気される真空装置に用
いる場合には、シールは真空ポンプのポンプ容量内に漏
れを維持する。
そのようなシールを直列に２個用いることによって、真
空室にあ・けるポンプ排気はシールの入力端で全圧に対
してｌＮｍ−２以下に圧力を容易に下げ得るようにシー
ルを通る空気の通過を制限することが容易に可能である
ことを認めた。
そのような配置において更に同じ工程を追加すると１０
１１０１Ｎの単位の真空圧に達せしめることが可能であ
る。
１定長さの材料を真空室を通過せしめるために同様なシ
ール配置を真空室の入口と出口に用いてよい。
２個以上のシールを直列に用いてよく、連続シール間の
中間真空工程に用いてもよい。
更に本発明は、真空室、２個の１線にあるシール装置お
よび真空室と密封装置中を材料を移動せしめる装置より
ｌる１定の断面積をもつ棒、線または帯状材料の真空加
工用装置をも含む。
この密封装置は前記した少なくとも１つのシールを含み
棒、線または帯状材料の入口および出口に配置される。
上記の配置を用いると、シールを通して供給される材料
はいかなる断面でもよい。
単に、材料の外周形状に沿ってダイスの形状を定めれば
よい。
代表的には材料は棒、線捷たはストリップメタル例えば
変圧器捲線用ストリップであってよい。
例えば５０ＸＩＱｎｍｉでの断面のストリップ材料を上
記のシール中を通過させてよい。
シールを通過する材料の寸法を変更することが要求され
た場合には、ダイス形要素を容易に変更できるようにダ
イスホルダーを配置することが好ましい。
同様に前記管中のインサートを容易に変化せしめ得る。
インサートを清浄化するために、その長手方向に沿って
軸方向にシリンダーの形状にて分割せしめることが好筐
しい。
インサートは、材料の移動を制限しないように且つ装置
中をかなりの高速で材料が供給されても摩耗したりまた
はひきずられたりしないように、シール中を供給される
材料に対して十分な間隙を有することを要する。
ダイス形要素は空気流れを厳重に制約するのみならず、
シール中に供給される材料をインサートの中央位置に保
持するのに役立つ。
又、シール中を材料を移動せしめる装置によって生ずる
振動を止めるのにも役立つ。
上記のダイスホルダーは前記の管状のフランジに固定せ
しめるためのフランジを有してることが好ましい。
ダイスホルダーの１つは、真空室の開口中にダイスホル
ダーを固定せしめるために更にもう１つのフランジを有
してもよい。
第１図は、真空室中を一定の断面をもつ線、棒または他
の材料を連続的に処理する装置を示す。
例えば、この処理は、電子線を用いる熱処理または蒸着
を用いるコーチングである。
２種以上の工程による処理を真空室中にて実施する。
ある場合には、この真空室は異なって気圧即ち異なった
圧力で維持された複数個の区分に分割されてよい。
この装置は、入口卦よび出口シールを有する処理室を有
し、これらのシールを通して被処理材７は線巻き機８に
よって引っばられる。
処理室４はパイプ１０によって真空ポンプ９に接続して
いる。
処理室４が複数の室に分割される場合には、各区画室に
それぞれポンプを備えてよい。
入ロシール釦よび出口シールは同一であってよい。
第２図は、線が大気に対して開放されて入る端部Ａと、
処理室４を構成し且つポンプ９に接続されてる高真空室
に導く端部Ｃを有する２工程入ロシール５を説明する。
第２図の２つの密封工程間の中間Ｂに、パイプ１３によ
ってポンプ１４に接続されてる小真空室１２がある。
入口端Ａにダイス形要素２０がダイスホルダー２１内に
取付けられてる、ダイスホルダー２１は線の入口のため
の端部開口２２を有し、且つ他端にダイスホルダー２１
中にシールされてる管２５上のフランジ２４に固着され
てるフランジ２３を有する。
ダイス形状要素２０の横断面は真空室中を通過する線、
棒または他の材料の形状に相当するような形状になって
いる。
従来の線引ダイスと同様な構造になっているが、０．１
ないし０．２ｍｍ大きく出来ている。
この特定の実施例にあ・いては、円形線または棒に対し
て直径が０．１２７ｎｍ大きくなっている。
要素２０は最も小さな断面の帯域に滑らかに導入された
り導出されたりするようにその軸に沿う断面が放物線状
になっている。
管２５は線の直径より１ｍｍ大きい軸穴をもつナイロン
の円筒インサート２６を含有している。
円筒インサート２６は清浄化を容易にするためにその長
さ方向に沿って割れていてよい。
インサートは管２５内に密に然し除去可能に取付けられ
ている。
インサート２６は管２５の全長に沿って延びている。
管２５ばその端部で第２のダイス形要素３まためのホル
ダー３０中に延びてかり密封されている。
ホルダー３０は管２５に対するフランジ３３とマツチし
ているフランジ３２を有する。
ダイス形要素３１はダイス形要素２０と同様に放物線状
ダイスであり、線より０．１２ｍ７１Ｌ大きくなってい
る。
ホルダー３０は前記の室１２に対してシールしている。
第２のシールは第１のシールと同様であり、ダイスハウ
ジング間に管４４があり、ホルダー４２゜４３中に２つ
のダイス形要素４０．４１が保持されてる。
この管は円筒状インサート４５（割れていてもよい）を
含有する。
第２のダイスハウジングは前記高真空室１１の入口４６
をシールしている。
全てのダイス形要素はホルダーから取外し可能であり、
取り換え可能である。
管内に密に取付けである比較的長いインサートが空気の
通路を制限する。
代表的には、直径６ｍｍの線に対しては、２つのシール
を有するシール組立体は約１ｍの長さである。
この特定の配列にあ・いては、２つのシール段階間の室
１２はポンプで連続的に排気する約５０ＯＮｍ２の圧力
にし得る。
高真空室１１をｌＮｍ２より少ない圧力で保持し得る。
中間室１２け装置中を通過する線の初期線引きを助ける
ために円錐形の線案内を有することが好ましい。
線が高温度の場合には、ダイスホルダーあ・よび管は水
で冷却してもよい。
この構造はいかなる断面をもつ線に対して用いてよい。
例えば、円形、正方形丑たは矩形の断面の線に用いてよ
い。
ダイス形要素あ・よびインサートは線の断面の形状に相
応するように作られる。
矩形の断面に対しては例えば変圧器鉄心の捲線に用いる
金属ストリップの場合には、加減ダイスをダイス形要素
として用いてよい。
インサー）２６ｊ４５は線の移動を制限しないように且
つ装置中をかなり高速度で線が供給されても摩耗したり
または引きずったりしないように線に対して十分なりリ
アランスを有する。
ダイス形要素２０，３１゜４０．４１は真空室に入る空
気流れに対して苛酷な制限を与えるのみならず、線をイ
ンサートの中心に維持せしめるのに役立つ。
又、これらの要素は線捲き機８によって生ずる振動を止
める。
１実施例にあ・いてはダイス形要素例えば要素２０．３
１は水冷黄銅ホルダー中に取付けられたタングステンカ
ーバイドで作られてよい。
水蒸気が存在する場合例えば銅線焼鈍用の出口シールに
釦いて存在する場合には、ダイアモンドダイスを用いて
よい。
【図面の簡単な説明】
第１図は１定の断面をもつ線または棒の真空処理用装置
の配植を示す。 第２図は第１図の装置にも・ける空気−真空シール単位
の断面図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 棒または線材の通路用隙間を有し且つ最も狭い部分
    に導く先細入口部をもつ穴を有し間隔をもって位置して
    いる１対の硬質材料製ダイス形要素よりなり、異なった
    圧力の帯域に分割する壁を通って一定の断面をもつ棒ま
    たは線材を供給せしめるシールを有する装置にあ・いて
    、前記ダイス形要素は最も狭い部分を通って出［］部分
    に滑らかに導く先細入口部の横断面は放物線状に滑らか
    にわん曲してあ・す、ダイス形要素はシールを通って供
    給される材料の周りに０．１ないし０．２ ｍｍのクリ
    アランスを有し、前記ダイス形要素は間隔をもって位置
    しているダイスホルダーによって保持されており、前記
    ダイス形要素間に管があり、管内に棒または線材の通路
    用の長手方向の穴を有し取外し可能なインサートが取り
    付けられてあ・す、高速度で連続的に棒または線材の供
    給を可能とする１電断面をもつ棒筐たは線材の真空処理
    用装置。
JP49102771A 1973-09-06 1974-09-06 ボ− セン マタハ オビジヨウザイリヨ ノ シンク−シヨリ Expired JPS5847247B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB4197973A GB1432824A (en) 1973-09-06 1973-09-06 Seals for the passage of material of uniform section between regions of different pressure

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5073859A JPS5073859A (ja) 1975-06-18
JPS5847247B2 true JPS5847247B2 (ja) 1983-10-21

Family

ID=10422273

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP49102771A Expired JPS5847247B2 (ja) 1973-09-06 1974-09-06 ボ− セン マタハ オビジヨウザイリヨ ノ シンク−シヨリ

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JPS5847247B2 (ja)
BE (1) BE819577A (ja)
DE (1) DE2442464C2 (ja)
FR (1) FR2243378B1 (ja)
GB (1) GB1432824A (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2703991C2 (de) * 1976-02-12 1982-04-22 Heberlein Maschinenfabrik AG, 9630 Wattwil "Vorrichtung für die Wärmebehandlung von Textilgarnen"
NL8602661A (nl) * 1986-10-23 1988-05-16 Bekaert Sa Nv Doorvoerelement voor vacuuminrichting alsmede inrichting voorzien van dergelijke doorvoerelementen.
KR100311858B1 (ko) 1993-09-10 2001-12-17 미야타 아키라 연료호스및그제법및여기에이용하는장치

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3417589A (en) * 1965-10-18 1968-12-24 Pressure Technology Corp Of Am Process and apparatus for working metals under high fluid pressure

Also Published As

Publication number Publication date
GB1432824A (en) 1976-04-22
JPS5073859A (ja) 1975-06-18
FR2243378B1 (ja) 1979-09-28
DE2442464C2 (de) 1982-03-11
BE819577A (fr) 1974-12-31
FR2243378A1 (ja) 1975-04-04
DE2442464A1 (de) 1975-03-20

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