JPS5848006A - 光分岐回路及びその製造方法 - Google Patents
光分岐回路及びその製造方法Info
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- JPS5848006A JPS5848006A JP14620181A JP14620181A JPS5848006A JP S5848006 A JPS5848006 A JP S5848006A JP 14620181 A JP14620181 A JP 14620181A JP 14620181 A JP14620181 A JP 14620181A JP S5848006 A JPS5848006 A JP S5848006A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 39
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 30
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 14
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 abstract 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 235000012149 noodles Nutrition 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/2804—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
- G02B6/2852—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers using tapping light guides arranged sidewardly, e.g. in a non-parallel relationship with respect to the bus light guides (light extraction or launching through cladding, with or without surface discontinuities, bent structures)
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/2804—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光通信システムに使用される光分岐回路に関す
る。
る。
光通信システムの光フアイバ通信回線において、例えば
CATV用の光信号の分岐、挿入を行う場合、データリ
ンクシステムでの光信号の分岐、挿入、あるいは光源、
伝送路、受光素子の状態の監視及び検査等を行う場合に
光分岐回路が用いられている。
CATV用の光信号の分岐、挿入を行う場合、データリ
ンクシステムでの光信号の分岐、挿入、あるいは光源、
伝送路、受光素子の状態の監視及び検査等を行う場合に
光分岐回路が用いられている。
従来の光分岐回路としては薄膜導光路間の結合を利用し
たものや、薄膜導光路上にハーフミラ−を形成したもの
等があるが、これらはいずれも厳密な精密加工が必要で
、実現が困難であるという欠点を有している。
たものや、薄膜導光路上にハーフミラ−を形成したもの
等があるが、これらはいずれも厳密な精密加工が必要で
、実現が困難であるという欠点を有している。
寸だ、この他のものとして、ガラス基板上に塗布した感
光性樹脂にマスクを通して紫外線を照射することにより
、導波路を形成したものもあるが、この場合導波路の断
面形状は角形または台形となるため、接続する光ファイ
バとの形状の違いによる光損失が大きいという欠点があ
った。
光性樹脂にマスクを通して紫外線を照射することにより
、導波路を形成したものもあるが、この場合導波路の断
面形状は角形または台形となるため、接続する光ファイ
バとの形状の違いによる光損失が大きいという欠点があ
った。
本発明はこれらの欠点を解決することを目的とし、その
ためガラス基板上に塗布した感光性樹脂にグレーテッド
インデックス型の光ファイバを伝播させた紫外線を照射
して硬化させることにより断面形状が円形の主導波路と
副導波路を形成することを特徴とする。
ためガラス基板上に塗布した感光性樹脂にグレーテッド
インデックス型の光ファイバを伝播させた紫外線を照射
して硬化させることにより断面形状が円形の主導波路と
副導波路を形成することを特徴とする。
以下図面により本発明の一実施例を説明すると、第1図
および第2図において1.2.3はグレーテッドインデ
ックス型の光ファイバで、感光性樹脂による主導波路4
と該主導波路4の途中から分岐した副導波路5の端面に
各々接続されている。
および第2図において1.2.3はグレーテッドインデ
ックス型の光ファイバで、感光性樹脂による主導波路4
と該主導波路4の途中から分岐した副導波路5の端面に
各々接続されている。
この主導波路4と副導波路5は耐熱性を有するガラス基
板6上に形成されており、その断面形状は光ファイバ1
,2.3とほぼ同径の円形に形成されている。、、7は
主導波路4と副導波路5のクラッドとなるシリコーン樹
脂で、ガラス基板6上にモールドされている。
板6上に形成されており、その断面形状は光ファイバ1
,2.3とほぼ同径の円形に形成されている。、、7は
主導波路4と副導波路5のクラッドとなるシリコーン樹
脂で、ガラス基板6上にモールドされている。
次に上述した光分岐回路の製造例について説明する。ま
ずコア径60μmφ、クラツド径150μmφの光ファ
イバ1 、2 、3i、シリコン単結晶の(IIGIo
l)面をエツチングして作製したV溝基板(図示せず)
により所定の関係となるように位置合わせすると共に、
出力1wのHe Neレーザを光源として波長6328
AのHe−Neレーザ光により光ファイバ1,2,3の
コアの光軸を合わせ、その後 ′各党ファイバ1,
2.3を前記V溝基板に固定しておく。なお、光ファイ
バ1,2.3は光分岐回路を構成する上で必要な長さと
し、ここでは3〜5論とした。
ずコア径60μmφ、クラツド径150μmφの光ファ
イバ1 、2 、3i、シリコン単結晶の(IIGIo
l)面をエツチングして作製したV溝基板(図示せず)
により所定の関係となるように位置合わせすると共に、
出力1wのHe Neレーザを光源として波長6328
AのHe−Neレーザ光により光ファイバ1,2,3の
コアの光軸を合わせ、その後 ′各党ファイバ1,
2.3を前記V溝基板に固定しておく。なお、光ファイ
バ1,2.3は光分岐回路を構成する上で必要な長さと
し、ここでは3〜5論とした。
次に、寸法110X10X5−とし、がっ全面を鏡面仕
上げした屈折率1,472のガラス基板6上にアクリル
系の感光性樹脂を塗布する。この感光性樹脂は光ファイ
バ1,2のコアの径より厚く塗布する必要があり、ここ
では7oμmtとしている。
上げした屈折率1,472のガラス基板6上にアクリル
系の感光性樹脂を塗布する。この感光性樹脂は光ファイ
バ1,2のコアの径より厚く塗布する必要があり、ここ
では7oμmtとしている。
次にこのガラス基板4を光ファイバ1と光ファイバ2,
3との間に配置する。そして感光性樹脂の感光波長域で
あるピーク波長370nmの紫外線をレンズによシ絞り
、これを光ファイバ1に入射させると、この紫外線は光
ファイバ1を伝播して未硬化の感光性樹脂に出射し、こ
れにょシ感光性樹脂は光ファイバ1の端面からほぼ同径
に順次硬化して光ファイバ2の端面に達する。そしてこ
こで形成しようとする主導波路4の外径のバラツキを小
さくすると共に、その屈折率を均一にし、がつ光ファイ
バ2の端面との密着をよくするために、光ファイバ2か
らも紫外線を入射して感光性樹脂を硬化させ、硬化後、
現像により感光性樹脂の未硬化部分を除去して主導波路
4を得る。
3との間に配置する。そして感光性樹脂の感光波長域で
あるピーク波長370nmの紫外線をレンズによシ絞り
、これを光ファイバ1に入射させると、この紫外線は光
ファイバ1を伝播して未硬化の感光性樹脂に出射し、こ
れにょシ感光性樹脂は光ファイバ1の端面からほぼ同径
に順次硬化して光ファイバ2の端面に達する。そしてこ
こで形成しようとする主導波路4の外径のバラツキを小
さくすると共に、その屈折率を均一にし、がつ光ファイ
バ2の端面との密着をよくするために、光ファイバ2か
らも紫外線を入射して感光性樹脂を硬化させ、硬化後、
現像により感光性樹脂の未硬化部分を除去して主導波路
4を得る。
次に副導波路5は、これを形成しようとする部分に上記
と同じ感光性樹脂を塗布し、紫外線を光ファイバ3に入
射させる。これにより感光性樹脂を主導波路4と交わる
まで硬化させ、硬化後、現像により未硬化部分を除去し
て副導波路5を得る。
と同じ感光性樹脂を塗布し、紫外線を光ファイバ3に入
射させる。これにより感光性樹脂を主導波路4と交わる
まで硬化させ、硬化後、現像により未硬化部分を除去し
て副導波路5を得る。
そして最後に、屈折率1,410のシリコーン樹脂7で
全体をモールドして主導波路4と副導波路5のクラッド
および保護とする。
全体をモールドして主導波路4と副導波路5のクラッド
および保護とする。
なお、上述した製造方法において、感光性樹脂を硬化さ
せる際、光ファイバ1.2.3から出射する紫外線の広
がりによる散乱硬化が考えられるが、本発明で用いる光
ファイバ1.2.3はグレーテッドインデックス型光フ
ァイバでちゃ、このグレーテッドインデックス型光ファ
イバは光の直進性が優れていて、中心軸の光強度が非常
に太きいため、主導波路4および副導波路5を光ファイ
バ1.2.3のコア径とほぼ等しい径に硬化させること
ができる。
せる際、光ファイバ1.2.3から出射する紫外線の広
がりによる散乱硬化が考えられるが、本発明で用いる光
ファイバ1.2.3はグレーテッドインデックス型光フ
ァイバでちゃ、このグレーテッドインデックス型光ファ
イバは光の直進性が優れていて、中心軸の光強度が非常
に太きいため、主導波路4および副導波路5を光ファイ
バ1.2.3のコア径とほぼ等しい径に硬化させること
ができる。
このようにして得られた本発明の光分岐回路は、第1図
において光ファイバ1vc、伝送されてきた光信号を、
主導波路4および副導波路5に伝播させて光ファイバ2
,3からそれぞれ取出すことができ、また光ファイバ2
または3に伝送されてきた光信号を主導波路4′!たは
副導波路5f/i:伝播させて光ファイバ1から取出す
ことができる。
において光ファイバ1vc、伝送されてきた光信号を、
主導波路4および副導波路5に伝播させて光ファイバ2
,3からそれぞれ取出すことができ、また光ファイバ2
または3に伝送されてきた光信号を主導波路4′!たは
副導波路5f/i:伝播させて光ファイバ1から取出す
ことができる。
なお、主導波路4から副導波路5への結合度は両者の成
す角度によって任意に設定することができる。
す角度によって任意に設定することができる。
第3図は本発明による光分岐回路と従来の光分岐回路の
主導波路および副導波路の断面形状を示す拡大図で第3
図(、)が本発明のものであり、第3図(b)が従来の
ものである。
主導波路および副導波路の断面形状を示す拡大図で第3
図(、)が本発明のものであり、第3図(b)が従来の
ものである。
本発明による主導波路および副導波路は、上述した如く
光ファイバを伝播させた紫外線により感光性樹脂を硬化
させて形成しているため、断面形状を光ファイバのコア
とほぼ同径の円形とするととができ、そのため、従来の
角形捷たは台形の主導波路および副導波路と光ファイバ
との形状の違いによる光損失が0.8dBであったのに
対して、本発明によるものは0.2 dBに減少するこ
とができる。
光ファイバを伝播させた紫外線により感光性樹脂を硬化
させて形成しているため、断面形状を光ファイバのコア
とほぼ同径の円形とするととができ、そのため、従来の
角形捷たは台形の主導波路および副導波路と光ファイバ
との形状の違いによる光損失が0.8dBであったのに
対して、本発明によるものは0.2 dBに減少するこ
とができる。
壕だ光ファイバと主導波路および副導波路の接続も1つ
たく必要なく、接続損失も減少することができる。
たく必要なく、接続損失も減少することができる。
以上説明したように本発明は、ガラス基板上に塗布した
感光性樹脂に光ファイバを伝播させた紫外線を照射して
主導波路と副導波路を形成しているため、副導波路の断
面形状を円形にすることができ、これにより光損失を小
さくすることができるという効果がある。
感光性樹脂に光ファイバを伝播させた紫外線を照射して
主導波路と副導波路を形成しているため、副導波路の断
面形状を円形にすることができ、これにより光損失を小
さくすることができるという効果がある。
捷だ、製造も容易であると共に、従来のようにマスクを
必要としないために安価であり、さらに主導波路および
副導波路と光ファイバとの接続が非常に簡単であるとい
う効果もあり、信頼性の高い通信システム用のT分岐捷
たはスター分岐回路として使用することができる。
必要としないために安価であり、さらに主導波路および
副導波路と光ファイバとの接続が非常に簡単であるとい
う効果もあり、信頼性の高い通信システム用のT分岐捷
たはスター分岐回路として使用することができる。
第1図は本発明の一実施例を示す平面図、第2図はその
側断面図、第3図(a)は本発明における主導波路およ
び副導波路の断面形状を示す拡大図、第3図(b)は従
来の主導波路および副導波路の断面形状を示す拡大図で
ある。 1.2.3・・・光ファイバ 4・・・主導波路 5・
・・副導波路 6・・・ガラス基板 7・・・シリコー
ン樹脂特許出願人 沖電気工業株式会社 代理人弁理士 金 倉 喬 二 輪 11:ill 麺2; 手続補正書(師) 昭和57年1月1811 特許庁長官 島 1)春 樹 殿 1、事件の表示 昭和56年 特 許 願 第 146201 号2、
発明の名称 光分岐回路及びその製造方法3、補正をす
る者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号名 称
(029)沖電気工業株式会社代表者 三宅正男 4、代 理 人 6、補正の対象 明細書「特許請求の範囲の欄」0「発
明の詳細な説明の欄」0 7 補正の内容 1.特許請求の範囲を下記の如く補正する。 「1ガラス基板上に光ファイバのコア径とほぼ同径とし
た断面形状円形の主導波路と該主導波路から分岐した副
導波路を感光性樹脂で形成し、その上にシリコーン樹脂
をモールドしてクラッドとしたことを特徴とする光分岐
回路。 2ガラス基板上に感光性樹脂を塗布して、該感光性樹脂
にグレーゲットインデックス型の光ファイバを伝播させ
た紫外光を照射して必要部分を硬化させ、未硬化部分を
現像により除去して主導波路および副導波路を形成する
ことを特徴とする光分岐回路の製造方法。」 2 明細書第2頁第18行、第3頁第3行〜第4行、第
5頁第16行〜第17行及び第18行の「グレーテッド
インデックス」を[グレーデッドインデック丙と補正す
る。 3 明細書第4頁第4行の「5N」を「5m」と補正す
る。 2−
側断面図、第3図(a)は本発明における主導波路およ
び副導波路の断面形状を示す拡大図、第3図(b)は従
来の主導波路および副導波路の断面形状を示す拡大図で
ある。 1.2.3・・・光ファイバ 4・・・主導波路 5・
・・副導波路 6・・・ガラス基板 7・・・シリコー
ン樹脂特許出願人 沖電気工業株式会社 代理人弁理士 金 倉 喬 二 輪 11:ill 麺2; 手続補正書(師) 昭和57年1月1811 特許庁長官 島 1)春 樹 殿 1、事件の表示 昭和56年 特 許 願 第 146201 号2、
発明の名称 光分岐回路及びその製造方法3、補正をす
る者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号名 称
(029)沖電気工業株式会社代表者 三宅正男 4、代 理 人 6、補正の対象 明細書「特許請求の範囲の欄」0「発
明の詳細な説明の欄」0 7 補正の内容 1.特許請求の範囲を下記の如く補正する。 「1ガラス基板上に光ファイバのコア径とほぼ同径とし
た断面形状円形の主導波路と該主導波路から分岐した副
導波路を感光性樹脂で形成し、その上にシリコーン樹脂
をモールドしてクラッドとしたことを特徴とする光分岐
回路。 2ガラス基板上に感光性樹脂を塗布して、該感光性樹脂
にグレーゲットインデックス型の光ファイバを伝播させ
た紫外光を照射して必要部分を硬化させ、未硬化部分を
現像により除去して主導波路および副導波路を形成する
ことを特徴とする光分岐回路の製造方法。」 2 明細書第2頁第18行、第3頁第3行〜第4行、第
5頁第16行〜第17行及び第18行の「グレーテッド
インデックス」を[グレーデッドインデック丙と補正す
る。 3 明細書第4頁第4行の「5N」を「5m」と補正す
る。 2−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 ガラス基板上に光ファイバのコア径とほぼ同径とし
た断面形状円形の主導波路と該主導波路から分岐した副
導波路を感光性樹脂で形成し、その上にシリコーン樹脂
をモールドしてクラッドとしたことを特徴とする光分岐
回路。 2 ガラス基板上に感光性樹脂を塗布して、該感光性樹
脂にグレーテッドインデックス型の光ファイバを伝播さ
せた紫外光を照射して必要部分を硬化させ、未硬化部分
を現像により除却して主導波路および副導波路を形成す
ることを特徴とする光分岐回路の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14620181A JPS5848006A (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 光分岐回路及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14620181A JPS5848006A (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 光分岐回路及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5848006A true JPS5848006A (ja) | 1983-03-19 |
Family
ID=15402405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14620181A Pending JPS5848006A (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 光分岐回路及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5848006A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01319707A (ja) * | 1988-06-21 | 1989-12-26 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 光合流器 |
| US4957589A (en) * | 1987-11-30 | 1990-09-18 | Ibiden Co., Ltd. | Process for producing second harmonic wave generating device |
| JP2010032584A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Toyota Central R&D Labs Inc | 光導波路及び光モジュール、並びにそれらの製造方法 |
-
1981
- 1981-09-18 JP JP14620181A patent/JPS5848006A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4957589A (en) * | 1987-11-30 | 1990-09-18 | Ibiden Co., Ltd. | Process for producing second harmonic wave generating device |
| JPH01319707A (ja) * | 1988-06-21 | 1989-12-26 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 光合流器 |
| JP2010032584A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Toyota Central R&D Labs Inc | 光導波路及び光モジュール、並びにそれらの製造方法 |
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