JPS5849436U - 電子ビ−ム描画装置 - Google Patents

電子ビ−ム描画装置

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JPS5849436U
JPS5849436U JP14438781U JP14438781U JPS5849436U JP S5849436 U JPS5849436 U JP S5849436U JP 14438781 U JP14438781 U JP 14438781U JP 14438781 U JP14438781 U JP 14438781U JP S5849436 U JPS5849436 U JP S5849436U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electron beam
beam lithography
lithography equipment
electron
equipment
Prior art date
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Pending
Application number
JP14438781U
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English (en)
Inventor
章 鈴木
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Shibaura Machine Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Machine Co Ltd
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Publication date
Application filed by Toshiba Machine Co Ltd filed Critical Toshiba Machine Co Ltd
Priority to JP14438781U priority Critical patent/JPS5849436U/ja
Publication of JPS5849436U publication Critical patent/JPS5849436U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Electron Beam Exposure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は電子の流れの代表的な例を示した機祁図、第２
図は被描画材の断面図、第３図は固体にｉ　　電子が衝
突したときの反射状態を示す説明図、第５　４図ないし
第６図は本考案の一実施例を示し第４１　　図は断面図
、第５図は第４図の一部拡大図、第６図Ａ、　Ｂは異な
る態様の平面図である。　　−１１・・・・・・電子銃
、２１・・・・・・固体、３１・・・・・・反射１　　
板、３２・・・・・・電子通口。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子銃からの電子ビームを受けて友射を起す１体の上方
    に、前記固体側の面に鋸歯状凹凸を有しかつ中央に前記
    電子ビームを通過させる電子通［を有する反射板を設け
    た電子ビーム描画装置。
JP14438781U 1981-09-29 1981-09-29 電子ビ−ム描画装置 Pending JPS5849436U (ja)

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JPS5849436U true JPS5849436U (ja) 1983-04-04

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6097389U (ja) * 1983-12-07 1985-07-03 株式会社荏原製作所 リバ−シブルポンプ装置
JP2014143393A (ja) * 2012-12-26 2014-08-07 Toppan Printing Co Ltd 電子ビーム描画装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4890681A (ja) * 1972-03-06 1973-11-26
JPS50119700A (ja) * 1974-03-04 1975-09-19
JPS53100896A (en) * 1977-02-15 1978-09-02 Omron Tateisi Electronics Co Sheet delivering and conveying system
JPS56125835A (en) * 1980-03-07 1981-10-02 Chiyou Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai Device for electron beam exposure

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