JPS5849440U - 半導体ウエ−ハ保持具 - Google Patents
半導体ウエ−ハ保持具Info
- Publication number
- JPS5849440U JPS5849440U JP14322281U JP14322281U JPS5849440U JP S5849440 U JPS5849440 U JP S5849440U JP 14322281 U JP14322281 U JP 14322281U JP 14322281 U JP14322281 U JP 14322281U JP S5849440 U JPS5849440 U JP S5849440U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- side plates
- semiconductor wafer
- rod
- shaped body
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のウェーハ保持具を示す斜視図、第２図は
この考案の一実施例を示す正面図、第３図は第２図の■
−■線での拡大断面図である。 図において、２ａ、 ２ｂは側板、３はカラー（棒状体
）、５は溝、６は半導体ウェーハ、９は貫通孔、１０は
スプリングプランジャ、１２はベアリングボール、１６
は凹部である。なお、図中同一符号は同一または相当部
分を示す。
この考案の一実施例を示す正面図、第３図は第２図の■
−■線での拡大断面図である。 図において、２ａ、 ２ｂは側板、３はカラー（棒状体
）、５は溝、６は半導体ウェーハ、９は貫通孔、１０は
スプリングプランジャ、１２はベアリングボール、１６
は凹部である。なお、図中同一符号は同一または相当部
分を示す。
Claims (1)
- 棒状体によって平行に保持された２つの側板の対向面に
それぞれ所定ピッチで複数の溝が上記各側板の一方の端
面にのみ開口するように形成され上記両側板間で対をな
す上記溝に上記開口の側から半導体ウェーハを挿入して
保持させるものにおいて、少な（とも一方の上記側板に
上記棒状体が挿入され摺動可能な貫通孔を設けるととも
に、スプリングプランジャをそのベアリングボールの先
端が上記貫通孔内へ突出するように埋設し、かつ上記棒
状体外周面にはその軸方向に所望間隔をおいて上記ベア
リングボールの先端がはまり込む腹数個の凹部を設け、
当該側板を任意の上記凹部に対応する位置で半固定し得
るようにしたことを特徴とする半導体ウェーハ保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14322281U JPS5849440U (ja) | 1981-09-26 | 1981-09-26 | 半導体ウエ−ハ保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14322281U JPS5849440U (ja) | 1981-09-26 | 1981-09-26 | 半導体ウエ−ハ保持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5849440U true JPS5849440U (ja) | 1983-04-04 |
Family
ID=29936215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14322281U Pending JPS5849440U (ja) | 1981-09-26 | 1981-09-26 | 半導体ウエ−ハ保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5849440U (ja) |
-
1981
- 1981-09-26 JP JP14322281U patent/JPS5849440U/ja active Pending
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