JPS58501552A - 磁気誘導型流量測定装置用測定値検出器 - Google Patents

磁気誘導型流量測定装置用測定値検出器

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JPS58501552A JP57501545A JP50154582A JPS58501552A JP S58501552 A JPS58501552 A JP S58501552A JP 57501545 A JP57501545 A JP 57501545A JP 50154582 A JP50154582 A JP 50154582A JP S58501552 A JPS58501552 A JP S58501552A
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ビツトナー・フランツ
ポールトマン・ボウデヴイーン・ヨーゼフ
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ロスカム・アブラム・クラース
シユテーフエンス・ウド
トロンプ・ヴオウター・テウニス
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レオメトロン アクチエンゲゼルシヤフト
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 磁気誘導型流量測定装置用測定値検出器本発明は、鋼ケーシング内に配置され、 直径の向合う2つの偏に、シャフトが半径方向に測定管の管壁を通して案内され てこれに固定されている測定電極ならびに管壁上に配置された磁気コイルを備え ているセラミック測定管からなる、磁気誘導型流量計用測定値検出器に関する。
さらに、本発明はかかる測定値検出器のセラミック測定管に測定電極および他の 導電構成部材を固定する方法に関する。
磁気誘導型流量計の成分は、導管の接続フランジの間に固定されかつそれを通っ て導電性液体が磁界の方向に対して横方向に流れる筒状の測定値検出器である。
流速に比例する電圧が2つの測定電極に印加され、電流導体によって測定値変換 器に供給される。一般に、測定値検出器の測定管は、内壁面に絶縁層を備える金 属管もしくはプラスチック管よりなる。
さらに、西ドイツ国特許公開第2330593号明細書からはノξツキンリング を間挿して導管の2つのフランジの間に取付けることのできる、セラミック測定 管を有する測定値検出器が公知となっている。セラミック電気絶縁体の形に製造 された測定管においては、電極は釉薬をかけた内壁面に焼付けられかつ半径方向 の孔を通って案内される導線を備えている。
フランジは囲繞する肩部を備え、該肩部に外部から巻付けられる被覆薄板が接す る。しかしこの構造は、セラミック測定管における半径方向の孔が、高圧下の液 体が通過する際にセラミック管のひび割れおよび破砕を惹起する脆弱個所を形成 するという欠点を有する。
また、釉薬をかけた内壁面に測定電極を焼付けることにより完全な密封が保証さ れていない。セラミック素地に塗布された釉薬は、しばしば異なる熱膨張および 応力のため亀裂が入シ、その結果高圧下の液体が素地の細孔を通って外部へ流出 しうる。
さらに、測定値検出器のセラミック測定管は打撃および衝撃作用に対して極めて 敏感であって、引張り応力を僅かしか吸収することができない。かかるセラミッ ク材料は、測定すべき熱い液体と関連して生じうるような温度変化に対して良好 な耐性を有しない。従って、高圧下の液体ならびに腐蝕性の熱い液体に対しては 、西ドイツ国特許公開第2330593号による測定値検出器は適当でない。さ らに、ヨーロツノク特許庁特許公表明細書第0047342号からは、測定電極 を収容する、プラスチックまたはセラミックからなる測定管が軸方向に筒状鋼ケ ーシング中へ挿入可能に構成され、磁気コイルが外部から半径方向にケーシング を通る切欠部中へ導入されていて、測定管の袋孔中へ突出する、測定値検出器は 公知である。測定電極は測定管の側方の孔中へ導入され、接合されている。しか しこの構造は、側方の切欠部および孔の配置のため実際にプラスチックからなる 測定管に対して適当であるにすぎず、セラミックからなる測定管に対しては適当 ではない。
さらに、測定値検出器において、その測定管と導管の接続フランジとの間に、導 電性液体と接触しかつ直接に接地されているかあるいは測定値検出器の接地され ている金属ケーシングと導電的に結合している接地リングを取付けることも公知 である。しかしながら、これらの接地リングはその両側にノξソキンリングを必 要とする。かかる構造は面倒であって、しばしば漏れを生じる。
これに対して、本発明の課題は、高圧下の腐蝕性の熱い液体に対しても適当であ るとともに著しく良好な機械的強度を有する、とくに液密で抵抗力のあるセラミ ック測定管を有する頭記形式の測定値検出器を開発することである。この発明課 題は、かかる測定管を製造するのにとくに適当な方法を包含する。
この課題は本発明によれば、測定電極のシャフトが密に焼結導入されている、オ キサイドセラミックからなる密に焼成された材料からなる測定管によって解決さ れる。
本発明により構成された測定管に役立つのは、まず形状正確な製造可能性、およ び高い素地密度、高い曲げ破壊強度および引張り強度のようなオキサイドセラミ ックのすべての有利な材料特性および焼成きれた素地の後加工性である。焼結導 入された電極のシャフトによって、電極通過孔の範囲における完全な密封が保証 されているだけでなく、孔等によって惹起される脆弱部分も排除さ7れ、その結 果セラミック測定管は著しく高い機械的強度を有する。高い機械的強度のため、 圧縮強度および曲げ強度を高める、金属材料からなる被覆体を必要としない。密 に焼成されたオキサイドセラミックは、素地が液体を吸収しない程度の高い素地 密度を有する。さらに、オキサイドセラミックは多数の化学的腐蝕性の液体に対 して抵抗性があシ、これから製造した測定値検出器は著しく大きい利用範囲を有 する。300℃以上の温度を有する熱い液体も新規測定値検出器を用いて測定す ることができる。
さらに、測定管の表面あらさけ、接地リングおよび/または電極導出体を形成す るための薄い導体路を設けるのを許容する。
オキサイドセラミックは、酸化物および酸化物化合物からセラミック法に従って 製造される大体において珪酸を有しない材料である。これに入るのはなかんずく 酸化アルミニウムであるが、ベリリウム、マグネシウム、クルコニウム、トリウ ムの酸化物、酸化マグネシウムアルミニウム等のような酸化物型化合物もこれに 入る。本発明においては、直接にオキサイドセラミックの群には入らなくても、 同じかまたは同様の性質を有するすべての他のセラミック材料も適当である。
オキサイドセラミックの粉末状原料は圧縮により、たとえば型押プレスまたは等 圧プレスによって成形し、引続き原料の種類に依存する高い温度で焼結する。酸 化アルミニウムの焼結はたとえば約1800℃で行なわれる。焼結によって粉末 団塊を固い物体に変え、その際物体は溶融しないかまたは部分的溶融が起きるに すぎない。
オキサイドセラミックからなる測定管中に焼結導入された電極シャフトならびに 電極の形は寸法定め、殊に内径によシ種々に構成されていてもよい。内径が小さ く、内壁面にある電極個所に接近し難い場合には、直径約1.5mmで、その内 方に向けられた端部が測定液体と連絡している電極面を形成する簡単な針金ない しはビンを焼結導入することができる。その代9に、焼結導入されたシャフトが 電極面を形成する底を有する細管から戎っていてもよい。電極個所が接近しうる 場合には、シャフトとしてビンまたは細管を焼結導入し、これを引続き電極面を 形成し、測定管の内壁面にある凹部に嵌っている小板と結合することが可能であ る。
さらに、細管を焼結導入することができ、この中へは測定管の内壁からビンが挿 入され、該ビンは測定管の外部に存在する細管の縁と密に溶接されている。
シャフトおよび電極は有利に白金または白金合金からなる。しかし、焼結導入で きるとともにオキサイドセラミックとの化学的結合およびその電極面での酸化を 排除する他の導電性金属も適当である。
良好々機械的強度およ゛び研磨によるオキサイドセラミックの後加工性は、磁気 コイルをも収容しかつ導管の双方のフランジに固定できる鋼ケーシング内での測 定管のとくに簡単で確実な固定を可能にする。これは、測定管がその端部で鋼ケ ーシングの孔中に収縮応力によって固定されていることによって行なわれる。焼 ばめ固定は測定管をねじれおよび軸方向のずれに対して保護し、従ってあとでの 後調整は不要である。
また、測定管の機械的強度を損なう、特別な固定フランジ用の外壁内の保持孔も 不要である。この固定形式によって、セラミック測定管は鋼ケーシング内に41 にされて存在し、むしろ測定値検出器が落ちるかまたはそれに強い打撃または衝 撃作用の生じる場合にセラミック材料の破壊を阻止する。最後に、焼ばめは鋼ケ ーシングの内部を測定値検出器の周壁面に対して液密に密封する。この密封が極 端な場合に不十分であるときには、周壁面ないしは孔面上に付加的に薄い・ξノ キン材料等を設けることもできる。また、熱い液体によって焼ばめが低下するよ うな温度に加熱される測定値検出器に対しては、接着ないしは接合によってケー シングの孔中でのフランジの付加的な固定が設けられていてもよい。焼ばめの設 けられていない簡単な構造に対しては、固定を接着ないしは接合によって行なう こともできる。比較的薄い壁厚を有するセラミック測定管の場合でも、収縮応力 による固定が可能である。必要に応じ、測定管の端部上にセラミックまたは金属 材料からなる支承リングが焼ばめによって固定されていてもよく、該支承リング を用いて測定管は鋼ケーシングの孔中に収縮応力によって固定されている。しか し、測定管の端部に半径方向に外方を指すフラン)を設け、それを用いて測定管 を鋼ケーシングの孔中に収縮応力によって固定させることも可能である。この場 合、有利にフランジの周壁面は焼はめに適当な外径に研磨されている。
オキサイドセラミックはその多結晶性構造のため完全に円滑に作用する表面の場 合でも、接地リングを形成する導体路を測定管の少なくとも1つの端面に設けて 接地接続と導電結合することによって本発明によシミ気の導体路を設けるために 利用される表面あらさを有する。この場合、接地リングを形成する導体路を測定 管の内壁面を拡張する面取り部上に設け、測定管の端面上に半径方向に設けられ かつ接地接続に役立つ1つまたは若干の導体路と結合されていてもよい。接地接 続との導電結合のためには、導体路は端面を経て測定管の外壁面にまで案内され ていてもよく、ここで該導体は接地接続を形成する、焼ばめされた鋼ケーシング と接触している。鋼ケーシングの孔中に測定管を単独かまたは収縮応力とともに 固定するために接合材料を使用する場合には、接地リングを形成する導体路と鋼 ケーシングとの間の導電性結合は接合材料中へ混入された、たとえば金属または 黒鉛からなる導電性粒、子によってもつくられる。
さらに、測定管の外壁面上に、測定電極のシャフトと導電結合されていてかつ約 半周して他の測定゛電極の傍に配置された、測定値変換器に通じる導線の接続個 所にまで到達する導体路を設けることも可能である。
この導体路は、電気絶縁セラミック体上に強固に固定された厚さ僅か数μの金属 層からなシ、かつ種々の目的に従来必要であった電気構成部材および配線部材は 省くことができる。従来、接地リングは、取付けの際に両側でパツキンリングを 用いて取付けねばならなかった特別な構成部材であったが、これは本発明によれ ば測定値検出器の固定成分である。測定値変換器に通じる導線のための、相並ん で存在する接続個所は配線を容易にする。必要に応じ、電極に接続された導体路 は、障害電圧の作用を排除するためにシールドを備えていてもよい。
本発明は、測定管の管壁を半径方向に通る位置に測定電極のシャフトを固定する ことによって、磁気誘導型流量計用測定値検出器のセラミック測定管に測定電極 および他の導電構成部材を固定するためにとくに適当な方法を提供し、該方法は 各測定電極のシャフトをオキサイドセラミック材料からなる未焼成の成形体中に 半径方向に配置し、成形体のセラミック焼成の際に焼結導入し、引続きセラミッ ク焼結された測定管上に金属粉末ペーストを導体路の形に塗布し、測定管をもう 一度加熱することによって焼付けることを要旨とする。
セラミックにおいては生地物とも呼ばれる未焼成成形体中にシャフトを配置する のは、粉末状原料を圧縮する際に直接成形によって行なうことができ、あるいは すぐれた方法に従いプレスした成形体中に孔を設け、該孔中へ成形体の焼成前に シャフトを導入し、その際原料混′合物への密な接触に配慮しなければなら力い 。
オキサイドセラミック材料に常用の焼結温度(たとえて・シャフトは密に焼結導 入される。焼結された測定管上に塗布すべき、導体路用の金属粉末ペーストは、 たとえば白金粉末ペーストからなっていてもよく、このものは引続き約800℃ に加熱する際に数μの薄い金属層を形成し、その際ペーストの結合成分は蒸発す るかないしは燃焼し、金属層はセラミック体の微細な凹凸のある表面に固着する 。
本発明による測定値検出器の構造およびそのための製造方法を図面につき例示的 に詳述するが;第1図はその端部がフランジ状に形成されているセラミック測定 管を有する測定値検出器の基本構造の縦断面図を示し、 第2図は焼結導入された電極シャフトを有するセラミック測定管の縦断面図を示 し、 11 器lと導管6のフランクとの間の結合は、直接ねじ締めによって行なうこともで きるし、あるいは公称直径が小さい場合には測定値検出器lを導管6のフランジ の間にゼルト等を用いて固定することも可能である。
測定値検出器lには、第2図も示すように、2つの測定電極8が所属されており 、該電極は半径方向にセラミック測定管の管壁を通って突出しかつ内壁面10に 電極面を形成する。セラミック測定管2の外壁面llに直径の両端に向合って2 つの磁気コイル9が90゜転置して配置されている。このコイルはたとえば磁極 片でセラミック測定管2の外壁面11に接することができる。さらに、鋼ケーシ ング5は磁気のもどυにも役立つ。
セラミック測定管2はオキサイドセラミックの原料から製造される。粉末状の非 塑性原料を公知方法で型押プレスを用いるかまたは等圧プレスによって圧縮する 。この成形の際に、あとでの焼結工程において現われる収縮の程度を考慮するこ とができる。
圧縮され、成形されたが、まだ未焼成の成形体中に2つの半径方向の孔を設け1 次いでこの孔中へ白金からなるそれぞれ1つのシャフト13を挿入する。焼結導 入すべきシャン)13および電極面は、測定管2および所定の電極形の寸法定め に応じ種々に構成されていてもよい。約15mmまでの小さい公称径を有する測 定管2の内壁面10における電極個所が接近し難い場合3 2 ?!表昭58−5(11552(5) には、その内方へ向けられた端部が直接に測定液と導電結合している電極面を形 成するシャフト13が選択される。このためには、たとえば直径約15間の簡単 な針金ないしはビン(第2図の上半部参照)または閉じた底15を有する細管1 4(第5図参照)を使用することができる。第5図による実施例では細管14は 、底15が焼結後セラミック測定管2の内壁面10に対しほぼ一列になる程度に 挿入される。測定管2の内壁面10における電極個所が接近し易い場合には、シ ャフト13として中実のビン16(第6図参照)、または電極面を形成する小板 が形成または固定されている細管を焼結導入することができるか、あるいは焼結 導入後に細管にかかる小板を溶接するかまたは鋲留めする。ビンまたは細管の形 のシャフト13は白金、または次いでオキサイドセラミックを焼結する際にセラ ミック材料と化学結合せず、高い温度においてその表面が酸化しない他の金属か らなる。
オキサイドセラミックの原料がたとえば酸化アルミニウムからなる場合、セラミ ック測定管2の焼結は約1800℃で行なわれる。他・のオキサイドセラミック 材料に対しては相応する焼結温度を維持すべきである。
焼結工程後、シャン)13はセラミック測定管2の管壁中へ気密に焼結導入され ている。第2図の上半部にはシャフト13が示されており、該シャフトはその内 方に向いた端部で直接に測定電極8ないしは測定電極面を形成する。これに対し て第2図の下半部には、シャン)13が第6図に拡大尺で示すような中実ビン1 6として構成されている1実施例が示されている。ここでは内壁面10には孔1 2ないしはビン16とともに凹部17が設けられている。セラミック測定管を焼 結した後、シャン)13ないしはビン16は密に溶着されている。次いで、内方 を指すシャン)13ないしはビン16の端部上に、小さい孔を備える小板18を 装着してこの凹部17中へ嵌込む。次に、小板18を通って突出するシャフト1 3ないしはビン16の端部を小板18と導電結合し、たとえば鋲頭19に成形す る。この実施例では、小板18は内方を指す電極面を形成する。
内部から接近しうる電極個所を有する測定管2に対しては、第7図に略示された 、まず両端の開いた細管32が焼結導入される実施例を選択することができる。
引続き、焼結導入された細管32中へ、電極面を形成する小板34を有しかつ測 定管2の外部に存在する細管32の縁と密に溶接されているビン33を挿入する (第7図の溶接接口35参照)。
種々に形成しうるシャン)13は、既にあげた方法で未焼成の成形体の半径方向 の孔12中へ挿入することができる。同様に、シャフト13は種々の実施形で直 接に、オキサイドセラミック材料からなる測定管2を圧縮および形成する際に成 形することも可能である。
第1図〜第4図に示された測定管2をセラミック焼成した後、周壁面26および 端面22を研磨によって後加工する。この場合、周壁面26の外径は、鋼ケーシ ング5の孔4中に収縮応力による固定を可能にするように選択すべきである。セ ラミック焼成され、引続き研磨された測定管2上へ、導体路21.23および2 4を白金ペーストを塗布することによって設ける。
2つの導体路21は、測定管2の両端面の端部でそこに形成された面取シ部20 の範囲に配置されている。
両導体路は、さらに熱処理後、半径方向に端面22に配置された導体路23によ って結合されている接地リングを形成する。導体路24は一方の電極8のシャン )13に続き、管外壁11を半周して他方の測定電極8の向合うシャフト13の ほぼ傍にまで案内され、接続個所25に終っている。白金ペーストは常法で塗装 、印捺するかまたは圧着することができる。引続き、白金ペーストを備えるセラ ミック測定管を、ペーストの性状に依存してもう一度約800℃以上に加熱する 。
この場合、白金ペーストに含まれている金属粉末を圧縮して、セラミック材料の 軽度の凹凸表面中に固着されていて電流導体を形成する緻密な金属膜にする。白 金ペーストの代りに、焼付ないしは蒸着によって付着性導体路を形成する他の材 料を使用することができる。
測定管2の端部の端部に設けられた導体路21は。
障害電圧を導出するために、半径方向の導体路23と結合して、導電性測定液の 接地に役立つ。これに反して、管外壁11に案内された導体路24は、設ける際 に、2つの密に相並んで存在する個所、即ち一方の測定電極8のシャフト13の 外端部および他方の測定電極8の接続個所25に配線できる。
この方法による導体路は、セラミック測定管2上に他の目的のために設けられて いてもよい。たとえば、管内壁面10に、シャフト13と結合しておりかつ平面 電極を形成する平面状導体路ないしは導体エレメントを設けることが可能である 。
導体路21.23および24を備える測定管2は。
研磨した。フランジ3の周壁面26と、鋼ケーシング5の孔4中に収縮応力によ って固定される。この固定のためには、鋼ケーシング5を300 ’C以上の温 度に加熱し、冷測定管2のフランク3上にねじ締めし、その際オキサイドセラミ ック材料の良好な温度変化耐性を利用する。簡単な実施例で収縮応力による固定 が必要でない場合には、周壁面26の外径は、常温で孔中へ挿入できかつ固定が 支承面の接着ないしは接合によって行なわれるように構成されていてもよい。
第1図〜第4図により末端フランジ3を備えるセラミック測定管はとくに小さい 貫流横断面に対して適当であるが、オキサイドセラミックからなる測定管2に簡 単な管形を与えることも可能であり、この場合壁厚は第8図および第9図に示さ れているように比較的薄くてもよい。このように形成されかつ密に焼成されたオ キサイドセラミックからなる測定管においても、測定電極のシャフトは密に焼結 導入されており、収縮応力による鋼ケーシング5内での固定および導体路の設置 が可能である。第8図の左側に図示されているよう々収縮応力による直接固定と ともに、第8図の右側に応じて、測定管2の端部上にセラミックまたは金属材料 からなる少なくともそれぞれ1つの支承リング27を焼ばめによって固定し、引 続き測定管をとの支承リング27を用いて鋼ケーシング5の孔4中に収縮応力に よって固定することも可能である。第10図に示した実施例は収縮応力による直 接固定を示し、その隙孔4は、オキサイドセラミックからなる薄壁の測定管2の 有利な固定にとくに適当である比較的大きい支承面を形成する。さらに、第10 図は導管(図示せず)に接続するための常用のケーシングフランジ28の配置お よび側方の切欠部29を示し、この切欠部中へ磁気コイル3oが外部から挿入可 能でありかつねじ締め可能の覆板31を備えている。
オキサイドセラミックにはなかんずく酸化アルミニウム、へIJ IJウム、マ グネシウム、ジルコニウム、トリウムの酸化物、酸化マグネシウムアルミニウム 等のような酸化物型化合物もこれに属する。しかし、直接にオキサイドセラミッ クの群に属しない場合でも、同じかまたは類似の性質を有するすべての他のセラ ミック材料、たとえばステアライト等も本発明において適当である。
浄書(内容に笈更なし) 手続補正書(方式) 昭和58年7 月74−日 特許庁長官殿 1、事件の表示 PCT/EP 82/○O○972、発明の名称 磁気誘導型流量測定装置用測定値検出器3補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 レオメトロン アクチェンゲゼルシャフト4、代 理 人 住 所 〒100 東京都千代田区丸の内3丁目3番1号6補正の対象 (3)図面の翻訳文 国、際調査報告 第1頁の続き 0発 明 者 ロスカム・アブラム・クラースオランダ国NL−スレーウヴイー ク・う1イン・デル・ルーラウ21 0発 明 者 トロンプ・ヴオウター・テラニスオランダ国NL−スリートレヒ ト・クリスチアン・ハイジエンストラート17

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.鋼ケーシング内に配置されかつM経の向合う2つの側に、シャフトが半径方 向に測定管の管壁を通って案内されてこれに固定されている測定電極、ならびに 管壁上に配置された磁気コイルを備えているセラミック測定管からなる、磁気誘 導型流量計用測定値検出器において、測定管(2)がオキサイドセラミックから なる密に焼成された材料からなり、該材料中に測定電極(8)のシャツ) (1 3)が密に焼結導入されていることを特徴とする磁気誘導型流量計用測定値検出 器。 2 焼結導入されたシャフト(13)がピン(16)または細管(14,32) からなり、これらは電極面を形成しかつ測定管(2)の内壁面(10)における 凹部(17)中に嵌入している小板(18,34)と結合している、請求の範囲 第1項記載の測定値検出器。 3、焼結導入されたシャツ) (13)が電極面を形成する底(15)を有する 細管(14)からなる、請求の範囲第1項記載の測定値検出器。 4、 焼結導入されたシャツ)(13)が細管(32)からなシ、該管中に測定 管(2)の内壁面(10)からピン(33)が挿入され、このピンが測定管(2 )の外部に存在する細管(32)の縁と密に溶接されている、請求の範囲第1項 記載の測定値検出器。 5、測定管(2)はその端部で収縮応力によって鋼ケーシング(5)の孔(4) 中に固定されている、請求の範囲第1項〜第4項のいずれか1項記載の測定値検 出器。 6、測定管(2>の端部上にセラミックまたは金属材料からなる支承リング(2 7)が焼ばめによって固定され、該支承リングで測定管(2)は鋼ケーシング( 5)の孔(4)中に収縮応力によって固定されている、請求の範囲第5項記載の 測定値検出器。 7 測定管(2)はその端部に半径方向に外方を指すフランジを備え、該フラン ジで測定管(2)は鋼ケーシング(5)の孔(4)中に収縮応力によって固定さ れている、請求の範囲第1項〜第5項のいずれか1項記載の測定値検出器。 8、 フラン)(3)の周壁面(26)が焼ばめに適した外径に研磨されている 、請求の範囲第7項記載の測定値検出器。 9、測定管(2)が鋼ケーシング(5)の孔(4)中に接着ないしは接合によっ て固定されている。請求の範囲第1項〜第4項のいずれか1項記載の測定値検出 器。 lO接地リングを形成する導体路(21)が測定管(2)の少なくとも1つの端 面側に設けられ、接地接続と導電結合されている、請求の範囲第1項〜第9項の いずれか1項記載の測定値検出器。 11、接地リングを形成する導体路(21)が測定管(2)の内壁面(10)を 拡張する面取り部(20)つまたは若干の導体路(23)と結合している、請求 の範囲第10項記載の測定値検出器。 12、測定管(2)の外壁面(11)上に導体路(24)が設けられ、該導体路 は測定電極(8)のシャフト(13)と導電結合されていてかつほぼ半周して他 方の測定電極(8)の傍に配置された、測定値発生器に通じる導線用接続個所( 25)に到達する、請求の範囲第1項〜第11項のいずれか1項記載の測定値検 出器。 13、磁気誘導型流■耐用測定値検出器のセラミック測定管に測定電極および他 の導電構成部材を、測定電極のシャフトを測定管の管壁を半径方向に通る位置に 固定することによって固定する方法において、各測定電極(8)のシャフト(1 3)を、オキサイドセラミック原料からなる未焼成の成形体中に半径方向に配置 し、成形体のセラミック焼成の際に焼結導入し・引続きセラミック焼結された測 定管(2)上に金属粉末被−ストを(1梼21,23,24)の形で塗布し、測 定管(2)をもう一度加熱することによって焼付けることを特徴とする磁気誘導 型流量計用測定値検出器のセラミック測定管に測定電極および他の導電構成部材 を固定する方法。 146 測定電極(8)およびシャツ)(13)に対しては白金または白金合金 を使用し、導体路(21,23,24)に対しては白金粉末ペーストを特徴する 請求の範囲第13項記載の方法。 15 測定管(2)が密に焼結された酸化アルミニウムからなり、シャフト(1 3)を約1800℃で焼結導入し、白金粉末ペーストを約δOO℃の温度で焼付 ける、請求の範囲第13項または第14項記載の方法。 16゜測定管(2)の未焼成の成形体を型押プレス中かまたは等圧的にプレスし 、引続きシャツ)(13)を挿入するための半径方向の孔を設ける。請求の範囲 第13項〜第15項のいずれか1項記載の方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61259122A (ja) * 1985-05-14 1986-11-17 Yamatake Honeywell Co Ltd 電磁流量計

Families Citing this family (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3244473A1 (de) * 1982-12-01 1984-06-07 Interatom Internationale Atomreaktorbau Gmbh, 5060 Bergisch Gladbach Magnetisch-induktiver durchflussmesser fuer hohe temperaturen
DE3362838D1 (en) * 1983-01-18 1986-05-15 Rheometron Ag Pick-up device for electromagnetic flow meters
EP0120145B1 (de) * 1983-03-23 1986-07-30 Rheometron Ag Messwertaufnehmer für magnetisch-induktive Durchflussmessgeräte
DE3344679C2 (de) * 1983-12-10 1987-01-29 Rheometron AG, Basel Verfahren zum Einbringen stiftförmiger Elektroden oder Elektrodenschäfte aus metallischem Werkstoff in ein keramisches Meßrohr für magnetisch-induktive Durchflußmeßgeräte
DE3401377C2 (de) * 1984-01-17 1986-11-13 Danfoss A/S, Nordborg Elektromagnetischer Durchflußmesser
DE3423921A1 (de) * 1984-06-29 1986-01-02 Danfoss A/S, Nordborg Elektromagnetischer durchflussmesser
DE3545155C2 (de) * 1984-12-26 1994-03-10 Toshiba Kawasaki Kk Elektromagnetisches Durchflußmeßgerät
DE3511033A1 (de) * 1985-03-27 1986-10-02 Rheometron AG, Basel Messwertaufnehmer fuer magnetisch-induktive durchflussmessgeraete
US4722231A (en) * 1985-05-14 1988-02-02 Yamatake-Honeywell Co., Ltd. Electromagnetic flowmeter
US4741215A (en) * 1985-07-03 1988-05-03 Rosemount Inc. Flow tube for a magnetic flowmeter
US4782709A (en) * 1985-08-19 1988-11-08 Yamatake-Honeywell Co., Ltd. Electromagnetic flowmeter
JPS62187181A (ja) * 1986-02-12 1987-08-15 株式会社東芝 導電性棒体のセラミツクス体への内嵌封着方法
DE3634492C2 (de) * 1986-10-09 1995-04-13 Fischer & Porter Gmbh Verfahren zum Herstellen einer vakuumdichten und druckdichten Verbindung zwischen einem Körper aus Metall und einem Körper aus gesinterter Oxidkeramik
JPH0619285B2 (ja) * 1987-10-23 1994-03-16 株式会社日立製作所 外筒を有するセラミック導管
JPH01169321A (ja) * 1987-12-25 1989-07-04 Yamatake Honeywell Co Ltd 電磁流量計電極部の製造方法
US4912838A (en) * 1987-12-25 1990-04-03 Yamatake-Honeywell Co., Ltd. Method of manufacturing electrode for electromagnetic flowmeter
DE3844893C2 (de) * 1987-12-25 1999-07-29 Yamatake Corp Verfahren zur Herstellung eines elektromagnetischen Durchflußmessers und elektromagnetischer Durchflußmesser
JPH0625681B2 (ja) * 1988-05-19 1994-04-06 山武ハネウエル株式会社 電磁流量計
NL8900021A (nl) * 1989-01-05 1990-08-01 Rheometron Ag Elektromagnetische doorstroommeter.
JP2931931B2 (ja) * 1991-05-30 1999-08-09 株式会社日立製作所 電磁流量計
US5289725A (en) * 1991-07-31 1994-03-01 The Foxboro Company Monolithic flow tube with improved dielectric properties for use with a magnetic flowmeter
EP0554059B1 (en) * 1992-01-31 2002-07-24 Kabushiki Kaisha Toshiba Electromagnetic flowmeter
US5280726A (en) * 1992-04-03 1994-01-25 Aluminum Company Of America Apparatus and method for measuring flow rate of molten aluminum through a trough
US5368220A (en) * 1992-08-04 1994-11-29 Morgan Crucible Company Plc Sealed conductive active alloy feedthroughs
US5600530A (en) * 1992-08-04 1997-02-04 The Morgan Crucible Company Plc Electrostatic chuck
DE4327876C2 (de) * 1993-08-19 2002-10-10 Danfoss As Meßstrecke für einen elektromagnetischen Durchflußmesser und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE4445591C2 (de) * 1994-10-07 1997-10-16 Krohne Messtechnik Kg Magnetisch-induktives Durchflußmeßgerät für strömende Medien
CN1074537C (zh) * 1994-10-07 2001-11-07 克洛纳测量技术公司 磁感应流量计
DE19535997C2 (de) 1995-09-27 1997-09-25 Ketelsen Broder Induktiver Durchflußmesser
GB2328021B (en) * 1997-08-01 2001-11-28 Abb Kent Taylor Ltd Electromagnetic flow sensor and assembly method
US6600402B1 (en) * 1998-10-20 2003-07-29 Vlt Corporation Bobbins, transformers, magnetic components, and methods
US6593836B1 (en) 1998-10-20 2003-07-15 Vlt Corporation Bobbins, transformers, magnetic components, and methods
US7480988B2 (en) * 2001-03-30 2009-01-27 Second Sight Medical Products, Inc. Method and apparatus for providing hermetic electrical feedthrough
GB2385667A (en) * 2002-02-26 2003-08-27 Danfoss As Insert for an inductive flowmeter
US6598487B1 (en) * 2002-05-20 2003-07-29 Marsh-Mcbirney, Inc. Magnetic flowmeter having a separable magnet/electrode assembly
US7331242B2 (en) * 2002-08-23 2008-02-19 Ohio University System for testing paving materials
WO2004019177A2 (en) * 2002-08-23 2004-03-04 Sang-Soo Kim Device and method for testing paving materials
US7170385B2 (en) * 2004-11-18 2007-01-30 Simmonds Precision Products, Inc. Inductive proximity sensor and method of assembling the same
DE202005001549U1 (de) * 2005-02-01 2005-04-21 Abb Patent Gmbh Magnetisch-induktives Durchflussmessgerät
US7155983B2 (en) * 2005-02-04 2007-01-02 Entegris, Inc. Magnetic flow meter with unibody construction and conductive polymer electrodes
DE202005021832U1 (de) * 2005-06-24 2010-06-10 Abb Ag Magnetisch induktiver Durchflussmesser mit galvanischen Messelektroden
DE102005044677A1 (de) * 2005-09-19 2007-03-29 Abb Patent Gmbh Magnetisch-induktiver Durchflussmesser mit einer Erdungsscheibe
DE102008038163B4 (de) * 2008-08-18 2010-10-21 Abb Technology Ag Durchflussmesseinrichtung
DE202008017787U1 (de) * 2008-09-22 2010-07-15 Abb Technology Ag Durchflussmesseinrichtung, insbesondere induktive Durchflussmesseinrichtung
JP5202368B2 (ja) * 2009-02-03 2013-06-05 株式会社東芝 測定装置
RU2575976C2 (ru) * 2011-04-01 2016-02-27 ДЭНИЕЛ МЕЖЕМЕНТ энд КОНТРОЛ, ИНК. Ультразвуковой расходомер, имеющий кабельный кожух (варианты)
US9021890B2 (en) 2012-09-26 2015-05-05 Rosemount Inc. Magnetic flowmeter with multiple coils
US8991264B2 (en) 2012-09-26 2015-03-31 Rosemount Inc. Integrally molded magnetic flowmeter
DE102016104551B4 (de) * 2016-03-11 2025-04-03 Krohne AG Verfahren zur Ausstattung eines Coriolis-Massedurchflussmessgeräts mit elektrischen Verbindungen
JP6940436B2 (ja) * 2018-03-13 2021-09-29 アズビル株式会社 電磁流量計
DE102018115629A1 (de) 2018-06-28 2020-01-02 Endress+Hauser Flowtec Ag Magnetisch-induktives Durchflussmessgerät und ein Verfahren, zum Herstellen eines solchen magnetisch-induktiven Durchfluss-messgerätes
US12044560B1 (en) 2019-10-18 2024-07-23 Thompson Equipment Company, Inc. High pressure Magmeter and method of assembly
CN112105895B (zh) * 2019-11-04 2023-09-22 深圳市大疆创新科技有限公司 电磁流量计、喷洒装置和可移动平台
US11333538B2 (en) * 2020-04-22 2022-05-17 Saudi Arabian Oil Company Systems and methods for fluid flow measurement with mass flow and electrical permittivity sensors
DE102022108431A1 (de) 2022-04-07 2023-10-12 Krohne Ag Spulenanordnung für ein Durchflussmessgerät und Verfahren zum Herstellen einer Spulenanordnung
CN115371748A (zh) * 2022-08-23 2022-11-22 深圳市富罗瑞达仪器仪表有限公司 联网报警式电磁流量计
DE102022210183A1 (de) 2022-09-27 2024-03-28 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zum Herstellen einer Messröhre Durchflussmessgerät, Computerprogrammprodukt und Verwendung eines Durchflussmessgeräts

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5545250B2 (ja) * 1976-06-22 1980-11-17

Family Cites Families (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR522115A (fr) * 1918-09-23 1921-07-25 Lucien Levy Bougie d'allumage pour moteurs à explosions
US2355443A (en) * 1942-02-23 1944-08-08 Champion Spark Plug Co Method of sealing spark plug electrodes in ceramic insulators
US2564738A (en) * 1947-02-25 1951-08-21 Foerderung Forschung Gmbh Method of forming a vacuum-tight bond between ceramics and metals
GB674484A (en) * 1950-06-15 1952-06-25 Degussa Improvements in or relating to resistance-thermometers
US2966704A (en) * 1957-01-22 1961-01-03 Edward D O'brian Process of making a ferrite magnetic device
DE1098727B (de) * 1959-10-22 1961-02-02 Siemens Ag Elektrodendurchfuehrung fuer die induktive Durchflussmessung
DE1841130U (de) * 1961-08-26 1961-11-09 J C Eckardt A G Elektrode fuer elektromagnetische durchfluss-messer.
US3254403A (en) * 1964-11-24 1966-06-07 Hughes Aircraft Co Ceramic-metal seal
US3324543A (en) * 1965-03-26 1967-06-13 Charles I Mcvey Pressure bonded ceramic-to-metal gradient seals
US3527937A (en) * 1967-04-11 1970-09-08 Perkin Elmer Corp Electron bombardment type ion source for a mass spectrometer
US3517437A (en) * 1967-06-19 1970-06-30 Beckman Instruments Inc Method of forming a terminal structure in a refractory base
GB1156875A (en) * 1967-07-07 1969-07-02 Mawdsley S Ltd Improvements in or relating to Electromagnetic Flowmeters.
US3706582A (en) * 1968-09-20 1972-12-19 Gte Sylvania Inc Glass frit-ceramic powder composition
JPS5711879B1 (ja) * 1970-02-20 1982-03-06
US4050956A (en) * 1970-02-20 1977-09-27 Commonwealth Scientific And Industrial Research Organization Chemical bonding of metals to ceramic materials
US3750468A (en) * 1971-04-08 1973-08-07 Fischer & Porter Co Lined flow tube for electromagnetic flowmeter
DE2119705A1 (en) * 1971-04-22 1972-10-26 Marston Excelsior Ltd., Wolverhampton; Wyatt, Derek Gerald, Oxford; Clark, Delia Margaret, Somerset; (Großbritannien) Precious metal electrodes - of precious metal bonded to gold or platinum base
US3746896A (en) * 1972-06-12 1973-07-17 Sybron Corp Electromagnetic flow transducers having laminar electrodes
GB1424875A (en) 1972-06-19 1976-02-11 Sybron Corp Electromagnetic flow transducers
US3876680A (en) * 1972-07-14 1975-04-08 Gulf Research Development Co Catalyst for the hydrogenation of aromatics
US3786680A (en) * 1972-11-01 1974-01-22 D Clark Voltage sensing system
DE2306236C2 (de) * 1973-02-08 1982-11-25 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur Herstellung von Schichtschaltungen mit leitenden Schichten auf beiden Seiten eines Keramiksubstrates
JPS5119592A (en) * 1974-08-09 1976-02-16 Nissan Motor Gasunodo kenshutsuki
JPS6012575B2 (ja) * 1977-04-25 1985-04-02 株式会社日本自動車部品総合研究所 ガス成分検出器
DE2628667A1 (de) * 1976-06-25 1977-12-29 Bosch Gmbh Robert Verfahren und vorrichtung zum befestigen der mittelelektrode in einem keramischen zuendkerzen-isolator
US4117588A (en) * 1977-01-24 1978-10-03 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Method of manufacturing three dimensional integrated circuits
JPS588449B2 (ja) * 1977-04-08 1983-02-16 株式会社東芝 電磁流量計
JPS5835367B2 (ja) * 1978-07-18 1983-08-02 ミツミ電機株式会社 回路素子基板及びその製造方法
IL60373A (en) * 1979-07-09 1984-08-31 Uop Inc Solid electrolyte oxygen sensor and its manufacture
DE2950039C2 (de) * 1979-12-13 1982-11-25 Krohne Meßtechnik GmbH & Co KG, 4100 Duisburg Elektroden für elektromagnetische Durchflußmesser
GB2068122A (en) * 1980-01-24 1981-08-05 Atomic Energy Authority Uk Electromagnetic flowmeters
EP0047342B1 (de) * 1980-09-04 1984-01-11 Rheometron Ag Messwertaufnahmeeinrichtung für magnetisch-induktive Durchflussmessgeräte
US4398980A (en) * 1981-07-24 1983-08-16 Kelsey Jr Paul V Method for fabricating a seal between a ceramic and a metal alloy
DE3362838D1 (en) * 1983-01-18 1986-05-15 Rheometron Ag Pick-up device for electromagnetic flow meters
DE3318585A1 (de) * 1983-05-21 1984-11-22 Friedrichsfeld Gmbh, Steinzeug- Und Kunststoffwerke, 6800 Mannheim Verfahren zur herstellung einer vakuumdichten verbindung und ein derart hergestellter verbundkoerper
DE3344679C2 (de) * 1983-12-10 1987-01-29 Rheometron AG, Basel Verfahren zum Einbringen stiftförmiger Elektroden oder Elektrodenschäfte aus metallischem Werkstoff in ein keramisches Meßrohr für magnetisch-induktive Durchflußmeßgeräte

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5545250B2 (ja) * 1976-06-22 1980-11-17

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61259122A (ja) * 1985-05-14 1986-11-17 Yamatake Honeywell Co Ltd 電磁流量計

Also Published As

Publication number Publication date
EP0087425A1 (de) 1983-09-07
US4716649A (en) 1988-01-05
EP0080535B1 (de) 1985-08-28
IN156690B (ja) 1985-10-12
AU557076B2 (en) 1986-12-04
DE3172074D1 (en) 1985-10-03
ATE15270T1 (de) 1985-09-15
JPH0488816U (ja) 1992-08-03
JPH0522829Y2 (ja) 1993-06-11
AU9019782A (en) 1983-06-02
AU8452682A (en) 1983-06-17
EP0080535A1 (de) 1983-06-08
ZA828382B (en) 1983-09-28
US4507975A (en) 1985-04-02
WO1983002000A1 (fr) 1983-06-09

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