JPS58501734A - ダイアフラムとして形成された端面を有する円筒形の空胴共振器から成る圧力センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ダイアフラムとして形成された端面を有する円筒形の空胴共振器から成る圧力セ ンサ 発明の詳細な説明 本発明は、一定のインダクタンス及び圧力に関連して変動するキャパシタンスを 有する振動回路と、この振動回路に接続された発振器とを備える圧力センサに関 する。

この種の圧力センサは既に公知である。その振動回路は、発振器によって駆動さ れ、通常はメガヘルツ領域にあるその固有周波数は、可変キャパシタンスに応じ て変動するので、発振器信号の周波数変動は、周波数検出器を用いることによっ て、それに応じた変動を行なう直流電圧に変換することが可能である。

この種の圧力センサに用いられる周波数検出器は、通常、調整可能に構成されて おシ、従ってこの周波数検出器は、例えばセンサが圧力負荷を受けてない場合に は、電圧を放出しないで、センサ・発振器システムの搬送周波数に調節すること ができる（西ドイツ技術者協会報告第９３号「電気的な圧力測定方法とその応用 」デュソセルドルフ、１９６６年、第４４頁参照）。

これら公知となっている圧力センサは、必ずしも全ての使用例に適している訳で はない。その寸法は過度に大きく、また、ケーブルを介して、関連設備における 他の構成要素と接続されておシ、しかも、充分な長時間安定性を有してい彦いか らである。

さらに、容量型の圧力受容装置も公知である。この型式の装置においては、張設 された薄い高級鋼ダイアフラムが、貴金属製のケーシングに溶着されておシ、こ のダイアフラムのすぐ下に配置されている絶縁された電極によって、可変々キャ パシタンスが発生させられる。

この公知の圧力受容装置は、約１００キロヘルツの中心周波数を有するパルス幅 変調を行なうエレクトロニクスを備えている。この場合、ディジタル回路が、圧 力に関連したキャパシタンス変動を直流電圧信号に変換する（例えば、セトう・ システムズ・インコーホレイテッド社（５ｅｔｒａ　Ｓｙｓｔｅｍｓ　Ｉｎｃ、 　）　ｃｙ）　シリーズ２３７元しかし、この圧力受容装置の安定性と、騎にそ の温度依存性とは、必ずしも、全て○使用例にとって充分なものではなく、多く の場合、その寸法ははるかに大き過ぎ、しかも特に、直流電圧の測定信号を得る ため可変キャパシタンスのすぐ近くに配置されている高価なエレクトロニクスと 、設備全体における他の構成要素に接続するために必要なケーブルとを設けてお かなければなら力いので、多くの場合には、この装置を使用することができない 。

小さな寸法（直径約２耶、長さ約６胴）の（エントラン・デヴアイセズ・インコ ーホレイテッド社（ＥｎｔｒａｎＤＣｖｉｃｅｓ、　Ｊｎｃ、　）のＥＰＩ−０ ８０）圧電抵抗方式の半導体圧力受容装置も公知となっているが、その不充分な 安定性と温度依存性とのために、費用の嵩む較正措置が必要とされぐエム　ガー ダの大学教授資格論文「頭蓋内圧力の記録」ヴユルツブルク１９８０　年、第４ ５／４６頁）、この較正措置により、関連システムの他の構成要素とを少なくと も一時的に接続することが不可欠となる。

半導体圧力センサを、無線伝送可能力ゾンデ内で温度センサと共に使用し、両セ ンサの信号によって、ゾンデ内に位置する遠隔測定送信器の変調を行ない、圧力 センサの温度偏差を、計算によって消去することも、公知となっている。なおこ の場合、ゾンデには、無線でエネルギーか供給される（メテイカル・アンド・バ イオロジカル・エンジニアリング・アンド・コンピユーテイング、１９７９年１ 月号、第８１頁〜第８６頁）。

しかし、この公知例においては、圧力計のゼロ点偏差と較正とが正しく把握され ず、それだけに一層、後調整が出来ない。しかもその上、送信発振器の安定性も 、受信発振器の安定性も、測定に関連する。

これらの欠陥のうちのどれ一つをとってみても、長時間の測定を禁止するに足る 理由となり、仮りに、長時間の作動が可能であると、文献に発表されていたとし ても、実際には問題がある。また、公知となっている全ての圧力センサに共通す る問題は、その製作費用が著しく高いということである。

これに対し、本発明の課題とするところは、小型であシ、比較的僅かな製作費用 しか必要とせず、高い安定性を有し、温度に左右されず、しかも、全システムと の肉体的な繋がシ（ケーブル、圧力チューブなど）を必要とすることなく使用し うる圧力センサを提供することにある。

このような圧力センサは、測定室又は圧力室を、全測定システムと無関係に可動 にしておくことが必要な場合には、いつでも、丑だ、アプローチしにくい個所で 、圧力測定を行なおうとする場合にも、必要となるものである。その使用例とし ては、＆Ａする本発明の実施例における頭蓋内圧力の測定が挙げられる。そのほ かにも、例えば、自動車のタイヤ内空気圧を監視するため等に使用することがで きる。

なおこの場合、明確に指摘することができるのは、課された全ての要求を同時に 満たすような圧力計が、従来は存在しておらず、従って、例えば、遠隔測定にお ける長時間の安定性を確保するには、殊に後較正を行なうことが不可能であるこ とと、二つの発振器における不可避的な老化現象とのために、従来達成し得なか ったことである。

さらに、センサを使い捨て可能とする（このことは、少々くとも定常的に運転さ れる移植センサの場合、機械的な損傷が発生した時に実際に必要となる）ような 安い価格により、所望の精度をもって、かつ充分に小さ々寸法（直径７１１ｒｍ 以下、頭蓋骨に穿設さ九たそれよシ大きな孔は、径が７ｍ以上あると再癒着し々 い。）のものとすることも、従来は不可能であったのである。

本発明によれば、上述した課題を解決するため、冒頭に述べた型式の圧力センサ において、振動回路が、導電性の材料で製作された円筒形の容器と、該容器の端 面に張られた弾性的に撓むことのできる導電性のダイアフラムと、前記容器内で ダイアフラムから距離をおいて同軸的に配置され、かつ容器底部に固定された内 部導体とから成る空胴共振器（タンク回路）として構成されており、振動回路が 、発振器並びに発振器用給電装置と共に一つの組み立てユニットとして纒め合わ されておシ、発振器の信号が、別個の受信組み立てユニットに無線伝送されるよ うに構成されている。

測定効果を強化するためには、特許請求の範囲第２項に記載された構成を採れば よい。この場合、付加的に得られる利点として、キャパシタンスが増大させられ 、ひいては、空胴共振器において周知であるように、直径は変えることなく、空 胴共振器の長さ、つ−１！ｌ）円筒形の容器の長さを短縮せしめうるということ が挙げられる。

特許請求の範囲第３項に記載されている構成をとねば、容器の軸方向長さ寸法を 、さらに短縮することが可能である。空胴共振器のための螺旋状の内部導体は、 公知である（例えば７７クシヤウ（Ｆｕｎｋｓｃｈａｕ　）１９６１年第１０号 、第２６１頁）。

特許請求の範囲第４項、又は殊に第５項に記載された本発明の実施態様によれば 、特にすぐれた安定性と温度無関連性とが得られる。この場合、実際に問題とさ れる各種の影響、特に経過年数と温度とに対して、セラミックは、極めて不感で あること、つマシ安定していることのために、巻型と容器との温度膨張率が等し い場合には、空胴共振器においてちυうる温度依存性をも除去することができる 。

使用される材料の導電性は、空胴共振器の品質に影響を及ぼすが、このことは、 適宜なコーティングを施すことによって回避される。このような型式によれば、 公知の容量型圧力受容装置の場合に比して、温度無関連性を、少なくともファク ター２０はど改善することが可能であり、長時間安定性は、１０−゛及びそれ以 上の規模に改良される。容器の素材としては、セラミックのほかに、特に適宜な 合金とされた高級鋼を用いることができる。

従来、冒頭に述べた型式の圧力センサにおいては、回路費用が比較的高くつくと いう見解が主流を占めていた（前掲のドイツ技術者協会：ＶＤＩ＝ｉｌ告第９３ 号参照）。

しかし、本発明の手段によれば、本来の圧力センサのだめの回路費用は、発振器 を有する振動回路からの距離が極めて大きい場合ですら、周波数及び検出器に要 する回路費用を、所定のものに指定することができるので、著しく低く抑えるこ とが可能となる。従って、圧力センサを、特許請求の範囲第７項又は特に第８項 に記載されているように構成すれば、圧力センサの寸法を充分に小さくすること ができる。

特許請求の範囲第８項に記載された構成によれば、発振器のエネルギー需要を、 キーイング比に応じて低減しうるので、発振器のだめの必要電力を、僅かなもの とすることができる。なおこのことは、バッテリー（ボタン電池）にも、また公 知の無線給電装置にも当て嵌まる。

本発明による圧力センサにおいては、通常の遠隔測定技術の場合とは異なシ、発 振器信号を無線伝送するために別個の送信器を必要とせず、特許請求の範囲第９ 項に記載されているよう々補完措置をとれば充分である。

小さな寸法とすれば、当然のことながら、アンテナの効率も限定され、かつ自由 に使用出来る出力が僅かであるため、放出される信号も弱く、従って、その伝送 は、障害の影響を受け易い。従って、かなシの障害を予期しておかねばならない ような使用例においては、本発明による圧力センザを特許請求の範囲第１０項に 記載されているように構成しておくのがよい。この場合、比較的僅かな切シ換え 周波数を有する発光ダイオードで間に合わせるためには、分周器が必要となる。

圧力センサを取り付ける場合、殊に、これを頭蓋骨内に取シ付ける場合には、難 点がある。この難点を除くために、特許請求の範囲第１１項における上位概念に 記載されたアダプタスリーブを用いることは公知である。このアダプタスリーブ は、外ねじ山を有し、これによってねじ山を切りながら、同時に壁内に、つまシ 頭蓋渭内にねじ込まれる。次いでこのアダプタスリーブ内に、本来の圧力センサ がねじ込まれる（前掲のエム、ガーダの論文における第１３図、図面部分第９頁 ）。

ところで、この種のアダプタスリーブには、特に次のような二つの欠点がある。

即ち、長期間に亘って使用すると、ねじ山が固着してしまうので、検査の終了後 に、アダプタスリーブを除去するのが極めて困難であること、及び、ねじ込みに 際して、アダプタスリーブが傾き易いので、使用される圧力センサのダイアフラ ムが、壁の内面に対してもはや平行に位置しないことである。特に後者の場合に は、いずれにしても、頭蓋内圧力の測定に際して、著しい測定ミスが惹起される ことになる。

そこで、アダプタスリーブの位置を申し分のないものにし、かつアダプタスリー ブが傾くことを阻止するため、本発明によれば、公知のアダプタスリーブが、特 許請求の範囲第１ｊ項に記載されている特徴に従って改良されている。

圧力室内に突入しているばねスリーブ部分は隆起部を形成しておシ、この隆起部 が、穿孔部の内縁を越えて突出し、ひいては、アダプタスリーブと壁孔との整合 ミスを修正して、スリーブの肩が穿孔部の肩に申し分なく支承されるようにし、 さらにこの目的を達成するべく、比較的急勾配で、ばねスリーブの外面から突出 するようになっている。はね舌片に設けられたリブは、挿入行程の最後のところ で確実な案内機能を発揮し、しかも、特にアダプタスリーブの除去に際しては、 個々のばね舌片が次第に内側に押し込まれるように作用する。従って、スリーブ の外周は縮小され、比較的急勾配で突出している隆起部も、なんらの支障なしに 、狭い穿孔部を通って外部に引き抜かれうるような充分に小さい外径となる。

例えば頭蓋骨がそうであるように、壁の材質が比較約款かい場合には、本発明の 特許請求の範囲第１２項に記載されているような構成をとわ−ばよい。とのよう にすれば、アダプタスリーブの挿入と、その精密な軸方向整合とに際して、スリ ーブを案内することが、穿孔部の肩上における支承によって、著しく改善される 。

次に、添付図面に示した実施例につき、本発明の詳細な説明する。

図面の簡単な説明 第１図は、頭蓋骨内に移植された本発明による圧力センサの縦断面図である。

第２図は、圧力センサを取シ付けるだめのアダプタスリーブの縦断面図である。

第３図は、第２図における■−■線に沿った横断面図である。

第１図において、Ｌ　Ｍ七（Ｉｌｌ内には、段付きの孔Ｑ２１か設けられている 。この孔ＯＺは、第１図の上方に位置する外向段部ＯＪと、頭蓋骨内部０イ）に 面するやや小径の筒部Ｑ５）とを有しておシ、両者Ｑ３＋０５ｉは、半径方向に 延びる肩部０６）によって、互いに接続されている。筒部いの長さは、自動的に 解離することのできるミニ穿孔器に対応して、予め一定に定められている。

肩部０６）上には、中間リングｏｎが座着されている。中間リング（１７１の内 径は、筒部（ＩＱの細い部分の直径と等しく、同じく外径は、外向段部（＋３１ の直径と等しい。なおこの中間リング０７）は、例えば貴金属のような反応不活 性の材料で製作されている。

孔０の及び中間リング０７）の中には、アダプタスリーブ０８）が挿入されてい る。アダプタスリーブθ印の半径方向肩部０９は、中間リング（１力上に座着し 、かつ該スリーブ（１ネは、この中間リング面と筒部へ９とを貫通して、頭蓋骨 ０υと脳を囲繞している脳硬膜■との間に位置するスペース内に、予め規定され た寸法だけ突入している。

なおこのアダプタスリーブ０秒については、後で第２図及び第３図と関連して詳 述する。

アダプタスリーブＱ８１内には、本発明による圧力センサが挿入されている。図 示の実施例においては、螺合されているが、その他の固定様式、例えば、バヨネ ット結合方式を採用することも可能である。アダプタスリーブＱ８１の薄壁部分 にあまり負荷がかからないようにするだめに、この固定部位を、アダプタスリー ブＯＱにおける半径方向肩部（１鵠の上方部分に限定しておくのが合理的である 。

圧力センサは、段付けられた円筒形のケーシングＣυを有している。このケーシ ング１２Ｉｌの内面は、電気的に良導性と力っている。すなわち、そのために、 ケーシングＣυは高級鋼で構成されており、その内面は銀めつきされている。

ケーシング（２］）の上部の外径は、前記外向段部０３）の直径に等しく、ケー シングＣυのその他の、部分は、アダプタスリーブ０樽の内部と適合する径とし である。つまシ、ケーシングＣυの段部によって形成された外向肩部（２Ｚａ） は、アダプタスリーブ時の上面に座着し、脳硬膜のに面するケーシングの端部は 、脳硬膜■に面するアダプタスリーブ（ＩＱの端部のところで終っている。

脳硬膜■に面するケーシング０秒の端部は、ダイアフラム＠によって閉鎖されて いる。ダイアフラムのは、公知形式で弾性的に撓みうるように１、かつ少なくと もその内面が、電気を良く通すように構成されている。

ダイアフラム＠は、ケーシング（２１）と一体形成しておくこともできるし、ケ ーシングＣυと・１は別個なものとしてケーシング−に取シ付けることも可能で ある。後者の場合には、特にその素材として銅べＩＪ　ＩＪウムが使用される。

ケーシング０１）における前記の外向肩゛部（２２ａ）に対応する内向肩部（２ ２１））上には、その内面が電気的に良導性てあシ、かつ一つの孔内を有する底 板Ｑ４１が配置されている。

ケーシング０！℃の内部とこの底板Ｃ船とによって限定された円筒形の容室内に は、セラミックからなる上軸Ｃ２６）が同軸的に配置されておシ、この上軸（至 ）には、焼き付けられた銀巻線（５）が巻伺けられている。上軸（イ）の下端部 には、符号０Ｑで示すようなプレートが取り付けられるか、あるいはコーティン グが施されて・いる。錠巻碧（５）は、電気的に良導性であって、プレート（財 ）と導電性の底板Ｃ，Ｉ）とに接続されている。ケーシング＋２１）及び上軸Ｑ （３）の熱的な肪２張イ（１、有利な夷於態机においては、互いに等しくしであ る。、 底板ｃ！４）のセラミック絶縁体からなる上軸０６）に面してない側、すなわち 容室の底部の一トには、図示の実施例においてはＦＢＴ回路として構成された発 振器儂）が配置されている。この発振器■は、特にフランクリン発振器の型式の もので、導線圓を介して、銀巻線（２力の一点と電気的に接続されている。従っ て、プレー）　（：！８１とダイアフラムｃ！濠との間のキャパシタンス、及び 銀巻線（２ηによって形成され、た振動回路（タンク回路又は空胴共振器）に対 する発振器０！ｌｌ）の影響を、／」・さなものに抑えること力゛可能である３ ３そのため、発振器のエージング効果は、測定時間が極めて長期に亘ったとして も（数ケ月もしくは２〜３年にも亘って）、事実上無視することができる。

導線００）によるこのガルヴァーニ電気式結合を行なう代シに、タンク回路にお いて公知の誘導結合、もしくけ振動回路に僅かな負荷しかかけない他型式の結合 を行なうことも可能である。

発振器Ｃ２９＋の上には、給電装置ｅｌ＋＋が配置されている。

測定時間が比較的短かい場合には（例日かの間）、ボタン電池のようなバッテリ ーを、給電装置θｌ）として設けておくことも可能である。比較的長期に亘る測 定時間を考慮しておかなければならない場合には、受信アンテナと整流器とを備 える公知の無紐給電装置を使用するのが合目的である。

給電装置（ｊｌｌＯ上には、発振器０９）と接続されたアンテナｌ３２１が設け もわ、ており、発振器（２９）の信号は、このアンテナ（３２Ｉによって、全体 を覆っている皮膚（へ）を通して送信される。

コイルアンテナとして概略的に図示されたアンテナＣ３ｚを用いる代りに、シリ コンチューブを使用することも可能である。このシリコンチューブは、皮膚制を 通して外部に案内される。

図示された圧力センサにおいては、ケーシングＣ！υの内部スペースが、公知の 圧力下、特に規定されだ負圧（真空）下にあるのに対し、上記のようなチューブ 接続様式によれば、ケーシング（２Ｉ）の内部を、その都度生ずる空気圧下にお くことが可能である。従って、この場合の圧力センサは、図示の実施例における ような絶対的な頭蓋内圧力に応じた信号ではなく、頭蓋内圧力と空気圧との差に 応じた信号を発生することになる。

さらに、その機械的構造は事実上全く同一であるが、アンテナＯ２Ｏ代シに、赤 外線検出を行なう発光ダイオードを設けてもよい。この場合には、使用される送 出材料が、赤外線を透過させるものでなければならないことに留意する必要があ る。

この場合、発光ダイオードと発振器−との間に、分周器回路が接続されていると 、さらに合目的である。

その場合には、前述の振動回路における基本周波数を下回るスイッチ周波数を有 する発光ダイオードをも使用することができる。

この圧力センサの作用は、以下に述べる通りである。

頭蓋内部Ｏａにおける圧力の変動は、弾性的な脳硬膜■を介して、弾性的なダイ アフラム（２■に伝達される。

このダイアフラム（至）とプレート弼との距離が、ひいては、これう両部分間の キャパシタンスが、頭蓋内部０４）の圧力を示す尺度となる。

このキャパシタンスが、銀巻線Ｃ１のインダクタンスと協働して、ダイアフラム （５））及びプレート（至）とケーシング（２１）と底板ｔ２４１とによって形 成される空胴共振器又はタンク回路の周波数を決定するので、接続された発振器 （ハ）は、この周波数で振動する。

この発振器振動は、発振器信号としてアンテナ国から発信され、公知の型式で、 別個の受信器によシ受信される。この別体の受信器には、周波数カウンタ又はそ れに類する装置が接続されておシ、従ってその出力信号が、頭蓋内部０荀の圧力 をあられす尺度となる。

第２図及び第３図には、アダプタスリーブ０秒が詳細に示されている。

このアダプタスリーブθのは、一つの外向フランジ（財）を有している。そのフ ランジ（２）部分の内周には、めねじＧ■が切られている。このめねじＱ５＋１ は、既に述べたように、他の実施例の場合には、他の固定装置に代えることが可 能である。

さらにアダプタスリーブ０８）は、筒状部（支））を有している。該筒状部（至 ）は、符号ｏｎで示すように、複数の（図示の実施例の場合は７片の）ばね舌片 として分割されておシ、従って、１本のばね式スリーブが形成されている。この ばね式スリーブの外径は、孔０２の内径よシ犬き々外径の部分（第１図）を除い ては、細い筒部０９の内径に適合させられている。すなわち、アダプタスリーブ ０秒の下端は、符号（至）で示すように、外向膨出部に形成されている。この膨 出部■の軸方向寸法０匂は、アダプタスリーブα榎が頭蓋骨（Ｉｌｌの内′面４ を越えて突出する寸法に等しい（第１図）。

各ばね舌片Ｏｎの外周中央部には、稜の鋭いリプ顛が設けられている。これらの リプ（４Ｇは、外向膨出部（至）の外周から、当該ばね舌片Ｏｎにおける外面に まで至シ、筒部α９（第１図）の内部に食い込んでいる。

なお図示の実施例においては、とのリプ０Ｑは、孔Ｏ３内にまで達し、ばねスリ ーブの外周を越えて突出している。

鋭い稜を有するリプ顛は、その鋭い稜のところから、次第にばねスリーブの外面 に向って移行しているが、第３図においては、理解し易くするため、一つのばね 舌片のところで、二つの断面を、一点鎖線で示しである。これは、第２図で暗示 された二つの横断面（４υ（４７１における輪郭形状を示すものである。

この形状から明らかにされる外側隆起部輪郭は、第２図では、第３図で暗示され た切線（４３１に相邑する一点鎖線ｕ階として示されている。

圧力センサの挿入は、段付けられた孔０ｚを公知型式で穿設した後に、中間リン グａηをアダプタスリーブ鱈と共に差し込むことによシ、このアダプタスリーブ ０Ｉ１９を介して行左われる。その際、外向膨出部■が、中間リングミ力の内部 スペース内に挾み込まれるので、細い筒部０５の内周面上に圧着される。

中間リング０ηを孔Ｑ２の肩部Ｏ６１上に載着すると、アダプタスリー１０秒は 直ちに先に押し進められる。このことは難なく行なわれるが、その理由は、外向 膨出部（至）の外周面も、細い筒部ａ５の内周面に圧着され、従って、容易に通 過しうるからである。

第１図に示されているように、外向膨出部（至）が、孔０２の筒部０９の下端か ら出ると、直ちに、個々のばね舌片Ｃ３７１が外方に向って拡開可能になるので 、外向膨出部（至）は、頭蓋骨０υの下面を越えて突出することが出来る。

もしその内面に、不規則なところがあったとしても、その不規則性は、斜めに延 びるリプ（４Ｑによって相殺される。これらのリプ顛は、アダプタスリーブ０秒 の外向フランジＣ３４）を中間リングａｒｌ上に引っ張り、従って、アダプタス リーブθ印を所望の個所に位置せしめるような軸方向の力を発揮することとなる 。この場合、リプ（４ｏ）は、これと向き合った比較的軟質の頭蓋骨αυ内に食 い込む。これに続いて圧力センサが挿入される。

図示の実施例では、螺合される（ねじ込まれる）が、その時までに個々のばね舌 片０ηがまだ完全に拡開されていない場合には、圧力センサが各ばね舌片６ηを 外向きに押して、これを完全に開かせる。

圧力センサを除去する場合には、上記とは逆の過程が辿られる。即ち、まず初め に、圧力センサを抜き出す（ねじ外される）が、この作業も、何ら支障なく容易 に行なわれる。というのは、リプ（４〔の存在によって、アダプタスリーブ０稀 が共に回動することはなく、それに続いて、アダプタスリーブＱ８が抜き出され るからである。なおこのスリーブ除去に際しては、圧力センサの代わシに、抜き 取シ用の工具をねじ込むことが可能である。その場合、外向膨出部□□□）が中 間リングｏＤを連行する。

図示の型式によシ、比較的小さな角度で、その都度はね舌片θ乃の外面に移行す るリブ（４αのおかげで、アダプタスリーブ０秒がその僅かな部分だけ外部に引 き出されると、直ちにばね舌片ａｎは、内側に圧着される。

このことに基づく楔作用によって、いずわの場合にも、仮シに不可避的な接着現 象が生ずる場合でも、はね舌片３ｎを頭蓋骨（１１）から解離させるのに充分な 力が得られる。

孔０２）における外向段部０３）の直径が、約７謳を超えない限探、孔ａｚは、 圧力センサとアダプタスリーブｏ役とが除去された後で、再ひ癒着してふさがる 。本発明による圧力センサの直径は、５謔未満に抑えておくことが可能であるた め、アダプタスリーブ０樽の最大直径をも、孔０２の癒着を可能ならしめるのに 充分なほど小さく設定することができる。

浄ニー）（内容（二変更なし） 手続補正書（′プ人） 昭和５８年８月す日 特許庁長官　若杉和人殿 ｉ、事件の表示 ＰＣＴ／ＥＰ８２．、’００１８３ □□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□ □□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□；、補正をする者 事件との関係　特許出願人 補正命令の日付昭和５８年６月２日（発送［ｊ昭和５８年６月７Ｅ］）補正によ り増加する発明の数−２ 補正の対象 川際調査報告

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ］　一定のインダクタンス及び圧力に・関連して変動するキャパシタンスを有す る振動回路と、この振動回路に接続さ八た発振器とを備える圧力十ンサにおいて 、振動回路が、導電性の材料て製作された円筒形の容器と、該容器の端面に張ら れた、弾性的に撓むことの出来る導電性のダイアフラムと、前記容器内でダ・イ アンラムから距離をおいて同軸的に配置さゎ、力）つ容器底部に固定さねた内部 導体とからなる空胴共振器として構成さハており、振動回路が、発振器並びに発 振器用給電装置と共に一つの組み立てユニットとして纒め合わさねでおり、発振 器の（−８号が、別個の受信組み立てユニットに無線伝送されるように構成さね ていることを特徴とする圧力センサ。 ２、特許請求の範囲第１項記載の圧力セン→）において、ダイアフラムとは反対 側に位置する内部導体端部が、Ｃの内部導体におけるその他の部分より大きな直 径を有し、かつダイアフラムと平行に配置されていることを特徴とする圧力セン サ。 ３　％許請求の範囲第１項記載の圧力センサにおいて、内部導体が螺旋形状を呈 するように配置されており、かつこの螺旋の軸線と容器のＩＮＩ線とが、相等し いことを特徴とする圧力センサ。 ４　特許請求の範囲第３項記載の圧力センサにおいて、内部導体がセラミックの 上軸上に焼き伺けられた銀コーテイングとして描成さねていることを特徴とする 圧力センサ。、 ５　特許請求の範囲第４項記載の圧力センサにおいて、空胴共振器の容器か、上 軸のセラミックと同じ温度膨張率を有する材料で構成されており、かつ空胴共振 器容器の内面が、電気的に良導性の材料、特に銀によってコーティングされてい ることを特徴とする圧力センサ。 ６　特許請求の範囲第５項記載の圧力センサにおいて、空胴共振器容器の４２料 として、高級鋼が用いられていることを特徴とする圧力センサ。 ７　特許請求の範囲第１項〜第６項のいすゎかに記載の圧力センサにおいて、発 振器が、容器底部における内部導体とは反対側に配置されていることを特徴とす る圧力センサ。 ８、特許請求の範囲第１項〜第７項のいずれかに記載の圧力センサにおいて、発 振器を律動させるための・回路が設けられていることを特徴とする圧力センサ。 ９、特許請求の範囲第１項〜第８項のいずれかに記載の圧力センサにおいて、発 振器の信号を無線発信するだめのアンテナが、発振器に接続されていることを特 徴とする圧力センサ。 １０　特許請求の範囲第１項〜第８項のいずれかに記載の圧力センサにおいて、 発振器には分周器が接続され、分周器には赤外線を放出する発光ダイオードが接 続されていることを特徴とする圧力センサ。 １１　その内圧を測定しようとするスペースを囲繞している壁を通して圧力セン サを段付けられた孔内に取り付けるためのアダプタスリーブであって、該孔ノ最 も細い部分が、圧力室に面しておシ、かつ壁の内面とその肩部との間の距離、及 び孔の最も細い部分と太い部分との距離が予め規定されておシ、アダプタスリー ブが孔の肩部に支承された肩部を有し、かつ予め規定された寸法だけ圧力室内に 突入している型式のものにおいて、スリーブの肩部と圧力室に面した端部との間 に位置するアダプタスリーブ部分が、ばねスリーブとして構成されておシ、圧力 室内に突入しているばねスリーブの部分の外径が、段付き孔における最も細い部 分の内径より犬であシ、かっばねスリーブのばね舌片が、それぞれ稜の鋭いリブ を有しており、このリプが、それぞわ圧力室内に突入しているばねスリーブ部分 の夕１周から、前記孔の最も細い部分の内部にまで延びていることを特徴とする アダプタスリーブ。 １２、特許請求の範囲第１１項記載のアダプタスリーブにおいて、孔の肩部とス リーブの肩部との間に、中間リングが配置されていることを特徴とするアダプタ スリーブ。