JPS5850424A - 流体流量測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は流体流量の測定、更に具体的には、流量計の特
性を測定するための装置に関わる。

１９７９年５月８日付でニドワード・イー・７ランシス
コ・ジュニアに付与された米国特許第４，１５２．９２
２舅には、測定シリンダ内を移動するように作られた測
定ピストンと、制御シリンダ内を移動するように作られ
た制御ピストンとがロッドで連結されるタイプの弾道学
的流量測定装置が開示されている。測定シリンダは、そ
の特性を測定すべき流量計と流体管内で直列に接続され
ている。圧縮＝５＝ 空気源を設け、これを、圧縮空気の圧力が制御ピストン
の両側に交番式に加わる状態で、制御シリンダに連結し
である。空気圧を調節して、測定装置操作中、制御シリ
ンダ内の制御ピストン運動を制御するようになっている
。

ロッドを測定ピストンの片側だけに結合するようにした
場合、測定ピストンの片側では流体をさらし得る領域が
減ることになる。これは、別の側部の場合も同様である
。その結果、測定ピストンに、測定操作中、その運動を
遅らせるような望ましくない圧力差が発生する。この差
圧を取り除くため、前記特許第４，１５２，９２２号に
記載の測定装置の一実施例では、測定ピストンの両側に
結合され゛　且つその両端間を貫通して伸長しているロ
ッドを採用している。このロッドは更に制御シリンダの
反対側にある測定シリンダ端部を越えて延長されており
、その結果当該測定装置の占めるスペースが大幅に大き
くなっている。

前記発明では、前記圧力差を補償するため圧力ガス充満
室の使用例が示される。この充満室は、＝　６− ロッドに起因する不均衡圧力及び測定ピストンの測定シ
リンダ内移動時該ピストンに加わる摩擦力を相殺できる
よう、制御ピストンにガス圧を印加する状態で制御シリ
ンダに連結されている。充満室から給送されるガスのお
陰で、制御ピストンには、制御シリンダ内での位置とは
無関係に、概ね一定の補償圧力が加わることになる。

発明の要約 本発明では、圧力ガス充満室を用いて装置内の前記差圧
を補償することにより、流量計の特性を測定するように
した。具体的には、流体排除量測定シリンダは、その両
端部近傍にそれぞれ入口部及び出口部を有している。流
体排除ω測定ピストンは流体障壁体の形で測定シリンダ
内を移動するように作られ、第１及び第２側部を有する
制御ピストンは流体障壁体の形で制御シリンダ内を移動
するように作られている。制御ピストンはロッドにより
、測定ピストンの９ちの測定シリンダー万端に面した側
部とだけ連結されている。圧力ガス充満室は、圧力ガス
の圧力が測定ピストンを測定７− シリンダ他方端方向に押圧する状態で、制御シリンダに
接続されている。測定シリンダ内の測定ピストンの運動
は感知され、制御シリンダ内の制御ピストンの運動は流
体的に制御されるようにした。

充満室は制御シリンダより大幅に大きい容積を有してい
るが、その圧力は、ロッドによって生じる不均衡圧力を
打ち消せるように選定されている。

従って、本発明の装置では、ロッドを測定シリンダの両
端間に伸長して制御シリンダの反対側にある測定シリン
ダ端部から突出させる必要がないから、長さを大幅に短
くすることができる。

また本発明では、圧力液体供給源を、圧力液体の圧力が
前記充満室からのガス圧が加わる側の反対側にある制御
ピストン側部に加わるような状態で、制御シリンダに接
続しである。制御シリンダ内の液体の圧力は自動的に調
整されて、測定ピストンの運動を制御する。液体が非圧
縮性であるため、測定ピストンは変更命令に対して迅速
に応動し、と同時に、ロッドに起因する不均衡圧力及び
摩擦力の補償作用にも順応する。望ましくは、制−〇　
− 御シリンダ内の液体の圧力は、測定シリンダ内での測定
ピストン両端間圧力差を一定に維持できるように制御し
てやるのがよい。結果として、測定操作中、測定シリン
ダ内の測定ピストンの運動は、たとえ管内流体が気体で
あっても、実際上、管内流体の流量か密度のいずれか一
方または双方に対して殆ｌυどまたは全く影響を与えな
い。

尚、本発明を実施する上で最適と思われる具体的実施例
の特徴は添付図面に図示されている。

具体的実施例の詳細な説明 第１図では、測定装置１０は流体管１４内の被測定流量
計１２と直列に接続されている。測定装置１０には流体
管１４と接続した入口部１８及び出口部２０を有する測
定シリンダ１６が具備されている。測定ピストン２２は
この測定シリンダ１６内を流体障壁体の形で移動運動を
行なうように作られている。測定ピストン２２には複数
個の開口部２４が穿たれていて、測定ピストン２２休止
時、流体が流体管１４から測定シリンダ１６内に流入で
きるようになっている。ポペット弁２６を配設しである
が、これは、開口部２４−　〇　− に対し接近・離反運動を行なって該開口部により形成さ
れる流体通路を閉鎖したり開放したりできるように作ら
れている。制御シリンダ２８は測定シリンダ１６と軸方
向心合せ状態でシリンダ１６人口端部に接合している。

制御ピストン３０はこの制御シリンダ２８内を移動する
ように作られている。ポペット弁２６、従って測定ピス
トン２２はロッド３２を介して制御ピストン３０に連結
されている。ロッド３２はピストン２２の上流側及び制
御ピストン３０の該ピストン側にのみ結合されている。

密封部材及びブッシング並びに本願後記の各種要素部材
を含めて、測定装置１０の各種要素部材の具体的構成の
説明に関しては、その開示内容が参考として本願に完全
に組み込まれている米国特許第４，１５２，９２２号を
参照されたい。

ポペット弁２６は、流体管１４によりこの弁に加えられ
る圧力に関する限り、測定ピストン２２の一部と見做す
ことができる。ロッド３２をポペット弁２６の上流側に
のみ結合するようにした結果、流体管１４内の流体が作
用する測定ピストン２２の上流側の領域は、同様の測定
ピストン２２下流側領域より小さくなっている。このた
め、測定ビス］・ン２２を測定シリンダ１６上流端側に
押圧するような力の不均衡が生じ、従って測定ピストン
２２の測定シリンダ１６上流端側から下流端側への移動
が妨げられることになる。ビストカ３０にはシリンダ１
６内移動の際に動摩擦力が加わり、これもまた移動の妨
げとなる。測定ピストンの移動運動が妨げられると、流
量に影響即ち変化が生じて、管１４内を流れる流体に過
度的圧力変動が発生ずる。このような不均衡圧力及び摩
擦力を補償並びに相殺するため、制御シリンダ２８の一
方の端部、即ち測定シリンダ１６のある側と反対側の端
部に充満室３４を連結しである。

この充満室３４はガス供給源３５から供給される圧力ガ
スで充満される。充満室３４内のガスの圧力は、測定ピ
ストン２２の反対側にある制御ピストン３０側部に、ロ
ッド３２のため測定ピストン２２に加えられる不均衡圧
力と制御ピスト、ン３０の測定シリンダ１６内移動の際
密封部材やブッシング等との間に生じる動摩擦力とを加
えたものに大きさが等しく且つ−１１一 方向が反対である力を加えるのに最も適した値のものを
選択するのが望ましい。この充満ガス圧力最適値は、制
御ピストン３０がその待機位回即ら上流位置にある場合
の流量計応答値と制御ピストン３０の測定シリンダ１６
内移動時の流量計応答値の比較により決定する。充満室
ガス圧の調整は、この２つの応答値が等しくなるまで、
即ち制御ピストン３０の測定シリンダ１６内移動時該ピ
ストン３０が流体管内の流体の流れを邪魔しなくなるま
で続ける。

充満室３４内圧力最適値は、流体管１４内の静流体圧の
関数の形で種々に変る。正確な測定を行なうためには、
各操作に先立って前記手順を実施するのがよく、あるい
は測定操作に先立って静圧を流体管１４内の圧カブロー
ブ３１などで測定することができる場合には、この制圧
測定後、充満室３４内の圧力をこれに基づいて調整して
最適値を得るようにする。このため、ガス供給源３５は
手動式制御弁４３を介して充満室３４に連結してあり、
充満室３４に圧力計４５及び通気弁４１を配設しである
。ガス供給源３５の圧力は、充満室３４の加圧に必要な
最大値より１９− 大きい。充満室３４の容積は制御シリンダ２８の容積よ
りも大幅に大きく、例えば、３０倍以上であり、従って
充満室３４から供給されるガスの圧力は、制御シリンダ
２８の容積が変ってもほぼ一定に保たれる。

測定シリンダ１６内の測定ピストン２２の運動を感知す
るため、制御シリンダ２８軸に平行な縦軸を有する細長
いハウジング３３を測定シリンダ１６の端部に結合し、
このハウジング３３の内側に長手方向に沿って光学セン
サー３６．３７及び３８を取り付けである。シリンダ１
６内のピストン２２とハウジング３３内の遮光１１４４
０をロッド３９で連結しである。

光学センサー３６．３７及び３８は、各々、１個の光電
池と、光電池と心合せされていて充電池にビームを投射
する１個の光源とから成っている。ピストン２２のシリ
ンダ１６内での移動に伴って、遮光族４０はハウジング
３３内を移動し、順次、光学センサー３６．３７及び３
８のビームを遮光して電気パルス信号を順次発生する。

光学センサー３６は、シリンダ１６内のピストン２２の
」二流体止位置に対応するハウ１３− −１　ｌ　− ラング３３内の位置に位置付けられている。光学センサ
ー３７は、測定間隔の起点位置にあるシリンダ１６内ピ
ストン２２位置に対応するハウジング３３内位置に位置
付けられている。即ち、望ましくは、ピストン２２が管
１４内を流れる流体と同期式に移動できるようピストン
２２上流位置から１−分遠隔の位置にあるのがよい。光
学センサー３８は、シリンダ１６下流側端部近傍の測定
間隔終点位置にあるビス８２２２位置に対応するハウジ
ング３３内の位置に位置付けられている。

センサー３６．３７及び３８は、ケーブル４２により制
御コンソール４４に連結されている。流量計１２の出力
は、例えば周波数が流量に比例する電気パルス信号とす
ることもできるものであるが、ケーブル４６により制御
コンソール４４に接続されている。コンソール４４には
流量計１２の特性を測定するための電子回路が内蔵され
ている。これは、その開示内容を参考として本願に完全
に組み込んである米国特許第３，４０３，５４４号の第
８図に図示の回路で構成することもできる。このコンソ
ール４４内内蔵回路１４− は、センサー３６乃至３８並びにｍ　ｍ　ｆｆｔ　１２
の発生する電気信号に応答して流量計特性を示すある値
を発生し、この値はコンソール４４により表示される。

制御ピストン３０．従って測定ピストン２２の運動は、
流体圧式、即ち液圧式の開ループ制御装置で制御する。

非圧縮性流体、望ましくは適当な流体圧油を貯槽４８に
貯える。流体圧流体は貯槽４８からポンプ５０の入力部
に供給される。この流体は、ポンプ５０出力部から、ピ
ストン３０とシリンダ１６上流側端部との間にあるシリ
ンダ２８の部分、及び２方向流体斤ダンプ弁５２の入力
部に送られる。弁５２はコンソール４４からケーブル５
３を介して操作する。

ダンプ弁５２の出力部はサーボ制御弁５４を介して貯槽
４８に連結されている。弁５４はコンソール４４からケ
ーブル５５を介して操作する。ポンプ５０は定速モータ
５１で駆動する。ポンプ５０は、充満室３４のガスより
少し大きい圧力を発生する定圧・可変排出量ポンプであ
る。この圧力は、ピストン３０に加わるガス圧のみなら
ず、前記摩擦力及び流体管内流体圧をも凌駕するのに十
分に大きく、従ってピスト−１６− ン２２を上流方向に駆動することのできる圧力である。

微分差圧（Ａｐ）送量装置５６は、それぞれシリンダ１
６の上流側端部及び下流側端部と流体連通状態にある一
対の入力ボートと、ケーブル５８を介してコンソール４
４に接続されている電気出力部とを備えている。Ａｐ送
量装置５６は、開口部２４がポペット弁２６により閉鎖
され且つピストン２２がシリンダ１６内を移動する場合
、ピストン２２の上流側にあるシリンダ１６領域とピス
トン２２下流側シリンダ１６領域との間の差圧に比例し
た電気出力信号を発生する。

第２図に示すように、制御コンソール４４には特性測定
電子回路７０が内蔵されているが、これは、米国特許第
３，４０３，５４４号の第８図に図示されている回路と
することも可能なものである。なお、この特許の開示内
容は参考として本願に完全に組み込／ｖである。ケーブ
ル４２及び４６は回路７０の入ノ〕部と接続し、回路７
０の出力部は記録・指示装置７２と接続している。遮光
族４０によるビーム遮光時センリー３７及び３８が発生
する電気パルス信号及び流量削特性により発生される電
気信号に応答して、回路１０は流量計特性値を発生し、
この値は記録・指示装置７２により表示される。ケーブ
ル４２及び起動命令端子は一致回路７４の入力部と接続
している。

−数回路７４の出力部は間隔計時機構７６の入力部と接
続し、機構１６の出力部は双安定回路７８のセット入力
部に接続している。光学センサー３８は双安定回路７８
のリセット入力部に接続している。ΔＤ送量装置５６は
ケーブル５８を介してサーボ増幅器８０の入力部に接続
し、サーボ増幅器８０の出力端子は電子スイッチ８２及
びケーブル５５を介してサーボ制御弁５４の制御入力端
子と接続している。双安定回路７８の出力端子はケーブ
ル５３を介してダンプ弁５２の制御入力端子及び電子ス
イッチ８２のスイッチング入力端子に接続している。セ
ンサー３６のビームが遮光され且つ起動命令信号が端子
７１に現われると、−数回路７４が間隔計時機構７６を
トリガする。被測定時間間隔の終了時、機構７６は双安
定回路７８をセットする。双安定回路７８がセットされ
ると、ダンプ５２弁が開き、電子スイッチ８２が閉じる
ため、Ａｎ１７− １６− 送量装置５６からサーボ制御弁５４まで帰還路が構成さ
れる。センサー３８のビームが遮光されると、双安定回
路７８がリレットされ、ダンプ弁５２が閉じ、そして電
子スイッチ８２が開となるから、Ａｐ送量装置５６から
サーボ制御弁５４までの帰還路は開になる。

操作に際しては、測定操作に先立ち、ダンプ弁５２を閉
じ、ピストン２２をシリンダ１６の上流側端部に位置付
け、センサー３６のビームを遮光し、電子スイッチ８２
を開にし、そしてポペット弁をシリンダ１６側のピスト
ン３０側部に加わる流体圧流体の圧力で開状態に保つ。

測定操作用にピストン２２を開放するには、起動命令お
端子７１に入力する。時限間隔後、ダンプ弁５２が開き
、電子スイッチ８２が閉じる。その結果、シリンダ１６
側の制御ピストン３゜側部に加わる流体圧が下がり、ま
たピストン３０の反対側に加わるガス圧と流体管１４内
を流れる流体の運動の相乗作用によりポペット弁２６が
開口部２４を閉鎖し、ピストン２２がシリンダ１６内を
下流方向に移動し始め、そしてＡｐ送吊装置５６とサー
ボ制御弁５４間の帰還路が作動状態となり、これにより
、−１ｊｌ　　− シリンダ１６の」下流側と下流側との間に一定の圧力差
が達成される。制御流体が非圧縮性である、即ら流体で
あるため、制御装置は、流体圧を調整し、従ってロッド
３２と結合したピストン３０側部に加わる圧力を変える
ことにより、Ａｐ送旧聞装置感知された圧力差の変動に
迅速に反応して、この圧力差変動を相殺することができ
る。この定差圧はゼロとすることもできるが、望ましく
は、ピストン２２下流側圧力を上流側圧力よりも少し大
きくするのがよい。ピストン２２がシリンダ１６内のあ
る位置、即ちセンサ−３７ビーム遮光位置に達する時間
までには、ピストン２２は流体管１４内の流体の流れと
同期運動状態となっており、またサーボ制御弁５２はピ
ストン２２の上流側・下流側間に定差圧を達成しており
、その結果管１４内を流れる流体の流量変動が最小限に
抑えられる。ピストン２２がシリンダ１６の下流側端部
に達した場合、ストッパー（図示せず）でピストン２２
の衝撃を吸収し且つポペット弁２６を開にする。なお、
これは米国特許第４，１５２，９２２号に記載の通りで
ある。センサー３８のビームが−１９− 遮光された場合、電子スイッチ８２が開となって帰還路
を停止状態にし、またダンプ弁が閉じて流体圧をシリン
ダ１６側のピストン３０側部に復帰させる。

ピストン３０に加わる流体圧によりピストン２２が駆動
され、ポペット弁２６が開いてシリンダ１６下流側端部
と上流側端部とが連通状態となる。ピストン２２がシリ
ンダ１６の上流側端部に達すると、１測定操作実施サイ
クルは完了である。計時機構７６の一定間隔計時後、即
ち流体の乱れを鎮静するのに充分な間隔の経過後、この
サイクルは自動的に繰り返され、この繰返しは起動命令
が端子７１から取り除かれるまで続く。

要約すると、ロッド３２の反対側にあるピストン３０の
側部に接するシリンダ２８内ガスは、ピストン３０及び
ロッド３２を介してピストン２２に一定の圧力を加え、
これにより前記不均衡圧及びピストン２２に加わる摩擦
力を打ち消すことができる。使方、ロッド３２と同じ側
にあるピストン３０の側部に接づ−るシリンダ２８内液
体はピストン３０及びロッド３２を介してピストン２２
に可変圧力を加えて、ピストン−９０− ２２両端間の圧力差を一定に維持することができる。

ピストン３０及びロッド３２を介してピストン２２にこ
れらの流体圧が加わる結果、流体管１４内を流れる流体
の流れがピストン２２の運動によって乱れることは殆ん
どなくなり、従ってピストン２２の運動が流体管１４内
の流体の流量か密麿のいずれか一方または双方に影響を
与えることは、実際上、殆んどまたは全くなくなった。

本装置は第２図の回路網の代りに、マイクロプロセッサ
の制御下で自動的に操作することも可能である。つまり
、マイクロプロセッサで測定データを処理並びに評価し
、必要とあれば、データの統ｍ学的分析を行なうことも
できる。別法では、ダンプ弁５２及び電子スイッチ８２
を手動操作して１回または２回以上の測定操作サイクル
を実施することができる。

以上に記載の本発明の実施例は、単に本発明の思想を示
す上での望ましい且つ例証的実施例であって、本発明の
範囲を限定するものではない。当業者であれば、本発明
の精神及び範囲を逸脱する２１− ことなく多種多様のその他の構成を案出することができ
る。例えば、本願に記載の流体圧制御システムは、管内
流体が圧縮可能である、即ち気体である場合に望ましい
実施例であるが、本発明はこのシステムを使用しなくて
も実施可能である。つまり、管内流体が非圧縮性である
、即ち液体である場合はこのシステムは望ましいものと
は言えない。ダンプ弁とソレノイド制御弁は、図中では
直列に配列しであるが、並列に配列することも可能であ
る。制御及び測定用シリンダは、軸方向心合せ状態では
なく並列に配置することもできる。並列構成の場合は、
ロッドはＵ字形形状を有し、充満室から供給される圧力
ガスは、制御ピストンのロンド結合側に圧力を加えるこ
とになろう。別法としては、制御シリンダを測定シリン
ダの下流側端部と軸方向心合せ状態とすることもできる
。制御シリンダ内に液体を給入するための前記流体圧制
御装置は、既述の３機能のうち、１つ、２つ、あるいは
３つの機能を果すように使用することが可能である。即
ち、測定ピストンを測定操作に先−２２− 立って上流位置即ち待機位置に保持し測定操作開始の際
この測定ピストンを解放する機能と、測定操作中測定ピ
ストンの両端間の圧ノｊ差を一定に維持する機能と、測
定操作開始定ピストンを上流位置に戻す機能の３つであ
る。但し、管内流体が気体である場合は特に、これら３
機能を総て利用する使用法が望ましい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理を組み込ノυだ試験装置の概略線
図、第２図は第１図の制御コンソール及び本試験装置か
ら選択したその他の構成要素の幾つかを示すＪ二り詳細
な概略ブロック図である。 １０・・・測定装置　１２・・・流量計　１６・・・測
定シリンダ２２・・・測定ピストン　２４・・・開口部
　２６・・・ポペット弁２８・・・制御シリンダ　３０
・・・制御ピストン　３２・・・ロッド　３４・・・充
満室　３５・・・ガス供給源　３６．３７．３８・・・
光学レンサー　３９・・・ロッド　４０・・・遮光旗　
４４・・・制御コンソール　４８・・・貯槽　ムト・ポ
ンプ　５２・・・ダンプ弁　５４・・・サーボ制御弁　
５６・・・差圧送量装置２３− 第１頁の続き 優先権主張　＠１９８１年７月３０日［株］米国（ＵＳ
）［有］２８８３３８ ＠出願人　　ニドワード・エルスヮース・フランシスコ
・ジュニア アメリカ合衆国８５２５３アリシナ 州パラダイス・バレイ・フレア モント３４００ 昭和５７年１１月を日 特許庁長官　　若　杉　和　夫　　殿 １、事件の表示　　昭和５７年特許願第１３１０６０号
２、発明の名称　　流体流量測定装置 ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 名称　　フロー　チクノロシイ、インコーホレイテッド
代表−’１　　　　イー、イー、フランシスコ、ジュニ
ア４、代理人

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. （１）両端部近傍にそれぞれ入口部及び出口部を有する
   流体排除量測定シリンダと、該測定シリンダ内を流体障
   壁体の形で移動するように作られた流体排除量測定ピス
   トンと、制御シリンダと、該制御シリンダ内を流体障壁
   体の形で移動するように作られた制御ピストンと、該制
   御ピストンを該測定シリンダの一方端に面した該測定ピ
   ストンの側部にのみ連結するロッドと、該測定シリンダ
   内の該測定ピストンの運動を感知するための装置と、か
   ら成る流体流量測定装置であって、圧力ガス充満室と、 該充満室と上記制御シリンダとを、上記制御ピストンの
   一方側に加わるガス圧力が上記測定ピストンを上記測定
   シリンダの他方端方向に押圧する状態で連結する装置と
   、 上記制御シリンダ内の上記制御ピストンの運動を流体的
   に制御する装置と、 を含むことを特徴とする流体流量測定装置。
2. （２）前記制御シリンダが前記測定シリンダの一方端と
   軸方向に心合せされ、前記ロッドが直線形状であり、そ
   して前記連結装置が前記充満室と前記制御シリンダを、
   前記ガス圧力が前記制御ピストンのうちの前記測定ピス
   トンと反対側にある側部に加わる状態で連結している特
   許請求の範囲第（１）項に記載の装置。
3. （３）前記制御装置が、前記充満室より高圧の流体供給
   源と、該供給源から圧力流体を交番式に前記制御ピスト
   ンのうちの前記測定ピストンに面した側部に供給したり
   ここから排除したりする部材とから構成されている特許
   請求の範囲第（２）項に記載の装置。
4. （４）前記入口部に接続された流体供給源と前記出口部
   に接続された流体受容体とが具備されていると共に、前
   記充満室内ガス圧力値が、結果として、上記流体供給源
   から前記測定シリンダを通って流れる流体の静圧によっ
   て前記測定ピストンに加わる不均衡圧力と前記測定ピス
   トンの摩擦力の和に大きさが等しく方向が反対の前記制
   御ピストンに加わる圧力を発生させる値である特許請求
   の範囲第（３）項に記載の装置。
5. （５）前記測定ピストンが前記測定シリンダ内を流れる
   流体用開口部と該開口部の開閉を行なう部材とを備えて
   いる特許請求の範囲第（４）項に記載の装置。
6. （６）前記開閉部材が、前記測定ピストンの一部の形で
   前記入口部と開口部との間に配設されたポペット弁から
   構成され、該ポペット弁が前記開口部の閉鎖及び開放を
   行なうため前記開口部に対し接近運動及び離反運動を行
   なうことができ、前記ロッドが該ポペット弁のうちの前
   記測定シリンダー万端に面した側部に結合されている特
   ｚ′［請求の範囲第（５）項に記載の装置。
7. （７）前記運動制御装置が、 液体供給装置と、 該液体供給装置と前記制御シリンダとを、液体の圧力が
   前記制御ピストンの他方側に加わる状態で連結する装置
   と、 ３− 前記制御シリンダ内に液体の圧力を制御する装置と、 から構成されている特許請求の範囲第（１）項に記載の
   装置。
8. （８）前記入口部に接続されたガス源と、前記出口部に
   接続されたガス受容体とをも具備している特許請求の範
   囲第（７）項に記載の装置。
9. （９）前記制御シリンダ内液体圧力制御装置が、前記測
   定ビス１〜ン両端間の圧力差を感知する装置と、該感知
   装置に応動し、前記制御シリンダ内の液体の圧力を調整
   して上記測定ピストン両端間圧力差の変動を相殺する装
   置から構成されている特許請求の範囲第（８）項に記載
   の装置。
10. （１０）前記制御シリンダ内液体圧力制陣装置が、前記
    測定ピストン両端間の圧力差を感知する装置と、該感知
    装置に応動し、前記制御シリンダ内の液体の圧力を調整
    して上記測定ピストン両端間圧力差の変動を相殺する装
    置とから構成されている特許請求の範囲第（７）項に記
    載の装置。
11. （１１）前記測定ピストンが、前記入口部からＡ　　− 前記出口部に流体を流すだめの通路を形成する貫通形量
    口部と、該開口部を開放したり閉鎖したりする可動ポペ
    ット弁どを具備している特許請求の範囲第（１０）項に
    記載の装置。
12. （１２）前記ロッドが前記ポペット弁を介して前記測定
    ピストンに連結され、而もロッドの運動によりポペット
    弁の開閉を行なうことができる特許請求の範囲第（１１
    ）項に記載の装置。