JPS5850959B2 - ＬｉＴａＯ↓３単結晶成長用種子結晶の取付け方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は単結晶成長用種子結晶の効果的な取付は方法
に関する。

単結晶成長の一つにチョクラルスキー（ＣＺ）法がある
。

このＣＺ法は高温の溶融物から種子単結晶を引き上げて
、上記種子単結晶に単結晶成長させるものである。

この場合、上記種子単結晶は、例えば高純度アルミナか
らなる種子結晶取付は棒に取付けられて用いられる。

しかしながら、溶融物がＬｉＴａＯ３のような高融点で
、且つアルカリ化合物のような場合、結晶成長中に発生
するアルカリが前記種子結晶取付は棒に凝縮付着した。

また上記取付は棒自体が高温にさらされている為に上記
アルカリと反応しやすかった。

これが為に、単結晶の成長に伴って単結晶重量が増え、
前記取付は棒が破損し易かりた。

この破損が生じた場合、結晶作成が失敗するのみならず
単結晶と共に、この単結晶を取付けた取付は棒が溶融物
中に落ちてしまい、その結果溶融物がよごれる等の問題
を発生した。

本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、そ
の目的とするところは、種子結晶の取付けを確実に行い
種子結晶取付は棒の寿命の長期化をはかると共に結晶成
長の歩留り向上をはかり得るＬｉＴａＯ３単結晶成長用
種子結晶の取付は方法を提供することにある。

本発明の要旨とするところは、種子結晶を嵌入して取付
けた円筒状支持体の少なくとも取付は部周面な白金ある
いはロジュームを含む白金合金からなる物質で囲繞する
ことにより、溶融物からのアルカリ蒸気、及び高温度か
ら支持体を構成するアルミナ材を保護するようにしたも
のである。

これによってアルカリ蒸気によるアル□す材からなる支
持体の反応を防ぎ、その結果上記支持体の長寿命化と、
支持体の破損による製造歩留りの低下を未然に防ぎ、高
能率な単結晶成長をはかり得るようにしている。

以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第１図は第１の実施例を説明する為のもので、図中１は
外径１０關φ、内径６關φ、長さ３００間の高純度アル
ミナ材からなる単結晶取付は棒である。

この取付は棒１の下端部よりＸ軸方位のＬｉＴａＯ３種
子結晶２が嵌入され、アルミナセメント３にて接着され
ている。

そして、この種子結晶２の取付は部、つまり取付は棒１
の下部外周囲には例えば厚さ０．０３ｍｍ、幅３．５ｃ
ｒｒＬ、長さ１５ＣｒｒＬの白金ロジューム箔４が巻装
され、同取付は棒１を囲繞している。

そして上記箔４の上から白金（Ｐｔ）線５によりしばり
付けられ、同箔４をアルミナ棒１に固定している。

このようにして取付は棒１に取付けられた種子結晶２炉
より、チョクラルスキ法による単結晶成長を行った。

このとき、大きさが直径１２０ｍｍφ、高さ１２０ｍｍ
、厚さ２間の有底円筒状の白金ロジュームるつぼを用い
、同るつぼ内にＬ ｉ Ｔ ａｏ ３結晶融液７ｋｇを
入れて行った。

その結果、Ｘ軸引上げによるＬｉＴａＯ３単結晶（直径
６５ｉｙｘ）長さ２００關、重さ約４．４ｋｇ）を種子
結晶２及び取付は棒１の破損を招くことなく、連続的に
１０回成長作成することができた。

即ち、結晶融液の汚れを招くことなく高純度に、しかも
歩留り良く、極めて能率的に単結晶成長を行い得た。

第２図は第２の実施例を説明する為の図である。

この実施例は、外径１０ｍｍφ、内径６關φ、長さ３５
０間の高純度アルミナ管を種子結晶取付は棒６として用
いたものである。

そして前記第１の実施例と同様な種子結晶２をその下端
部から嵌入させている。

このとき、種子結晶２の上端部例えば１Ｏ１ＩｔｒＩＬ
を白金ロジューム１３％箔７で包囲したのち前記取付は
棒６の下端部に嵌入されている。

また取付は棒６の下端部は半円管状に切欠されており、
この切欠部より前記種子結晶２に対してアルミナセメン
ト３が塗られている。

しかるのち、上記した種子結晶取付は部に対して白金ロ
ジューム箔４が巻装、囲繞され、白金線５にて固定化さ
れている。

このような取付げにあっても前述した第１の実施例と同
様な効果が発揮されることが確認された。

このように本発明に係る取付は方法によれば、種子結果
を支持体に非常に確実に取付けることができ、また支持
体の破損を効果的に防ぐことができる。

そして従来方法にあっては、一般に結晶製造において１
〜２回の成長で取付は棒の破損を招いていたのに較べ、
また破損によって融液の汚染を招いていたのに比して、
極めて能率的な結晶成長を行い得た。

故に製造歩留りの向上と共に高純度化をはかり得、絶大
なる効果を発揮し得た。

尚、本発明は上記実施例に限定されるものではない。

即ち、本発明の骨子は高温下での融液の蒸気と支持体材
料との反応による支持体の破損を未然に防ぐものである
。

また支持体の全面を白金含有物質で囲繞しない為にエス
トの低減もはかることができる。

この場合、上記全面に亘って囲繞するようにしてもよい
ことは勿論のことである。

またアルカリ蒸気との反応にのみ限定されないことも勿
論であり、要するに本発明の要旨を逸脱しない範囲で種
々変形して実施することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例を説明する為の図、第２
図は第２の実施例を説明する為の図である。 １．６・・・・・・種子結晶取付げ棒、２・・・・・・
種子結晶、３・・・・・・アルミナセメント、４，７・
・・・・・白金ロジューム箔、５・・・・・・白金線。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ アルミナ材からなる筒状支持体の端部にＬｉＴａＯ
   ３単結晶成長用種子結晶を嵌入したのち、この種子結晶
   嵌入部の上記筒状支持体外周面および種子結晶表面に亘
   って白金あるいはロジュームを含有した白金合金で囲繞
   被覆して前記種子結晶を筒状支持体に固定化し、前記種
   子結晶の下端部になじませられてＬｉＴａＯ３単結晶の
   育成に供せられる結晶溶融液からのアルカリ蒸気から前
   記支持体を保護したことを特徴とするＬｉＴａＯ３単結
   晶用種子結晶の取付は方法。