JPS5851956U - ラツプ定盤 - Google Patents
ラツプ定盤Info
- Publication number
- JPS5851956U JPS5851956U JP1981148999U JP14899981U JPS5851956U JP S5851956 U JPS5851956 U JP S5851956U JP 1981148999 U JP1981148999 U JP 1981148999U JP 14899981 U JP14899981 U JP 14899981U JP S5851956 U JPS5851956 U JP S5851956U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface plate
- lap surface
- chamfering
- tapering
- corners
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はラシプ定盤を示す平面図、第２図は従来のラッ
プ定盤を示す断面図、第３図は本考案の一実施例におけ
るラップ定盤を示す断面図、第４図は本考案の他の実施
例におけるラップ定盤を示す断面図である。 １１・・・定盤本体、１２．１２’・・・溝部、１３゜
１３′・・・研磨剤落下穴部。
プ定盤を示す断面図、第３図は本考案の一実施例におけ
るラップ定盤を示す断面図、第４図は本考案の他の実施
例におけるラップ定盤を示す断面図である。 １１・・・定盤本体、１２．１２’・・・溝部、１３゜
１３′・・・研磨剤落下穴部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 表面に溝部を有する定盤本体の内外周の角部を面取
りするかもしくはテーパー状とし、かつ該溝部を面取り
するかもしくはテーパー状としたことを特徴とするラッ
プ定盤。′ ２ 定盤本体に研磨剤落下穴部を有し、この穴部の角部
を面取り゛するかもしくはテーパー状とした実用新案登
録請求の範囲第１項記載のラップ定盤。 ゛
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981148999U JPS5851956U (ja) | 1981-10-07 | 1981-10-07 | ラツプ定盤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981148999U JPS5851956U (ja) | 1981-10-07 | 1981-10-07 | ラツプ定盤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5851956U true JPS5851956U (ja) | 1983-04-08 |
Family
ID=29941789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981148999U Pending JPS5851956U (ja) | 1981-10-07 | 1981-10-07 | ラツプ定盤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5851956U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001054856A (ja) * | 1999-07-09 | 2001-02-27 | Applied Materials Inc | 化学的機械研磨装置での使用のための溝付パターンを有する研磨パッド |
| JP2016507388A (ja) * | 2013-01-18 | 2016-03-10 | エルジー シルトロン インコーポレイテッド | 定盤及びそれを含むウェハの両面研磨装置 |
-
1981
- 1981-10-07 JP JP1981148999U patent/JPS5851956U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001054856A (ja) * | 1999-07-09 | 2001-02-27 | Applied Materials Inc | 化学的機械研磨装置での使用のための溝付パターンを有する研磨パッド |
| JP2016507388A (ja) * | 2013-01-18 | 2016-03-10 | エルジー シルトロン インコーポレイテッド | 定盤及びそれを含むウェハの両面研磨装置 |
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