JPS5853201B2 - サ−ボアクチユエ−タソウチ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はサーボアクチュエータの技術に関し、さらに詳
しくは制御部材に連結されるラムの位置を制御するため
のサーボアクチュエータに関するにのラムはジェット機
の空気入口ランプ（ｒａｍｐ：かまたは別の制御部材に
連結するのがよい。

この種の装置では、戦闘による損傷またはその他の非常
状態によって正規の制御が故障すれば、制御部材が２つ
のモードの作動をするのが好ましい。

すなわち、モードＡ１１中に故障が生じたとき、制御部
材が制御された速度で受動的（ｐａｓｓｉｖｅ位置に戻
り、モード°Ｂ″中に故障が生じたとき、制御部材が現
在（ｅｘｉｓｔｉｎｇ）位置に保持されるようになす。

前記形式の装置ではラムはしばしば多数の別々の自動弁
を介して連結される。

自動弁は制御システムにおいて故障を感知してラムを現
在位置に固定するかまたはラムを受動的位置に後退させ
る。

この種の従来装置は正規作動中にラムの位置を制御する
ためのサーボ弁と、正規制御システムにおける故障の場
合にラムを作動させる追加のサーボ弁と圧力作動弁とを
包含する。

非常状態間２つのモード機能を果すため分離したサーボ
弁と圧力作動弁を使用することはサーボアクチュエータ
の信頼性を低下させ、アクチュエータの重量を増し、高
価にして複雑なものとする。

本発明は、ラムの位置を制御するためのサーボアクチュ
エータ装置において、前記ラムを伸長または後退させる
ため前記ラムへ行ったり来たりする流体の流れを選択的
に制御するサーボ弁と、ばね負荷圧力作動アクチュエー
タと、シャットオフ弁とを備え、前記シャットオフ弁は
、前記サーボ弁の前記選択的作用を可能ならしめるため
前記アクチュエータを前記サーボ弁から遠ざけて前記サ
ーボ弁を解放せしめるため前記アクチュエータを高圧流
体源と連結するための第１位置と、前記ラムを後退させ
るため流体圧力を供給するために前記サーボ弁を別個の
位置に動かすため前記アクチュエータがばねの押圧力で
動くように前記アクチュエータに作用する圧力を逃すた
めの第２位置との間で移動自在であることを特徴とする
サーボアクチュエータ装置を提供する。

また本発明は、前部端空所と後部端空所とを有するラム
の位置を制御するためのサーボアクチュエータ装置にお
いて、前記ラムを選択的に伸長または後退させるため高
圧力流体源を前記２つの空所の何れかに選択的に連結す
るサーボ弁を備え、前記サーボ弁は他方の空所が前記高
圧力流体源に連結されたとき一方の空所を戻りポートに
逃すために連結された戻り導管を有しており、また正規
作動中流体が前記一方の空所から逃される速度を制限す
るため前記戻りポートと直列に連結された通気管路応答
速度制限弁と、前記一方の空所から前記戻りポートへの
流体の流れを閉塞するため前記速度制限弁を閉塞位置へ
動かすため前記速度制限弁に連結された差圧応答閉塞ア
クチュエータとを備え、前記差圧応答閉塞アクチュエー
タは前記一方の空所と直接に連通しかつ前記速度制限弁
を前記閉塞位置へ動かす一方向にその中の圧力により作
用されるようになっており、また前記一方の空所を前記
差圧応答閉塞アクチュエータにこれを所定位置に保持す
るために連結するための、かつ前記差圧応答閉塞アクチ
ュエータを前記戻りポートに連結して前記差圧応答閉塞
アクチュエータに作用する前記一方の空所からくる流体
圧力が前記閉塞アクチュエータを作動しかつ前記速度制
限弁を前記閉塞位置に移動させることを可能にするため
の選択的に作動する閉塞弁を備えたことを特徴とするサ
ーボアクチュエータ装置を提供する。

これらの形式のサーボアクチュエータでは、正規作動中
ラムの位置を制御するサーボ弁を包含する。

ばね負荷の圧力作動アクチュエータが前記サーボ弁と協
同してシステムの故障信号がでた場合にラムをロック位
置に後退させる。

これにより追加のサーボ弁や圧力作動弁の必要がなくな
る。

一実施例によれば、ばね負荷の圧力作動アクチュエータ
は、圧力作動アクチュエータを後退した受動的位置にシ
フトするため高圧流体源に連結される。

次にサーボ弁は正規作動中ラムを伸長または後退させる
ため選択的に位置させることができる。

システムが故障した場合、流体圧がなくなるかまたはシ
ャットオフ弁を脱勢する信号がなくなれば、アクチュエ
ータへの高圧流体源を切ってアクチュエータを圧力逃し
するので、アクチュエータはばね力を受けてあらかじめ
決められた位置にシフトでき、ラムを制御される速度で
閉鎖位置に後退させるため別個の位置に移動させる。

次いで制御部材が受動的位置に保持される。

この操作をモード°Ａ″と定義する。

本発明の他の構成によれば、ラムを伸長または後退させ
るためラムはサーボ弁を介して高圧流体源と選択的に連
結自在の前部空所と後部空所を有する。

一方の空所は他方の空所がサーボ弁を介して高圧流体源
に連結されたとき、サーボ弁を介して戻りポートに逃さ
れる。

戻りポートと一連の速度制限弁は流体が前部空所または
後部空所から逃げる速さを限定する。

一つの空所から戻りポートに流体が流れるのを阻止する
ため、閉塞弁とアクチュエータが速度制限弁を閉塞位置
にシフトするため設けられる。

閉塞弁は故障信号がでた場合に選択的に移動自在で、速
度制限弁をその閉塞位置にシフトするため閉塞アクチュ
エータを伸長して一つのラム空所から閉塞アクチュエー
タへ流体を流れさせる。

一実施例では、閉塞アクチュエータはシャットオフ弁を
すぎて流れる高圧流体源からの圧力によってその後退位
置に保持される。

シャットオフ弁を閉じると、高圧流体のある閉塞アクチ
ュエータは逃される。

すると閉塞弁は動いて一つの空所からの流体圧力が働い
て閉塞アクチュエータをその閉塞位置に伸長させる。

故障信号は電気（閉塞弁を付勢しシャットオフ弁を脱勢
する）かまたは水圧喪失および付勢された閉塞弁でもよ
い。

すなわち制御部材を動かす外部適用の力は入口逆止め弁
によって伸長を阻止されるかまたは力を生ずる圧力によ
ってその閉塞位置にシフトされる閉塞アクチュエータに
よって後退を阻止されるかのいずれかである。

この操作をモードＢ ＩＴと定義する。

上記事項を考慮すると明らかな如く、本発明の主要な目
的は改良されたサーボアクチュエータ装置を提供するこ
とにある。

本発明のもう一つの目的は個別の非常用モード弁と閉塞
弁を使用することから生ずるサイズ、重量およびコスト
の不利益を回避するコンパクトな軽量なサーボアクチュ
エータを提供することにある。

本発明の他の目的はラムの位置を制御し、正規作動と非
常作動に対して同一のサーボ弁を使用するサーボアクチ
ュエータ装置を提供することにある。

本発明の他の目的は非常状態の下で正規の速度制限弁を
閉塞弁として使用するサーボアクチュエータ装置を提供
することにある。

本発明の他の目的は、一つのサーボアクチュエータに二
様の非常モード性能、すなわちラムに命令して制御され
た速さで受動的位置に動くための゛Ａ＋＋モードと、ラ
ムに命令してその現在位置を保持させるための”Ｂ“モ
ードとを与えることにある。

本発明の他の目的は、電気信号によるかまたは水圧の喪
失に基づいて非常モード°Ａ″と°°Ｂ″を開始せしめ
ることにある。

以下本発明の実施例について図面を参照して群細に説明
する。

図には、本発明によって組立てられたサーボアクチュエ
ータ装置Ａが示されている。

サーボアクチュエータＡは電気水力サーボ弁Ｂを包含し
、サーボ弁Ｂは内孔１２内と長手方向にシフト自在なス
プールＣを包含する。

スプールＣは相対する端部ランド１４と１６および中央
ランド１８を有する。

コイルばね２０が板部材２２に押圧され、板部材２２は
高圧の流体の供給がなくなったときスプールＣがその中
央位置すなわちゼロ位置に復帰するのを助けるため端部
ランド１６に向って押圧する。

板２２は外方に延びるフランジ２４を有し、フランジ２
４は内孔１２の外端面に支持されてスプールＣがそのゼ
ロ位置に位置決めされるのを助ける別個のストップとな
っている。

本発明によれば、ばね負荷の圧力作動アクチュエータＤ
は、内孔１２内に往復自在に位置する小さい直径部２８
と、大きな直径の内孔３２内に位置する拡大部分３０を
有する。

アクチュエータＤはその後端に内孔３４を有し、内孔３
４はコイルばね３６を収めて、ばね３６は内孔３２の底
部の中心に置かれた小さな内孔３８の底に押圧されてい
る。

コイルばね３６は通常アクチュエータＤを図で右方に押
している。

内孔１２と内孔３２間の交差部は停止層を形威しこの肩
に拡大部分３０がアクチュエータＤ用のあらかじめ決め
られた位置を限定するため載っている。

このあらかじめ決められた位置では、アクチュエータＤ
は突出部４０を有し、この突出部４０はスプールＣをそ
のゼロ位置の右方の別個の位置に移動させるためランド
１４の端に作用する。

サーボアクチュエータＡは高圧流体源となるポンプと連
結するための入口ポート４２を有する。

導管４４が入口ポート４２からでて内孔１２と連通する
圧力ポート４６と４８へ行く。

導管４４ばその中に逆止め弁５０を有し、水圧流体が逆
流して入口ポート４２に戻るのを阻止する。

導管５２がソレノイド作動のシャットオフ弁Ｅを介して
導管４２を導管５４と接続する。

弁Ｅは座５８と６０を有する心棒５６を包含する。

心棒５６は通常ばね６２によって第１位置に押圧される
。

この第１位置では座５８が導管５，２と５４間の連通を
阻止する。

座６０は導管５４と弁Ｅ内の空所６４間の連通を行なう
位置にある。

シャットオフ弁Ｅが付勢位置にある場合、座５８は第２
位置に動いて導管５２と５４間に連通をつげるが、一方
では座６０は導管５４と空所６４間の連通を阻止する位
置に動く。

導管６８はアクチュエータＤの拡大部分３０の右方に導
管５４を拡大内孔３２と連結する。

絞り７０が導管６８の下流で導管５４中に形成される。

導管７２が絞り７０の下流でアクチュエータＤの小直径
部分２８とスプールＣの端部ランド１４間で導管５４を
内孔１２と連結する。

導管７８は導管５４を電気水圧弁Ｐの空所７６に入る絞
り出口８２を有する導管８０と連結し、絞り８４が導管
８０内に設けられている。

絞り８４の下流で絞り出口８２の上流の導管８６は導管
８０を端部ランド１６の右方で内孔１２に連結する。

導管５４もまた導管７２の下流の弁Ｐの空所７６に入る
絞り出ロア４を有する。

導管９０はランド１６と１８の間で内孔１２と連通し、
またラムＦの前部空所９２と連通ずる。

導管９４はランド１４と１８間で内孔１２と連通し、さ
らにラムＦの後部空所９８と連通ずる。

戻り導管１０２が内孔１２の中心の戻りポート１０４と
連通して通常スプールＣの中央ランド１８によって閉塞
される。

左方または右方のいずれかへのスプールＣの移動は、ラ
ンド１４と１８間またはランド１６と１８間からの戻り
流体通路を導管１０２を介して開放する。

導管１０２はその中に絞りすなわちオリフィス１０４を
有し、内孔１０６とスプールＨを有する速度制限弁Ｇと
連通ずる。

スプールＨは小さなランド１０８を有し、このランド１
０８にコイルばね１１２が接して通常スプールＨを左方
に押圧している。

スプールＨはもう一つのランド１１４を有する。

導管１１６がランド１１４の左方で導管１０２を内孔１
０６と連結する。

導管１２０は内孔１０６から出て戻り導管１２２と連結
する。

導管１２２は図示しない水圧流体貯槽と連結するため戻
りポート１２４と接続する。

閉塞アクチュエータＪはピストンにとＮを有スる。

ピストンＮのランド１３４は大きな内孔１３６内に位置
し、ピストンに上のランド１３４より小さいランド１３
８は中間内孔１４０内に位置している。

ピストンにの小直径後端部分１４２は小直径の内孔１４
４内に位置する。

ピストンには速度制限弁Ｇの内孔１０６に交差して内孔
１４８を貫通する小直径の前方部分１４６を有する。

導管１５０がランド１３４の右方に内孔１３６と連通し
、アクチュエータＤの内孔３２と連通する。

導管１５２がランド１３８の左方で導管９４を閉塞アク
チュエータ内孔１４０と連結する。

導管１５６が導管９４をソレノイド作動閉塞弁りの空所
１５８と連結する。

閉塞弁りは座１６２と１６４を含む心棒１６０を有する
。

弁導管部分１６６はランド１３４と１３８間の閉塞アク
チュエータ内孔１３６および１４０と連通する導管１６
８と連結されている。

弁導管部分１６６はシャットオフ弁Ｅの空所６４に至る
導管１７２と連結する導管１７０と連通ずる。

導管１７４は導管１７０および１７２を、導管１２０と
ラムＦの内部空所１７８間に連通ずる導管１７６に連結
する。

閉塞弁りはコイルばね１８０を有し、このばね１８０は
通常ランド１６４が導管１６８と１７０間の連通を閉塞
する位置に心棒１６０を押圧するが、一方座１６２は空
所１５８を介して導管１５６と１６８間の連通を許す位
置におかれる。

閉塞弁りが付勢されるとき、座１６２は空所１５８を介
して導管１５６と１６８間の連通を閉塞するが、座１６
４は導管１６８と１７０間の連通を許す位置におかれる
。

ラムの後部空所９８は軸１９２にピボットされるロック
部材１９０を有し、これらの部材１９０はたがいに近づ
いたり離れたりする旋回運動をする。

ロック部材１９０は外部に向うかぎ部分１９４とカム面
１９６とを有する。

ラムＦの後方部分はロッキング用のカム面１９８を与え
るため凹まされている。

プランジャＭがラムＦ内の内孔２０２内を往復するよう
に置かれ、拡大部分２０６内に位置する拡大頭部２０４
を有するプランジャＭ上の拡大頭部２０４によって接合
するための停止層がピストンＦ内に設けられている。

コイルばね２０８が拡大頭部２０４に押圧されて通常プ
ランジャＭを図で左方に保持している。

プランジャＭはロック部材１９０のカム面１９６と協同
するため円周方向のカム面２１２を含んでいる６ラムＦ
が後退すると（図で左方へ動く）、カム面２１２がカム
面１９６に係合して、ロック突出部１９４がロッキング
用カム面１９８の背後に係合するまで、ロック部材１９
０をたがいに他から離すようにピボットする。

これにより外部の影響によってラムＦが伸長するのを阻
止される。

ラムＦは空所９８を加圧することによってロックを外さ
れる。

圧力はプランジャＭに働らいて、プランジャＭをばね２
０８の力に抗して右方にシフトさせ、ロック部材１９０
を自由にしてたがいに他に対してピボット運動をさせる
。

するとロック突出部１９４はロッキング用カム面１９８
から変位させられてラムＦが伸長するのを許容する。

電気流体圧弁Ｐはオリフィス７４と８２の中間の空所７
６に位置するフラッパー２１６を有する。

フラッパー２１６はスプールＣのランド１８の円周グル
ープ２２０内に位置する機械連結２１８を有し、弁Ｐに
機械的なフィードバックを供してスプールＣの位置を決
める。

導管２２２が空所７６を戻りポート１２４に至る導管１
２２と連結する。

線型可変変圧器２２６はラムＦの空所１７８内において
、ラムＦの位置に比例する電気フィードバック信号を得
るのがよい。

信号は指示装置にフィードバックさせるかまたは電気流
体圧弁Ｐと連結（信号調整後）するのがよい。

サーボアクチュエータ装置Ａの作動において高圧流体は
入口ポート４２に供給される。

シャットオフ弁ＥＪ″−開いて高圧流体は導管５２から
導管５４と６８に流れてばね３６の押圧力に抗してアク
チュエータＤを左方にシフトさせる。

高圧流体はまたスプールＣの両端に導管７２と８６を介
して作用してスプールＣに働く圧力をバランスさせるか
らスプールＣは拘束力のないゼロ位置を占める。

次に電気水圧弁Ｐが付勢されてフラッパー２１６をオリ
フィス７４または８２のいずれかの方向にシフトさせる
。

フラッパー２１６を左にシフトさせることは部分的にオ
リフィス７４を閉塞して導管７２を介してランド１４に
働らく圧力を増加させ、他方オリフィス８２を通る大き
な流量は導管８６を経てランド１６に働らく圧力を減少
させるこれによりスプールＣは右方にシフトして圧力ポ
ート４８を開いてランド１６と１８間で内孔１２と連通
させ圧力ポート４６をランド１４によって内孔１２との
連通しないよう閉じる。

すると高圧流体は圧力ポート４８から内孔１２をへて導
管９０に流れて前方のラム空所９２に入ってラムＦを後
退させる。

後方のラム空所９８内の流体は導管９４を通って内孔１
２に排出され、次に導管１０２を通って速度制限弁Ｇに
達する。

流体は速度制限弁Ｇ導管１２０と１２２を流れて戻りポ
ート１２４に行く。

ラムがあまり早く後退すれば、速度制限弁Ｇを流れる流
量率は望ましい予定値以上に増加することになる。

流量率が増加すると、オリフィス１０４により大きな圧
力が導管１１６を経由して蓄積されランド１１４に働ら
く、この大きな圧力はランド１１４が部分的に導管１２
０に行く流量を閉塞するまでばね１１２の力に抗してス
プールＨを右方にシフトするので、ラムＦは所望の予定
最大重以上に後退することはない。

フラッパー２１６がオリフィス８２の方に右方に動くた
め付勢されれば、導管８６を介してランド１６に働らく
圧力は増加し、導管７２を介してランド１４に働らく圧
力が減少してスプールＣを左方にシフトさせる。

すると圧力ポート４８はランド１６によって内孔１２と
の連通を閉塞されて、導管９０と１０２は開かれてラン
ド１６と１８間で内孔１２と連通ずる。

同様に圧力ポート４６と導管９４も開いてランド１４と
１８間で内孔１２と連通して高圧流体を後部空所９８に
供給してラムＦを伸長させる。

この操作間、高圧流体は導管１５０を介して閉塞アクチ
ュエータピストンにのランド１３４に働らく。

高圧流体はまた導管１５２を介してランド１３８の左側
に働らき、導管１６８を介してランド１３４と１３８間
に働らき、弁空所１５８を介して導管１５６と連通ずる
閉塞アクチュエータピストンＫにかかる圧力は、必然的
にバランスして、ピストンＮによって左方にその後退位
置に保持されるので、速度制限弁スプールＨの作動を邪
魔しない。

正規の制御システムの故障による誤作動または非常状態
の場合には、シャットオフ弁Ｅが脱勢される。

座５８が閉まって導管５２と５４の連通を絶ち、導管５
４は空所６４に逃がされる。

前述した導管を介してスプールＣとアクチュエータＤに
働く圧力は、導管５４、弁空所６４、導管１７２１７４
．１７６をへて戻りポート１２４に逃がされる。

次にアクチュエータＤがばね３６の力を受けて右方にシ
フトする。

アクチュエータ突出部４０はランド１４に作用してスプ
ールＣを別個の位置に動かせてそのゼロ位置から離れた
右方に位置させる。

スプールＣのこの別個の位置では、圧力ポート４８と導
管９０はランド１６と１８間で内孔１２と連通ずるが、
一方圧カポート４６はランド１４によって内孔１２との
連通を閉塞される３導管９４と１０２もまたランド１４
と１８の間で内孔１２と連通ずる。

高圧流体は次にスプールＣの別個の位置によってきまる
制御された割合で圧力ポート４８から内孔１２を経て導
管９０から流出してラムＦを後退させる。

流体は後部ラム空所９８から導管９４、内孔１２、導管
１０２、速度制限弁Ｇ、導管１２０および導管１２２を
へて戻りポート１２４に流れる。

ラムは前に述べたやり方でロック部材１９０によってそ
の後退位置にロックする。

ラムＦは次にその後退位置に保持されるから、制御部材
は受動的位置にある。

ラムＦは制御部材に働らく外力によって伸長させること
はできない。

前述の配置では、サーボ弁ＢはラムＦの正規の後退と伸
長運動に対しては通常の制御弁としての役目を果し、ま
たラムＦをあらかじめ決められた制御速度で後退とロッ
ク位置に後退させるため、アクチュエータＤと協同して
非常状態の下では非常弁として作動する。

このモードＡ“作用は一例として１．０より低いマツハ
数で作動する航空機に効果的である。

このように低いマツハ数で作動する航空機では、非常状
態が生じモード゛Ａ″信号がでて、あらかじめきめられ
た割合でラムＦの後退ロック位置への後退が起るので、
制御部材は受動（ｐａｓｓｉｖｅ ）位置にある。

モードＢ Ｉ＋の有効な使用例は、航空機の高いマツハ
数作動において、故障または非常状態が起るとき制御部
材をその既存位置に保持する場合である。

モードｌ Ｂ ｌ”では閉塞ルノイド弁りが付勢される
。

しかし、この点では何も起らない。それはシャットオフ
ソレノイド弁Ｅ（付勢されている）はピストンＮを介し
て閉塞弁りに対してその能力を超えているので、システ
ムはサーボ弁Ｂを介して正規の制御の下で継続しうるか
らである。

しかし、シャットオフソレノイド弁Ｅの脱勢により再び
前に述べたやり方で導管５４が逃がされる。

アクチュエータＤは再びばね３６の力をうけて右方にシ
フトし、サーボ弁スプールＣを前に述べたやり方でゼロ
の右方の別個の位置に位置決めする。

このことが起ると、高圧流体が圧力ポート４８と導管９
０をへて前部のラム空所９２に作用してラムＦを後退さ
せようとする。

閉塞アクチュエータピストンにのランド１３４の右方に
連通する導管１５０は逃がされる。

導管１５６は閉塞ソレノイド弁りのランド１６２によっ
て導管１６８との連通な遮断される。

閉塞アクチュエータピストンにのランド１３８とピスト
ンＮのランド１３４間の区域は導管１６８と１７０を介
して戻りポート１２４に逃がされる。

従って導管９４を介して後部ラム空所９８から流れる流
体は、導管１５２を介してランド１３８の左方に作用す
る。

閉塞アクチュエータピストンＫに働く唯一の圧力は次に
速度制限弁スプールＨを右方にシフトさせるためスプー
ル部分１４８がランド１１４に当るまで閉塞アクチュエ
ータピストンＫを右方にシフトしようとするので、ラン
ド１１４は内孔１０６を閉塞して導管１２０との連通を
絶つのである。

この状態の下で、戻り流体は後部空所９８から戻りポー
ト１２４へ流れることはできず、これによってラムＦは
モード°Ｂ″作用中故障が起きたとき占めていた位置に
保持される。

システム圧力がなくなっても、入口圧力ポート４２の下
流の逆止め弁５０の存在によりラムが延びないように、
またピストンＫを閉塞位置にシフトさせる大きさの反動
圧力を空所９８に作る外部圧力によって後退しないよう
にラムＦをこの位置に保持する。

ラムＦによって作動される制御部材は次にモード゛Ｂ″
の故障が起きたときラムＦが占めていた位置に保持され
る。

前述の作動配置では閉塞アクチュエータＪは同じ速度制
限弁Ｇに作用する。

制限弁Ｇは正規作動中使用され、あらかじめ決められた
割合を超えないようにラムＦの前進と後退運動を与える
。

サーボアクチュエータＡについて述べた装置は正規作動
と非常作動の双方に同じサーボ弁と速度匍堰弁を使用す
ることにより、はるかに小さく、軽く、信頼性があり、
作動が簡単である。

本発明はこの外様々の変更と応用がある。

以下本発明の実施の態様を次に列挙する。

（１）前記アクチュエータを選択的に動かす前記装置が
前記アクチュエータを動かす信号を送るための電気式ま
たは流体圧信号手段からなる。

（２）前記サーボ弁の前記別個の位置が制御された速度
で前記ラムの後退を生じさせる。

（３）前記ラムをその十分に後退した位置にロックする
ロック装置を包含する。

（４）前記アクチュエータを選択的に動かすための前記
装置が前記アクチュエータを前記第」位置にシフトさせ
るため前記アクチュエータを高圧流体源に選択的に連結
し、前記アクチュエータにかかる圧力を逃すシャットオ
フ弁からなり、前記アクチュエータがばねの押圧力によ
って前記第２位置に動く。

（５）前記ラムは高圧流体源が前記サーボ弁を介して連
結され前記ラムを後退させる前部端空所と、前記高圧流
体源が前記サーボ弁を介して連結され前記ラムを前進さ
せる後部端空所と、前記空所の一方が前記高圧流体源と
連結されたとき前記空所の他方を前記サーボ弁を介して
戻りポート装置に逃す逃し装置と、流体が正規作動中前
記一方の空所から逃がされる割合を制限するため前記戻
りポート装置と一連の速度制限弁装置と、前記一方の空
所から前記戻りポート装置への流体の流れを閉塞するた
め前記速度制限弁装置を閉塞位置に動かすための閉塞ア
クチュエータ装置と、前記速度制限弁装置を前記閉塞位
置に動かす前記閉塞アクチュエータをシフトさせるため
前記一方の空所を前記閉塞アクチュエータと連結するた
めの選択的に作動自在な閉塞弁装置とを包含する。

（６）前記実施の態様５記載の装置において前記一方の
空所が前記後部端空所からなり、前記ラムの後退は前記
速度制限弁装置が前記閉塞位置にあるとき阻止される。

（７）前記実施の態様６記載の装置がさらに前記ラムの
伸長を阻止するため前記前部端空所用の流体通路に逆止
め弁装置を包含する。

（８）前記実施の態様６記載の装置において、システム
の圧力が全部なくなる間前記閉塞アクチュエータをシフ
トさせる圧力が前記ラムを後退させようとする力によっ
て発生させられる。

（９）前記実施の態様５記載の装置において、前記アク
チュエータを選択的に動かす前記装置は前記アクチュエ
ータを前記第１位置にシフトさせるため前記アクチュエ
ータを高圧流体源と選択的に連結し前記アクチュエータ
にかかる圧力を逃すシャットオフ弁からなるので、前記
アクチュエータはばねの押圧力で前記第２位置に動き、
前記閉塞アクチュエータがシャットオフ弁を介して前記
高圧流体源と連結されて前記閉塞アクチュエータを後退
位置に保持し、前記閉塞アクチュエータは前記シャット
オフ弁が他の位置に動かされるとき逃がされる。

００）前記実施の態様５記載の装置がさらに前記閉塞ア
クチュエータを後退位置に保持するため前記閉塞アクチ
ュエータを前記高圧流体源と連結する第１位置と高圧流
体を前記閉塞アクチュエータから逃すための第２位置と
の間で移動自在なシャットオフ弁装置を含む。

０υ 前記一方の空所が前記後部端空所からなり、前記
ラムの後退は前記速度制限弁装置が前記閉塞位置にある
とき阻止される。

（１２）前記実施の態様１１記載の装置がさらに前記ラ
ムの伸長を阻止するため前記前部端空所用の流体流路に
逆止め弁装置を含む。

０３）前記実施の態様１１記載の装置において、システ
ム圧力が全部なくなる間前記閉塞アクチュエータをシフ
トさせる圧力が前記ラムと後退させようとする力によっ
て発生させられる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明により構成されたサーボアクチュエータ装置
を作動させるための流体圧回路線図である。 Ａ・・・・・・サーボアクチュエータ装置、Ｂ・・・・
・・サーボ弁、Ｃ・・・・・・スプール、１２・・・・
・・内孔、１４゜１６．１８・・・・・・ランド、２０
・・・・・・コイルばね、２２・・・・・・板部材、２
４・・・・・・フランジ、Ｄ・・・・・・アクチュエー
タ、２８・・・・・・小直径部分、３０・・・・・・拡
大部分、３２，３４・・・・・・内孔、３６・・・・・
・コイルばね３８・・・・・・内孔、４０・・・・・・
突出部、４２・・・・・・入口ポート、４４・・・・・
・導管、４６，４８・・・・・・圧力ポート５０・・・
・・・逆止め弁、５２ 、５４・・・・・・導管、Ｅ・
・・・・・シャットオフ弁、５６・・・・・・心棒、５
８，６０・・・・・・座、６２・・・・・・ばね、６４
・・・・・・空所、６８・・・・・・導管７０・・・・
・・絞り、７２，７８，８０・・・・・・導管、７４８
２・・・・・・出口、７６・・・・・・空所、Ｐ・・・
・・・電気流体圧弁、８４・・・・・・絞り、８６，９
０・・・・・・導管、９２−１゜・・・前部空所、Ｆ−
・・・・・ラム、９４・・・・・・導管、９８・・・・
・・後部空所、１０２・・・・・・戻り導管、１０４・
・−・・・戻りポート、Ｇ・・・・・・速度制限弁、１
０６・・・・・・内孔、Ｈ・・・・°・スプール、１０
８・・・・・・ランド、１１２・・・・・・コイルばね
、１１４・・・・・・ランド、１１６，１２０゜１２２
・・・・・・導管、１２４・・・・・・戻りポート、Ｊ
・・・・・・閉塞アクチュエータ、Ｋ、Ｎ・・・・・・
ピストン、１３４・・・・・−ランド、１３６・・・・
・・内孔、１３８・・・・・・ランド、１４０・・・・
・・内孔、１４２・・・・・・後端部分、１４４・・−
・・・内孔、１４６・・・・・・前方部分、１４８．・
・・・・内孔、１５０ 、１５２．１５６・・・・・・
導管、１５８・・・・・・空所、Ｌ・・・・・・ソレノ
イド作動閉塞弁、１６０・・・・・・心棒、１６２，１
６４・・・・・・座、１６６゜１６８．１７０，１７２
，１７４，１７６・・・・・・導管、１７８・・・・・
・空所、１８０・・・・・・コイルばね、１９０・・・
・・・ロック部材、１９２・・・・・・軸、１９４・・
・・・・かぎ部分、１９６，１９８・・・・・・カム面
、Ｍ・・・・・・プランジャ、２０２・・・・・・内孔
、２０４・・・・・・拡大頭部、２０６・・・・・・拡
大内孔、２０８・・・・・・コイルばね、２１２・・・
・・・カム面、Ｐ・・・・・・電気流体圧弁、２１６・
・・・・・フラッパー、２１８・・・・・・連結部、２
２０・・・・・・グループ、２２２・・・・・・導管、
２２６・・・・・・変圧器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ラムＦの位置を制御するためのサーボアクチュエー
   タ装置Ａにおいて、前記ラムを伸長または後退させるた
   め前記ラムへ行ったり来たりする流体の流れを選択的に
   制御するサーボ弁Ｂと、ばね負荷圧力作動アクチュエー
   タＤと、シャットオフ弁Ｅとを備え、前記シャットオフ
   弁は、前記サーボ弁Ｂの前記選択的作用を可能ならしめ
   るため前記アクチュエータＤを前記サーボ弁Ｂから遠ざ
   けて前記サーボ弁Ｂを解放せしめるため前記アクチュエ
   ータＤを高圧流体源４２と通路５２，５４゜６８を経て
   連結するための第１位置と、前記ラムＦを後退させるた
   め流体圧力を通路４４，４８゜９０を経て供給するため
   に前記サーボ弁Ｂを別個の位置に動かすため前記アクチ
   ュエータＤがばね３６の押圧力で動（ように前記アクチ
   ュエータＤに作用する圧力を通路６８，５４，１７２゜
   １７４．１２２．１２４を経て逃すための第２位置との
   間で移動自在であることを特徴とするサーボアクチュエ
   ータ装置。 ２ 前部端空所９２と後部端空所９８とを有するラムＦ
   の位置を制御するためのサーボアクチュエータ装置にお
   いて前記ラムＦを選択的に伸長または後退させるため高
   圧力流体源４２を前記２つの空所９２，９８の何れかに
   選択的に連結するサーボ弁Ｂを備え、前記サーボ弁Ｂは
   他方の空所９２が前記高圧力流体源４２に連結されたと
   き一方の空所９８を戻りポート１２４に逃すために連結
   された戻り導管１０２を有しており、また正規作動中流
   体が前記一方の空所９８から逃される速度を制限するた
   め前記戻りポート１２４と直列に連結された通気管路応
   答速度制限弁Ｇと、前記一方の空所９８から前記戻りポ
   ート１２４への流体の流れを閉塞するため前記速度制限
   弁Ｇを閉塞位置へ動かすため前記速度制限弁Ｇに連結さ
   れた差圧応答閉塞アクチュエータＪと、前記差圧応答閉
   塞アクチュエータに作用する圧力に無関係に前記閉塞ア
   クチュエータＪの前記閉塞位置への移動を防止するため
   加わる圧力に応答して動くことのできるピストンＮと、
   通路１５０，５４，１７２゜１２２を経て前記ピストン
   Ｎに加わる圧力を逃すためのシャットオフ弁Ｅとを備え
   、前記差圧応答閉塞アクチュエータＪは前記一方の空所
   ９８と直接に通路１５２を経て連通しかつ前記速度制限
   弁Ｇを前記閉塞位置へ動かす一方向にその中の圧力によ
   り作用されるようになっており、また前記一方の空所９
   ８を通路１５６，１６６．１６８を経て前記差圧応答閉
   塞アクチュエータＪにこれを所定位置に保持するために
   連結するための、かつ前記差圧応答閉塞アクチュエータ
   Ｊを前記戻りポー′ト１２４に通路１６８，１７０，１
   ７４，１２２を経て連結して前記差圧応答閉塞アクチュ
   エータＪに通路１５２を経て作用する前記一方の空所９
   ８からくる流体圧力が前記閉塞アクチュエータＪを作動
   しかつ前記速度制限弁Ｇを前記閉塞位置に移動させるこ
   とを可能にするための選択的に作動する閉塞弁りを備え
   たことを特徴とするサーボアクチュエータ装置。