JPS5853724U - 被処理物の吸入収納装置 - Google Patents
被処理物の吸入収納装置Info
- Publication number
- JPS5853724U JPS5853724U JP14700881U JP14700881U JPS5853724U JP S5853724 U JPS5853724 U JP S5853724U JP 14700881 U JP14700881 U JP 14700881U JP 14700881 U JP14700881 U JP 14700881U JP S5853724 U JPS5853724 U JP S5853724U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- suction
- air flow
- storage device
- silencer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Air Transport Of Granular Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面はこの考案に係るディープマスターのフローシート
図である。 １・・・ダンパー装置、２・・・除塵装置、３・・・１
段側ポンプ、４・・・２段側ポンプ、５・・・消音装置
、６・・・水切装置、７・・・排気装置、８・・・逆止
弁、９・・・バイパス、１０・・・水供給装置。
図である。 １・・・ダンパー装置、２・・・除塵装置、３・・・１
段側ポンプ、４・・・２段側ポンプ、５・・・消音装置
、６・・・水切装置、７・・・排気装置、８・・・逆止
弁、９・・・バイパス、１０・・・水供給装置。
Claims (1)
- ダンパー装置、除塵装置、真空ポンプ、消音装置、水切
装置及び排気装置を順に直列に接続し、真空ポンプの吸
引力によりダンパー装置、除塵装置、真空′ポンプ、消
音装置、水切装置を夫々通って大気へ流れる空気流を形
成し、この空気流を利用して被処理物を吸入収納するデ
ィープマスターに於いて、真空ポンプと消、音装置との
間に補助真空ポンプを直列に接続し、かつ、真空ポンプ
の吐出側と補助真空ポンプの吐出側との間に逆止弁を介
在したバイパスを接続して負圧を利用して被処理物を吸
入収納する真空吸引を兼備させるようにしたことを特徴
とするディープマスター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14700881U JPS5853724U (ja) | 1981-10-01 | 1981-10-01 | 被処理物の吸入収納装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14700881U JPS5853724U (ja) | 1981-10-01 | 1981-10-01 | 被処理物の吸入収納装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5853724U true JPS5853724U (ja) | 1983-04-12 |
| JPS6132907Y2 JPS6132907Y2 (ja) | 1986-09-25 |
Family
ID=29939883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14700881U Granted JPS5853724U (ja) | 1981-10-01 | 1981-10-01 | 被処理物の吸入収納装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5853724U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007316588A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-12-06 | Orc Mfg Co Ltd | 露光装置および露光方法 |
-
1981
- 1981-10-01 JP JP14700881U patent/JPS5853724U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007316588A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-12-06 | Orc Mfg Co Ltd | 露光装置および露光方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6132907Y2 (ja) | 1986-09-25 |
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