JPS5854939A - 超音波探触子およびその製造方法 - Google Patents
超音波探触子およびその製造方法Info
- Publication number
- JPS5854939A JPS5854939A JP56154315A JP15431581A JPS5854939A JP S5854939 A JPS5854939 A JP S5854939A JP 56154315 A JP56154315 A JP 56154315A JP 15431581 A JP15431581 A JP 15431581A JP S5854939 A JPS5854939 A JP S5854939A
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- Japan
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- acoustic matching
- ultrasonic probe
- piezoelectric
- ultrasonic
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- Pending
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、超音波診断装置に用いられる超音波探触子及
びその製造方法に関するものである。
びその製造方法に関するものである。
一般に直線電子走査型超音波診断装置に用いられる超音
波探触子は、直線状に超音波振動子を複数個配列したも
ので、直線走査することによ１）Ｘｔ形状の断層像が得
られるものである。
波探触子は、直線状に超音波振動子を複数個配列したも
ので、直線走査することによ１）Ｘｔ形状の断層像が得
られるものである。
一方、より被検視野の拡大をはかるために、超音波ビー
ムを扇形状に走査することが知られている。この超音波
ビームを扇形走査するには、純電気的に位相制御しなが
ら超音波振動子列を駆動、走査する方法と、超音波振動
子列を適当な曲率でまげ、駆動走査する方法が知られて
いる。
ムを扇形状に走査することが知られている。この超音波
ビームを扇形走査するには、純電気的に位相制御しなが
ら超音波振動子列を駆動、走査する方法と、超音波振動
子列を適当な曲率でまげ、駆動走査する方法が知られて
いる。
前者の純電気的な方法では、電気回路系が極めて複雑で
あり高価な装置となりあまり実用的ではない。一方、後
者の超音波振動子列を曲げて、それを単純に駆動走査す
る方法では、電気回路系が簡略化でき安価に装置をつく
ることができ実用的である。
あり高価な装置となりあまり実用的ではない。一方、後
者の超音波振動子列を曲げて、それを単純に駆動走査す
る方法では、電気回路系が簡略化でき安価に装置をつく
ることができ実用的である。
本発明は、この曲線状の超音波振動子列を有する超音波
探触子及びその製造方法に関するもので超音波振動子列
を簡便に安価６で均質に曲線状に配列できる探触子及び
その製造方法を提供するものである。
探触子及びその製造方法に関するもので超音波振動子列
を簡便に安価６で均質に曲線状に配列できる探触子及び
その製造方法を提供するものである。
従来、この曲線状に超音波振動子列を配列する探触子の
製法としては、第１図ａ、ｂ、ａまたは第２図ａ、ｂに
示す製造方法で行なわれて−る。
製法としては、第１図ａ、ｂ、ａまたは第２図ａ、ｂに
示す製造方法で行なわれて−る。
第１図ａ、ｂ、ｃに示す方法では、まず第１図ａに示す
ように、切断台２の上に離脱可能な接着剤で固定した圧
電振動子１を所望の間隔に複数個の素子３ａ、３ｂ、３
ｃ・・・・３ｎに切断し、しかるのち圧電振動子１の表
面上にシート４を接着して、切断台２から離脱する。そ
して第１図すに示すごとく、所望の曲率を有する凰５に
シート４を接着し、次に吸音体６に圧電振動子１を接着
してその後、型６とシート４を離脱し、第１図Ｃに示す
ように、所望の曲率を有する超音波振動子列を完成させ
るものである。しかしながらこの製造方法では、作業手
順が極めて複雑であり、更に、圧電振動子面に音響的整
合層を付加する場合にも同様の作業を必要とし、より一
層製造工程が複雑で均質につくることが困難であるとい
う欠点を有している。
ように、切断台２の上に離脱可能な接着剤で固定した圧
電振動子１を所望の間隔に複数個の素子３ａ、３ｂ、３
ｃ・・・・３ｎに切断し、しかるのち圧電振動子１の表
面上にシート４を接着して、切断台２から離脱する。そ
して第１図すに示すごとく、所望の曲率を有する凰５に
シート４を接着し、次に吸音体６に圧電振動子１を接着
してその後、型６とシート４を離脱し、第１図Ｃに示す
ように、所望の曲率を有する超音波振動子列を完成させ
るものである。しかしながらこの製造方法では、作業手
順が極めて複雑であり、更に、圧電振動子面に音響的整
合層を付加する場合にも同様の作業を必要とし、より一
層製造工程が複雑で均質につくることが困難であるとい
う欠点を有している。
一方、従来の他の方法は第２図ａにおいて、まず両面に
電極を設けた圧電振動子１の一方の電極ス等を用い、ま
た、第２の整合層８としてはエポキシ樹脂などを用いる
。次に圧電振動子１と第１整合層７を複数個の素子３ａ
〜３ｎに切断する。
電極を設けた圧電振動子１の一方の電極ス等を用い、ま
た、第２の整合層８としてはエポキシ樹脂などを用いる
。次に圧電振動子１と第１整合層７を複数個の素子３ａ
〜３ｎに切断する。
その後第２図すに示すように第２整合層８のエポキシ樹
脂の可撓性を利用し２て所望の曲率を有した枠９に固定
して、凸面あるいは凹面状の超音波振動子列を形成する
。しかしながら、この探触子の製造方法において、超音
波振動子列を所望の曲率とするだめには、圧電振動子１
及び可撓性のない硬い材料の第１整合層７まで切断しな
ければならない。このため切断の際、刃の減りが極めて
大きくなり、均一な切断を行うことが難しく、超音波探
触子の特性劣化を招くなどの問題があった。
脂の可撓性を利用し２て所望の曲率を有した枠９に固定
して、凸面あるいは凹面状の超音波振動子列を形成する
。しかしながら、この探触子の製造方法において、超音
波振動子列を所望の曲率とするだめには、圧電振動子１
及び可撓性のない硬い材料の第１整合層７まで切断しな
ければならない。このため切断の際、刃の減りが極めて
大きくなり、均一な切断を行うことが難しく、超音波探
触子の特性劣化を招くなどの問題があった。
本発明は、以上のような事情に鑑みなされたものである
。すなわち、可撓性を有する第１の音響整合層と第２の
音響整合層を圧電振動子の一方の面に設け、圧電振動子
のみを複数個に切断して第１及び第２の音響整合層の可
撓性を利用して、超音波振動子列を曲げ、所望の曲面を
有する超音波探触子を構成せんとするものである。
。すなわち、可撓性を有する第１の音響整合層と第２の
音響整合層を圧電振動子の一方の面に設け、圧電振動子
のみを複数個に切断して第１及び第２の音響整合層の可
撓性を利用して、超音波振動子列を曲げ、所望の曲面を
有する超音波探触子を構成せんとするものである。
以下、本発明の一実施例についてのべる。第３図ａ、ｂ
、Ｃは本発明の一実施例を示す。
、Ｃは本発明の一実施例を示す。
まず、第３図ａに示すごとく、両面に電極１０ａ。
１ｏｂを設けた圧電振動子１の電極１０ｂに可撓性を有
し適当に音響的整合を行なう第１の整合層７、例えば重
量比にしてタングステン金属粉末７〜８に対しエポキシ
樹脂１を混合した材料を放射超音波の４分の１波長の厚
さのシート状に成型した板を接着する。次に第１整合層
７の上に、第２の整合層８例えばエポキシ樹脂を４分の
１波長のユもシート状に成型した板を接着する。当然の
こしてもよい。もちろん圧電振動子１と第１整合層７、
第２整合層８を同時に接着あるいは接合してもよい。し
かるのち、第３図すに示すように圧電振動子１のみを任
意の間隔で複数個の素子３ａ。
し適当に音響的整合を行なう第１の整合層７、例えば重
量比にしてタングステン金属粉末７〜８に対しエポキシ
樹脂１を混合した材料を放射超音波の４分の１波長の厚
さのシート状に成型した板を接着する。次に第１整合層
７の上に、第２の整合層８例えばエポキシ樹脂を４分の
１波長のユもシート状に成型した板を接着する。当然の
こしてもよい。もちろん圧電振動子１と第１整合層７、
第２整合層８を同時に接着あるいは接合してもよい。し
かるのち、第３図すに示すように圧電振動子１のみを任
意の間隔で複数個の素子３ａ。
３ｂ、３ｃ・・・・３ｎに切断して超音波振動子列を形
成する。次に、所望の曲率を有する枠９ａ、例えば、超
音波ビームを扇形状に走査させる場合には、第３図Ｃに
示す凸形に、第１．第２整合層７゜８の可撓性を利用し
て曲面に接着し、任意の曲率を有する超音波振動子をつ
くる。
成する。次に、所望の曲率を有する枠９ａ、例えば、超
音波ビームを扇形状に走査させる場合には、第３図Ｃに
示す凸形に、第１．第２整合層７゜８の可撓性を利用し
て曲面に接着し、任意の曲率を有する超音波振動子をつ
くる。
次に、このように曲線状に配列した超音波振動子列を適
当なケースに入れ本体装置との接続をするケーブルを取
り付ければ、超音波ビームを簡単に扇形走査のできる超
音波探触子が得られるものである。
当なケースに入れ本体装置との接続をするケーブルを取
り付ければ、超音波ビームを簡単に扇形走査のできる超
音波探触子が得られるものである。
なお、第１及び第２の音響整合層７．８を圧電振動子の
上に形成するにあたり、適当な厚みのスペーサを用いた
整合層材料を流し込みにより形成してもよい。
上に形成するにあたり、適当な厚みのスペーサを用いた
整合層材料を流し込みにより形成してもよい。
超音波振動子列の形状は第３図の実施例に限られず、種
々の変形が可能である。たとえば、第３図Ｃとは逆の曲
線、すなわち音波放射面を凹面にして音波を収束させる
もの、あるいは超音波振動子を二次元に配列し、これを
音波放射面に対して凸または凹に曲げた曲面状にするこ
ともできる。
々の変形が可能である。たとえば、第３図Ｃとは逆の曲
線、すなわち音波放射面を凹面にして音波を収束させる
もの、あるいは超音波振動子を二次元に配列し、これを
音波放射面に対して凸または凹に曲げた曲面状にするこ
ともできる。
以上のように、本発明は圧電振動子の両面に電極を付着
してその一方の面に少くとも一層以上の可撓性材料から
なる音響整合層を形成し、圧電振動子の部分を複数個に
互いに分離切断し、この圧電振動子部分を任意の曲率を
有する枠に沿って固着させたものである。
してその一方の面に少くとも一層以上の可撓性材料から
なる音響整合層を形成し、圧電振動子の部分を複数個に
互いに分離切断し、この圧電振動子部分を任意の曲率を
有する枠に沿って固着させたものである。
本発明によれば、圧電振動子のみの切断で曲線あるいは
曲面状に形成することができるので、製造時の刃の減り
が少なくかつ切断時の精度も高くしかも整合層と圧電振
動子が固着されているので寸法精度のくるいもなく均質
な曲線状の超音波振動子列を容易につくることができる
もので極めて安価に高性能な超音波探触子を得ることが
できる。
曲面状に形成することができるので、製造時の刃の減り
が少なくかつ切断時の精度も高くしかも整合層と圧電振
動子が固着されているので寸法精度のくるいもなく均質
な曲線状の超音波振動子列を容易につくることができる
もので極めて安価に高性能な超音波探触子を得ることが
できる。
第１図ａは従来の超音波探触子の製造方法を示す斜視図
、同す、ｃは同断面図、第２図ｄは従来の超音波探触子
の製造方法を説明する斜視図、同すは同断面図、第３図
ａ、ｂは、本発明による超音波探触子及び製造方法の一
実施例を説明する斜視ｄ５研需満である。 １・・・・・・超音波振動子、２・・・・・・切断台、
３ａ・・・・３ｎ・・・・・・切断溝、４・・・・・・
シート、５・・・・・・型台、６・・・・・・所望の曲
面を有する吸音体、７・・・・・・第一整合層材料、８
・・・・・・第二整合層材料、９・・・・・・所望の曲
面を有する枠。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第 ２ 図
、同す、ｃは同断面図、第２図ｄは従来の超音波探触子
の製造方法を説明する斜視図、同すは同断面図、第３図
ａ、ｂは、本発明による超音波探触子及び製造方法の一
実施例を説明する斜視ｄ５研需満である。 １・・・・・・超音波振動子、２・・・・・・切断台、
３ａ・・・・３ｎ・・・・・・切断溝、４・・・・・・
シート、５・・・・・・型台、６・・・・・・所望の曲
面を有する吸音体、７・・・・・・第一整合層材料、８
・・・・・・第二整合層材料、９・・・・・・所望の曲
面を有する枠。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第 ２ 図
Claims (4)
- （１）両面に電極を付着した複数個の圧電振動子と、圧
電振動子の一方の電極面上に密着した一層以上の音響整
合層を有し、この音響整合層を可撓性の材料で形成し、
前記圧電体振動子群をその音波放射面が曲線状まだは曲
面状になるよう配列したことを特徴とする超音波探触子
。 - （２）音響整合層が２層に構成され、圧電振動子に近い
音響整合層を合成樹脂とタングステン金属粉末を混合し
た材料で形成し、音波被放射体に近い音響整合層を合成
樹脂で形成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の超音波探触子。 - （３）音響整合層の厚さを放射超音波の４分の１波長と
したことを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２
項のいずれかに記載の 超音波探触子。 - （４）圧電体板の両面に電極を形成する工程、前記圧電
体板の一方の電極面上に一層以上の可撓性材料を形成す
る工程、前記圧電体板の他方の電極側から圧電体板を切
断し、圧電体板を複数の互に分離した列状または面状モ
ザイク状に分割する工程分割した圧電体板を任意の曲率
を有する枠に沿って曲げ固着する工程とを具備すること
を特徴とすべ る超音波探触子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56154315A JPS5854939A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 超音波探触子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56154315A JPS5854939A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 超音波探触子およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5854939A true JPS5854939A (ja) | 1983-04-01 |
Family
ID=15581427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56154315A Pending JPS5854939A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 超音波探触子およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5854939A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59202058A (ja) * | 1983-05-02 | 1984-11-15 | Hitachi Medical Corp | 超音波検査装置用探触子の製造方法 |
| JPS6058550A (ja) * | 1983-09-10 | 1985-04-04 | Terumo Corp | 超音波探触子およびその製造方法 |
| JPS6085700A (ja) * | 1983-10-17 | 1985-05-15 | Hitachi Ltd | 超音波探触子の製造方法 |
| JPS60259247A (ja) * | 1984-06-06 | 1985-12-21 | 株式会社東芝 | 超音波プロ−ブ及びその製造方法 |
| JP2003092796A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Ueda Japan Radio Co Ltd | 湾曲面を有する超音波振動子 |
| JP2014131357A (ja) * | 2008-09-18 | 2014-07-10 | Visualsonics Inc | 超音波変換器および他の構成要素の製造方法 |
| US10596597B2 (en) | 2008-09-18 | 2020-03-24 | Fujifilm Sonosite, Inc. | Methods for manufacturing ultrasound transducers and other components |
| US11094875B2 (en) | 2008-09-18 | 2021-08-17 | Fujifilm Sonosite, Inc. | Methods for manufacturing ultrasound transducers and other components |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5757539A (en) * | 1980-09-25 | 1982-04-06 | Aloka Co Ltd | Prove position detector of ultrasonic diagnostic apparatus using body cavity inserting probe |
| JPS57145650A (en) * | 1981-03-06 | 1982-09-08 | Tokyo Shibaura Electric Co | Production of probe in body cavity |
-
1981
- 1981-09-28 JP JP56154315A patent/JPS5854939A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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