JPS5855687B2 - 圧電振動子とその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、圧電振動板の支持構造を改良した圧電振動子
とその製造方法に関する。

第１図に示したものは、従来のこの種の圧電振動子であ
る。

即ち、１は水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウ
ム、圧電セラミック等の圧電振動板（以下単に「圧電板
」という。

）で、その両型面の中央に１対の励振電極２，３が真空
蒸着により配置されている。

圧電板１は、導電性支持腕４，５に設けた切込み６，７
および導電性接着剤によってベース８上に支持されてい
る。

支持腕４，５は、ベース８に貫通固定した引出線９，１
０に固定され、従って、励振電極２，３は、それぞれ圧
電板１の周縁まで延びた接続電極を通して引出線９，１
０に接続されている。

さて、このような従来の圧電振動子の製造には、基礎蒸
着用マスクを用い、圧電板の励振電極となる位置に真空
蒸着を施した後、第１図に示したように組立て、ついて
、所定共振周波数に合わせるため、微調整用蒸着マスク
を用い、基礎蒸着による励振電極２，３の位置に微調整
蒸着を施す。

この際の微調整蒸着は、正確に前記した基礎蒸着膜の真
上に施さないと、振動子の励振時においてスプリアスの
発生および動作キャパシタンス、動作インダクタンスの
変動を誘起する。

前記したような従来の圧電振動子では、図示から明らか
なように、圧電板の重量に比して支持機構が薄弱であり
、かつ位置決めが回分量により行なわれるため、組立時
に圧電板の位置が不均一になり、基礎蒸着した励振電極
の位置が所定位置と相当の誤差をもったまま圧電板が支
持腕に固着され、次の工程の微調整蒸着の位置合わせに
は非常な困難が伴なう。

本発明は、以上の難点を解決するためなされたものであ
る。

即ち、本発明の目的は、微調整蒸着を行なう場合、基礎
蒸着した励振電極の幾何学的位置に対し、位置合わせを
容易かつ正確に行なうことができる圧電振動子とその製
造方法を提供するにある。

本発明のもう一つの目的は、製造能率の向上が得られる
圧電振動子とその製造方法を提供するにある。

以下、図示の実施例によって本発明を説明する。

第２図は、本発明による圧電振動子の２重モード振動子
に係る一実施例であって、圧電板を保持枠に組立する前
の状態を示す斜視図である。

第３図は前回の組立後の正面図である。

圧電板１１は、一方の主面中央に２つの励振電極１２
、１３、他方の対向主面に１つの励振電極１４が共通電
極として配置され、励振電極１２と１４および励振電極
１３と１４が圧電板１１を介して２対の励振電極を形成
している。

保持枠１５は、その主面形状において圧電板１１の主面
の輪郭を包囲し、圧電板１１の主面の輪郭より大きい寸
法を有する貫穴部１６を備え、その保持枠１５の一方の
辺から引出線１７，１８゜１９を貫通固定している。

保持枠の材質は、プラツスチック、セラミック、エポキ
シ樹脂、ガラス等の絶縁物である。

引出線１７．１８．１９は、リン青銅、べＩＪ ＩＪウ
ム銅等のバネ性を有する金属であって、貫穴部内に突出
した部分は、支持部２０，２１．２２と圧電板１１との
固着により圧電板１１の振動に対して機械的な強制力を
与えることを少なくするため、保持枠１５から外側の引
出線より細く（幅を小さく）シている。

そして、支持線２０，２１．２２は、その主面が山の字
形の左右両端（ｌｌ）がその凸端（１沿囲んで結ばれた
形状を有している。

保持枠１５の凹所２３，２４，２５は、それぞれ支持部
２０，２Ｌ２２とその周辺の保持枠１５とが接触しない
ための間隙である。

位置決め治具２６は、嵌合具２７，２８，２９をその主
面上に林立させ、その主面を溝３０゜３１．３２の底面
とする凸金３３，３４，３５゜３６を備えている。

この嵌合具２７，２８，２９は、予め決められた圧電板
１１の主面の輪郭寸法よりわずかに大きい内側寸法と、
予め決められた貫穴部１６の内側寸法よりわずかに小さ
い外側寸法とを有して治具２６の主面上に林立し、その
頭部は外側を内側より高くしたテーパを施し圧電板１１
の挿入を容易にしている。

そして、溝３０，３１．３２は、それぞれ引出線１７，
１８．１９を挿入すべく幅および深さ寸法を有している
。

従って、圧電板１１は、第３図に示すように、嵌合具２
７，２８，２９を保持枠１５の貫穴部１６に挿入してか
ら嵌合具２７，２８，２９が林立する内側に入って、励
振電極１２，１４，１３の各接続電極と支持部２０，２
１．２２とが位置合わされて載置され、導電性接着剤３
７により固着される。

なお第３図の斜線個所は位置決め治具の構成要素を示す
。

第４図イおよび口は、支持部２０を中心とする個所の圧
電板１１との固着を示す。

正面および裏面の部分拡大図である。

支持部２０が前述したような形状をしているので、接着
剤３７は、支持部２０の輪郭内（はぼコの字状の部分）
に均一に含入して塗布される。

接着剤３７が固着した後、位置決め治具２６は保持枠１
５から取り外される。

以上説明した圧電振動子は１個を製造する場合であるが
、２個以上能率良く製造する場合には、第２図に示した
位置決め治具２６を左右に２個以上並べてもしくは連結
して行なうか、または第５図に示すような位置決め治具
３８を使用する方法もある。

第３図は、３個の圧電振動子を示しているが、説明の便
宜上、左側の１個について説明する。

位置決め治具３８は、前記しれ嵌合具２７゜２８．２９
と同様な嵌合具２７１，２８１，２９１（斜線個所）と
突起部３９（斜線個所）とをその主面上に林立せしめて
いる。

保持枠１５１に貫通固定している引出線１７１゜１８１
．１９１は、共通保持具４０と連結または一体形成され
、その共通保持具４０に設けた穴４１は、前記した突起
部３９を貫通せしめる位置および寸法を有している。

従って、圧電板１１１は、嵌合具２７１．２８Ｌ２９１
の挿入により、所定位置に定められ、共通保持具４０と
、その穴４１および突起部３９の嵌合とより２番目以降
の圧電板についても同様に所定位置に定められる。

なお、図示の４２．４３．４４は、組立後ここから各引
出線１７１，１８１．１９１を共通保持具４０より分離
切断するための切込みである。

かくして本発明によれば、圧電板を支持部に固着する前
に、所定の位置に正確に合わせることができるので、基
礎蒸着された励振電極の位置も支持機構に対して均一と
なり、次の工程の微調整蒸着する際に先の基礎蒸着され
た真上に正確に施すことができる。

また、保持枠は、圧電板の主面の輪郭を包囲しているこ
とより、圧電板およびその支持部の保護機構を果し、か
つ落下、衝撃に対して耐久機能を果す利点がある。

なお、実施例では２対の励振電極を配置した圧電板を示
したが、本発明が１対はもとより３対以上であっても適
用できることは当業者であれば容易に理解できよう。

【図面の簡単な説明】

第１図イおよび口は従来の圧電振動子を示す正面図およ
び側面図、第２図は本発明の実施例である圧電振動子と
その製造方法を示す斜視図、第３図は前回の組立後の平
面図、第４図イおよび口は支持部における圧電板との固
着を示す正面および裏面の部分拡大図、第５図は本発明
の他の実施例である圧電振動子とその製造方法を示す平
面図である。 １１・・・・・・圧電振動板、１２，１３．１４・・・
・・・励振電極、１５・・・・・・保持枠、１６・・・
・・・貫穴部、２０゜２１．２２・・・・・・支持部、
２７，２８，２９・・・・・・嵌合具。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 少なくとも１対の励振電極を主面上に配置した圧電
   振動板を、絶縁性の保持枠に貫通固定された支持部に固
   着した圧電振動子において、前記保持枠の主面が前記圧
   電振動板の主面の輪郭を包囲するとともに前記輪郭より
   大きい寸法を有する貫穴部を備え、前記圧電振動板と前
   記貫穴部との各側面間が嵌合具を挿入せしめる寸法を有
   し、前記圧電振動板を前記貫穴部内に収容して成る圧電
   振動子。 ２ 少なくとも１対の励振電極を主面上に配置した圧電
   振動板を、絶縁性の保持枠に貫通固定された支持部に固
   着した圧電振動子において、前記保持枠の主面が前記輪
   郭より大きい寸法を有する貫穴部を備え、前記圧電振動
   板と前記貫穴部との各側面間に挿入せしめる寸法を有す
   る嵌合具を前記各側面間に挿入して前記圧電振動板を所
   定位置に合わせてから前記圧電振動板を前記支持部に固
   着して成る圧電振動子の製造方法。