JPS5856439U - ウエ−ハ移送装置 - Google Patents
ウエ−ハ移送装置Info
- Publication number
- JPS5856439U JPS5856439U JP15026681U JP15026681U JPS5856439U JP S5856439 U JPS5856439 U JP S5856439U JP 15026681 U JP15026681 U JP 15026681U JP 15026681 U JP15026681 U JP 15026681U JP S5856439 U JPS5856439 U JP S5856439U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer device
- wafer transfer
- stage plate
- plate
- protrusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のウェーハ移送装置の要部を断面視した斜
視図、第２図は本考案によるウェーハ移送装置にウェー
ハを載置した状態を示す斜視図、第３図は同ウェーハ移
送装置の押出し金具の斜視図、第４図は同ウェーハ移送
装置の作用を説明するための説明図である。
視図、第２図は本考案によるウェーハ移送装置にウェー
ハを載置した状態を示す斜視図、第３図は同ウェーハ移
送装置の押出し金具の斜視図、第４図は同ウェーハ移送
装置の作用を説明するための説明図である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 一端部が水平方向の軸線を中心として回動自在に支持さ
れたステージ板と、このステージ板の表面の一端部から
他端部方向へ向けて形成された溝。 内に摺動自在に装着され、その表面に上記ステージ板の
表面から突出する突出部が形成されている金具とを具備
してなり、上記突出部の上記ステージ板の他端部側に向
く面を上記ステニジ板の表面に対して傾斜する傾斜面に
形成してなることを特徴とするウェーハ移送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15026681U JPS5856439U (ja) | 1981-10-09 | 1981-10-09 | ウエ−ハ移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15026681U JPS5856439U (ja) | 1981-10-09 | 1981-10-09 | ウエ−ハ移送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5856439U true JPS5856439U (ja) | 1983-04-16 |
Family
ID=29942999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15026681U Pending JPS5856439U (ja) | 1981-10-09 | 1981-10-09 | ウエ−ハ移送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5856439U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54141575A (en) * | 1978-04-26 | 1979-11-02 | Ulvac Corp | Device for holding wafer |
-
1981
- 1981-10-09 JP JP15026681U patent/JPS5856439U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54141575A (en) * | 1978-04-26 | 1979-11-02 | Ulvac Corp | Device for holding wafer |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5856439U (ja) | ウエ−ハ移送装置 | |
| JPS60114303U (ja) | ガイド装置 | |
| JPS5830907U (ja) | 分離するカセツトレコ−ダ−の扉 | |
| JPS6079083U (ja) | 鋳物ケ−スの鋳込みパイプ | |
| JPS5929732U (ja) | 熱電対取付装置 | |
| JPS5887794U (ja) | ロ−ドブロツク装置 | |
| JPS609962U (ja) | ロ−ル冷却設備 | |
| JPS5873702U (ja) | シユ−ト装置 | |
| JPS5973670U (ja) | 軸封装置 | |
| JPS59104799U (ja) | 浮き出し模様を表面に施したデザインパイプ | |
| JPS5850702U (ja) | 導波管短絡部の構造 | |
| JPS5813819U (ja) | テ−プ成形装置 | |
| JPS58180805U (ja) | 耐摩耗シユ−ト | |
| JPS58179971U (ja) | ロ−付け用黒鉛治具 | |
| JPS5892729U (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS58102215U (ja) | 成形ロ−ル | |
| JPS5884949U (ja) | 取り外し金具を備えた缶類の蓋 | |
| JPS5817193U (ja) | ２つの関数曲線の乗算描画装置 | |
| JPS5953254U (ja) | 試料プレヒ−テイング用恒温装置 | |
| JPS60126262U (ja) | 金型冷却用パイプ | |
| JPS5865229U (ja) | ケ−ス取付装置 | |
| JPS5881022U (ja) | 金属管加工装置 | |
| JPS5830225U (ja) | 接点端子 | |
| JPS5826002U (ja) | ロツドレンズ | |
| JPS5831321U (ja) | 丸パイプ |