JPS5859619A - Piezo-electric filter utilizing higher order width vibration - Google Patents
Piezo-electric filter utilizing higher order width vibrationInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は数−MHz以上の短波帯に用いられる圧電フィ
ルタに関するもので、特に圧電ストリップの高次幅振動
モードを用いたエネルギー閉じ込め型の圧電フィルタを
提供することを目的とする。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a piezoelectric filter used in a short wave band of several MHz or more, and in particular, an object of the present invention is to provide an energy trap type piezoelectric filter that uses a high-order width vibration mode of a piezoelectric strip. shall be.
従来、圧電フィルタ、いわゆるセラミックフィルタには
、使用される周波数および比帯域幅などの用途に応じて
、各種の振動モードが利用されている。周波数が数MH
z以下の場合には2円板あるいは正方形板の輪郭振動や
矩形波の長さ振動など板金体が振動する振動ラードが利
用されている。Conventionally, various vibration modes have been used in piezoelectric filters, so-called ceramic filters, depending on the application, such as the frequency and fractional bandwidth used. Frequency is several MH
In the case of z or less, a vibrating lard in which a sheet metal body vibrates, such as contour vibration of two circular plates or square plates, or length vibration of a rectangular wave, is used.
−刃側波数が数MHzから数十MHzの場合には、振動
エネルギーが圧電磁気板の中央部に局部的に集中された
いわゆるエネルギーとじ込め振動モードが利用されてい
る。- When the wave number on the blade side is from several MHz to several tens of MHz, a so-called energy confinement vibration mode is used in which vibration energy is locally concentrated in the center of the piezoelectric magnetic plate.
前者の輪郭振動や長さ振動を用いたフィルタでは、素子
の支持および電気端子の取り出しは、該小突起の形成さ
れた金属端子板を振動の節に圧接するか、振動の節に細
いリード線を半田付する方法で行なわれておシ、圧接す
る方法では圧接部の電極がはがれたり機械的な振動によ
り接触不良を起すなど信頼性的に問題がアシ、半田付す
る方法では半田付作業が難しいうえに支持による特iの
ばら、つきが太きいという欠点があった。In the former type of filter that uses contour vibration or length vibration, the element is supported and the electrical terminals are taken out by pressing a metal terminal plate with small protrusions on the vibration node, or by using a thin lead wire at the vibration node. However, with the pressure welding method, there are reliability problems such as peeling of the electrode at the pressure welding part and poor contact due to mechanical vibration, while the soldering method requires the soldering work. In addition to being difficult, it also had the disadvantage of having a large degree of dispersion and stiffness due to the support.
これに対し、後者のエネルギーとじ込めを利用したフィ
ルタでは、リード端子との接続は振動に砥とんど影響を
与えることがない基板の端部で半田付によって行われる
ため、特性のば□らつきの少ない信頼性の高いフィルタ
が得られる。しかし。On the other hand, in the latter type of filter that uses energy trapping, the connection with the lead terminal is made by soldering at the edge of the board, which has little effect on vibration, so the characteristic A highly reliable filter with less interference can be obtained. but.
従来のエネルギーとじ込め共振子は厚みたてモードある
いは厚みすべりモードを利用しているため。This is because conventional energy confinement resonators utilize a thickness vertical mode or a thickness shear mode.
その共振周波数はセラミック基板の厚さによって定まる
。従って共振周波数を低くしようとすると。The resonant frequency is determined by the thickness of the ceramic substrate. Therefore, if you try to lower the resonant frequency.
基板の厚さが厚くなり、これにほぼ比例して外形寸法が
大きくなってしまう◎このためエネルギー閉じ込めの適
用周波数は数MHz ’以上のHF帯およびVHF帯に
限られ、数MHz ’Jfi下の中波帯用のエネルギー
閉じ込め型フィルタの実現は困難とされてきた。The thickness of the substrate increases, and the external dimensions increase in proportion to this. ◎For this reason, the applicable frequencies for energy confinement are limited to the HF and VHF bands of several MHz' or higher, and are limited to frequencies below several MHz' Jfi. It has been considered difficult to realize energy confinement filters for medium wave bands.
このような問題を解決するものとして1本発明者らは、
特願昭55−36960号および特願昭56−3’ 6
961号で、薄い圧電ストリップの幅振動を利用したフ
ィルタを提案し、これによって小型の中波帯用圧電フィ
ルタが実現できることを示した。As a solution to such problems, the present inventors have
Patent Application No. 55-36960 and Patent Application No. 56-3'6
In No. 961, he proposed a filter that utilizes the width vibration of a thin piezoelectric strip, and showed that it was possible to realize a compact piezoelectric filter for medium wave bands.
も次数の低い基本幅振動を利用したもので、このため適
用周波数の上限は2〜3 FvIHz程度であった。This also utilizes low-order fundamental width vibrations, and therefore the upper limit of the applicable frequency was about 2 to 3 FvIHz.
本発明ハ、′さらに高次の幅振動を利用し、数FilI
Hz以上の短波帯に適した小型の圧電フィルタを提供す
ることを目的としてなされたものである。The present invention c.' Utilizes higher-order width vibration to
The purpose of this invention is to provide a compact piezoelectric filter suitable for shortwave bands of Hz or higher.
圧電ス) IJッゾには無限の数の高次幅振動が存在す
る。これらのあまり次数、ρ高いモードは厚み振動と共
振周波数が接近あるいは重畳するようになるので実用的
に有用なものは1次数の低・い2次わ゛
3次φよび4次のモードであると考えられる。以下に、
これらの次数のモードを利用する本発明のエネルギー閉
じ込め形フィルタとして、単一モードフィルタ及び多重
モードフィルタに゛ついて述べる。There are an infinite number of high-order width vibrations in IJzo. In these less-order and high-ρ modes, the thickness vibration and resonance frequency approach or overlap, so the practically useful modes are low-order, second-order, third-order φ, and fourth-order modes. it is conceivable that. less than,
A single mode filter and a multimode filter will be described as energy confinement filters of the present invention that utilize modes of these orders.
まず8本発明による単一モート9フイルタの構成を第1
図及び第2図に示す。First, the configuration of a single mote filter according to the present invention will be explained as follows.
As shown in FIG.
第1図は圧電縦効果利用の高次幅縦振動及び高次幅すベ
シ振動を用いる場合、第2図は圧電横効果利用の高次幅
縦振動を用いる場合を表わす。FIG. 1 shows the case where high-order width longitudinal vibration and high-order width vertical vibration using the piezoelectric longitudinal effect are used, and FIG. 2 shows the case where the high-order width longitudinal vibration using the piezoelectric transverse effect is used.
各図において、 (a) 、 (b) 、 (e)は夫
々2次、3次。In each figure, (a), (b), and (e) are quadratic and cubic, respectively.
4次モード利用の場合の構成を示す。第1図における幅
縦振動の場合には幅方向1幅すべり振動の場合には長さ
方向に分極された圧電磁器ス) IJツブ10を用い、
その片面に図示のような電極を設ける。図中の記号、1
1および13.15および17.19および21は入・
出力側電極であり。The configuration when using the 4th mode is shown. In the case of width-longitudinal vibration in Fig. 1, in the case of widthwise one-width shear vibration, a piezoelectric ceramic (piezoelectric ceramic) polarized in the length direction is used.
An electrode as shown in the figure is provided on one side. Symbols in the diagram, 1
1 and 13.15 and 17.19 and 21 are input/
This is the output side electrode.
さらに12と14.16と18.20と22は共通電極
で周辺部に引き出され接続されている。電極11〜22
に対応した周辺の引き出し電極に夫々ダッシュを付して
いる。1および2は入出力用リード端子で、3は接地用
リード端子をボす。Furthermore, 12, 14, 16, 18, 20, and 22 are drawn out and connected to the peripheral portion by a common electrode. Electrodes 11-22
A dash is attached to each peripheral extraction electrode corresponding to the . 1 and 2 are input/output lead terminals, and 3 is a grounding lead terminal.
このフィルタでは、使用モードとは次数Nの異なる他の
幅振動がスプリアスとなるので、実用にあたってはこれ
を抑圧するような電極にする必要が鼠゛る。以下ではこ
のような電゛極構成の具体例を述べる。In this filter, other width vibrations having a different order N from the mode of use become spurious, so in practical use it is necessary to use electrodes that suppress this. A specific example of such an electrode configuration will be described below.
まず第1図(a)の2次モード利用の場合には、3次お
よび4次モードを抑圧するため、電極11と12とのギ
ャップglの中心を3次モードの応力がOの位置に一致
させる。また電極12と13との間のギャップをg2と
し、電極13と14との間のギャップをg3とすると、
ギャップg2とg3の中心を4次モードの応力がOの位
置に合わせる。First, in the case of using the second-order mode as shown in FIG. let Further, if the gap between electrodes 12 and 13 is g2, and the gap between electrodes 13 and 14 is g3, then
The centers of gaps g2 and g3 are aligned at the position where the stress of the fourth mode is O.
同(b)図の3次モード利用の場合には、2次、4次及
び5次モードを抑圧するため、同様に図に示すように、
ギャップg1の中心を2次及び4次モードの応力が0に
なる板幅の中心に一致させ、ギャップg2とg3の中心
を5次モードの応力が0の位置に合わせる。さらに第1
図(a) 、 (b)では。In the case of using the third-order mode in the same figure (b), in order to suppress the second-order, fourth-order, and fifth-order modes, as shown in the figure,
The center of the gap g1 is aligned with the center of the plate width where the stress in the second and fourth modes is zero, and the centers of the gaps g2 and g3 are aligned with the position where the stress in the fifth mode is zero. Furthermore, the first
In Figures (a) and (b).
g2とg3の大きさを1次(基本)モードに対する駆動
力が打ち消し合うように調節して構成し。The magnitudes of g2 and g3 are adjusted so that the driving forces for the primary (fundamental) mode cancel each other out.
1次モードを抑圧するようにする。Try to suppress the primary mode.
また第1図(c)の4次モード利用の場合には、3次、
5次及び6次モードを抑圧するため、ギャップg1の中
心を3次及び6次モードの応力が0の位置に一致させ、
ギャップg2とg3の中心を5次モードの応力が0の位
置に合わせるように゛電極を形成する。さらに又+gz
とg3の大きさを調節し、2次モードに対する駆動力が
打ち消し合うようにしてそのモードの抑圧を図る。In addition, in the case of using the fourth mode as shown in Fig. 1(c), the third mode,
In order to suppress the 5th and 6th modes, the center of the gap g1 is made to coincide with the position where the stress of the 3rd and 6th modes is 0,
The electrodes are formed so that the centers of the gaps g2 and g3 are aligned with the position where the fifth-order mode stress is zero. Furthermore, +gz
and g3 are adjusted so that the driving forces for the secondary mode cancel each other out, thereby suppressing that mode.
以上のような電極構成を採ることにより、スプリアスの
少ない良好な特性を実現することができる。By employing the electrode configuration as described above, it is possible to achieve good characteristics with less spurious.
第2図の圧電横効果利用の幅縦振動の場合には励振電界
を板厚方向に印加するので、ス) IJツノ電極を第1
図のギャップgt +g2 +gaに相当する部分
に設けたもので、その幅をbleb2 rb3としてい
る。この構成においてやはり、この幅振動のスプリアス
が抑圧され良好なフィルタ特性が実現される。In the case of width-longitudinal vibration using the piezoelectric transverse effect shown in Fig. 2, the excitation electric field is applied in the thickness direction, so
It is provided in a portion corresponding to the gap gt + g2 + ga in the figure, and its width is bleb2 rb3. In this configuration, the spurious of this width vibration is also suppressed and good filter characteristics are realized.
次ぎに、圧電横効果利用の高次幅たて振動を用いた多重
モードフィルタの具体例として2重モードの場合の構成
を第3図に示した。図中の(a) 、 (b) 。Next, as a specific example of a multi-mode filter using high-order width vertical vibration utilizing piezoelectric transverse effect, a configuration for a dual mode is shown in FIG. (a) and (b) in the figure.
(C)は、夫々2次、3次および4次モード利用の場合
を示す。この多重モードフィルタにおいては。(C) shows the case of using the secondary, tertiary, and quartic modes, respectively. In this multimode filter.
図示の如く、厚さ方向に分極された幅2Hの圧電磁器ス
トリップの中央部長さ方向で21+21’の長さの領域
に左右対称に近接して2個のエネルギの長さ領域で弾性
的に結合させることによって構成する。即ち、第2図(
、)で、一方の共振子は、電極111と共通電極113
で、他方の共振子は電極112と共通電極で、それぞれ
構成される。As shown in the figure, the central part of a piezoelectric ceramic strip having a width of 2H and polarized in the thickness direction is symmetrically adjacent to a length region of 21+21' in the length direction, and is elastically coupled in two energy length regions. Configure by letting That is, Fig. 2 (
, ), one resonator has an electrode 111 and a common electrode 113.
The other resonator is composed of an electrode 112 and a common electrode.
130・131は裏面電極である。この場合、各ストリ
ノゾ電極の幅方向の中心を、利用モードの応力が最大の
位置に合わせる。かくして利用モードのみが最も強く励
振される。第2図(b) 、 (c)では。130 and 131 are back electrodes. In this case, the center of each strinozo electrode in the width direction is aligned with the position where the stress in the usage mode is maximum. Thus, only the utilization mode is most strongly excited. In Figures 2(b) and (c).
各共振子を構成する電極を分割してそれぞれ、3次およ
び4次モードのストレス最大の点に電極ストリップの中
心Z°位置するようにしたものである。The electrodes constituting each resonator are divided so that the center Z° of the electrode strip is located at the point of maximum stress in the third and fourth modes, respectively.
第2図(b)で、115,118が共通電極で、電極1
16と一方の共振子を、電極117とで他方の共振子を
構成する。第2図(C)では、電極122゜125が共
通電極で、電極120.123と一方の共振子を構成し
、電極121,124とで他方の共振子を構成する。な
お、各ス) IJッゾ電極の幅を全て等しくすれば第3
図(、) 、 (C)では5次以下。In FIG. 2(b), 115 and 118 are common electrodes, and electrode 1
16 constitutes one resonator, and electrode 117 constitutes the other resonator. In FIG. 2C, electrodes 122 and 125 are common electrodes, and together with electrodes 120 and 123 constitute one resonator, and with electrodes 121 and 124 constitute the other resonator. Note that if the widths of all IJ electrodes are made equal, the third
In figures (,) and (C), it is 5th order or less.
同図(b)では4次以下の幅振動のスプリアスが抑圧さ
れ、広い周波数範囲に亘ってスプリアスの少ない良好な
フィルタ特性が実現される。In FIG. 4B, spurious vibrations of the fourth order or lower width are suppressed, and good filter characteristics with few spurious waves are realized over a wide frequency range.
本発明の実施例として、3次幅縦振動を用いた第1図(
b)及び第3図(b)の試作フィルタについて詳細に説
明する。As an example of the present invention, FIG. 1 (
b) and the prototype filters shown in FIG. 3(b) will be explained in detail.
実施例−1
第1図(b)に示すような電極構成をもって1幅方向に
分極されたPbT iOs圧電磁器ストリップの3次幅
縦振動を利用した。 4.5 MHzの単一モードフィ
ルタを試作し、第4図(、)のように2個縦続接続し。Example 1 Third-order widthwise longitudinal vibration of a PbTiOs piezoelectric ceramic strip polarized in one width direction was utilized with an electrode configuration as shown in FIG. 1(b). I prototyped a 4.5 MHz single mode filter and connected two of them in cascade as shown in Figure 4 (,).
その場合の特性を図(b)に示した。ただし、このフィ
ルタの素子の寸法は、長さt6=10mmn幅2 H=
1.4 wm 、厚さ2 t = 0.1 wnであ
り、電極の長さ2 L = 2. mである。第3図(
b)の特性を見ると。The characteristics in that case are shown in Figure (b). However, the dimensions of this filter element are length t6=10mmn width2H=
1.4 wm, thickness 2t = 0.1 wn, and electrode length 2L = 2. It is m. Figure 3 (
Looking at the characteristics of b).
1次、2次、4次、及び5次の幅振動のスプリアスが生
じているが、前述の電極構成により、−20dB程度ま
で抑圧されていることが明らかである。Although spurious vibrations of the first, second, fourth, and fifth orders occur, it is clear that they are suppressed to about -20 dB by the electrode configuration described above.
実施例−2
第3図(b)に示すような電極構成をもって厚さ方向に
分極されたPb (Z + 、T s )Co 3
圧電磁器ストリッジの3次幅縦振動を用いて、10.7
MHzの2重モードフィルタを試作した。これを第5
図(、)に示す。Example-2 Pb (Z + , T s )Co 3 polarized in the thickness direction with an electrode configuration as shown in FIG. 3(b)
Using the third-order width longitudinal vibration of the piezoelectric ceramic string, 10.7
We prototyped a MHz dual mode filter. This is the fifth
Shown in Figure (,).
そのフィルタ特性を第5図(b)に示す。このフィルり
の3 dB比帯域幅は1.5%、通過域損失は2 dB
であった。高域側に4次と5次の幅縦振動(WB2及び
冗5)また、厚みすべり振動(TS )のスプリアスが
生じているが、広い周波数範囲に亘り・20 dBB1
0減衰量が確保されている0このフィルタの素子寸法は
L o = 4 mm 、 2 H= 0.5 wn
。The filter characteristics are shown in FIG. 5(b). The 3 dB specific bandwidth of this filter is 1.5%, and the passband loss is 2 dB.
Met. On the high frequency side, 4th and 5th order wide longitudinal vibrations (WB2 and 5) and thickness shear vibrations (TS) spurious occur, but over a wide frequency range - 20 dBB1
0 Attenuation is ensured 0 The element dimensions of this filter are L o = 4 mm, 2 H = 0.5 wn
.
2 t =45 firn 、t=0.3 mm +
21’ =0.2 tanである。2 t = 45 firn, t = 0.3 mm +
21'=0.2 tan.
従来の板の厚み縦振動を用いた1 0.7 MHzエネ
ルギー閉込め形フィルタは一辺が約5mmで厚さが0、
2 ranの圧電磁器角板で構成されているが、これに
比べると本フィルタは非常に小さく、素子寸法の著しい
小形化が実現されている。The conventional 10.7 MHz energy confinement filter using plate thickness longitudinal vibration has a side of about 5 mm and a thickness of 0.
Although it is composed of a square piezoelectric ceramic plate of 2 RAN, this filter is very small compared to this, and the element size has been significantly reduced.
以上2本発明について説明したが、高次幅振動を利用す
ることにより非常に小型で、特性的にも良好な圧電フィ
ルタの提供が可能になった。本発明のフィルタは数MH
z〜士数MHzの短波帯での圧電フィルタとして極めて
有用であり、産業上に与える効果は極めて大であると言
える。As described above, the two inventions have been described, and by utilizing high-order vibration, it has become possible to provide a piezoelectric filter that is extremely small and has good characteristics. The filter of the present invention has several MH
It can be said that it is extremely useful as a piezoelectric filter in the short wave band of 100 MHz to 10 MHz, and that it has an extremely large effect on industry.
第1図は本発明における圧電縦効果利用の高次幅たて振
動及び高次幅すべり振動を用いた単一モードフィルタの
構成を示す表面側の電極構造と各次数のモードの応力分
布との関係とを示したもので、(a)図は二次モード利
用の場合、(b)図は3次モ゛−ド利用の場合、(C)
図は4次モード利用の場合をそれぞれ示す。
第2図は横効果型単一モードフィルタの構成を示す図で
平面図、低面図及び各次数モードの応力分布との関係を
示す。
第3図は本発明の他の実施例の構成を示すもので、圧電
横効果の高次幅たて振動を用いた2重モードフィルタの
構成を示す表面および裏面の電極構造と、各次数のモー
ドの応力分布との関係を示したもので、(a)図は2次
モード利用の場合、(b)図は3次モード利用の場合、
(C)図け4次モード利用の場合をそれぞれ示す。
第4図は本発明による圧電縦効果利用3次幅た性を示す
図で、(a)図はその回路構成図で、(b)図はそのフ
ィルタ特性である。
第5図は本発明による圧電横効果利用3次幅たて振動を
用いた1 0.7 MHz帯の2重モードフィルタの特
性を示す図で、(a)図はその回路構成図で。
(b)図はそのフィルタ特性を示す。
図中、1・・・入力リード端子、2・・・出力リード端
子、3・・・共通接地リード端子、10・・・矩形状圧
電性薄板、11.13,15,17,19,21 。
111.112・・・入出力電極、 11’、 13’
、 15’。
17’、 l 9’、 21’・・・同上引き出し電極
、12゜14.16,18.20.22・・・共通接地
電極。
12’、14’、16’、18’、20’、22’、1
15゜118.122.125・・・同上引き出し電極
。
第1図
(b)
手続補正書(自発)
昭和θ年λ月/2日
特許庁長官 島 1)春 樹 殿
1、事件の表示
昭和56年特許願第158427号
2、発明の名称
高次幅振動を利用した圧電フィルタ
3、補正をする者
事件との関係 特許出願人
住所 宮城県仙台市用内無番地
氏名 清 水 洋
4、代理人 〒105
住 所 東京都港区西新橋1丁目4番10号5、補正の
対象
1)明細書の特許請求の範囲の欄
2)明細書の発明の詳細な説明の欄
6)明細書の図面の簡単な説明の欄、
6、補正の内容
1)別紙のとおり
2) (1)第2頁9行目の1圧電磁気板」を1圧電磁
器板」と補正する。
(2)第5頁16行目の「使用モードとは」を11史用
モードと」と補正する。
(6)第9頁11行目の「図(b)」の前に1回」を挿
入する。
(4)第9頁最下行「Pb’(Zr 、 Ti)CO3
jを「Pb(Zr 、 Ti )03 Jと訂正する。
3)第11頁11行目の「低面図」を1底面図」と訂正
する。
(別紙)
特許請求の範囲
1、矩形状圧電性薄板の長さ方向の中央部に形成された
高次幅振動励振用の複数のストリップ状電極を入出力お
よび共通接地用電極として用い、さらにこれらの電極か
らの引き出し電極を両側の周辺部に設けたことを特徴と
する高次幅振動を利用した単一モード圧電フィルタ。
2、矩形状圧電性薄板の長さ方向の中央部に高次幅振動
エネルギー閉じ込め共振子を近接して2個以上形成する
とともに、長さ方向両端の共振子の駆動電極からの引き
出し電極を周辺部分に設けるように構成したことを特徴
とする高次幅振動を利用した多重モード圧電フィルタ。FIG. 1 shows the structure of a single mode filter using high-order width vertical vibration and high-order width shear vibration using the piezoelectric longitudinal effect in the present invention. The diagram shows the relationship between (a) when using the quadratic mode, (b) when using the cubic mode, and (C) when using the cubic mode.
The figures each show the case of using the 4th mode. FIG. 2 is a diagram showing the configuration of a transverse effect type single mode filter, showing a top view, a bottom view, and the relationship between the stress distribution of each order mode. FIG. 3 shows the structure of another embodiment of the present invention, showing the structure of the electrodes on the front and back surfaces, and the structure of the electrodes on the front and back surfaces, showing the structure of a dual mode filter using high-order width vertical vibration of the piezoelectric transverse effect. The diagram shows the relationship between the mode and the stress distribution. (a) Figure is when the second mode is used, (b) Figure is when the third mode is used,
(C) shows the case of using the fourth mode. FIG. 4 is a diagram showing the third-order width characteristic of the piezoelectric longitudinal effect according to the present invention, where (a) is a circuit configuration diagram thereof, and (b) is a filter characteristic thereof. FIG. 5 is a diagram showing the characteristics of a 10.7 MHz band dual mode filter using third-order width vertical vibration using piezoelectric transverse effect according to the present invention, and FIG. 5 (a) is a circuit configuration diagram thereof. (b) Figure shows the filter characteristics. In the figure, 1... input lead terminal, 2... output lead terminal, 3... common ground lead terminal, 10... rectangular piezoelectric thin plate, 11.13, 15, 17, 19, 21. 111.112...input/output electrode, 11', 13'
, 15'. 17', l9', 21'... Same as above extraction electrode, 12°14.16, 18.20.22... Common ground electrode. 12', 14', 16', 18', 20', 22', 1
15゜118.122.125... Same as above extraction electrode. Figure 1 (b) Procedural amendment (spontaneous) Date of λ/2, 1960 Director General of the Japan Patent Office Shima 1) Haruki Tono1, Indication of the case Patent application No. 158427, filed in 1982, 2, Title of the invention High order range Piezoelectric filter 3 that uses vibration, and its relationship to the case of a person making corrections Patent applicant Address: No address in Sendai City, Miyagi Prefecture Name: Hiroshi Shimizu 4, Agent: 105 Address: 1-4 Nishi-Shinbashi, Minato-ku, Tokyo 10 No. 5, Subject of amendment 1) Claims column of the specification 2) Detailed explanation of the invention column of the specification 6) Brief explanation of drawings column of the specification 6. Contents of amendment 1) As shown in the attachment 2) (1) "1-piezo electromagnetic plate" on page 2, line 9 is corrected to "1-piezo electromagnetic plate." (2) On page 5, line 16, ``What is the usage mode?'' is corrected to ``11 historical mode.'' (6) Insert "once" before "Figure (b)" on page 9, line 11. (4) Page 9, bottom line “Pb'(Zr, Ti)CO3
Correct j to "Pb(Zr, Ti)03 J." 3) Correct "bottom view" on page 11, line 11 to "1 bottom view." (Attachment) Claim 1: A plurality of strip-shaped electrodes for high-order width vibration excitation formed in the longitudinal center of a rectangular piezoelectric thin plate are used as input/output and common grounding electrodes, and A single-mode piezoelectric filter that utilizes high-order vibration, characterized in that extraction electrodes from the electrodes are provided at the periphery on both sides. 2. Two or more high-order width vibration energy trapping resonators are formed close to each other in the center of the rectangular piezoelectric thin plate in the length direction, and extraction electrodes from the drive electrodes of the resonators at both ends of the length direction are formed in the periphery. A multi-mode piezoelectric filter that utilizes high-order vibration, characterized in that it is configured to be provided in a portion.
Claims (1)
た高次幅振動励振用の複数のストリップ状電極を入出力
および共通接地用電極として用い。 さらにこれらの電極からの引き出し電極を両側の周辺部
に設けたことを特徴とする高次幅振動を利、用した単一
モード圧電フィルタ。 2、矩形状圧電性薄板の長さ方向の中央部に高次幅振動
エネルギー閉じ込め共振子を近接して2個以上形成する
とともに、長さ方向両側の共振子の駆動電極からの引き
出し電極を周辺部分に設けるように構成したことを特徴
とする高次幅振動を利用した多重モード圧電フィルタ0[Claims] 1. A plurality of strip-shaped electrodes for high-order width vibration excitation formed in the longitudinal center of a rectangular piezoelectric thin plate are used as input/output and common grounding electrodes. Furthermore, a single-mode piezoelectric filter utilizing high-order vibration is characterized in that lead-out electrodes from these electrodes are provided at the periphery on both sides. 2. Two or more high-order width vibration energy trapping resonators are formed close to each other in the center of the rectangular piezoelectric thin plate in the length direction, and extraction electrodes from the drive electrodes of the resonators on both sides of the length are connected to the periphery. Multi-mode piezoelectric filter 0 utilizing high-order width vibration, characterized in that it is configured such that it is provided in a section.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15842781A JPS5859619A (en) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | Piezo-electric filter utilizing higher order width vibration |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15842781A JPS5859619A (en) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | Piezo-electric filter utilizing higher order width vibration |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5859619A true JPS5859619A (en) | 1983-04-08 |
| JPH0124369B2 JPH0124369B2 (en) | 1989-05-11 |
Family
ID=15671515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15842781A Granted JPS5859619A (en) | 1981-10-05 | 1981-10-05 | Piezo-electric filter utilizing higher order width vibration |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5859619A (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5436816A (en) * | 1977-08-26 | 1979-03-17 | Hitachi Ltd | Transaction business machine |
-
1981
- 1981-10-05 JP JP15842781A patent/JPS5859619A/en active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5436816A (en) * | 1977-08-26 | 1979-03-17 | Hitachi Ltd | Transaction business machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0124369B2 (en) | 1989-05-11 |
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