JPS586405A - 微小隙間の光学的測定方法 - Google Patents
微小隙間の光学的測定方法Info
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- JPS586405A JPS586405A JP10335281A JP10335281A JPS586405A JP S586405 A JPS586405 A JP S586405A JP 10335281 A JP10335281 A JP 10335281A JP 10335281 A JP10335281 A JP 10335281A JP S586405 A JPS586405 A JP S586405A
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- optical path
- laser beam
- minute gap
- optical
- electric
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は二つの部材間におけるサブミクロンオーダーの
微小隙間を光学的に高精度で測定する方法に関するもの
で、゛磁気ディスク装置のディスクとヘッド間の微小隙
間量や％’ＴＲのテープとヘッド間の微小隙間量の測定
などに利用できる。
微小隙間を光学的に高精度で測定する方法に関するもの
で、゛磁気ディスク装置のディスクとヘッド間の微小隙
間量や％’ＴＲのテープとヘッド間の微小隙間量の測定
などに利用できる。
第１図は従来の光干渉を利用した微小隙間の測定方法の
原理図を示したもので、この原理によシ例えば磁気ディ
スク装置のディスクとヘッドとの間の微小隙間を測定す
る場合について説明する。
原理図を示したもので、この原理によシ例えば磁気ディ
スク装置のディスクとヘッドとの間の微小隙間を測定す
る場合について説明する。
１は波長λの直線偏光され友し−ザビームヲ発振する発
光源であるレーザ発振器、２は入射するレーザビームの
振動面に応じてレーザビームを透過または反射させるビ
ームスプリッタ、３は入射スルレーザビームの振動面に
応じてレーザビームを透過または反射させる偏光ビーム
ス１リツタ、光軸方向に対して鏡面９．１０を変位させ
ることによシ光路の長さを可変にする調節器、例えば電
わい素子で、電わい素子７は検出される干渉光の明るさ
に応じて鏡面９を変位させることにょシフイードバック
制御相として使用され、電わい素子８は鏡面１０を後述
する高周波発振器からの＾周波振動で変位させることに
より搬送用として使用される。１１は偏光板、１２は干
渉光の明るさを電気信号に変換して検出する光電変換素
子、１３は一方の被測定物で不透明な実物のディスク、
１４は他方の測定物で不透明な実物のヘッドで、このヘ
ッド１４は中心部分に小孔１４ａか形成され、且つディ
スク１３と対向する面に前記成長板６が設けられている
。１５は前記電歪素子７ｔ−フィードバック制御する回
路でこの制御回路１５は正弦波の周波数を発振する高周
波発振器１６、増幅器１７．１ｇ、２１，２２、光電変
換素子１２からの出力信号と高周波発振器１６からの出
力信号とを同期検波する同期検波回路１９およびローパ
スフィルタ２０か牧成っている。
光源であるレーザ発振器、２は入射するレーザビームの
振動面に応じてレーザビームを透過または反射させるビ
ームスプリッタ、３は入射スルレーザビームの振動面に
応じてレーザビームを透過または反射させる偏光ビーム
ス１リツタ、光軸方向に対して鏡面９．１０を変位させ
ることによシ光路の長さを可変にする調節器、例えば電
わい素子で、電わい素子７は検出される干渉光の明るさ
に応じて鏡面９を変位させることにょシフイードバック
制御相として使用され、電わい素子８は鏡面１０を後述
する高周波発振器からの＾周波振動で変位させることに
より搬送用として使用される。１１は偏光板、１２は干
渉光の明るさを電気信号に変換して検出する光電変換素
子、１３は一方の被測定物で不透明な実物のディスク、
１４は他方の測定物で不透明な実物のヘッドで、このヘ
ッド１４は中心部分に小孔１４ａか形成され、且つディ
スク１３と対向する面に前記成長板６が設けられている
。１５は前記電歪素子７ｔ−フィードバック制御する回
路でこの制御回路１５は正弦波の周波数を発振する高周
波発振器１６、増幅器１７．１ｇ、２１，２２、光電変
換素子１２からの出力信号と高周波発振器１６からの出
力信号とを同期検波する同期検波回路１９およびローパ
スフィルタ２０か牧成っている。
上記の測定装置において、レーザ発振器１から発振され
几レーザビームは（このレーザビームｔＢ０とよぶ）、
ビームスプリッタ３ｔ−透過した後、の内、一部のレー
ザビームは反射しくこのレーザビームｔ Ｂ ｔ と
呼ぶ）、他の一部のレーザビームは透過した後、ディス
ク１３の表面で反射しくこのレーザビームをＢ、と呼ぶ
）、再び一波長板６に入射する。このとき前者のレーザ
ビームＢ、の振動面は、レーザ発振器１から発振された
レーザビームの振動面と等しくなるため、レーザビーム
Ｂ１は偏光ビームスプリッタ３ｔ−再び透過した後、ビ
ームスプリッタ２で反射して偏光板１１に入射する。
几レーザビームは（このレーザビームｔＢ０とよぶ）、
ビームスプリッタ３ｔ−透過した後、の内、一部のレー
ザビームは反射しくこのレーザビームｔ Ｂ ｔ と
呼ぶ）、他の一部のレーザビームは透過した後、ディス
ク１３の表面で反射しくこのレーザビームをＢ、と呼ぶ
）、再び一波長板６に入射する。このとき前者のレーザ
ビームＢ、の振動面は、レーザ発振器１から発振された
レーザビームの振動面と等しくなるため、レーザビーム
Ｂ１は偏光ビームスプリッタ３ｔ−再び透過した後、ビ
ームスプリッタ２で反射して偏光板１１に入射する。
また後者のレーザビームＢ、の振動面は、レーザビーム
Ｂ、の振動面と９０度異なるため、レーザビームＢＩＢ
偏光ビームスプリッタ３で反射し、リッタ３に入射する
。この偏光ビームスプリッタ往復しておシ、振動面がレ
ーザ発振器１からの振動面と等しくなるため、レーザビ
ームＢ、は偏光を経て偏光ビームスプリッタ３、ビーム
スプリッタ２で反射して偏光板１１に入射する。このと
き、偏光板１１に入射されたレーザビームＢｔ、Ｂｔの
振動面は９０１１異なっているので偏光板１１の透過軸
をレーザビームＢ＋の偏向方向に対してθの角度に設定
すると、偏光板１１を透過後のレーザビームＢｓ、Ｂｔ
の明るさは、偏光板１１を透過前のレーザビームＢ１．
Ｂｔの明るさをＩＩｓ■、とすると、それぞれ工ｌ５ｉ
ｐθ、１．ｃｏｓθとなシ、かつ振動面が等しくなるの
で、両レーザビームＢ、、Ｂ、は干渉する。この干渉光
の明る−さを光電変換素子１２によシミ気信号に変換し
て検出する。
Ｂ、の振動面と９０度異なるため、レーザビームＢＩＢ
偏光ビームスプリッタ３で反射し、リッタ３に入射する
。この偏光ビームスプリッタ往復しておシ、振動面がレ
ーザ発振器１からの振動面と等しくなるため、レーザビ
ームＢ、は偏光を経て偏光ビームスプリッタ３、ビーム
スプリッタ２で反射して偏光板１１に入射する。このと
き、偏光板１１に入射されたレーザビームＢｔ、Ｂｔの
振動面は９０１１異なっているので偏光板１１の透過軸
をレーザビームＢ＋の偏向方向に対してθの角度に設定
すると、偏光板１１を透過後のレーザビームＢｓ、Ｂｔ
の明るさは、偏光板１１を透過前のレーザビームＢ１．
Ｂｔの明るさをＩＩｓ■、とすると、それぞれ工ｌ５ｉ
ｐθ、１．ｃｏｓθとなシ、かつ振動面が等しくなるの
で、両レーザビームＢ、、Ｂ、は干渉する。この干渉光
の明る−さを光電変換素子１２によシミ気信号に変換し
て検出する。
ヘッド６とディスク１３の微小隙間がθ〜−に変化し、
電わい素子８に制御回路１５の高周波発振器１６から１
％同波正弦電圧を印加し鏡面１０ｔ−変位させると光路
差が変わシ干渉光の明るさは変化する。この干渉光の明
るさの変化を光電変換素子１２で電気信号に変換し、同
期検波回路１９で高周波発振器１６からの高周波正弦電
圧を参照信号として同期検波を行ないローパスフィルタ
ー２０を通し増幅器２１．２２で増幅し、電わい素す 子７にフィードバックすれば微小隙間が０〜−に変化し
光路差が変ってもその変化分に相当するだけ鏡面９が微
小変位して光学系全体としての光路差は常に一定になる
様に動作する。電わｖｈ累子７に印加する電圧と鏡面９
の変位量との関係をあらかじめ校正しておけは電わい素
子７への印加電圧を測定値よシ微小隙間の変化を測定す
る事ができる。
電わい素子８に制御回路１５の高周波発振器１６から１
％同波正弦電圧を印加し鏡面１０ｔ−変位させると光路
差が変わシ干渉光の明るさは変化する。この干渉光の明
るさの変化を光電変換素子１２で電気信号に変換し、同
期検波回路１９で高周波発振器１６からの高周波正弦電
圧を参照信号として同期検波を行ないローパスフィルタ
ー２０を通し増幅器２１．２２で増幅し、電わい素す 子７にフィードバックすれば微小隙間が０〜−に変化し
光路差が変ってもその変化分に相当するだけ鏡面９が微
小変位して光学系全体としての光路差は常に一定になる
様に動作する。電わｖｈ累子７に印加する電圧と鏡面９
の変位量との関係をあらかじめ校正しておけは電わい素
子７への印加電圧を測定値よシ微小隙間の変化を測定す
る事ができる。
前記干渉光は、レーザビームＢｓ 、Ｂｔ Ｏ光Ｗｒ差
によって生じるがつぎにこの光路差について説明する。
によって生じるがつぎにこの光路差について説明する。
第１図において、レーザ発振器１から′発振され一ムＢ
１は、偏光ビームスプリッタ３、ビームスプリッタ２、
および偏光板１１′ｔでか光路長とな往復距離りと、電
わい素子７の鏡面９と電わい素を 子８の鏡面１０までの光学的距離−の往復距離ｔだけレ
ーザビームＢ１の光路長より長くなる。すなわちレーザ
ビームＢ１ とレーザビームＢ、との光路差は（ｚ＋ｈ
）とする。
１は、偏光ビームスプリッタ３、ビームスプリッタ２、
および偏光板１１′ｔでか光路長とな往復距離りと、電
わい素子７の鏡面９と電わい素を 子８の鏡面１０までの光学的距離−の往復距離ｔだけレ
ーザビームＢ１の光路長より長くなる。すなわちレーザ
ビームＢ１ とレーザビームＢ、との光路差は（ｚ＋ｈ
）とする。
ところで、レーザビームＢ、とＢ、の光路差を十りは被
測定量であるｈＫ対してｔの値が大きいために、この光
路中での空気のゆらぎあるいは外部振動等によシ生じる
ｔ自体の変化などが外乱として加わってくるため、測定
精度が低下する。この測定精度の低下要因としては次の
点が考えられる。
測定量であるｈＫ対してｔの値が大きいために、この光
路中での空気のゆらぎあるいは外部振動等によシ生じる
ｔ自体の変化などが外乱として加わってくるため、測定
精度が低下する。この測定精度の低下要因としては次の
点が考えられる。
（ａ） レーザビームＢ、は鏡面９．１０を往復する
を通過するので減衰しレーザビームＢ、との干渉が起Ｃ
シにくい。
を通過するので減衰しレーザビームＢ、との干渉が起Ｃ
シにくい。
すい状態とな）干渉光の８／Ｎが悪くなる。
（Ｃ） 出力信号成分に外乱の影響を受けた成分が加
ると非線形となシフイールドバック制御が困難となシ発
振する場合もある。
ると非線形となシフイールドバック制御が困難となシ発
振する場合もある。
（ｄ） 外乱の成分によっても電ゎい素子７の鏡面９
が変位するので誤差となり、高分解能、高成分が望めな
い。
が変位するので誤差となり、高分解能、高成分が望めな
い。
本発明は上記の点に鑑み、二つの部材間に形成される微
小隙間の測定を容易に行なうことができ、しかもその測
定精度が高い微小隙間の光学的測定方法を提供すること
を目的とする。
小隙間の測定を容易に行なうことができ、しかもその測
定精度が高い微小隙間の光学的測定方法を提供すること
を目的とする。
以下本発明の測定方法の一実施例を第２図に示す原理図
によシ説明する。
によシ説明する。
２３は波長λの直線偏光されたレーザビームを発振する
光源であるレーザ発振器、２４はレーザ発振器２３よシ
発振されたレーザビームの振動面ムの振動面に関係なく
レーザビームを透過または反射させるビームスプリッタ
、２６は入射するレーザビームの振動面に応じてレーザ
ビームを透過または反射させる偏光ビームスプリッタ、
２７゜ムの光軸方向に対して鏡面３２，３３ｔ−変位さ
せることによシ光路の長さを可変にする調節器、例えば
電わい素子で、この電わい素子３０は検出される干渉光
の明るさに応じて鏡面３２を変位させることによりフィ
ードバック制御相として使用され、電わい素子３１は鏡
面３３を後述する高周波発振器からの高部波振動で変位
させることにより搬送用として使用する。３４は偏光板
、３５は干渉光の明るさｔ−Ｘ気信号に変換して検出す
る光電変換素子、３６は一方の被測定物で不透明な実物
のディスク、３７は他方の被測定物で不透明な実物のヘ
ッドで、このヘッド３７は中心部分に小孔３７ａが形成
され、且つディスク３６と対向する面に前記波長板２９
が設けられている。３８は前記電わい素子３０をフィー
ドバック制御する回路で、この制＃回Ｎ３８は正弦波の
周波数を発振する高周波発振器３９、増幅器４０．４１
，４２、光電変換素子３５からの出力信号をバンドパス
フィルタ４４ｔ−通し高周波発振器２２からの出力信号
とを同期検波する同期検波回路４３およびローパスフィ
ルタ４５から成っている。
光源であるレーザ発振器、２４はレーザ発振器２３よシ
発振されたレーザビームの振動面ムの振動面に関係なく
レーザビームを透過または反射させるビームスプリッタ
、２６は入射するレーザビームの振動面に応じてレーザ
ビームを透過または反射させる偏光ビームスプリッタ、
２７゜ムの光軸方向に対して鏡面３２，３３ｔ−変位さ
せることによシ光路の長さを可変にする調節器、例えば
電わい素子で、この電わい素子３０は検出される干渉光
の明るさに応じて鏡面３２を変位させることによりフィ
ードバック制御相として使用され、電わい素子３１は鏡
面３３を後述する高周波発振器からの高部波振動で変位
させることにより搬送用として使用する。３４は偏光板
、３５は干渉光の明るさｔ−Ｘ気信号に変換して検出す
る光電変換素子、３６は一方の被測定物で不透明な実物
のディスク、３７は他方の被測定物で不透明な実物のヘ
ッドで、このヘッド３７は中心部分に小孔３７ａが形成
され、且つディスク３６と対向する面に前記波長板２９
が設けられている。３８は前記電わい素子３０をフィー
ドバック制御する回路で、この制＃回Ｎ３８は正弦波の
周波数を発振する高周波発振器３９、増幅器４０．４１
，４２、光電変換素子３５からの出力信号をバンドパス
フィルタ４４ｔ−通し高周波発振器２２からの出力信号
とを同期検波する同期検波回路４３およびローパスフィ
ルタ４５から成っている。
次に本発明の測定方法について説明する。
レーザ発振器２３から発振されたレーザビーム２４を透
過しビームスプリッタ２５で反射した後、Ｂｏの内、一
部のレーザビーム蝶反射しくこのレーザビームをＢ１と
呼ぶ）、他の一部のレーザビームは透過した後、ディス
ク３６０表面で反射し板２９に入射する。このとき前者
のレーザビームＢ、の振動面は紙面に対して垂直である
ので偏光透過し友後電わい素子３２の鏡面で反射し、再
び入射する。この偏光ビームスプリッタ２６に入射した
レーザビームＢ１は一波長板２７を一往復し振動面が紙
面に対して平行となるので偏光ビーム大プリッタ２６ｔ
−透過して偏光板３４に達する。
過しビームスプリッタ２５で反射した後、Ｂｏの内、一
部のレーザビーム蝶反射しくこのレーザビームをＢ１と
呼ぶ）、他の一部のレーザビームは透過した後、ディス
ク３６０表面で反射し板２９に入射する。このとき前者
のレーザビームＢ、の振動面は紙面に対して垂直である
ので偏光透過し友後電わい素子３２の鏡面で反射し、再
び入射する。この偏光ビームスプリッタ２６に入射した
レーザビームＢ１は一波長板２７を一往復し振動面が紙
面に対して平行となるので偏光ビーム大プリッタ２６ｔ
−透過して偏光板３４に達する。
一方、後者のレーザビームＢ、は振動面は紙面に対し平
行となるので偏光ビームスグリツタ２６Ｏｆｉ面３３．
偏光ビームスプリッタ２６を経て偏光板３４に達する。
行となるので偏光ビームスグリツタ２６Ｏｆｉ面３３．
偏光ビームスプリッタ２６を経て偏光板３４に達する。
偏光板３４に入射されたレーザビームＢ、 、 Ｂ、は
振動面が９０度累々っており、このままでは干渉しない
。このため、偏光板３４によりレーザビームＢｌ 、Ｂ
！のうち偏光板３４の透過軸に平行な成分のみを透過さ
せると二つの透過光は互いに干渉する。この干渉光の明
るさを光電変換素子３５によシミ気信号に変換して検出
する。
振動面が９０度累々っており、このままでは干渉しない
。このため、偏光板３４によりレーザビームＢｌ 、Ｂ
！のうち偏光板３４の透過軸に平行な成分のみを透過さ
せると二つの透過光は互いに干渉する。この干渉光の明
るさを光電変換素子３５によシミ気信号に変換して検出
する。
前記干渉光は、レーザビームＢ、、Ｂ、の光路差によっ
て生じるが、つぎにこの光路差について説明する。
て生じるが、つぎにこの光路差について説明する。
第２図において電わい素子３０の鏡面３２と偏光ビーム
スプリッタ２６の中心までの光路長をり、ｌ電わい素子
３１の鏡面３３と偏光ビームスプリッタ２６の中心まで
の光路長ｔ−Ｌ＊ 、ヘッドの光路長２ｈとするとレー
ザビームＢ、、Ｂ、の光路差は２（１１＋Ｌｔ Ｌ＋
）となる。ここでり。
スプリッタ２６の中心までの光路長をり、ｌ電わい素子
３１の鏡面３３と偏光ビームスプリッタ２６の中心まで
の光路長ｔ−Ｌ＊ 、ヘッドの光路長２ｈとするとレー
ザビームＢ、、Ｂ、の光路差は２（１１＋Ｌｔ Ｌ＋
）となる。ここでり。
とＬ＋の差をΔＬとした場合、Ｌ、とＬｌが等しければ
ΔＬ＝０とな〕レーザビームＢｔ−Ｂｔの光路差はｈと
なる。一方ΔＬの値が大きくなると空気のゆらぎ、外部
の振動等外乱の影響を受けやすくなり分解能が低下し精
度が悪くなるため、本発明においてはＬｌとり、の光路
長を等しくなるように光学系を配置している。
ΔＬ＝０とな〕レーザビームＢｔ−Ｂｔの光路差はｈと
なる。一方ΔＬの値が大きくなると空気のゆらぎ、外部
の振動等外乱の影響を受けやすくなり分解能が低下し精
度が悪くなるため、本発明においてはＬｌとり、の光路
長を等しくなるように光学系を配置している。
前に戻ってヘッド２９とディスク３６の微小隙間がΔｈ
だけ変化し、電わい素子３１に制御回路３８の高周波発
振器３９から高周波正弦電圧を印加し鏡面３３を変位さ
せると光路差が変わり干渉光の明るさは変化する。この
干渉光の明るさの変化を光電変換素子３５で電気信号に
変換し、バンドパスフィルター４４を通した信号を電わ
い素子３１に印加した高周波電圧を参照信号として同期
検波回路４３で同期検波した後ローパスフィルター４５
を通し増幅して電わい素子３０にフィードバックすれば
微小隙間がΔｈ変化して光路差が変ってもその変化分に
相当するだけ鏡面３２が微小変位して光学系全体として
の光路差は常に一定になる様に動作する。電わい素子３
０に印加する電圧と鏡１ｆｉ３２の変位蓋との関係をあ
らかじめ校正しておき、電わい素子３０への印加電圧を
測定すれば微小隙間の弯化蓋Δｈを測定する事ができる
。
だけ変化し、電わい素子３１に制御回路３８の高周波発
振器３９から高周波正弦電圧を印加し鏡面３３を変位さ
せると光路差が変わり干渉光の明るさは変化する。この
干渉光の明るさの変化を光電変換素子３５で電気信号に
変換し、バンドパスフィルター４４を通した信号を電わ
い素子３１に印加した高周波電圧を参照信号として同期
検波回路４３で同期検波した後ローパスフィルター４５
を通し増幅して電わい素子３０にフィードバックすれば
微小隙間がΔｈ変化して光路差が変ってもその変化分に
相当するだけ鏡面３２が微小変位して光学系全体として
の光路差は常に一定になる様に動作する。電わい素子３
０に印加する電圧と鏡１ｆｉ３２の変位蓋との関係をあ
らかじめ校正しておき、電わい素子３０への印加電圧を
測定すれば微小隙間の弯化蓋Δｈを測定する事ができる
。
又微小隙間りの測定は初め微小隙間を零にしておいてか
ら微小隙間をｈにするとそれに追従し電わい素子３０が
ｈだけ変位するので電わい素子への印加電圧を測定すれ
ばｈを測定する事ができる。
ら微小隙間をｈにするとそれに追従し電わい素子３０が
ｈだけ変位するので電わい素子への印加電圧を測定すれ
ばｈを測定する事ができる。
本発明の微小隙間の光学的測定方法は、反射光の光路中
に、それぞれの反射光を二方向に分光させる偏光器を配
置し、この偏光器により分光された反射光の光路長がほ
ぼ等しくなる位置に、光路の光学距離を可変にする調節
器を設置し、光路差によって発止する干渉光の明るさを
光電変換素子によシ検出し、この検出信号に応じて制御
される調節器の制御量から微小隙間を測定するようにし
たので、を気のゆらぎ、外部振動等の外乱を受けること
がないため、測定精度を大幅に向上させることができる
。
に、それぞれの反射光を二方向に分光させる偏光器を配
置し、この偏光器により分光された反射光の光路長がほ
ぼ等しくなる位置に、光路の光学距離を可変にする調節
器を設置し、光路差によって発止する干渉光の明るさを
光電変換素子によシ検出し、この検出信号に応じて制御
される調節器の制御量から微小隙間を測定するようにし
たので、を気のゆらぎ、外部振動等の外乱を受けること
がないため、測定精度を大幅に向上させることができる
。
第１図は従来の微小隙間の光学的測定方法を示す原理図
、第２図は本発明の微小隙間の光学的測定方法を示す原
理図である。 ２３・・・レーザ発振器、２６・・・偏光ビームスグリ
ツタ％３０．３１川調節器、３５・・・光電変換素子、
３６．３７・・・被測定物。 第 １ 図 １３ 第 ２１￥］
、第２図は本発明の微小隙間の光学的測定方法を示す原
理図である。 ２３・・・レーザ発振器、２６・・・偏光ビームスグリ
ツタ％３０．３１川調節器、３５・・・光電変換素子、
３６．３７・・・被測定物。 第 １ 図 １３ 第 ２１￥］
Claims (1)
- 二つの部材の間に形成される微小隙間を、それぞれの部
材からの反射光によ多発生する光干渉を利用して測定す
る方法において、前記反射光の光路中に、それぞれの反
射光を二方向に分光させる偏光器を配置し、この偏光器
によシ分光された反射光の光路長がほぼ等しくなる位置
に、光路の光路距離を可変にする調節器を設置し、光路
差によって発生する干渉光の明るさを光電変換素子によ
シ検出し、この検出信号に応じて制御される調節器の制
御量から微小隙間を測定するようにしたことを特徴とす
る微小隙間の光学的測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10335281A JPS586405A (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | 微小隙間の光学的測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10335281A JPS586405A (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | 微小隙間の光学的測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS586405A true JPS586405A (ja) | 1983-01-14 |
Family
ID=14351733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10335281A Pending JPS586405A (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | 微小隙間の光学的測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS586405A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60182203A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-17 | Hitoshi Tokumaru | 二周波共用マイクロストリツプアンテナ |
| US5568155A (en) * | 1992-12-07 | 1996-10-22 | Ntt Mobile Communications Network Incorporation | Antenna devices having double-resonance characteristics |
-
1981
- 1981-07-03 JP JP10335281A patent/JPS586405A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60182203A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-17 | Hitoshi Tokumaru | 二周波共用マイクロストリツプアンテナ |
| US5568155A (en) * | 1992-12-07 | 1996-10-22 | Ntt Mobile Communications Network Incorporation | Antenna devices having double-resonance characteristics |
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