JPS5864080A - ガスレ−ザ装置の熱交換器 - Google Patents
ガスレ−ザ装置の熱交換器Info
- Publication number
- JPS5864080A JPS5864080A JP16399181A JP16399181A JPS5864080A JP S5864080 A JPS5864080 A JP S5864080A JP 16399181 A JP16399181 A JP 16399181A JP 16399181 A JP16399181 A JP 16399181A JP S5864080 A JPS5864080 A JP S5864080A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- heat exchanger
- gas
- cooled
- gas laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ガスレーデ装置における熱交換器の改良に関
する。
する。
ガスレーデ装置忙おけるレーザの発生効率および発振の
安定性は、その放電部に封入されるガスの温度に大きく
依存する。
安定性は、その放電部に封入されるガスの温度に大きく
依存する。
従来のガスレーザ装置において汀、上記ガスを冷却する
ための熱交換器としていわゆるラジエーーと呼ばれる形
式のものが使用されているが、この形式に係る熱交換器
は単位体積中における表面積管できるだけ大きくした金
属管路網をガス通路に配置し、この管路網の管路内に水
等の冷媒を流して上記通路を通過するガスを冷却するよ
うに構成されているため、以下に示すような間頽点かあ
・りた。
ための熱交換器としていわゆるラジエーーと呼ばれる形
式のものが使用されているが、この形式に係る熱交換器
は単位体積中における表面積管できるだけ大きくした金
属管路網をガス通路に配置し、この管路網の管路内に水
等の冷媒を流して上記通路を通過するガスを冷却するよ
うに構成されているため、以下に示すような間頽点かあ
・りた。
l)冷却能力を高めようとすると、交換器自身の体積が
必要以上に大吉くなる。
必要以上に大吉くなる。
2)多量の冷媒流量を必要とするので、ポンプ尋の冷媒
加圧装置管用いなければならない。
加圧装置管用いなければならない。
3)構造が複雑なため、製造年NILまたは腐食忙よる
冷媒漏れ等の事故が多く、かつ保守、管理に手関會要し
た。
冷媒漏れ等の事故が多く、かつ保守、管理に手関會要し
た。
4)構造上、被冷却ガス流に対する圧力損失が大きい。
本発明の目的は、かかる問題点を解決したガヌレーデ装
置の熱交換器を提供することにち9、そのため本発明に
おいては、レーザガスの冷却手段としてヒートノやイブ
またはヒート/9ネルを使用するよう和している。
置の熱交換器を提供することにち9、そのため本発明に
おいては、レーザガスの冷却手段としてヒートノやイブ
またはヒート/9ネルを使用するよう和している。
以下、図示する実施例を参照しながら本発明の詳細な説
明す゛る。
明す゛る。
周知のようにヒートノーイブは、内壁に金属メ。
シ島あるいは多数の条溝等を設けた金属・9イ!の中に
所定の温度で気化する液体を適量封入した構成をもち、
上記液体の気化と凝縮による熱の授受を利用して高温部
から低温部へと熱を転送する作用をなす。
所定の温度で気化する液体を適量封入した構成をもち、
上記液体の気化と凝縮による熱の授受を利用して高温部
から低温部へと熱を転送する作用をなす。
第1図は、レーザガスの冷却手段として上記ヒートノぐ
イブ1を、また第4図は該/量イブ1と同様の構成と作
用を有するヒート・譬ネル21−各々用いた本発明に係
る熱交換器金示す。
イブ1を、また第4図は該/量イブ1と同様の構成と作
用を有するヒート・譬ネル21−各々用いた本発明に係
る熱交換器金示す。
第1図に示す熱交換器は、矩形状のダクト3の内部に該
ダクトの長手方向に旧う仕切板4を設け、該仕切板に直
交する態様で多数本のヒートパイプ1t−所定の間隔で
配設した構成をもつ。また第4図に示した熱交換器は、
複数枚のヒートパネル2を上記ダクト3に沿う態様で互
いに所定の間隔をおいて、かつ各々が上記仕切板4に直
交するように設けた構成を有する・ この熱交換器において、仕切板4の上方に位置する連終
5に被冷却ガス(矢印A参照)をまた下方に位置する通
路6に冷却媒体たとえば水(矢印′B参照)t−各々流
入させると、ヒートノぐイブ1またはヒートツタネル2
による前記した熱の授受作用によって上記ガスがきわめ
て効率よく冷却される。
ダクトの長手方向に旧う仕切板4を設け、該仕切板に直
交する態様で多数本のヒートパイプ1t−所定の間隔で
配設した構成をもつ。また第4図に示した熱交換器は、
複数枚のヒートパネル2を上記ダクト3に沿う態様で互
いに所定の間隔をおいて、かつ各々が上記仕切板4に直
交するように設けた構成を有する・ この熱交換器において、仕切板4の上方に位置する連終
5に被冷却ガス(矢印A参照)をまた下方に位置する通
路6に冷却媒体たとえば水(矢印′B参照)t−各々流
入させると、ヒートノぐイブ1またはヒートツタネル2
による前記した熱の授受作用によって上記ガスがきわめ
て効率よく冷却される。
第2図は、ヒートパイプ1に冷却フィン1鳳を付設した
本発明の他の実施例を示す。この場合、第1rj!Jに
示した実施例よりも当然ヒー)/IPイデイブ本数が少
なくなる。
本発明の他の実施例を示す。この場合、第1rj!Jに
示した実施例よりも当然ヒー)/IPイデイブ本数が少
なくなる。
上記冷媒としては、水等の液体の他、空気等の気体を用
いることができ、その場合たとえばtJh13図に示す
ように通路6の入口に配置された7アン7によって冷却
用気体が送ル込まれる。なお、被冷却ガスの液量が少な
い小型のがスレーザ装置忙おいては、上記のような積極
的な冷却を行なわないで、単にヒートノーイブ1tたは
ヒート/9ネル2の一端部を自然冷却させるだけで十分
である。
いることができ、その場合たとえばtJh13図に示す
ように通路6の入口に配置された7アン7によって冷却
用気体が送ル込まれる。なお、被冷却ガスの液量が少な
い小型のがスレーザ装置忙おいては、上記のような積極
的な冷却を行なわないで、単にヒートノーイブ1tたは
ヒート/9ネル2の一端部を自然冷却させるだけで十分
である。
本発明による熱交換器は、上記するようにレーザガスの
冷却手段としてヒートノーイブあるいはヒートツクネル
を用いているので、実施例に示す如く冷媒を用い九場合
、従来の同一体積の熱交換器に比して格段に冷却能力が
高く、シかも被冷却ガス流に対する圧力損失が小さい。
冷却手段としてヒートノーイブあるいはヒートツクネル
を用いているので、実施例に示す如く冷媒を用い九場合
、従来の同一体積の熱交換器に比して格段に冷却能力が
高く、シかも被冷却ガス流に対する圧力損失が小さい。
したがって、レーザ装置の効率と発振の安定性食肉上す
ることができ、それKよって該装置の出力の増大を図れ
る。
ることができ、それKよって該装置の出力の増大を図れ
る。
また冷媒流量が少なくて良く、口かも構造が簡単である
から製造および保守が容易で故障も少ない。
から製造および保守が容易で故障も少ない。
第1図に本発明に係る熱交換器の一実施例を概念的に示
した斜視図、第2図および@3図は各々本発明の他の実
施例を示した概念図、第4図はヒート・クネルを用いた
本発明のいま一つの実施例を示した概念図である。 1・・・ヒートノーイブ、1a−X・・放熱フィン、2
・・・ヒートツクネル、3・・・ダクト、4・・・仕切
板、5,6・・・道路・ 第1図 第2図 0 じ 第4図
した斜視図、第2図および@3図は各々本発明の他の実
施例を示した概念図、第4図はヒート・クネルを用いた
本発明のいま一つの実施例を示した概念図である。 1・・・ヒートノーイブ、1a−X・・放熱フィン、2
・・・ヒートツクネル、3・・・ダクト、4・・・仕切
板、5,6・・・道路・ 第1図 第2図 0 じ 第4図
Claims (3)
- (1)被冷却ガスの流通路にヒートパイプまたはヒート
・量ネルを配設し、該ヒートパイプまたはヒートノ母ネ
ルの一端部を上記流通路外に突出させたことを特徴とす
るガスレーデ装置の熱交換器。 - (2) 上記ヒート・母イブに放熱フィンを付11Q
Lにことを特徴とする特許請求の範囲(1)K記載のが
スレーブ装置の熱交換器。 - (3) 上記ヒートパイプまたはヒー) a4ネルの
他端を冷媒によって冷却するようにしたこと1特徴とす
る特許請求の範囲第(1)項または第(2)項忙記載の
ガスレーザ装置の熱交換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16399181A JPS5864080A (ja) | 1981-10-14 | 1981-10-14 | ガスレ−ザ装置の熱交換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16399181A JPS5864080A (ja) | 1981-10-14 | 1981-10-14 | ガスレ−ザ装置の熱交換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5864080A true JPS5864080A (ja) | 1983-04-16 |
Family
ID=15784677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16399181A Pending JPS5864080A (ja) | 1981-10-14 | 1981-10-14 | ガスレ−ザ装置の熱交換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5864080A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01125533U (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-28 |
-
1981
- 1981-10-14 JP JP16399181A patent/JPS5864080A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01125533U (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-28 |
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