JPS5864273A - 窒化けい素焼結体 - Google Patents
窒化けい素焼結体Info
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- JPS5864273A JPS5864273A JP56163276A JP16327681A JPS5864273A JP S5864273 A JPS5864273 A JP S5864273A JP 56163276 A JP56163276 A JP 56163276A JP 16327681 A JP16327681 A JP 16327681A JP S5864273 A JPS5864273 A JP S5864273A
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- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims 4
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は^i!Stが為く、^物置を有する非鈑化物
、すなわち窒化物セラミックス焼結体に関するものであ
る。
、すなわち窒化物セラミックス焼結体に関するものであ
る。
m近、セラミックス材料%に耐熱性材料としてのセラミ
ックスの一発が盛んに行われており、なかでも為11i
において安定な耐熱性物質である共有結合性化合物、%
Kfil化けい素(5i1N、 ) 、炭化けい本(S
iC)が非常にすぐれた材料であることが知られている
。
ックスの一発が盛んに行われており、なかでも為11i
において安定な耐熱性物質である共有結合性化合物、%
Kfil化けい素(5i1N、 ) 、炭化けい本(S
iC)が非常にすぐれた材料であることが知られている
。
一&にセラミックスは、龜料セラミックス粉末會成形焼
結して使用されるものであるが、Si@N、、SiCな
どの場合は、一般の酸化物セラミックスと異なり、S焼
結性物質であるため、単独組成たとえば5ilN4粉末
のみを焼結しても緻密な焼結体を得ることは1―である
。
結して使用されるものであるが、Si@N、、SiCな
どの場合は、一般の酸化物セラミックスと異なり、S焼
結性物質であるため、単独組成たとえば5ilN4粉末
のみを焼結しても緻密な焼結体を得ることは1―である
。
コ(D * メSi aNa粉末の場合などK #′i
MtlO−Atto@、Y、0いCe01、BeOなど
の酸化物粉末を焼結助剤として欅加して焼結することが
行われている。
MtlO−Atto@、Y、0いCe01、BeOなど
の酸化物粉末を焼結助剤として欅加して焼結することが
行われている。
焼結助剤を加えた粉末を使用して通常りわれているプレ
ス成形後、真空あるいは常圧で加熱焼結する方法は、焼
結コストが低く工業的に用いることができる。
ス成形後、真空あるいは常圧で加熱焼結する方法は、焼
結コストが低く工業的に用いることができる。
またSt、N4の場合、焼結しても孔はそのまま残存す
るのでこの方法で相対密&97s&度の焼結体t−得る
ことができる。
るのでこの方法で相対密&97s&度の焼結体t−得る
ことができる。
これに対して、高温下で加圧しながら焼結するホットプ
レス法によれば、より緻密な焼結体を得ることができる
。
レス法によれば、より緻密な焼結体を得ることができる
。
さらに焼結助剤の混合側合を、IIIk少し、あるいは
焼結助剤を添加せずに高圧ガス雰囲気中で焼結し九り、
爆発成型などで粉末に瞬間的に高圧を加えて粉砕したの
ち、焼結するなどの方法が試みられているが、何れの方
法も焼結コストが為く、また鍋温強度の低下現象が残る
欠点があり、工業的な方法として成功していない。
焼結助剤を添加せずに高圧ガス雰囲気中で焼結し九り、
爆発成型などで粉末に瞬間的に高圧を加えて粉砕したの
ち、焼結するなどの方法が試みられているが、何れの方
法も焼結コストが為く、また鍋温強度の低下現象が残る
欠点があり、工業的な方法として成功していない。
ところで従来から非数化物セラミックス焼結体の出発原
料で6るSt、N4粉末の製造法は、/リコンま九はシ
リカ粉末と縦木粉末との混合物をN。
料で6るSt、N4粉末の製造法は、/リコンま九はシ
リカ粉末と縦木粉末との混合物をN。
ガス気流中で1800−1700℃で加熱し、電化する
方法、あるいは72ンガスと音素の水素化合物を800
〜1900℃の一度範一で気相反応させて得る方法など
がある。
方法、あるいは72ンガスと音素の水素化合物を800
〜1900℃の一度範一で気相反応させて得る方法など
がある。
仁の何れの方法により製造されたSl、N4粉末もその
まt焼結成彫体の製造原料として使用することができる
。
まt焼結成彫体の製造原料として使用することができる
。
このようKして製造されるSi、N4焼結体は、−1熱
倫隼性か−く、かつ柄性のあるセンミックスとして1論
車用エンジンやタービンエンジンへの応用が検討されて
いるし、壕九撫々の亀エメハ1への↓乙用もすでに行わ
れている。
倫隼性か−く、かつ柄性のあるセンミックスとして1論
車用エンジンやタービンエンジンへの応用が検討されて
いるし、壕九撫々の亀エメハ1への↓乙用もすでに行わ
れている。
Si、N、焼結体の別の%黴は、該焼結体が反応性に乏
しいことである。このためSi@N4焼結体と異糧竜う
ミックスや金員との接合が非常に1離であるという欠点
があった。
しいことである。このためSi@N4焼結体と異糧竜う
ミックスや金員との接合が非常に1離であるという欠点
があった。
本%明看らは、Si@N4焼鮎体における上記の欠点【
鱗消すべく検討の結果、この発明に至ったもりである。
鱗消すべく検討の結果、この発明に至ったもりである。
坤ちこノ発明は、Si、N4粉末K A1.、O,とY
、0.粉末の焼結助剤を1〜20重11−とTm、W%
Mo。
、0.粉末の焼結助剤を1〜20重11−とTm、W%
Mo。
Crなどの金−の硼化物粉末の少くとも1m以とt5〜
40に1を−加えた混合粉末をN、ガスまたはN。
40に1を−加えた混合粉末をN、ガスまたはN。
ガス1含む非酸化8:雰囲気中で焼結することによって
他のセラミックスや金属とのロウ付けに&l1lf能な
電化けい1g焼結体が得られることを見出したものであ
る。
他のセラミックスや金属とのロウ付けに&l1lf能な
電化けい1g焼結体が得られることを見出したものであ
る。
一般KSi、N4粉禾を用いてSi、N4焼結体t−得
るに#′i、N、ガス中、1気圧、1700℃ 以上で
焼結することが知られておプ、この際St、N、 N木
KAA*0* s MHO、FegO@などの鹸化物を
焼結助剤として添加することも知られている。しかし、
このような焼結でFisi、N4が分解するため、これ
を防ぐためK AtN +BN粉末にSi、N4 粉末
を混合バッキングして焼結することも行われている。
るに#′i、N、ガス中、1気圧、1700℃ 以上で
焼結することが知られておプ、この際St、N、 N木
KAA*0* s MHO、FegO@などの鹸化物を
焼結助剤として添加することも知られている。しかし、
このような焼結でFisi、N4が分解するため、これ
を防ぐためK AtN +BN粉末にSi、N4 粉末
を混合バッキングして焼結することも行われている。
ところがこのようKして得られる54sNa flb結
体は1iliIi強度、高密度の性質は有するものの接
合性に欠けている。
体は1iliIi強度、高密度の性質は有するものの接
合性に欠けている。
るためK Si、N、粉末にa末の焼結助剤と、さらに
Ta%W1Mo、Crなどの金員の硼化物を加え、この
混合粉末をN、ガスまたFiN、ガスを含む非酸化性雰
囲気中で焼結するものである。
Ta%W1Mo、Crなどの金員の硼化物を加え、この
混合粉末をN、ガスまたFiN、ガスを含む非酸化性雰
囲気中で焼結するものである。
このような焼結によると、N!ガスま友はN、ガスを官
む雰囲気中で金属硼化物が分解し、焼結体表向にはMo
1W、などの金属層が山塊し、これらの金j14層は通
常のロウ付けあるいは金属f!i1溶体を形成しうるた
めに一般の金JllI接合法と同様の方法でSi、N、
焼結体と他のセラミックスや金員との接曾が可IU[な
るのである。
む雰囲気中で金属硼化物が分解し、焼結体表向にはMo
1W、などの金属層が山塊し、これらの金j14層は通
常のロウ付けあるいは金属f!i1溶体を形成しうるた
めに一般の金JllI接合法と同様の方法でSi、N、
焼結体と他のセラミックスや金員との接曾が可IU[な
るのである。
この発明で得た焼結体の他の特ilkは、板状または棒
状等の木材より所要の形状に切出し、接合し丸い部分の
みtl&亀のN2ガスまたFiN、ガスを含む′!l囲
気中で処理することによって新しい切断面のメタライジ
ング処理が容易に可能なことである。
状等の木材より所要の形状に切出し、接合し丸い部分の
みtl&亀のN2ガスまたFiN、ガスを含む′!l囲
気中で処理することによって新しい切断面のメタライジ
ング処理が容易に可能なことである。
E記のように焼結体の接合性を向上させるのに41川な
金Il&硼化物の使用量としては5〜40]i電−が好
しい。七の理由は、必要とする接合強度にもよるが、5
重量S以下では金輌硼化物が分解して焼結体の表m層に
付着する金14量が不足し、また401L電囁以上ft
用いると、5ilN4焼鮎体として0籍倣が失なわれる
ためである。
金Il&硼化物の使用量としては5〜40]i電−が好
しい。七の理由は、必要とする接合強度にもよるが、5
重量S以下では金輌硼化物が分解して焼結体の表m層に
付着する金14量が不足し、また401L電囁以上ft
用いると、5ilN4焼鮎体として0籍倣が失なわれる
ためである。
金鵬硼化物としては、原子比の異なる化せ物が多数存在
するが、それらのなかでもこの先明ではCrB、 s
Mo、J 、 Mo、B % MaB、、WB、 W、
Bなどが〜に有効である。七の堆由は、焼結によって焼
結体表(2)に析出する全域)−としてこれらの金鵬が
金−ロウ材との掘れ性が艮いためである。
するが、それらのなかでもこの先明ではCrB、 s
Mo、J 、 Mo、B % MaB、、WB、 W、
Bなどが〜に有効である。七の堆由は、焼結によって焼
結体表(2)に析出する全域)−としてこれらの金鵬が
金−ロウ材との掘れ性が艮いためである。
筐た焼結助剤としてのMlo、とY、0.松本り使ハj
童は1〜201に菫チが適当である。
童は1〜201に菫チが適当である。
これに1ffik%以下では焼結時に光分な焼結密度が
得られず、また201駕ts以上では5ilN、の扛界
盾がガラス鳩化して筒編!i!に度が低下するためであ
る。
得られず、また201駕ts以上では5ilN、の扛界
盾がガラス鳩化して筒編!i!に度が低下するためであ
る。
そしてこのM、0.とY2O,の便用比率は4、Os
: Y、0. = 8 : 1乃至!=8が適当であっ
て、それ以外では得られる焼結体の耐熱性が低下して好
ましくない、。
: Y、0. = 8 : 1乃至!=8が適当であっ
て、それ以外では得られる焼結体の耐熱性が低下して好
ましくない、。
また、この発明における焼結条件としてはかくして得ら
れるこの発明の接合性を向上したS+INa tR結体
は、表向廟の金鵬が焼結体内部に深く埋もれているため
に、1h空蒸漸や通常のメタライジング法と比較すると
、微重で強度の濁い級合階會傷ることができるのである
1 なおこの発明における焼結時の雰囲気としては、N2、
NH,などの窒素供給源となるガス体のほかにこれらと
Co、H,等のガスとり混合ガスであっても走支えない
。
れるこの発明の接合性を向上したS+INa tR結体
は、表向廟の金鵬が焼結体内部に深く埋もれているため
に、1h空蒸漸や通常のメタライジング法と比較すると
、微重で強度の濁い級合階會傷ることができるのである
1 なおこの発明における焼結時の雰囲気としては、N2、
NH,などの窒素供給源となるガス体のほかにこれらと
Co、H,等のガスとり混合ガスであっても走支えない
。
次にこの発明5r笑施例により詳mK説明する。
実施ガ
5tarck社教、H−1gradeの5iBN4粉木
に対して第1表に示す菫のw8細助剤および証糾U1化
物粉末を配合し、これを10時時間式ボールミル攪拌を
行った。
に対して第1表に示す菫のw8細助剤および証糾U1化
物粉末を配合し、これを10時時間式ボールミル攪拌を
行った。
得られたスラリーを乾燥後、これに有板粘結剤としてス
テアリン醗5−奢加え、1OX7X40■Oy、線片を
2t/dで型押しして作成した1゜これをN□ガス雰囲
気中にて1700・−1750℃、1時間の焼結を行っ
た。
テアリン醗5−奢加え、1OX7X40■Oy、線片を
2t/dで型押しして作成した1゜これをN□ガス雰囲
気中にて1700・−1750℃、1時間の焼結を行っ
た。
得られfl、、焼結体の特性を−べたところ第1表に下
す結果か侍られた。
す結果か侍られた。
なお接合状−のテストは角棒状のSK材5×5−の先端
に、同サイズのこの発明で44) * 5isb体を餉
ロウ付けし、この試験片のSK材匈を保持し、焼結体側
に荷重をかけて接合性の良否を常温で判定した。
に、同サイズのこの発明で44) * 5isb体を餉
ロウ付けし、この試験片のSK材匈を保持し、焼結体側
に荷重をかけて接合性の良否を常温で判定した。
この結果、接合性の良好なものは銀ロウの内部でW壊し
ているのに約し、劣る吃のはSi、N、焼結体の表面で
はがれていることが−められた。
ているのに約し、劣る吃のはSi、N、焼結体の表面で
はがれていることが−められた。
これFiSisN;焼結体表面の金属層との結合の強度
の差によるものと推定される0 II l 表 ZS−上&2夾施ガは何れも電圧焼結について記載した
が、この発明は富圧焼結の今に臓冗されるものでtzな
く、ホットプレス伝によって僧た焼結体の勧貧でも全く
1g」じ効果がめることFi−鉢した。
の差によるものと推定される0 II l 表 ZS−上&2夾施ガは何れも電圧焼結について記載した
が、この発明は富圧焼結の今に臓冗されるものでtzな
く、ホットプレス伝によって僧た焼結体の勧貧でも全く
1g」じ効果がめることFi−鉢した。
Claims (4)
- (1)(荀 At、O,とY、0.の粉末をl〜20電
量−1(ld Ta、 *、 Mo、 Crなどの金
−の−化物粉末の少くとも181以上を5〜401に蓋
饅、 (C) 残部が窒化けい素粉末 の混合粉末を用いて焼結したことをl#I*とする窒化
けい本焼結体。 - (2) 窒化けい素粉末は、その粒子径が0.1〜5
声で鉄粉末中の他の金属不純物総量が1−以下であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第ill記載の窒化けい
本焼結体。 - (3) 混合粉末をN、ガス雰囲気中で焼結し九こと
を特徴とする特許請求の範囲111項記載の窒化けい本
焼結体。 - (4)混合粉末をN、ガスを含む雰囲気中で焼結し九こ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の窒化けい本
焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56163276A JPS5864273A (ja) | 1981-10-12 | 1981-10-12 | 窒化けい素焼結体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56163276A JPS5864273A (ja) | 1981-10-12 | 1981-10-12 | 窒化けい素焼結体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5864273A true JPS5864273A (ja) | 1983-04-16 |
Family
ID=15770725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56163276A Pending JPS5864273A (ja) | 1981-10-12 | 1981-10-12 | 窒化けい素焼結体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5864273A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6051668A (ja) * | 1983-07-29 | 1985-03-23 | 株式会社東芝 | 耐摩耗性部材 |
| US4876227A (en) * | 1986-07-18 | 1989-10-24 | Corning Incorporated | Reaction sintered boride-oxide-silicon nitride for ceramic cutting tools |
| US5178647A (en) * | 1983-07-29 | 1993-01-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Wear-resistant member |
-
1981
- 1981-10-12 JP JP56163276A patent/JPS5864273A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| EP0133289A3 (en) * | 1983-07-29 | 1985-06-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Wear-resistant member and manufacturing method thereof |
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