JPS5865755U - 電子銃微動機構 - Google Patents

電子銃微動機構

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Publication number
JPS5865755U
JPS5865755U JP16058581U JP16058581U JPS5865755U JP S5865755 U JPS5865755 U JP S5865755U JP 16058581 U JP16058581 U JP 16058581U JP 16058581 U JP16058581 U JP 16058581U JP S5865755 U JPS5865755 U JP S5865755U
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JP
Japan
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electron gun
movement mechanism
fine movement
rod
vacuum chamber
Prior art date
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Pending
Application number
JP16058581U
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English (en)
Inventor
洋 山内
勲 加藤
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Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Publication date
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Publication of JPS5865755U publication Critical patent/JPS5865755U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例装置の縦断側面図、第2図は
従来例の縦断側面図である。 1・・・フィラメント、−2・・・ウェネルト電極、3
・・・絶縁材、4・・・棒、5・・・ボール、6・・・
ボール受け、7・・・補助筒、8・・・摺動板、9・・
・ナツト、11・・・押しねじ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空室内に設けられた支点によって2次元的揺動及び軸
    方向摺動自在に支承された棒の真空室内側端部に絶縁材
    を介して電子銃を取付け、上記棒と真空室壁との間をベ
    ローによって可撓的に気密シールし、上記棒の真空外端
    部を3次元的微動機構に結合してなる電子銃微動機構。
JP16058581U 1981-10-27 1981-10-27 電子銃微動機構 Pending JPS5865755U (ja)

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JP16058581U JPS5865755U (ja) 1981-10-27 1981-10-27 電子銃微動機構

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JP16058581U JPS5865755U (ja) 1981-10-27 1981-10-27 電子銃微動機構

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JPS5865755U true JPS5865755U (ja) 1983-05-04

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