JPS5868630A - 多色パタ−ンの欠陥検査方法 - Google Patents
多色パタ−ンの欠陥検査方法Info
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- JPS5868630A JPS5868630A JP16758781A JP16758781A JPS5868630A JP S5868630 A JPS5868630 A JP S5868630A JP 16758781 A JP16758781 A JP 16758781A JP 16758781 A JP16758781 A JP 16758781A JP S5868630 A JPS5868630 A JP S5868630A
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- Japan
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- defects
- circuits
- defect
- kinds
- multicolor
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
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- Pathology (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、一般の多色印刷物や、単純な繰り返しパター
ンが連続するカラーカメラ用の色分解フィルター等の多
色）（ターンの欠陥を検査する方法に関する。
ンが連続するカラーカメラ用の色分解フィルター等の多
色）（ターンの欠陥を検査する方法に関する。
従来の欠陥検査方法は、その対象物かフォトマスクやレ
チクルに代表されるようにモノクロノ（ターンの検査判
定がほとんどで、その欠陥の種類も。
チクルに代表されるようにモノクロノ（ターンの検査判
定がほとんどで、その欠陥の種類も。
パターンの欠落と余分なパターンの残存という形態に限
られ、欠陥検査の方式も単純なものであった。
られ、欠陥検査の方式も単純なものであった。
しかしながら、一般の多色印刷物や、カラーカメラ用の
色分解フィルターのような多色パターンにあっては、モ
ノクロパターンに′比べて様々の形態の欠陥の存在が可
能であり、このような多色パターンの欠陥を検査し良否
を判定するためには、欠陥の種類に応じてそれぞれ？認
識することが必要である。
色分解フィルターのような多色パターンにあっては、モ
ノクロパターンに′比べて様々の形態の欠陥の存在が可
能であり、このような多色パターンの欠陥を検査し良否
を判定するためには、欠陥の種類に応じてそれぞれ？認
識することが必要である。
本発明は、検査用光電変換装置により多色パターンを走
査して得られる撮像信号から、多ビットのんΦ変換を行
なうことなく、２値化のみの手段により、特定の種類の
欠陥を高速かつ低コストで抽出することにある。
査して得られる撮像信号から、多ビットのんΦ変換を行
なうことなく、２値化のみの手段により、特定の種類の
欠陥を高速かつ低コストで抽出することにある。
すなわち、本発明は、検査用光゛電変換装置により得ら
れる多色パターンの撮像信号Ｙ２２値化像に変換し、多
色パターンの欠陥を２値化像として抽出する欠陥検査方
法であって、２値化回路を欠陥の種類に対応して異種複
数個設置し、該複数の２値化回路のそれぞれから得られ
る２値化像の組合わせにより欠陥の種類を判定すること
を特徴とする多色パターンの欠陥検査法である。
れる多色パターンの撮像信号Ｙ２２値化像に変換し、多
色パターンの欠陥を２値化像として抽出する欠陥検査方
法であって、２値化回路を欠陥の種類に対応して異種複
数個設置し、該複数の２値化回路のそれぞれから得られ
る２値化像の組合わせにより欠陥の種類を判定すること
を特徴とする多色パターンの欠陥検査法である。
以下、検査対象物としてカラーカメラ用の色分解フィル
ターを例にして、本発明の詳細な説明する。
ターを例にして、本発明の詳細な説明する。
第１図（イ）はカラーカメラ用色分解フィルターの一例
を示す部分拡大平面図であるが、図にあっては理解を容
易にするため極めて模式的に表わされている。図におい
て、Ｒ，、Ｇ、Ｂと連なる各ストライプは例えば赤、緑
、青の色を呈し、Ｔは透明なガラス基板である。Ｒ，Ｇ
、 Ｈの各ストライプの幅は２〜２０ミクロン程度の微
細なものである。第１図（ロ）は、かかる色分解フィル
ターに生じうる欠陥のうち、パターンの欠落を示すもの
で、図中、欠落部（１＋はストライプ凡の上端部に生じ
ている。第１図（うは、パターンの重なりを示すもので
、図中型なり部（２）はストライプＲにストライプＧの
色が重なって混色している様を示し、重なり部（３１は
ストライプＧＩＣストライプＢの色が重なった混色部を
示すものである。次の第１図に）はパターンの置換を示
すもので、定められたストライプの一部に別のストライ
プの色相が置き換わることを意味する。
を示す部分拡大平面図であるが、図にあっては理解を容
易にするため極めて模式的に表わされている。図におい
て、Ｒ，、Ｇ、Ｂと連なる各ストライプは例えば赤、緑
、青の色を呈し、Ｔは透明なガラス基板である。Ｒ，Ｇ
、 Ｈの各ストライプの幅は２〜２０ミクロン程度の微
細なものである。第１図（ロ）は、かかる色分解フィル
ターに生じうる欠陥のうち、パターンの欠落を示すもの
で、図中、欠落部（１＋はストライプ凡の上端部に生じ
ている。第１図（うは、パターンの重なりを示すもので
、図中型なり部（２）はストライプＲにストライプＧの
色が重なって混色している様を示し、重なり部（３１は
ストライプＧＩＣストライプＢの色が重なった混色部を
示すものである。次の第１図に）はパターンの置換を示
すもので、定められたストライプの一部に別のストライ
プの色相が置き換わることを意味する。
この図の例ではＲの中にＢが、およびＧの中にＲが存在
している。最後の第１図（ホ）は、パターン中に異物が
付着している様子を示す。すなわち、異物付着部（４）
は例えば空気中に浮遊するゴミ等が付着して生じるもの
である。
している。最後の第１図（ホ）は、パターン中に異物が
付着している様子を示す。すなわち、異物付着部（４）
は例えば空気中に浮遊するゴミ等が付着して生じるもの
である。
上記のような多色パターンに様々の形態で表われる欠陥
を検査し、認識するためには、例えば、第２図（イ）に
示すように、検査対象物（５）たる多色パターンを拡大
レンズ系（６）を通して検査用光電変換装置（７）によ
り撮像信号に変換し、この撮像信号を図には示されてい
ないが、増幅して画像信号となし、続いて並列に配置さ
れた２値化回路（８１（９１０（ｌ Ｇυにより画像信
号の異常部ヲ「１」とし、その他の正常部をｒＯＪとす
る２値化を行なうものである。この２値化回路（図の実
施例では４つ）は、欠陥の種類に対応して設けられてい
るものであり、各２値化回路中の″ラメーターを変える
ことにより、各種の欠陥に対応して下地パターン（正常
部に相当するパターン）を消去できるスライスレベルを
設定できるものである。この場合、スライスレベルは固
定的な絶対レベルに限られず、むしろ浮動閾値回路によ
るスライスレベルを用いることが実際的である場合が多
い。
を検査し、認識するためには、例えば、第２図（イ）に
示すように、検査対象物（５）たる多色パターンを拡大
レンズ系（６）を通して検査用光電変換装置（７）によ
り撮像信号に変換し、この撮像信号を図には示されてい
ないが、増幅して画像信号となし、続いて並列に配置さ
れた２値化回路（８１（９１０（ｌ Ｇυにより画像信
号の異常部ヲ「１」とし、その他の正常部をｒＯＪとす
る２値化を行なうものである。この２値化回路（図の実
施例では４つ）は、欠陥の種類に対応して設けられてい
るものであり、各２値化回路中の″ラメーターを変える
ことにより、各種の欠陥に対応して下地パターン（正常
部に相当するパターン）を消去できるスライスレベルを
設定できるものである。この場合、スライスレベルは固
定的な絶対レベルに限られず、むしろ浮動閾値回路によ
るスライスレベルを用いることが実際的である場合が多
い。
第２図（イ）に示す検査方法では、それぞれの２値化回
路（８＋ （９１０Ｉ（ｌυに直結する複数のテレビジ
、ン（至）＠（ハ）（５）にモニタ像が写し出される。
路（８＋ （９１０Ｉ（ｌυに直結する複数のテレビジ
、ン（至）＠（ハ）（５）にモニタ像が写し出される。
このモニタｆ象には特定の欠陥に対応して像が点状に写
し出されるのであり、かかるモニタ像を観察すれば欠陥
の種類まで判定できる。
し出されるのであり、かかるモニタ像を観察すれば欠陥
の種類まで判定できる。
第２図（ロ）は、第２図（イ）のように人為的な観察に
より欠陥の認識Ｙ行なうのを自動化したものであり、図
によれば、それぞれの２値化回路（８） （９１Ｑｌ
ｕυからの出力信号（２値化信号）馨、あらかじめ定め
た演算プログラムに従って、合成・選択等の処理を行な
５合成−選択回路ＵＫ送るものである。
より欠陥の認識Ｙ行なうのを自動化したものであり、図
によれば、それぞれの２値化回路（８） （９１Ｑｌ
ｕυからの出力信号（２値化信号）馨、あらかじめ定め
た演算プログラムに従って、合成・選択等の処理を行な
５合成−選択回路ＵＫ送るものである。
ここでの各欠陥に対する演算処理結果から、それぞれの
欠陥の判定を中央演算処理装置ａ３により行ない、欠陥
側の集計およびその座標データの集計を行なう集計回路
（＋４１にデーターを音種し、必要に応じて出力用プリ
ンタ等の表示装置αＳ［より欠陥に関するデーターを打
ち出すものである。
欠陥の判定を中央演算処理装置ａ３により行ない、欠陥
側の集計およびその座標データの集計を行なう集計回路
（＋４１にデーターを音種し、必要に応じて出力用プリ
ンタ等の表示装置αＳ［より欠陥に関するデーターを打
ち出すものである。
以下更に検査対象物として撮像管型カラーカメラ用色分
解フィルター？用いた具体例に基いて詳細に説明するこ
ととする。
解フィルター？用いた具体例に基いて詳細に説明するこ
ととする。
検査対象物は、透明ガラス基板上に光の三原色たる赤、
緑、青の各ストライプがｌＯミクロン幅に形成されてお
り、しかも各ストライプの境界には３ミクロン幅の金属
クロムのストライプ層を配してなる約１ｃＩＩＬ角の広
さを有する多色パターンである。この検査対象物を検査
する光学系として金属顕微鏡の拡大レンズ系と落射照明
を用い、ビジコン型の撮像管を心臓部とする検査用光電
変換装置により、被検査対象物を走査し、撮像信号を得
る。撮像信号を増幅して画像信号としたのち、第３図に
示すような浮動閾値回路乞有する２値化回路に人力して
２値化を行なう。図面の第３図に基いて２値化回路につ
いて説明すると、増幅した画像信号０６）は２系統に分
かれ、一方は実波形としてそのまま、また他方はアナロ
グ波形を後述の各種の操作にてスライスレベル波形に変
形した後、いずれもコンパレータμＡ７６００Ｄに人力
され、比較操作の結果、２値化信号θ〜として出力され
る。
緑、青の各ストライプがｌＯミクロン幅に形成されてお
り、しかも各ストライプの境界には３ミクロン幅の金属
クロムのストライプ層を配してなる約１ｃＩＩＬ角の広
さを有する多色パターンである。この検査対象物を検査
する光学系として金属顕微鏡の拡大レンズ系と落射照明
を用い、ビジコン型の撮像管を心臓部とする検査用光電
変換装置により、被検査対象物を走査し、撮像信号を得
る。撮像信号を増幅して画像信号としたのち、第３図に
示すような浮動閾値回路乞有する２値化回路に人力して
２値化を行なう。図面の第３図に基いて２値化回路につ
いて説明すると、増幅した画像信号０６）は２系統に分
かれ、一方は実波形としてそのまま、また他方はアナロ
グ波形を後述の各種の操作にてスライスレベル波形に変
形した後、いずれもコンパレータμＡ７６００Ｄに人力
され、比較操作の結果、２値化信号θ〜として出力され
る。
アナログ波形を変形してスライスレベルとする操作は、
大別して位相シフト、振幅変化およびレベルシフトの三
つからなる。位相シフトは演算増幅器ＬＭ３１８ＱＩと
コンデンサー３０を使用した積分回路により波形をなだ
らかに変形する操作を意味する。振幅変化およびレベル
シフトは、演算増幅器ＬＭ３１ＢＱ’Ｊ、■と可変抵抗
＠（ハ）とからなる増幅回路により、振幅の圧縮又は拡
大と波形全体のレベルの上下を行なうことである。以上
の操作によって実波形と比較される変形波形か適当なス
ライスレベルとして働く準備が完了し、前述のコンパレ
ータμＡ７６０ａ７）を通し又２値化信号α樟が出力さ
れるものである。
大別して位相シフト、振幅変化およびレベルシフトの三
つからなる。位相シフトは演算増幅器ＬＭ３１８ＱＩと
コンデンサー３０を使用した積分回路により波形をなだ
らかに変形する操作を意味する。振幅変化およびレベル
シフトは、演算増幅器ＬＭ３１ＢＱ’Ｊ、■と可変抵抗
＠（ハ）とからなる増幅回路により、振幅の圧縮又は拡
大と波形全体のレベルの上下を行なうことである。以上
の操作によって実波形と比較される変形波形か適当なス
ライスレベルとして働く準備が完了し、前述のコンパレ
ータμＡ７６０ａ７）を通し又２値化信号α樟が出力さ
れるものである。
上記したｚ値化回路において、コンデンサーＣ２１ｌ、
可変抵抗（２）および可変抵抗（ハ）はパラメーターで
あって、その値を変化させろことで、各種の欠陥に対応
できる２値化回路とすることができる。
可変抵抗（２）および可変抵抗（ハ）はパラメーターで
あって、その値を変化させろことで、各種の欠陥に対応
できる２値化回路とすることができる。
例えば、欠陥として
という三種の欠陥を同定するには、以下の表に示すよう
Ｋ、適宜パラメーターの値を定めた三種の２値化回路Ａ
、 Ｂ、 Ｃを設定するものである。
Ｋ、適宜パラメーターの値を定めた三種の２値化回路Ａ
、 Ｂ、 Ｃを設定するものである。
以上の表から、２値化回路Ａにより゛異物付着Ｉの欠陥
が２値化信号として検出できるから、欠陥Ｉは２値化回
路Ａのデータ［、Ａ）に対応することになる。（Ｉ・・
・〔Ａ〕） 同様にして欠陥■および欠陥Ｉ■は下記の論理式により
求めることができる。
が２値化信号として検出できるから、欠陥Ｉは２値化回
路Ａのデータ［、Ａ）に対応することになる。（Ｉ・・
・〔Ａ〕） 同様にして欠陥■および欠陥Ｉ■は下記の論理式により
求めることができる。
■・・・（Ａ） ｘ （Ｂ） （（Ａ）は（Ａ）の逆
データ）このような論理式に基いて、同一座標の２値化
信号を比較し、欠陥の種類を同定することは、前述の合
成の選択回路α２にて行なうものである。
データ）このような論理式に基いて、同一座標の２値化
信号を比較し、欠陥の種類を同定することは、前述の合
成の選択回路α２にて行なうものである。
すでに理解されるように、多色パターンの欠陥は多種多
様であり、かかる欠陥の種類に応じて。
様であり、かかる欠陥の種類に応じて。
すなわち検出しようとする欠陥の種類に応じて、適宜パ
ラメーターを定めた多数の異なる２値化回路を設定する
ものであり、設定される２値化回路の数はこの例のよう
に三種に限られないことは当然である。
ラメーターを定めた多数の異なる２値化回路を設定する
ものであり、設定される２値化回路の数はこの例のよう
に三種に限られないことは当然である。
２値化信号の合成・選択のあとは、中央演算処理回路（
ＩＩＫより、各欠陥の種類別に、その大きさを判定した
り、検査対象物の良否を判定するものであり、欠陥デー
タの集計やプリンタ装置により欠陥の形態（種類や大き
さ）を打ち出すことＫなる。
ＩＩＫより、各欠陥の種類別に、その大きさを判定した
り、検査対象物の良否を判定するものであり、欠陥デー
タの集計やプリンタ装置により欠陥の形態（種類や大き
さ）を打ち出すことＫなる。
本発明の欠陥検査法は以上のようなものであり、本発明
によれば、多色パターンに生じる多種多様な ■欠陥に対して、異種複数個の２値化回路による高速並
列処理により、欠陥の種類分けを容易に行なえるように
したものである。加えて新しい形態の欠陥が多色パター
ンに生じた場合でも適当な定数の素子からなる浮動量回
路を備えた２値化回路を設定することＫより、種々の欠
陥に対して容易に応することができる方法となるもので
ある。
によれば、多色パターンに生じる多種多様な ■欠陥に対して、異種複数個の２値化回路による高速並
列処理により、欠陥の種類分けを容易に行なえるように
したものである。加えて新しい形態の欠陥が多色パター
ンに生じた場合でも適当な定数の素子からなる浮動量回
路を備えた２値化回路を設定することＫより、種々の欠
陥に対して容易に応することができる方法となるもので
ある。
以上のように本発明の検査方法は、多色パターンの欠陥
検査を自動化できる方式を提供するものであり、本発明
は極めて優れている。
検査を自動化できる方式を提供するものであり、本発明
は極めて優れている。
第１図（イ）は多色パターンの一例であるカラーカメラ
用色分解フィルターの一例を示す部分拡大平面図であり
、第１図（ロ）〜（ホ）は、その色分解フィルターに生
じる欠陥の形態を示す部分拡大平面図である。 第２図（イ）は本発明の検査方法の一実施例娶示すブロ
ック図であり、第２図（ロ）は本発明の検査方法の他の
実施例を示すブロック図である。 第３図は本発明の検査方法に用いる２値化回路の−例を
示す回路図である。 （５）・・・検査対象物 （６）・・・拡大レンズ系 （７）・・・検査用光電変換装置 （８） （９１ＱＩ Ｑυ・・・２値化回路０２・・合
成・選択回路 （１３１・・・中央演算処理装置 ａす・・・集計回路 ａ９・・・表示装置 特許出願人 凸版印刷株式会社 第３図
用色分解フィルターの一例を示す部分拡大平面図であり
、第１図（ロ）〜（ホ）は、その色分解フィルターに生
じる欠陥の形態を示す部分拡大平面図である。 第２図（イ）は本発明の検査方法の一実施例娶示すブロ
ック図であり、第２図（ロ）は本発明の検査方法の他の
実施例を示すブロック図である。 第３図は本発明の検査方法に用いる２値化回路の−例を
示す回路図である。 （５）・・・検査対象物 （６）・・・拡大レンズ系 （７）・・・検査用光電変換装置 （８） （９１ＱＩ Ｑυ・・・２値化回路０２・・合
成・選択回路 （１３１・・・中央演算処理装置 ａす・・・集計回路 ａ９・・・表示装置 特許出願人 凸版印刷株式会社 第３図
Claims (1)
- （１１多色パターンの撮像信号ｔ２２値化像に変換し、
多色パターンの欠陥を２値化像として抽出する欠陥検査
方法であって、２値化回路を欠陥の種類に対応して異種
複数個設置し、該複数の２値イヒ回路のそれぞれから得
られる２値化像の組み合わせにより欠陥の種類を判定す
ることを特徴とする多色パターンの欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16758781A JPS5868630A (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | 多色パタ−ンの欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16758781A JPS5868630A (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | 多色パタ−ンの欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5868630A true JPS5868630A (ja) | 1983-04-23 |
Family
ID=15852514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16758781A Pending JPS5868630A (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | 多色パタ−ンの欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5868630A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20200126202A1 (en) * | 2018-10-23 | 2020-04-23 | International Business Machines Corporation | Detection for abnormal connectivity on a product |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50115549A (ja) * | 1974-02-20 | 1975-09-10 | ||
| JPS5372679A (en) * | 1976-12-10 | 1978-06-28 | Hitachi Ltd | Surface defect detection of test piece |
-
1981
- 1981-10-20 JP JP16758781A patent/JPS5868630A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50115549A (ja) * | 1974-02-20 | 1975-09-10 | ||
| JPS5372679A (en) * | 1976-12-10 | 1978-06-28 | Hitachi Ltd | Surface defect detection of test piece |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20200126202A1 (en) * | 2018-10-23 | 2020-04-23 | International Business Machines Corporation | Detection for abnormal connectivity on a product |
| US10832399B2 (en) * | 2018-10-23 | 2020-11-10 | International Business Machines Corporation | Detection for abnormal connectivity on a product |
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