JPS5868641A - クリ−ンル−ムの空気分析・報告システム並びに同システムに使用されるモニタ−カ−ド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、クリーンルームの空気分析・報告システム・
並らびに１町システムに使用式れるモニターカードに関
するものである。

一般に、コンピュータルームなどの室内空気の高い清潔
度を求められる場所については・例えはＦ＠ｄ＠ｒａｌ
　５ｔａｎｄａｒｄ（ＮＡＳＡで足めた基準：１立万フ
イート中に含まれる数μ８厩以下の倣ｔＭ初塵の電〕を
一つの目安として、その場所において求められる清潔度
レベル（Ｆｅｄｅｒａｌ　５ｔａｎｄａｒｄでは１クラ
ス１ｏｏｏｏ：＊位体積当りに１万個以下′のように数
値でボす）が維持されているが否がを−１”ＩＩ断する
ようにしているのが普通である。

そしてこのためには、その場均におけるｆＩＩｔ襟度食
によって測定することが必要となり、その必要の度合に
応じて、空気中の微粒粉ｍを測定する元学的な測定機症
をもつｐｙｒ　ｉ！Ｍ・２−ティフルカラターを常設す
るなどしている。

しかし、このような方式では、例えばノ９−ティクルカ
ウターという高価格で、筐た容積的にも大きくなる測定
装置＆を常設したり、定期検査毎にクリーンルームに出
入させなければならないという問題を招くし、また同装
置では微粒粉塵の巣位体積空気中の個数を検出できるに
しても、その微粒粉塵の性質（カーゲン、に−・ンーダ
ストｅｔｃ　）までは検知できないという問題がわった
。例えば前者の問題に関しては、定期検査の方式とすれ
は１台の測足装ｆＩＬを複数ケ所の測定に利用できるが
、装置の移動が一つの空気汚染の原因ともなり易いとい
う難点があるし、また後者の問題に関しては、ある種の
物質例えば研磨性物質１よコンピュータールームの場合
リーダー、グリンター等のダイナミ、クメデ（ア、ある
いはテーグ、ディスクに′＃ｒを与えるし、炭素系物質
はクロストラッキングの原因となったり、電子回路基盤
の短絡を引き起したりするなど、微粒粉塵のうちにも特
に危険性の高い個々の物質があるにもかかわらず、・９
−ティフルカラターによる測定方式ではこれら個々の物
質の状況は検出できずに全体の清潔度変化の鴎向のみが
検出されるにしかすぎないという一点となっていた。

本発明者は、これらの点に鑑み、極めて簡単かつ低コス
トの測定装置を用いることによってクリーンルームの清
潔度状況を把握すると共に、特に特定の危険物質につい
ては、全体の変化傾向と平行してその変化を検知できる
ようにしたクリーンルームの９気分析・報告システムを
提供することを第一の目的としている＠ すなわち、本発明システムの具体的構成の％像の一つは
、クリーンルーム内空気のある時期の清潔度（汚れの状
況）を一つの基準とし、その後は、該基準値に対する相
対的変化によって汚染の進行状況を把握・判断できるよ
うにしたことにある。

前述し九ノ母−ティクルカウターを用いた１１４１１　
建方式では、測定作業毎に同装置を使用してクリーンル
ーム内空気の単位体積当りの微粒粉塵の絶対量を測定・
検出するのであるが、本発明システムでは、フィルター
、吸着紙等に同一の条件下で所定型の空気を流通させれ
ば・これらに付層する微粒粉塵のに＃′ｉ、単位単禎当
りに言まれる微粒粉藤の電そのものではなくとも、その
含まれる量の大きさに略比力的関係をもつと考えてよい
ことに着目して、異なる時期の測定＃ｉ朱の間の相対的
変化をもって、清潔度の変化（汚れの進行）の刊−「負
料とするようにしたのである・ また本発明のシステムの具体的構成の特徴の他の一つは
、空気中の微粒粉塵がいくつかのフィルター、吸着紙設
置ｍｓ分を流通することによって、任意のクリーンルー
ムにおいて符に厄ｖＬ吻質と与られるもの（例えばコン
ピュータルームにおける研磨性物質・炭素系物質等）に
ついては、全体の汚れの進行の傾向と共に、これら個々
の危険物質の汚れの進行の傾向を個別に側足把−できる
ようｖＣＬ、たことにめる・ このようなフィルター等の組合せとして、例えば Ａ：磁性を帯びた吸着紙 Ｂ：糊を塗布した吸着紙 Ｃ：所定サイズの目をもった白色フィルターＤ二所冗サ
イズの目をもった黒色フィルターのＡ−Ｄを一つの組合
とし、クリーンルーム内の空気をＡ、Ｈの吸着紙表面に
当てると共に、Ｃ２Ｄのフィルターを流通させるように
すれば、ＡにＦｉ鉄粉等の磁性体粒子が吸着され、Ｃに
は炭素系物質等の黒色の粒子、ＤＫｔ−１ペーパーダス
ト等の白色の粒子の透過できないものが付着した状態を
明瞭にみることができ、更にＢには全ての粒子か選択さ
れることなく付着し次状態をみることができる。そして
これらの結果から、微粒粉塵の全体個数に関する情報は
Ｂより、このうちの磁性粒子の情報はＡより、このうち
の白色又は黒色粒子の情報はＣ又はＤよりというように
それぞれ得らへこのような組合せ例の場合は、コンピュ
ータルームの微粒粉塵の汚染状況を知る上で良好なもの
となる。

なお、このようなフィルター、吸着紙等は％足のクリー
ンルームの危険物質が例であるかに応じて、吸着する対
象、あるいはフィルターで非透過検出する粉塵粒径の対
象を変更すればよいことは当然である。

また・これら吸着紙、フィルターに空気を流通させる装
置としては、例えは空気の導入・排出口をもつ九箱体に
、空気ｔｌ−強制流通させる極く小型のファンを組込み
、この箱体内の空気流通路に前記フィルター、吸着紙を
設置する構成のもので充分その機能は満足される。

而して、本発明システムの具体的要旨は、−足の流通状
態で外部空気を内部に強制流通させるね体をクリーンル
ームの−又は複数位置に設置し、この箱体内の空気流通
路には、流通空気中の微粒粉塵の付着する吸着紙および
フィルターを保持したモニターカードを着脱可能にセッ
トさせ、−ず期間の間空気流通を行なわせた彼に取り出
したモニターカードの各吸着紙およびフィルターの単位
面積当りの付着粒子数を計数して、これを繰り返すこと
により該クリーンルーム内空気中の粉塵全体および特定
物質の相対的変化の状況を検出することを特徴とするク
リーンルームの空気分析・報告システムにある。

また、本発明の他の目的は、前述したシステムに使用す
る好適な構成のモニターカードを提供することにある。

既に述べたように、本発明のクリーンルームの空気弁Ｊ
ｆＪｒ・報告システムは、吸虐紙、フィルター等をＭ合
せてこれらに付着する微粒粉塵の賞金目安として室内の
清潔就（汚れの進行状況）を把伽する形式のものでおる
から、異なる時期におりる測定・検出の条件は同じであ
ることが必彊Ｏ賛性となる。またこのようなフィルター
、吸着紙等は、付着した粉塵の電を顕微−等を用いて計
数するための資料であるから、これの側足装置への組み
付けの作業性のみならず、測疋後の取扱性も闇値である
ことが望まれる。

このようなことから、本発明名ｔま、ｉ１１述したフィ
ルター、吸着紙を組合せ物として一枚のカード形状（以
下モニターカードと称する）に構成し、これを前記測定
装貨の所矩位置に差し込み、取り出しして取扱えるよう
にＣ７たものを開発した。このモニターカードは、各吸
着紙の表面を一足圓積で外部に露呈する表面側の開口と
、各フィルターに空気を流通させるための−ｋｍ槙の衣
・Ｊｌ’［１１１の開口とを備えた表紙・７１紙２枚の
台紙によって、前記各吸着紙およびフィルターを挾み１
足した構成をなし、台紙の表面又は１１面には、フィル
タ一番号、その性能を衣記し、おるいは測に時間長さ。

時期、場所等必要な悄＠を記入できる掴１に次記してな
るものである。

なお、前記側に条件のうちｔこは、窒気流ｉ！Ａ電も本
来Ｆｉ含まれるのでおるが、吸崩゛紙婢への粉塵性７Ｉ
ｉｌｆｋｋは空気流通電に比例的関係にあると考えてよ
いから、この点に関しては、６１１１Ｖ装置のファンの
駆動時間を一定とするタイマーを使用するよシも、大兄
の時間のファン駆動を行なわせて、側ボ後時間の換算計
算を行なうようにすることが実用上簡便でおると舊える
。

而して、本発明のクリーシルームの空気分析・報告シス
テムに用いる七処ターカードの具体的費旨は、複数゛の
開口が設けられている表台紙と、線表台紙の開口と対を
なしてフィルターへの空気流通を行なわせるフィルター
用の開口が設けられている農台紙と、これら開口に臨む
ようｔＣ前記表台紙および良台紙により挾み固定された
吸Ｎ紙およびフィルターとを備えたことを特徴とするク
リーシルームの空気分析°報舌システムに便用される七
処ターカードにある。

以下本発明を図面に示す実施例に巻ついて説明する０第
１図は、本発明システムにおいて使用するモニターカー
ドに、一定の条件で空気を流通させるの上部には、その
上面の半分栓開口した空気導入口２が形成されている。

この中動人口２は網で榎ゎれている。、またこの箱体ｌ
の側部にはファン（図下せず）を内蔵した空気導出部３
が設けられており、前記空気導入口２より箱体１内に九
人する空気は空気導出部３よシ箱体１外部に流出し、こ
の空気の流れは前記ファンの駆動によって強制的に行な
われＺｏ ４はファンの駆動をオン・オフするスイッチ−５Ｖｉフ
ァン駆動時間を計数するｊｌ数メータ、６は該メータ５
の零セツトツマミである。また７は前記軸体ｌにモニタ
ーカードｔ−ｉし込む九めのスリット開口である。

第２図は同装置（粕）のに！断面図を示しており、軸体
１の上部空気導入口２の下側に汀、差し込まれたモニタ
ーカード１１を支桐する支ぜブラケット８．８が箱体Ｉ
Ｋ向定されていると共に、更にその下側には流入空気の
流路をガイドするガイド板９が固足石れている。そして
このガイド板９は、前記空気導入口２の直下方が閉本さ
れ、図の左半分の部分に開口ｌＯが形成されている。

このようなガイド板９の開口ｌＯと、空気導入口２の位
置関係の設足は、空気の透過でなくｔ？、面での流通に
よシ粉慕を付層する吸着紙と、空気の流通により粉塵ｔ
−付着するフィルターとの性質の相違に鑑み、空気の流
通がフィルター側の部分にのみ偏よって生じないように
前縁したことによっている。すなわち、図示の如くセッ
トされたモニターカード１１には、図の左牛軸にフィル
ターを保持石せ、図の右手側に９＆着＆を保持させるよ
うにすれは、図の矢印に示す空気の流通によって谷吸着
献・フィルターに伽よりなく空気か当ることが確保でき
るものである。

第３図および第４図は本発明システムにおし・て使用さ
れるモニターカード１１の−ｅｒｔ示しており、４つの
長円形開口１３ム、１３襲＋１３ｃ＋１３０が並列に設
けられた六台航１２と、駄−口１３ｃ、１３Ｄと対をな
す長円形開口１５ｃＩ１５Ｄが設けられ九嶽台紙１４と
によって・それぞれの開口に臨むように奴膚厭Ａ・Ｂ、
およびフィルターＣ，Ｄが１処み［ｒ、１足されてモニ
ターカード１１が形成されている。

なお、裏台紙１４の開口のない部分には・図示の如く適
宜必嶽に応して軸足の１紹・ホミ了の時点・”６１’＋
矩場所等に関する怪頼の記載−を眩けるようにしている
。

以上の構成のモニターカードｌｌｉ、　コンピ−タルー
ムに関して使用する一合の一例としては・へ二磁−ａを
侘びたｅ、盾紙 Ｂ：糊を塗布した吸着紙 Ｃ：３μの目をもった白色フィルター Ｄ：３μの目をもった黒色フィルター の組合せとすることが、実際の把餡すべ！ｉ対尿との関
係で実状に促していることを４％曲者は実験的に確認し
ている。しかし吸膚私、フィルター寺の組合せが本例の
みＶｃ限尾さｆＬゐ赴旨でないことＬ当然でめり・周−
越境、を階をご性急すべを危険物置の種類・粒径等に応
してこれらＶ組合せ七変更することヒ可舵で必る・ 次ぎに以上の測定装置（箱）およびモニターカードを用
いて行なつ空気分析・報告システムの使用手順概要につ
いてコンピュータルームの場−５ｔ−例として説明する
。

まず測定装置（箱）をコンピュータルームの所足位置に
セットし、モニターカード１１に測定場所、　６１１１
定開始年月日１時間管記入してこれを＾■配装ｋ（釉）
のスリット開ロアに差し込み、ファン駆動スイッチ４を
オンにする。

この状態で、例えは３０日の一期間としてファンを連続
駆動嘔せ、３０日（３０Ｘ２４時間）経過後に装置を停
止してモニターカード（ＡＩとする）を取シ出し、同装
置（箱）には次周期の一期間のために新しいモニターカ
ード（ム２）を差し込み、以後同様にファン駆動含有な
わせる操作を繰り返す。

取り出したモニターカード（４１）は各ｙ＆盾厭。

フィルターＡ、ＢＩＣ，Ｄそれぞれについて、鵬微銚を
用いて単位面積当シの付層粒子個数（平均値）を計数し
、これを基準値１００として第５図に示すように各Ａ、
Ｂ、Ｃ，ｌ）の棒グラフのＡＩの項に記入する。

なお、このＡＩのモニターカードの測定と並行して一コ
ンピュータルーム内の空気中における微粒粉塵の単位体
積当シの絶対ｎを前述したパーティクルカラター等にて
一足することにより、室内空気の清潔度レベルが例えば
Ｆｅｄｅｒａｌ　５ｔａｎｄａｒｄの基準レベルを満足
していることを確認しておくことが原則として必要てろ
る。

Ａ２以降の測定の終っ喪モニターカードについてＦｉｌ
それぞれ各吸着紙、フィルターＡ　、　Ｂ　、　Ｃ。

Ｄの単位面積当シの粉塵粒子ａｔ計数し、ＡＩのモニタ
ーカードの測定時間との換算修正をした後・同ＡＩの基
準値１００に対する相対値として求めた値を順次前記第
５図の対応するグラフに記入する。

このような作業によって各Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄのグラフが描
かれれば、例えば第５図の例では、全体粉塵の量が漸増
し、特にム４において急激に増加し喪ことが把握できる
と共に、この増加の傾向は特に黒色フィルターＤに付着
した白色粉塵（例えば（−パーダスト等が考えられる）
が漸増していることと、白色フィルターＣに付着した黒
色粉塵（ｆＦｌｌえは炭素系物質等が考えられる）がＡ
４のモニターカードの＃１走時期に急増したことに起因
していることが同時に把握できることになる。

また第５図の例では吸着紙入に付着し＋ｍ性粉塵は減少
の傾向にあることが把握できる・以上の測定結果に基づ
き、コンピュータルーム内の清潔度の変化、すなわち微
粒粉塵の浮遊（汚れの）状況が、全体的にまた物足の性
質をもった粒子毎に大略把握でき、その各グラフの変化
傾向を総合すれば、室内空気の汚れ発生原因、その除去
対策ｔｗｓすることが容易となる利益が得られ、また全
体的粉塵量はあまシ変化しなくとも、める物足の危険物
質のみが急激に増大するような場合にも、これを検出し
て改善措置をとることも可罷になるという利益もめる。

しかも、このようなシステムにおいては、複数のクリー
ンルーム、るるいは一つのクリーンルー五内の複数の場
所毎に・前述した極めて簡単かつ小型の測足装置ｌｒ管
設置することによって測定作業を行なうことができ、し
かも測定後のモニターカードは、これを集めて一個所の
分析部門あるいは専門の分析会社に委託する形式で集中
的にデータ処理できるという利点があり、従来の測定場
所毎にパーティクルカラター等を用意しなければならな
かりｆｔ場合に比べ、その実用化に際しての利益は極め
て大なるものである。

なお、以上の９嶽分析・報告システムの使用手順概要の
説明において、モニターカード＆ｌの測定時には、これ
と並行してノ４−ティクルヵウターによる室内空気中の
微粒粉塵の単位体積当りの絶対量を測定することを原則
とするヒ説明しているが、これは室内レイアウトのｉ更
、室内装置・設備の交換・修理等が行な−ゎれたと１！
は、その後に行なう測定ｔ−Ａｌとテることの意味であ
る。

しかしながら、このような測定・空気分析の繰り返しに
よるデータの蓄積が多くなったときに４本発明システム
のモニターカードによる分析のみによって、室内空気中
の単位体積当シの微粒扮塵絶対′ｉｉを大兄の範囲で把
握することは可屈であシ、このような場合に前記ノター
ティクルカウター等を使用しないで済”ませる可能性を
否定するものではない。

第６図は、本発明システムを用いてコンビ、−タルーム
の室内空気分析を行なう好適例を示したものである。

すなわち、室内には、侠気、人の出入等の関係から一足
の方向への空気の流れを生ずるのが普通であり、第６図
の大きな矢印はこのような空気の流れを懺わしている。

そこでこのような空気流の上流下流のポイン）　（１）
、　（１１）についてそれぞれ本発明システムの創建装
置（箱）を設置し、これらで台別に前述し九側足・分析
を行なっ六結果をつき合せすれば、同室内における微粒
粉塵の動きをより正確に把握できるという効果がある。

例えば、磁性粒子がポイント（１）でＬ比収的多く検出
されるにも拘わらず、ポイントＯＩ）で＃′ｉめまシ検
出されないという結果が得られ良場合には、この仏性を
帯び六部分に吸着された可能性が大きいと判断できると
いうことになる。

このような空気流の上・下流において粉塵測足装置等を
各別に段階して、これを比較検討のデータとする考え刀
は、単に本発明システムのみならずダクト内の汚れ検査
についても通用できるものと百えるが、本発明システム
の如ぐ、特定の危険物Ｍの動！！をこれが甚大な影響を
及ぼす虞れのあるクリーンルーム室内の装、誼・設備と
の関係で把握できる場合には、その効果Ｆｉ極めて大な
るものとなる。

以上種々述べた如く、本発明よりなるクリーンルームの
空気分析・報告システム並らびに同システムに使用され
るモニターカードは、比較的簡単な溝底の装置等を用い
て室内空気の清潔度レベルの監視に極めて有効に機能し
、そのＭ相性は大なるものである。

【図面の簡単な説明】 第ｒｔコ 図ｉτ床発明システムに使用する測足装置（箱）の斜視
図、第２図は同縦断面図、第３図は本発明システムに使
用するモニターカーＶの一例を示す上方斜視図、第４図
は同下方斜視図、第５図は分析データを費わしたグラフ
の一例を示す図、第６図はクリーンルーム室内における
システムの好適便用例を説明するための図である。 ｌ：測足装置（箱）　　２：空気導入口３：空気導出部
　　　　４：スイッチ ５：ｌｉ数メータ　　　　６：零七、トツマミ７ニスリ
、ト開口　　　８：支持ブラケット９ニガイド板　　　
　ｌＯ：開口 １１：モニターカード　１２：弐台紙 １３ム１１３１＃１３Ｃ＠１３０：長円形開口１４；良
台紙 １５ｃ、１５０：長円形開口

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）−足の流通状態で外部空気を内部に強制流通させ
   る箱体をクリーンルームの一又Ｆｉ複数位瓢に設置し、
   この箱体内の空気流通路には、直通空気中の倣粒粉麿の
   付着する吸着紙およびフィルターを保持したモニターカ
   ードｔ−着脱可能にセットさせ、−足期間の間空気ｆｉ
   通を行なわせた後に取り出したモニターカードの各吸着
   紙およびフィルターの単位ｔｈｉ秋当りの付着粒子＆！
   を計数して、これを繰シ返すことＫよシ該りリーンルー
   ム円空気中の粉脇全体および特定物質の相対的変化の状
   況を検出することを％黴とするクリーンルームの空気分
   析・報告システム。
2. （２）フィルターが、所定゛サイズの目をもつ白色およ
   び黒色の２枚であることを特徴とする特許訪米のＮ囲第
   （０項に記載し九クリーンルームの空気分析・報告シス
   テム。
3. （３）吸着紙が、磁性を帯びた吸着紙と、表面に糊の塗
   布された吸着紙の組合せであることを特徴とする特許結
   末の範囲第（す項又は第（２）項に記載したクリーンル
   ームの空気分析・報告システム。
4. （４）箱体を室内の空気の流れの上流および下流に各−
   個設置したことを特徴とする請求 第（１）項乃至弟（３）項のいずれかに記載したクリー
   ンルームの空気分析・報告システム。
5. （５）複数の開口が設けられている衣台紙と、該弐台紙
   の開口と対をなしてフィルターへの空気流通を行なわせ
   るフィルター川の開口が設けられている長台紙と、これ
   ら開口に臨むように前記表台租および裏台紙により挾み
   固足されたＩ＆虐紙およびフィルターとを備えたことを
   ％徴とするクリーンルームの空気分析・報告システムに
   便用されるモニターカード。
6. （６）フィルターが、所定サイズの目をもつ白色および
   黒色の２枚であることｆ：％徴とする特！Ｆｆ訪求の範
   囲第（５）９４に記載したクリーンルームの空気分析°
   ＠　ｉ！ｉシステムに使用されるモニターカード。
7. （７）吸着紙が、磁性を帯びた吸着紙と、赤面に杖の塗
   布式れた吸着紙の組合せであること（Ｉ−特許とする特
   許請求の範囲第（５）項又は第（６）項に記載したクリ
   ーンルームの空気分析・報告システムに使用されるモニ
   ターカード。