JPS5868717A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
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- JPS5868717A JPS5868717A JP16702781A JP16702781A JPS5868717A JP S5868717 A JPS5868717 A JP S5868717A JP 16702781 A JP16702781 A JP 16702781A JP 16702781 A JP16702781 A JP 16702781A JP S5868717 A JPS5868717 A JP S5868717A
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- receiving lens
- lens
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
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- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は表面検査装置に用いる投影光学装置、特に投光
される光を受光レンズの幅方向では圧縮し縦方向では拡
大せしめた表面検査装置における投影光学装置に関する
ものである。
される光を受光レンズの幅方向では圧縮し縦方向では拡
大せしめた表面検査装置における投影光学装置に関する
ものである。
一般に移動している被検体は移動搬送中に振動し、例え
ば高速で搬送される長さ数千ｍ１幅１ｍの帯状感光性フ
ィルムの表面を検査する場合、このような帯状物はその
移動方向と垂直方向に振動し波状になったり又フィルム
表面に検査対象にならないような凹凸が存在する場合が
あり、この場合には受光レンズに対する光が受光レンズ
から一部外れてしまい検出部が誤動作する虞れがある。
ば高速で搬送される長さ数千ｍ１幅１ｍの帯状感光性フ
ィルムの表面を検査する場合、このような帯状物はその
移動方向と垂直方向に振動し波状になったり又フィルム
表面に検査対象にならないような凹凸が存在する場合が
あり、この場合には受光レンズに対する光が受光レンズ
から一部外れてしまい検出部が誤動作する虞れがある。
本発明の表面検査装置における投影光学装置はこのよう
な被検体の移送中に生ずる乱れによる誤作動を除くよう
にし、たものであって、被検体より反射されまたは透過
した受光レンズに照射される光をその幅方向では受光レ
ンズの横幅より十分小さく集束せしめ、その縦方向では
受光レンズの縦幅より十分大きく拡大せしめるよう構成
したことを特徴とする。
な被検体の移送中に生ずる乱れによる誤作動を除くよう
にし、たものであって、被検体より反射されまたは透過
した受光レンズに照射される光をその幅方向では受光レ
ンズの横幅より十分小さく集束せしめ、その縦方向では
受光レンズの縦幅より十分大きく拡大せしめるよう構成
したことを特徴とする。
以下図面によって従来及び本発明の詳細な説明する。
第１図、第２図シ」従来の表面検査装置における投影光
学系を示し、Ａは被検体を照明するタングステンランプ
でハロゲンランプ等の光源である。
学系を示し、Ａは被検体を照明するタングステンランプ
でハロゲンランプ等の光源である。
Ｂは赤外線透過フィルター、Ｃは光量を有効に用いるコ
ンデンサレンズ、Ｄはシリンドリカルレンズ、Ｅは被検
体、例えば感光性フィルム、Ｆは受光レンズ、Ｇは検出
部を示し、この検出部Ｇからは被検体の表面の状態を示
すビデオ信号が取り出されこれが表示部に表示される。
ンデンサレンズ、Ｄはシリンドリカルレンズ、Ｅは被検
体、例えば感光性フィルム、Ｆは受光レンズ、Ｇは検出
部を示し、この検出部Ｇからは被検体の表面の状態を示
すビデオ信号が取り出されこれが表示部に表示される。
この従来の光学系においてはフィルムＥ全通して受光レ
ンズＦに至る光は第１図の平面図に示すように、平面的
には平行になり又第２図の側面図に示すように上下方向
ではＬ下に拡大する光となる。従ってフィルムＥが例え
ば前述のように撮動すれば受光レンズＦに至る丸は第１
図、第２図で点線で示すようにゆらいでし−まい、この
ゆらいだ分だけ受光レンズＦから光が外れ、千の分だけ
受光量が低下し検出部Ｇよりの検出信号レベルが大きく
変動することになる。
ンズＦに至る光は第１図の平面図に示すように、平面的
には平行になり又第２図の側面図に示すように上下方向
ではＬ下に拡大する光となる。従ってフィルムＥが例え
ば前述のように撮動すれば受光レンズＦに至る丸は第１
図、第２図で点線で示すようにゆらいでし−まい、この
ゆらいだ分だけ受光レンズＦから光が外れ、千の分だけ
受光量が低下し検出部Ｇよりの検出信号レベルが大きく
変動することになる。
本発明の表面検査装置ｔにおいてｆ、Ｊ第３図〜第５図
に示す様に赤外線透過フィルターを経た光路をコンデン
サレンズＣ全通しシリンドリカルレンズＤを経た後、第
２コンデンザレンズＩＩを介しテ被検体Ｅに照明する。
に示す様に赤外線透過フィルターを経た光路をコンデン
サレンズＣ全通しシリンドリカルレンズＤを経た後、第
２コンデンザレンズＩＩを介しテ被検体Ｅに照明する。
この第２コンデンザレンズＨに［フィルムＥの被検査域
■に対する光を被検査域Ｉの長手方向、即ち受光レンズ
Ｆの横幅方向には集束せしめ、被検査ｄＩの幅方向、即
ち受光レンズＦの縦方向では拡大せしめ受光１／ンズＦ
に達する光は受光レンズＦの縦幅より十分大きな縦方向
長さを有し、又受光レンズＦの横幅【り十分小さな横幅
となる。
■に対する光を被検査域Ｉの長手方向、即ち受光レンズ
Ｆの横幅方向には集束せしめ、被検査ｄＩの幅方向、即
ち受光レンズＦの縦方向では拡大せしめ受光１／ンズＦ
に達する光は受光レンズＦの縦幅より十分大きな縦方向
長さを有し、又受光レンズＦの横幅【り十分小さな横幅
となる。
本発明表面検査装置における投影光学装置は上記のよう
な構成であるから光源Ａからの光は第１コンデンザレン
ズＣを通［７−ご被検体Ｅの前面に配置した第２のコン
デンサレンズＨで集束して被検面ヘスリット状に照射さ
れ、スリ７＋−長手方向には受光面に収めると共にスリ
ット幅方向は受光ｌ／ンズＦによって捕えることができ
るように拡散するようになるので下記のような種々の利
益がある。
な構成であるから光源Ａからの光は第１コンデンザレン
ズＣを通［７−ご被検体Ｅの前面に配置した第２のコン
デンサレンズＨで集束して被検面ヘスリット状に照射さ
れ、スリ７＋−長手方向には受光面に収めると共にスリ
ット幅方向は受光ｌ／ンズＦによって捕えることができ
るように拡散するようになるので下記のような種々の利
益がある。
（１） フィルムＥから受光レンズＦに向かう光にゆ
らぎがあってもその横幅方向では受光レンズＦより光が
外れることがなく、又その縦方向でも光の照度が変るこ
とがないため全体として光のゆらいだ場合の検出レベル
変化が小さく誤動作するおそれがなしへ。
らぎがあってもその横幅方向では受光レンズＦより光が
外れることがなく、又その縦方向でも光の照度が変るこ
とがないため全体として光のゆらいだ場合の検出レベル
変化が小さく誤動作するおそれがなしへ。
（２）その横幅方向においては光を集束しているため平
行光の時に問題圧される中央部光量と周辺部の光音の差
を十分小さくすることができ更にコンデンサレンズを２
枚構成することによってレンズの収差による光量の差を
少なくすることができるため一定幅に可って均一な照明
を得ることができる。
行光の時に問題圧される中央部光量と周辺部の光音の差
を十分小さくすることができ更にコンデンサレンズを２
枚構成することによってレンズの収差による光量の差を
少なくすることができるため一定幅に可って均一な照明
を得ることができる。
（３） 第６図に示すように２個のコンデンサレンズ
Ｃ及びｌ（のため光源Ａから発せられる光の有効利用角
θ１が従来の１個のコンデンサレンズしか使用しない場
合の角θ２に比べ十分大きく取れるため光源人からの光
をより有効に利用できる。
Ｃ及びｌ（のため光源Ａから発せられる光の有効利用角
θ１が従来の１個のコンデンサレンズしか使用しない場
合の角θ２に比べ十分大きく取れるため光源人からの光
をより有効に利用できる。
そのため光源Ａの強さを弱くして光源の寿命を長くでき
ると共にその保守も簡単であり、均一な照明ができるた
め余分な照明光を被検体に与える必要がなく、被検体が
感光性乳剤を塗布したフィルムの場合にはそのかぶり等
の対策上も極めて好ましい。
ると共にその保守も簡単であり、均一な照明ができるた
め余分な照明光を被検体に与える必要がなく、被検体が
感光性乳剤を塗布したフィルムの場合にはそのかぶり等
の対策上も極めて好ましい。
（４） 高解像力の必要な受光レンズＦの直径を小さ
くして軽１化することができ従ってにコストモ十分下げ
ることができる。
くして軽１化することができ従ってにコストモ十分下げ
ることができる。
＋５）第２のコンデンサレンズＨに傷やほこりが耐着し
たとき、従来の平行光ではそれらが受光レンズＦにその
ま＼の形で投影されてしまうが、本発明では光が集束さ
れるため受光レンズＦには元の傷やほこりが十分小さく
なって投影されるのでこれらの影響を小さくすることが
できる。
たとき、従来の平行光ではそれらが受光レンズＦにその
ま＼の形で投影されてしまうが、本発明では光が集束さ
れるため受光レンズＦには元の傷やほこりが十分小さく
なって投影されるのでこれらの影響を小さくすることが
できる。
（６）検出部ＧとしてＣＯＤ、フォトダイオードエレメ
ント等より成るアレイ状固体撮像素子を用いれば装置全
体をコンパクトに設計することができ、被検体が感光性
物質を含む場合には光源として輝度を小さくしてそのか
ぶりを防ぐと共に精度の高い検査を行うことができる。
ント等より成るアレイ状固体撮像素子を用いれば装置全
体をコンパクトに設計することができ、被検体が感光性
物質を含む場合には光源として輝度を小さくしてそのか
ぶりを防ぐと共に精度の高い検査を行うことができる。
第１図は従来装置の光学系説明用平面図、第２図はその
側面図、第３図は本発明装置の光学系の斜視図、第４図
はその平面図、第５図はその側面図、第６図は光計利用
度の説明図である。 Ａ・・・光源、Ｂ・・・赤外線、湿過フィルター、Ｃ・
・・第１コンデンザレンズ、■）・・・シリンドリカル
レンズ、Ｅ・・・被検体、Ｆ・・・受光レンズ、Ｇ・・
・検出部、Ｈ・・・第２コンデンサレンズ、■・・・被
検査域。
側面図、第３図は本発明装置の光学系の斜視図、第４図
はその平面図、第５図はその側面図、第６図は光計利用
度の説明図である。 Ａ・・・光源、Ｂ・・・赤外線、湿過フィルター、Ｃ・
・・第１コンデンザレンズ、■）・・・シリンドリカル
レンズ、Ｅ・・・被検体、Ｆ・・・受光レンズ、Ｇ・・
・検出部、Ｈ・・・第２コンデンサレンズ、■・・・被
検査域。
Claims (1)
- （１） 被検体より反射されまたは透過した受光レン
ズに照射される光をその幅方向では受光レンズの横幅り
り十分小さく集束せしめ、その縦方向では受光レンズの
縦幅より十分大きく拡大せしめるよう構成したことを特
徴とする表面検査装置における投影光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16702781A JPS5868717A (ja) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16702781A JPS5868717A (ja) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | 表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5868717A true JPS5868717A (ja) | 1983-04-23 |
| JPH043497B2 JPH043497B2 (ja) | 1992-01-23 |
Family
ID=15842027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16702781A Granted JPS5868717A (ja) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5868717A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6463845A (en) * | 1987-09-02 | 1989-03-09 | Asahi Optical Co Ltd | Method for inspecting surface to be inspected having linear defect |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5114039A (en) * | 1974-07-25 | 1976-02-04 | Sanyo Electric Co | Hyojipaneruno ekishofunyuhoho |
-
1981
- 1981-10-21 JP JP16702781A patent/JPS5868717A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5114039A (en) * | 1974-07-25 | 1976-02-04 | Sanyo Electric Co | Hyojipaneruno ekishofunyuhoho |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6463845A (en) * | 1987-09-02 | 1989-03-09 | Asahi Optical Co Ltd | Method for inspecting surface to be inspected having linear defect |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH043497B2 (ja) | 1992-01-23 |
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