JPS5868742A - 感光性組成物及びそれを用いたパタ−ン形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、感光性組成物及びそれを用いたパターン形成
方法に関する。

カラーブラウン管の画面部分（フェースプレート）の内
面には、３種類のけい光体がドツト、あるいはストライ
ブ状に塗布されている。このけい光体塗布層を形成する
従来の方法は、つぎの通りである。まず、フェースプレ
ートの内面に第１色目のけい光体と感光性樹脂との混合
物の塗料をフェースプレート内面に塗布し、乾燥して塗
映を形成する。つぎに、この層に、シアドウマスクの孔
を通して紫外線を照射する。このときの紫外線照射位置
は、そのけい光体を発光させるだめの電子ビームが射突
する位置、すなわち、そのけい光体が固着されるべき立
置に相当する。この紫外線照射を受けた部分の感光性樹
脂は不溶化し、それによって、その部分の層全体が不溶
化する。つぎに、層を溶媒で洗い、不溶化した部分のみ
をフェースプレート面に残留させ、その他の層は溶解、
除去する。つぎに、第２色目のけい光体と感光性樹脂と
の混合物の層を用いて同様の操作を行ない、さらに第３
色目のけい光体と感光性樹脂との混合物（９） を用いて同様の１榮作を行なう。

以上の説明から明らかなように、カラーブラウン庁のけ
い光面製作工唾は複４イ１、であり、多数回の湿式塗布
、水洗、乾燥の繰返しを必”堤とするので、その簡単化
はきわめて１看ましいことである。

そのため、本発明者らの一部のものは、先に特開昭５３
−１２６８６１として従来よりも著しく簡単な工程で、
カラーブラウン管けい光面を形成する方法を提案した。

この方法を士　、）、：”　ｌＩｔ族ジアジアゾニウム
塩分解生成物が粉体粒子骨ｄ１１ヒカを有するという新
しい知見に基づき、尼成されたものであり、（１）芳香
族ジアゾニウム１篇を感光性成分として含む露光により
粘着性を生じる感光１７１４組成物を基体表面に重布し
て薄層とし、（２）その薄層に図形状の露光を行ない、
露光部に粘着性音生ｔしめ、（３）露光後の薄層に粉体
粒子を接触せしめ、粉体粒子を薄Ｊシ４に受容せしめる
ことを特徴とするものである。

このノ５法によると第２色目、第３色１１のけいＪ（Ｌ
体については、露光、粉体接触のみをくりｉ−＋トば（
１０） よ（、ｒ９．ｉ膜は一度形成すると何種のけいンし体の
・くターンでも形成することができる。

しかしながらこの方法によると、用いる感光性成分の感
度が従来の感光性樹脂にくらべてやや低いため、作業時
間がやや長くなるという問題点があることが明らかにな
った。

本発明の目的は、上記パターン形成方法に用いられる高
感度の組成物及びそれを用いた）くターン形成方法を提
供することにある。

本発明の感光性組成物は、ｐ−アミノベンゼンジアゾニ
ウム系化合物の塩と、０−アミノベンゼンジアゾニウム
系化合物の唱及び／又はｍ−アミノベンゼンジアゾニウ
ム系化合′吻の塩とを含むことを特徴とする。

現在までこの方法に用いられる芳谷族ジアゾニウム塩は
、ｐ−アミンベンゼンジアゾニウム系化合物の塩、＄ｌ
Ｊえば、４−（ジメチルアミノ）ベンゼンジアゾニウム
クロライド・塩化曲鉛復塩、４−（Ｎ−エチル−Ｎ−ヒ
ドロキシエチルアミノ）ベンゼンジアゾニウムクロライ
ド・塩化鉛複塩、（１１） ４−（ジメチルアミノ）ベンゼンジアゾニウム−ホウフ
ッ化水素Ｙ究塩などが主であり、これＩＪ、ケ１にはア
ミノ基を有しないジアゾニウムｌＡ、５　例えば、２−
メｌ−キンー４−二トロベンゼンジアゾニウムクロライ
ド・塩化即鉛代塩などが用いられていた。

これにに−１シて、０−アミンベンゼンジアゾニウム系
化合物の塩及び【】１−アミノベンゼンジアゾニウム系
化合物の塩ｒ１、全く月ｊいも７１Ｃいなかった。

ぞの理由は、１１＆光性が低く、結晶性が劣るｋめであ
った。結晶性は、つき゛の、Ｌ・うな点から１１已ヅな
効果を与える。すなわち、ハへガ２件組成１′り１全Ｊ
むυズ膜は、結晶化し、ていないと、Ｊｌ：露ｔ　ＦＩ
Ｓ　５ｃも巨体が多少破着することがある。つ土り、い
わゆる゛かぶり″の現象がみられる。従って結晶１′１
に優扛だジアゾニウム塩を用いることが＆／’−＋しい
。

−ヒバ己のす■く、〇−及びｍ−アミノベン−ピンジア
ゾニウム系化合゛吻の塩それ自体の感）７；性は低いに
もかかわらず、これらの塩を前記の１）−アミノベンゼ
ンジアゾニウム系化合物の塩と山１、合して用いること
により、ｐ−アミノベンゼンジアゾニウム（１２） 未化合″吻の塩を皓独で用いるよりもさらに感光性が向
上することが見出された。もちろん〇−及び／又はＩｎ
−アミノベンゼンジアゾニウム系化合物の塩を多叶に混
合することは感度を低下させる。

一方結晶性は、〇−及び／又はＩｎ−アミンベンゼンジ
アゾニウム系化合物の塩の量が少清であるならば、ｐ−
アミンベンゼンジアゾニウム系化合物の塩単独のＪ、８
合と、実用」二はほぼ同じであるが、鼠が（ＩＮ　’、
ｔ＋ｏするに従い余々に低下する。

それ故、〇−及び／又はｎ〕−アミノベンゼンジアゾニ
ウム系化合物の塩の畦が２００重計％（ｐ−アミノベン
ゼンジアゾニウム系化合゛吻の塩の址に対して、以下同
じ）を越えると感度が低下し、結晶性も）水めて低下す
る。また、具体的にどのようなジアゾニウム化合物を用
い、どのような塩を用いるか、またそれらをどのように
組合せるか、さらに後述するように高分子化合物を加え
て塗膜とするとき、具体的にどのよう寿高分子化合物を
どの程度加えるかにもよるが、〇−及び／又はｍ−アミ
ノベンゼンジアゾニウム系化合物の塩のは（１３） が１００重ｉｔ％を越えると感度向」二の効果がほとん
ど認められない場合もある。−ま／こ結晶性は、低下す
る。例えば、塗膜を形成してから２０〜３０分放置しな
いと結晶化［７ない場合がある。

一方、〇−及び／又はｍ−アミノベンゼンジアゾニウム
系化合物の塩を１重ｉ（％以上加えれは感度向上の効果
がある程度、ｉＡ！められ、３屯１１４％以上加えれば
上記効果が大きく認めらＪする。

それ故、〇−及び／又１ｍ−アミノベンゼンジアゾニウ
ム系化合物の塩のｉ？ｔの＆ｆ−ｈしい範囲は、１〜２
００市量％の範囲であり１．ｉ：り好−４Ｌい範囲は、
３〜１００重訃％の軸回である。さらに実用上、感度向
上の効果が顕著に認められ、かつ結晶性低下があ捷り犬
きくないようなもつとも好ましい鼠は、５〜５０重扇［
％の範囲である。

房た〇−及びｍ−アミノベンゼンジアゾニウム系化合物
を両者共に混合して用いる力が１．ｒ＋シい。

本発明に用いられる〇−及びｍ−アミノベンゼンジアゾ
ニウム系化合′吻の塩としでＩ−１、つぎの一般式で表
わされる化合′拗の喘がある。

Ｎ２ ここに、Ｒ１及びＲ１２は、直鎖アルキル基又は１−Ｉ
を示し、ただしＲ，、Ｒ２が同時にＩ］であることはな
いものとし、Ｒ，、及び几。は、Ｉ■、直鎖アルキル基
及びアルコキシ基からなる群から選ばれた元素又は原子
団を表わす。

−にｉ己Ｒ１，１も、、Ｒ８，Ｒ，としてアルキル基又
はアルコキシ基を選ぶときは、炭素数２以下のものであ
ることが好１しく、炭素数１、すなわちメチル基又はメ
トキシ基を用いることがもつとも好−ましい。炭素数が
３以上であると塩の結晶性が低下する。メチル基又はメ
トキシ基は、塩の結晶性がもつとも優れている。

（１５） −まだ［１以上の置換基が、ベンゼン核の１４１＆した
３つの位置をしめる化合物の１．ＩＬ　％例えば、２−
エチル−３−（ジエチルアミノ）ベンゼンジアゾニウム
塩などは、ジアゾニウム１２Ｎが分１１＋イし易く、保
存−Ｌの点から好浄しくない。

塩としては、クロライド・塩化０鉛Ｎ塩＜Ｃｔ”　ｎＺ
ｎＣｔ２　；ｎは１又ｉｔ　１．　／　２　）、　ホウ
フッ化水素酸塩（ＢＰ、）、酸性硫酸塩（目５ｏｉ）な
どがある。これらのうち、クロライド・塩化４１ｉ−鉛
Ｖ塩が、結晶性が優れるためもつとも＆−ｒ、　−ｉ　
１〜い。

このようなジアゾニウム塩としてつぎのようなものがあ
る。

４−メトキシ−５（ジメチルアミノ）ペン−ビンジアゾ
ニウムクロライド・塩化＋１ｌｉ−’、＋４　Ｋｌ塩４
−メチル−５−（ジメチルアミノ）ペン−１！ンジアゾ
ニウムクロライド・塩化＋ｌ（ｉ　船腹１盆（１６） ３−メトキシ−６−（ジメチルアミノ）ベンゼンジアゾ
ニウムクロライド・塩化亜鉛複塩Ｎ２Ｃ１−１／２Ｚｎ
Ｃ４！　　　　　（Ｖ）４−メトキシ−６−（ジメチル
アミノ）ベンゼンジアゾニウムクロライド・塩化亜鉛複
塩Ｎ、ＣＬ　−１／２　ＺｎＣ７，（１１７）これらの
Ｎ、Ｎ−ジメチル化合物のｔｔ７５−５Ｎ。

Ｎ−ジエチル化合物、Ｎ−メチル化合物なども月Ｊいる
ことができる。まだその＆丘７５−１２−（ジメチ（１
７） ルアミノ）ベンゼンジアゾニラムク＋１ライド・ｊ盆化
亜鉛複塩、３−（ジメチルアミン）ベンゼンジアゾニウ
ムクロライド・塩化亜鉛ｆν１．ｔｒ、　　２−メトキ
シ−５−（ジメチルアミノ）ペン−１ビンジアソ゛ニウ
ムクロライド・塩化亜船腹１ｊ４−メトキシ−６−（ジ
メチルアミノ）ベンゼンジアゾニウムクロライド・塩化
１１（Ｌ鉛複塩、ｌ＋−メチル−６−（・ジメチルアミ
ノ）ベンゼンジアゾニウムクロライド・塩化亜鉛複塩、
３．４−ジメチル−６−（ジメチルアミノ）ベンゼンジ
アゾニウムクロライド・塩化亜鉛複塩、４−メチル−６
−（メチルアミノ）ベンゼンジアゾニウムクロライド・
）フ。〜化＋＋ｌｊ　賄複ｊ盆などが用いられる。

ｐ−アミンベンゼンジアゾニウム化合物の塩の場合も、
その誘導体の炭素数について同様のことがいえる。すな
わちＮ、Ｎ−ジメチル又はＮ−メチル化合物の塩がもつ
とも好−ｉＬ＜、Ｎ、Ｎ−ジエチル、Ｎ−エチル−Ｎ−
メチノ鬼・化合′吻の塩がそれについで好ましい。−ま
たベンゼン核にアルキル基、アルコキシ基を有するとき
、炭素数２以下のものが好ましく、１のものがもつとも
好ましい。

このよう外ジアゾニウム塩として、例えば、４−（ジメ
チルアミノ）ベンゼンジアゾニウムクロライド・塩化亜
鉛複塩、４−（ジエチルアミノ）ベンゼンジアゾニウム
クロライド・塩化亜鉛複塩、４−（Ｎ−エチル−Ｎ−ヒ
ドロキシエチルアミノ）ベンゼンジアゾニウムクロライ
ド・塩化亜鉛原塩などの芳香族ジアゾニウム塩化物・塩
化亜鉛複塩、４−（ジメチルアミノ）ベンゼンジアゾニ
ウム−ホウフッ化水素酸塩などの芳香族ジアゾニウムテ
トラフルオロホウ酸塩又は硫酸４−（ジメチルアミノ）
ベンゼンジアゾニウム、硫酸４−（フェニルアミノ）ベ
ンゼンジアゾニウムなどの芳香族ジアゾニウム酸性硫酸
塩が用いられる。

これらのもののうち、４−（ジメチルアミノ）ベンゼン
ジアゾニウムクロライド・塩化・ＩＦ鉛複塩は結晶性に
優れており、もつとも好ましい。

本発明において、ｏ−、ｍ−、ｐ−アミンベンゼンジア
ゾニウム系化合物の塩以外の芳香族ジアゾニウムＪ盆を
さらに加えて用いることも可能であ（１９） る。例えば、前記しだ２−メトギシー４−二トロベンゼ
ンジアゾニウムクロライド・塩化ｒ＋＋ｒ鉛複塩などを
用いることもできる。しかしこれらの塩は、一般に結晶
性が悪く、上記ｏ−、＋ｎ−、ｐ−化合物の塩の１０重
情％以内であることが々ｒｔしい。

本発明に用いられる感光Ｍｇ　＃、Ｉｌ　ｌｉｙ物を薄
層とする際の塗布性向上の目的で、−に記感九性、ｔ１
［酸物に有機高分子化合物及び／又は界面活性剤を含め
ることばすでに前記特開昭５３−１２　（ｉ　８６１に
１Ｊｔ案されており、本兇明においてもこのような！Ｈ
：％　光性組成物を用いることが好丑しい。上記有機高
分子化合物としては、アラビアゴム、ポリビニルアルコ
ール、ポリアクリルアミド、ポリＮ−ビニルピロリドン
、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、アルギン酸、
アルギン酸のプロピレングリコールエステル、アクリル
アミド・ジアセトンアクリルアミド共重合体及びメチル
ビニルエーテル・無水マレイン酸共重合体などが好−ま
しい。寸／ヒこれらの有機高分子化合物は、芳香族ジア
ゾニウム化合物の塩の合計ｈ１に対し０．５〜５００屯
吐％用いる（２０） ことが好ましい。また界面活性剤は０．０１〜１重量％
程度用いることが好ましい。

ｌｄ下木本発明実施例を用いて説明する。まず上記一般
式で示された化合物の合成法を説明する。

合成例１ ４−メトキン−５−（ジメチルアミノ）ベンゼンジアゾ
ニウムクロライド・塩化亜鉛複塩（式■）の合成を説明
する。

０−アニンジン５０ｇを１００ｇの水にけんだくシ、こ
れに硫酸ジメチル１３３ｇを１８ｔｌ？以下に保ちつつ
滴加する。ついで３０％水酸化ナトリウム１７０ｇを加
えて、アミン基の部分をジメチル化する。得られたＮ、
Ｎ−ジメチル−〇−アニンジン３０ｇを塩酸に溶解し、
１５Ｃ以下に保ち３０％頃硝酸ナトリウム水溶液６５ｇ
を滴加して、５−ニトロソ−２−メトキシ−Ｎ、Ｎ−ジ
メチルアニリンを得る。ついで還元した後常法により塩
酸酸性下で龍硝酸ナトリウムでジアゾ化し２倍モルの塩
化亜鉛水溶液をＪ′Ｊ１１えて塩化亜鉛複塩とした。

この化合物は稀場・俊で再結晶できる。下記の分析（２
１） 値から式■の化合物であることが確認できた。

赤外分光吸収（Ｋ　Ｂ　ｒ錠剤法）　：　２１６０ｎ＋
−’（νＮ＝Ｎ）、１５２０及び１５７０／７７１−’
　（νＣ＝Ｃ）。

１３７０（１）−′（νＣ＝Ｎ）　、　８６０及び８０
０　／、７７１−　’　（置換芳香環）、紫外分光吸収
：最大吸収波り？；４０５ｎｍ、分子吸光係数；　３．
０ＸｉＯ’、亜鉛分析値（原子吸光分析）：１１．６％
（計算値１１．６％）。

合成例２，３ ４−メチル−５−（ジメチルアミノ）ベンゼンジアゾニ
ウムクロライド・塩化亜Ｃ？（’ｒ　ｌ’ｕ塩（式■）
及び４−メチル−５−（メチルアミン）ベンゼンジアゾ
ニウムクロライド・塩化亜鉛酸塩の合成法を説明する。

２−メｆルー５−ニトロアニリン２５ｇ”、ｒ９０Ｃで
硫酸ジメチル５　Ｑ　ｍ　ｔで１０分間処理する。

反応液を冷却後、冷水５　ｏｍｚを注入してから３０％
ＮａＱＩ−１８５ｇを加えて、アミノ基をメチル化する
。還元後蒸溜により、約８：２の比率でジメチル化物と
モノメチル化物とを分離する。両者合計の収率は約８０
％である。それぞれを常法により（２２） 塩酸酸性化で亜硝酸ナトリウムでジアゾ化し、２倍モル
相当の塩化唾鉛水溶液を１Ｊｎ１え、それぞれの塩化Ｉ
ＩＦ鉛復船腹得た。

なお、その他のジアゾニウム塩については、原料を変更
し、他は同様の方法で合成できる。

寸だ、公知のジアゾ化合物例えばＫ　ＯＳ　Ａ　Ｒ，著
。

Ｊ、ｉｇｈｔ−８ｅｎｓｉｔｉｖｅ　　Ｓｙｓｔｅｍｓ
、ＪｏｈｎＷｉｌｅｙ　＆　５ＯｎＳ　ｌｏＣｌ発行（
１９６５）記載の３．４−ジメチル−６−（ジメチルア
ミン）ベンゼンジアゾニウムクロライドも同様に合成し
、塩化亜鉛水溶液により塩化亜鉛複塩を得る。

実施例１ ４−メトキシ−５−（ジメチルアミノ）ベンゼンジアゾ
ニウムクロライド・塩化亜鉛複塩（式■）串型■、４−
（ジメチノｌ／アミノ）ベンゼンジアソ。

ニウムクロライド・塩化亜鉛複塩９重量部を混合し、こ
れにアルギン酸プロピレングリコールエステルの０．５
％水溶液を、固形分がジアゾニウム化合物の合計量の１
０車量％となるように加えた。

これをガラス基板上に回転塗布法によって塗布、（２３
） 乾燥し、約０．５　ｌｔ　ｍの厚みの結＋１’ｌ’ｌ　
Ｌだ膜とした。

これにシャドウマスクを介して５００〜Ｖ　１ｔｊ（高
圧水銀灯よυ１３５　ｒｍ随れた所で１７０秒間１；（
（射した。

これにけい光体粉末を灰触させ／こところ、露光部にけ
い光体粉末が被着した。

一方、比較のため、式■【の化合物を用いることなく、
４（ジメチルアミノ）ベンゼンジアゾニウムクロライド
・塩化１１１１鉛代塩のみとアルギン酸プロピレングリ
コールエスデノｌ”　ｋ用いて同様の操作を何）坐っだ
ところ、２５０沙間［１（鵠・ＩＩ７てほぼ回置のけい
光体が付〕ｎＴ　Ｌだ。

実施例２〜４ 実施例１の式ＩＩＩのジアゾニウム塩に変えて、式■、
■及び■のジアゾニウム１．（Ｓを用いて同様の実験を
行なった。４−（ジメチルアミノ）ベンゼンジアゾニウ
ムクロライド・塩化＋１１（船腹塩との重量比は、実施
列１と回じ〈１：９としだ。はぼ同じ量のけい光体粉末
が付着するに要した露光時間は、表１の通りであった。

（２４） 表１ 実施例５ 式■のジアゾニウム塩０１５重量部、式■のジアゾニウ
ム塩０．５重量部、４−（ジメチルアミノ）ベンゼンジ
アゾニウムクロライド・塩化亜鉛複塩９重情部を用いて
実施例１と同様な実験を行なった。はぼ同じ量のけい光
体粉末を付着させるのに要した露光時間は、１５０秒で
あった。

実施例６ 合成列３で合成したモノメチル化合物の塩を用いて実施
例２と同様の実験を行なったところ、はぼ同様の結果が
得られた。

実施例７ ４−（ジメチルアミノ）ベンゼンジアゾニウムクロライ
ド・塩化亜鉛複塩と、この塩に対し式■（２５） のジアゾニウム塩５爪ｊ１％、’ＪＩ＋えたほか実ノイ
１１例１と同様の実験を行なった。露光時間２１０沙で
、実施例１とほぼ同じ一；ｄ：のけい光体が付着した。

実施列８ ４−（ジメチルアミノ）べ／ゼンジアゾニウムクロライ
ド・塩化亜鉛複塩と、このｌ：、；ｉに％ＪＬ弐■のジ
アゾニウム塩５０’＋ｌｉ：［７％加え／こほか実施例
１と回向の実１．倹を行なった。この場合結晶化させる
のに−やや時１…を要しだが、イ、＆度は、実施例１と
は：一−− （２６） 第１頁の続き ■発　明　者　内野正型 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 （７■発　明　者　小橋隆裕 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　　ｐ−アミンベンゼンジアゾニウム系化合物の塩
   と、０−アミンベンゼンジアゾニウム系化合物の塩及び
   ／又はｍ−アミンベンゼンジアゾニウム系化合物の塩と
   を含むことを特徴とする露光によって粘着性を生じる感
   光性組成物。 ２、上記Ｏ−アミンベンゼンジアゾニウム系化合物の塩
   及び／又はｍ−アミンベンゼンジアゾニウム系化合物の
   塩の量が、ｐ−アミンベンゼンジアゾニウム系化合物の
   塩に対し１〜２００重量％の範囲の清である特許請求の
   範囲第１項記載の感光性組成物。 ３、上記０−アミンベンゼンジアゾニウム系化合物の塩
   が、一般式 （ここに、Ｒ１及びＩ（２は、直鎖アルキル基又はＩ−
   （を示し、ただしｌｉ、１．　Ｉｔ、、が同時にＩＩで
   あることはないものとし、ｆモ、及び■モ、は、Ｉ−Ｔ
   。 直鎖アルキル基及びアルコキシ基からなる群から選ばれ
   た元素又は原子団を人わす）でｋわされる化合物の塩で
   ある７１を許４ｉＱ求の範囲第１項記載の感光性組成物
   。 ４、上記Ｒ８及び１′Ｌ２のうち、直鎖アルギル基であ
   るものが、炭素数２以下の直鎖アルギル基である特許請
   求の範囲第３項記載の感光性わ■代物。 ５、上記Ｒ３及びＲ４のうら、直鎖アルギル基又はアル
   コキシ基であるものが、炭素数２以下の直鎖アルキル基
   又ｔｊ：アルコギシ基である・（４許請求の範囲第３項
   又は第４項記載の感光性組成物。 ６、上記０−アミンベンゼンジアゾニウム系化合物の塩
   が、クロライド・塩化亜鉛複塩、ホウフッ化水素酸塩及
   び酸性硫酸塩からなる群から顆ばれた塩である特許請求
   の範囲第３Ｉｎ、第４項又は第５項記載の感光性組成物
   。 ７、上記０−アミンベンゼンジアゾニウム系化合物の塩
   が３−メトキシ−６−（ジメチルアミノ）ベンゼンジア
   ゾニウムクロライド・塩化亜鉛複塩、４−メトキシ−６
   −（ジメチルアミノ）ベンゼンジアゾニウムクロライド
   ・塩化亜鉛複塩、２−（ジメチルアミノ）ベンゼンジア
   ゾニウムクロライド・塩化亜鉛複塩、４−メチル−６−
   （ジメチルアミノ）ベンゼンジアゾニウムクロライド・
   塩化亜鉛複塩、３，４−ジメチル−６−（ジメチルアミ
   ノ）ベンゼンジアゾニウムクロライド・塩化亜鉛複塩及
   び４−メチル−６−（メチルアミノ）ベンゼンジアゾニ
   ウムクロライド・塩化１Ｆ鉛復塩からなる群から選ばれ
   た少なくとも一種の塩である特許請求の範囲第３項記載
   の感光性組成物。 ８、−ヒｉ６ｍ−アミンベンゼンジアゾニウム系化合物
   の塩が、一般式 （ここに、１１．、及びＴＬ２は、ｌ白企肖アルキルは
   ＩＴを示し、ただしｎ．１，　Ｉｔ，が同時にＩＩであ
   ることはないものとし、１１．、及び１り，、は、Ｉｆ
   。 直鎖アルギル基及びアルコキシ」、（２からなる群から
   選ばれた冗素又ｉｒＬＩＩＩ＜子団を人わず）で表わさ
   れる化合物の塩である′ｈ゛許請求の範囲第１項ｊｊ’
   ：載の感光性組成物。 ９、上記Ｒ，及びＲ，２のうら、直鎖゛アルギル基であ
   るものが、炭素数２以下の直鎖アルキル基である特許請
   求の範囲第８項記載の感光性組成物。 １０、−上記Ｒ３及びＩＴ４のう（ハ直鎖アルギル基又
   はアルコキシ基であるものが、炭Ａ・１数２１ソ、■の
   直鎖アルキル基又はアルコキシ基である特許請求の範囲
   第８項又は第９項記載の！＋＆　ア（、ＩＩ１組成物。 １１、　　１記ｍーアミンベンゼンジアゾニウノ・系化
   合物の塩が、クロライド・塩化１１ｊ鉛（Ｕ塩、ホウフ
   ッ化水素酸塩及び酸性（Ｉｉｆｊ酸塩からなる群から選
   ばれた塩である特許７ｉＶ求の範囲第８項、第９項又は
   第１０項記載の感光性組成物。 １２、上記ｍーアミンベンゼンジアゾニウム系化合′吻
   の塩が、４−メトキン−５−（ジメチルアミン）ベンゼ
   ンジアゾニウムクロライド・塩化亜鉛複塩、４−メチル
   −５−（ジメチルアミノ）ベンゼンジアゾニウムクロラ
   イド・塩化亜鉛複塩、３−（ジメチルアミノ）ベンゼン
   ジアゾニウムクロライド・塩化亜鉛複塩及び２−メトキ
   シ−５−ジメチルアミノ）ベンゼンジアゾニウムクロラ
   イド・塩化亜鉛複塩からなる群から選ばれた少なくとも
   一種の塩である特許請求の範囲第８項記載の感光性組成
   物。 １３、−上記ｐ−アミンベンゼンジアゾニウム系化合物
   の塩が、４−（ジメチルアミノ）ベンゼンジアゾニウム
   の塩、４−（ジエチルアミノ）ベンゼンジアゾニウムの
   唱及び４−（Ｎ−エチル−Ｎ−ヒドロキシエチルアミノ
   ）ベンゼンジアゾニウムの塩からなる群から選ばれた少
   なくとも一種の塩である特許請求の範囲第１項記載の感
   光性組成物。 １４、有機高分子化合物を芳香族ジアゾニウム化合物の
   合計喰に対し０５〜５００重清％の範囲さらに含むこと
   を特徴とする特許請求の範囲第１項から第１３項までの
   いずれかに記載の感光性組成物。 １５、有機高分子化合物がアラビアゴム、ポリビニルア
   ルコール、ポリアクリルアミド、ポリＮ−ビニルピロリ
   ドン、ヒドロギルゾロビルメチルセルロース、アルギン
   １浚、アルギン酸のプロピレングリコールエステル、ア
   クリルアミド・ジアセトンアクリルアミドＩ（重合体及
   びメチルビニルエーテル・無水マレインｆ’＋’＆　代
   ｉ１ｉ：合体からなる群から選ばれた少なくとも一種の
   有機高分子化Ｈ物である［♀許請求の範囲第１４項記載
   の感光１’ｌ：、組成物。 １６、ｒ）−７ミノベンゼンジアゾニウＪ・系化合物の
   塩と、０−アミンベンゼンジアゾニウム系化合物の塩及
   び／又はｍ−アミンベンゼンジアゾニウム系化合物の塩
   とを含む感光性組成物をノ、（板上に塗布して薄層とす
   る工Ｎ，ｊと、該イ・（な層に図形上の露光を行ない、
   露光部に粘着性を生すしめる工程と、露光後の薄層に扮
   体粒子を匿触１）−１。 め、露光部に粉体を付着せしめる工程とを含むことを特
   徴とする粉体塗布層のパターン形成方法。 １７、上記０−アミノベンゼンジアゾニウム系化合物の
   塩及び／又はｍ−アミンベンゼンジアゾニウム系化合物
   の範囲第１６項記載のパターン形成方法。 １８、上記０−アミノベンゼンジアゾニウム系化合物の
   塩が、一般式 （ここに、Ｒ，及びＲ２は、直鎖アルキル基又はＨを示
   し、ただし、Ｒ１，、几、が同時にＩ（であることはな
   いものとし、Ｒ２及びＲ４は、ＨＭ　＆鎖アルキル基及
   び範囲第１６項記載のパターン形成方法。 １９、上記ｍ−アミノベン−ピンジアゾニウム系化合物
   の塩が、一般式 （ここに、Ｒ１及び■（，２は、直鎖アルギル基又はＨ
   を示し、ただし、ｎ、、　、　ｎ、２が同時にＩＩであ
   ることは、住いものとし、■１．及び１１，４け、■■
   、直鎖アルキル基及びアルコキシノ、（からなる群から
   選ばれた元素又は原子団を表わす）で衣わされる化合物
   の塩である特許請求の範囲第１６項記載のパターン形成
   方法。 ２０、感光性組成物が有機高分子化合物を芳香族ジアゾ
   ニウム化合物の合計鼠に対し化５〜５００重ｉ−％の範
   囲さらに含む感光性組成物である・１♀許請求の範囲第
   １６項から１９項才でのいずれかに記載のパターン形成
   方法。