JPS5869934U - 電子ビ−ム描画装置の磁気シ−ルドカバ− - Google Patents
電子ビ−ム描画装置の磁気シ−ルドカバ−Info
- Publication number
- JPS5869934U JPS5869934U JP16517181U JP16517181U JPS5869934U JP S5869934 U JPS5869934 U JP S5869934U JP 16517181 U JP16517181 U JP 16517181U JP 16517181 U JP16517181 U JP 16517181U JP S5869934 U JPS5869934 U JP S5869934U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic shield
- shield cover
- electron beam
- beam lithography
- lithography equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例の断面図、第２図および第３図は本考案
の一実施例を示し第２図は断面図、第３図は上面カバー
を取除いた平面図、第４図は外側シールドカバーの他の
実施例における側面図である。 ２４・・・・・・試料室、２５・・・・・・鏡胴、３１
・・・・・・内側シールドカバー、３２・・・・・・外
側シールドカバー、３３・・・・・・小穴、３６・・・
・・・ルーバ。
の一実施例を示し第２図は断面図、第３図は上面カバー
を取除いた平面図、第４図は外側シールドカバーの他の
実施例における側面図である。 ２４・・・・・・試料室、２５・・・・・・鏡胴、３１
・・・・・・内側シールドカバー、３２・・・・・・外
側シールドカバー、３３・・・・・・小穴、３６・・・
・・・ルーバ。
Claims (2)
- （１） 試料室および鏡胴を内側磁気シールドカバー
で被うと共に、前記試料室および鏡胴の他これらに付属
するオートフィーダや駆動部等を含む装置全体を比較的
小形でかつほぼ４角形の外側磁気シールドカバーで被う
ようにした電子ビーム描画装置の磁気シールドカバー。 - （２）外側磁気シールドカバーの周面に小穴或いはルー
バを設けたことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
１項記載の電子ビーム描画装置の磁気シールドカバー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16517181U JPS5869934U (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 電子ビ−ム描画装置の磁気シ−ルドカバ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16517181U JPS5869934U (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 電子ビ−ム描画装置の磁気シ−ルドカバ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5869934U true JPS5869934U (ja) | 1983-05-12 |
Family
ID=29957377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16517181U Pending JPS5869934U (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 電子ビ−ム描画装置の磁気シ−ルドカバ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5869934U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52136578A (en) * | 1976-05-12 | 1977-11-15 | Toshiba Corp | Electron beam exposure apparatus |
-
1981
- 1981-11-05 JP JP16517181U patent/JPS5869934U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52136578A (en) * | 1976-05-12 | 1977-11-15 | Toshiba Corp | Electron beam exposure apparatus |
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