JPS5870204A - 固体イメ−ジセンサ−の感光パタ−ン - Google Patents
固体イメ−ジセンサ−の感光パタ−ンInfo
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- JPS5870204A JPS5870204A JP57167711A JP16771182A JPS5870204A JP S5870204 A JPS5870204 A JP S5870204A JP 57167711 A JP57167711 A JP 57167711A JP 16771182 A JP16771182 A JP 16771182A JP S5870204 A JPS5870204 A JP S5870204A
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- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
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- H10F77/30—Coatings
- H10F77/306—Coatings for devices having potential barriers
- H10F77/331—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
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- H04N25/10—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof for transforming different wavelengths into image signals
- H04N25/11—Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics
- H04N25/13—Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics characterised by the spectral characteristics of the filter elements
- H04N25/134—Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics characterised by the spectral characteristics of the filter elements based on three different wavelength filter elements
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- Optical Filters (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は固体カラーイメージセンサ−の分野に関し、具
体的には−モアレ縞を排除するように行と列に配置され
独特な形に作られた固体画素索子の配列を有するイメー
ジセンサ−に関スル。
体的には−モアレ縞を排除するように行と列に配置され
独特な形に作られた固体画素索子の配列を有するイメー
ジセンサ−に関スル。
固体カラーイメージセンサ−の分野においては、極めて
高感度で高解像度で安価なイメージ七ンーサーを製造す
ることがよく認識された目標である。
高感度で高解像度で安価なイメージ七ンーサーを製造す
ることがよく認識された目標である。
この目標を追求して多数の種類の固体カラーイメージセ
ンサ−が作られて来た。
ンサ−が作られて来た。
そのようなイメージセンサ−の−例においては、全波長
感光性撮像索子の一配列の全体に配置された色フィルタ
の一体配列によってそのような配列内の素子が選択的に
色に敏感になるようにされる。
感光性撮像索子の一配列の全体に配置された色フィルタ
の一体配列によってそのような配列内の素子が選択的に
色に敏感になるようにされる。
色のわずかな相違についての人の視覚に基づいて利用で
きるイメージ情報の蛍を最大する前記のフィルタ配列の
極めて効率的な形状は、例えば、ベイヤー（Ｂａｙｅｒ
）氏を発明者とし１９７６年７月２０日に発行された米
国特許第３，９７１．Ｃ） ６５号およびディラン（Ｄ
１１１ ｏ ｎ）氏を発明者とし１９７７年９Δ６日
に発行された米国特許第４゜０４７．２０３号に記載さ
れている。しかし、そのような配列に固有の解像度はそ
の配列に置くことができる撮像素子の個数によって制限
され、しかも配列内の素子の一部だけが細部の解像度に
寄与するだけなのでさらに制限される。さらに、各色に
ついての素子が装置の他の機能部品と同じ高さに配置さ
れているため、配列自体の一部だけを感光部分として使
用することができるのにすぎないので光感度が制限さ九
る。従って、そのような−。
きるイメージ情報の蛍を最大する前記のフィルタ配列の
極めて効率的な形状は、例えば、ベイヤー（Ｂａｙｅｒ
）氏を発明者とし１９７６年７月２０日に発行された米
国特許第３，９７１．Ｃ） ６５号およびディラン（Ｄ
１１１ ｏ ｎ）氏を発明者とし１９７７年９Δ６日
に発行された米国特許第４゜０４７．２０３号に記載さ
れている。しかし、そのような配列に固有の解像度はそ
の配列に置くことができる撮像素子の個数によって制限
され、しかも配列内の素子の一部だけが細部の解像度に
寄与するだけなのでさらに制限される。さらに、各色に
ついての素子が装置の他の機能部品と同じ高さに配置さ
れているため、配列自体の一部だけを感光部分として使
用することができるのにすぎないので光感度が制限さ九
る。従って、そのような−。
体フィルタ・カラー撮像配列の解像度は、特定の構造に
最適化されたとき、同じ数の素子の単色撮像配列はど高
くならない０さらに、利用するフィルタの形やパターン
によってモアレという望ましくない干渉パターンが発生
する。
最適化されたとき、同じ数の素子の単色撮像配列はど高
くならない０さらに、利用するフィルタの形やパターン
によってモアレという望ましくない干渉パターンが発生
する。
モアレとは、像内の２組の周期的構造の間の干渉ビート
から生じ再生像内に起こる偽似パターンである。−モア
レは例えば、元の物体内の規則的なパターンとイメージ
オルシコン（ｉｍａｇｅｏｒｔｈｉａｏｎ）内のターゲ
ット・グリッドの間の干渉、元の物体内のパターンと線
パターンと３色キネスコープのりん光点パターンの間ノ
干渉、およびこれらパターンのどれかとキャリアーカラ
ー信号に作られるパターンの間の干渉によって生ずる。
から生じ再生像内に起こる偽似パターンである。−モア
レは例えば、元の物体内の規則的なパターンとイメージ
オルシコン（ｉｍａｇｅｏｒｔｈｉａｏｎ）内のターゲ
ット・グリッドの間の干渉、元の物体内のパターンと線
パターンと３色キネスコープのりん光点パターンの間ノ
干渉、およびこれらパターンのどれかとキャリアーカラ
ー信号に作られるパターンの間の干渉によって生ずる。
装置の感度を高めるために、英国・特許第２．０２９゜
８４２号、特開昭５５−５９４０４．５５−２７７７２
．５５−２７７７３．５１−９５７２０で別の構造が提
案された。これら公報で開示された構造は、情報転送素
子つまりＭＯｉ９スイッチング素子の上に重ねたフォト
センサーを利用する。フォトセンサーが情報転送素子と
同じ高さに配置された従来の撮像装置よりも感光面積が
大きゝいため、そのようなｍ造はかなり高い感度を有す
る。別個のフォトセンサ一層を利用することによって得
られる感度の増加によって、この概念は本発明のイメー
ジセンサ−に利用される。しかしそのような構造は、前
述のようなモアレ干渉を生ずる従来の１−パターンのフ
ィルタを利用する。
８４２号、特開昭５５−５９４０４．５５−２７７７２
．５５−２７７７３．５１−９５７２０で別の構造が提
案された。これら公報で開示された構造は、情報転送素
子つまりＭＯｉ９スイッチング素子の上に重ねたフォト
センサーを利用する。フォトセンサーが情報転送素子と
同じ高さに配置された従来の撮像装置よりも感光面積が
大きゝいため、そのようなｍ造はかなり高い感度を有す
る。別個のフォトセンサ一層を利用することによって得
られる感度の増加によって、この概念は本発明のイメー
ジセンサ−に利用される。しかしそのような構造は、前
述のようなモアレ干渉を生ずる従来の１−パターンのフ
ィルタを利用する。
前述のような七アレ干渉の問題を排除しようとして、感
光セルの相殺構造を利用する構造が特開昭５０−１２８
９１９で開示された。モアレ・パターンを排除しようと
する別の試みは、特開昭５３−７５７２８に開示されて
いるようにカラーフィルタ配列の１次元相殺パターンを
利用するイメージ・センサー、を作ることを伴なう。こ
れら相殺パターンを使用するとモアレ干渉の排除に関し
ては、ある程度の効果があるが、干渉は１次元で排除さ
れるにすぎない。すなわち、パターンの相殺方法によっ
て垂直方向が排除されたり、水平方向が、排除されたり
するにすぎない。どのパターンも、垂・直と水平の両方
向でモアレ干渉を排除することができない。
光セルの相殺構造を利用する構造が特開昭５０−１２８
９１９で開示された。モアレ・パターンを排除しようと
する別の試みは、特開昭５３−７５７２８に開示されて
いるようにカラーフィルタ配列の１次元相殺パターンを
利用するイメージ・センサー、を作ることを伴なう。こ
れら相殺パターンを使用するとモアレ干渉の排除に関し
ては、ある程度の効果があるが、干渉は１次元で排除さ
れるにすぎない。すなわち、パターンの相殺方法によっ
て垂直方向が排除されたり、水平方向が、排除されたり
するにすぎない。どのパターンも、垂・直と水平の両方
向でモアレ干渉を排除することができない。
本発明は、垂直と水平の両方向でモアレ干渉を排除する
ことができる固体カラー・イメージ・センサーを提供す
るものである。半導体イメージ転送配列のベースに重ね
た感光層を有するイメージ・センす−ｆＩｔ造を利用す
ることによって、感度が増加する。さらに、感光層内部
の六角形電極と組合わせて、感光“層の上に配置された
六角形の多色フィルタを使用することによって、重なり
合う画素の行と列が得られ、モアレ干渉が排除され、イ
メージ・センサーの解像度が増加する。
ことができる固体カラー・イメージ・センサーを提供す
るものである。半導体イメージ転送配列のベースに重ね
た感光層を有するイメージ・センす−ｆＩｔ造を利用す
ることによって、感度が増加する。さらに、感光層内部
の六角形電極と組合わせて、感光“層の上に配置された
六角形の多色フィルタを使用することによって、重なり
合う画素の行と列が得られ、モアレ干渉が排除され、イ
メージ・センサーの解像度が増加する。
本発明は半導体基板の上に形成された感光素子とフィル
タの一配列より成る。この基板は感光層のＩＣ光素子を
順に走査する走査手段を含む。この感光層とこの層の感
光素子は６つの小間より成り、これら小間は透明な正面
電極とモザイク状の背面電極を含み、これらの間には感
光材不要が配置されている。六角形の多色フィルタが透
明な正面電 −極小層の上に配置されている。モザイ
ク状の背面電極は六角形のフィルタのすぐ下に配置され
、フィルタと１４じサイズ、形、位置を有する。六角形
を利用し、フィルタと電極をこのように配置することに
よって、垂直と水平の両平面で望ましくないモアレ干渉
パターンが排除される。
タの一配列より成る。この基板は感光層のＩＣ光素子を
順に走査する走査手段を含む。この感光層とこの層の感
光素子は６つの小間より成り、これら小間は透明な正面
電極とモザイク状の背面電極を含み、これらの間には感
光材不要が配置されている。六角形の多色フィルタが透
明な正面電 −極小層の上に配置されている。モザイ
ク状の背面電極は六角形のフィルタのすぐ下に配置され
、フィルタと１４じサイズ、形、位置を有する。六角形
を利用し、フィルタと電極をこのように配置することに
よって、垂直と水平の両平面で望ましくないモアレ干渉
パターンが排除される。
杢命明の４三要な日１は、半導体素子の配列であるベー
スより成る固体力う〒イメージセンサーを提供すること
であり、このベースの上には感光層が声ねられ、この上
にはモアレ干渉パターンを排除するように六角形の複数
の多色フィルタが置かれる。
スより成る固体力う〒イメージセンサーを提供すること
であり、このベースの上には感光層が声ねられ、この上
にはモアレ干渉パターンを排除するように六角形の複数
の多色フィルタが置かれる。
本発明の別の目的は、極めて光に敏感な固体カラー・イ
メージセンサ−を提供することである。
メージセンサ−を提供することである。
本発明のさらに別の目的は、高い解像度で像を形成する
ことができる固体カラー・イメージセンサ−を提供する
ことである。
ことができる固体カラー・イメージセンサ−を提供する
ことである。
本発明のさらに別の目的は、垂直平面と水平平面の内部
でモアレ干渉、を排除するように、六角形多色フィルタ
をカラー・イメージセンサ−の感光層内の六角形電極に
組合わせる、固体カラー・イメージセンサ−を提供する
ことである。
でモアレ干渉、を排除するように、六角形多色フィルタ
をカラー・イメージセンサ−の感光層内の六角形電極に
組合わせる、固体カラー・イメージセンサ−を提供する
ことである。
本発明の前述の目的とそれ以外の目的および利点は、本
明細書の一部を成す添付図面を参照して以下に詳細に説
明する構造と使用法の詳細を当業者が読めば明白となる
ものである。なお、同一の数字は全図を通じて同一の部
分を指示するものである。
明細書の一部を成す添付図面を参照して以下に詳細に説
明する構造と使用法の詳細を当業者が読めば明白となる
ものである。なお、同一の数字は全図を通じて同一の部
分を指示するものである。
本発明に基づく固体カラー・イメージセンサ−を説明す
る前に、このような装置は変更可能であるから、本発明
は図示の構成要素の特定の構成に限定されないと理解す
べきである。また、本発明の範囲は特許請求の範囲によ
って制限されるので、この明細書で使用する用語は特定
の要素を説明するためのものであり、制限する目的で使
用するものではない。
る前に、このような装置は変更可能であるから、本発明
は図示の構成要素の特定の構成に限定されないと理解す
べきである。また、本発明の範囲は特許請求の範囲によ
って制限されるので、この明細書で使用する用語は特定
の要素を説明するためのものであり、制限する目的で使
用するものではない。
モアレ縞を減らそうとする従来の試みは第１おｉび２図
に示され、これらの図はそれぞれ感光能動素子２と、上
に重ねられた多色フィルタ３，４を示している。能動素
子とフィルタを単一方向にずらす−ど−１、モアレ縞を
滅らすのに役立つ。しかし、これはモアレ縞を１次元で
滅らすだけである。さらに、各画素の感光部分が画素部
゛分全体より小さいので、モアレ縞を十分に減らす目的
で感光部分を十分に龜ねることができない。あるいは、
少しも重、ねることができない。
に示され、これらの図はそれぞれ感光能動素子２と、上
に重ねられた多色フィルタ３，４を示している。能動素
子とフィルタを単一方向にずらす−ど−１、モアレ縞を
滅らすのに役立つ。しかし、これはモアレ縞を１次元で
滅らすだけである。さらに、各画素の感光部分が画素部
゛分全体より小さいので、モアレ縞を十分に減らす目的
で感光部分を十分に龜ねることができない。あるいは、
少しも重、ねることができない。
最近の固体イメージセンサ−の画素は感光機能を蓄積機
能と転送機能から区別し、前者の機能は例えばＭＯ８で
ある半導体素子の上にある光導電体によって実行され、
この半導体素子は後者の機能を実行する。そのような画
素の一例は英国特許第２．０２９，８４２号に示され、
ここでは第３図として示している。英国特許第２，０２
９，８４２号の開示は、参考としてここに組込んでいる
ものである。
能と転送機能から区別し、前者の機能は例えばＭＯ８で
ある半導体素子の上にある光導電体によって実行され、
この半導体素子は後者の機能を実行する。そのような画
素の一例は英国特許第２．０２９，８４２号に示され、
ここでは第３図として示している。英国特許第２，０２
９，８４２号の開示は、参考としてここに組込んでいる
ものである。
本明細ａに開示され、そして１〕ム述の英国特許内ニー
４１が記載されているようなイメージセンサ−は、第６
図に示している種類の何千という画素より成る。これら
の画素は多数の行と列に配置され、各画素素子は全体と
してイメージセンサ−によってノｅ成されている像の小
部分を形成している。
４１が記載されているようなイメージセンサ−は、第６
図に示している種類の何千という画素より成る。これら
の画素は多数の行と列に配置され、各画素素子は全体と
してイメージセンサ−によってノｅ成されている像の小
部分を形成している。
本発明は第６図に示している汎用型の画素素子を利用す
るが、カラー・フィルタおよび感光層に付けられたモザ
イク状の背面電極の幾何学形状を変更している。本発明
のイメージセンサ−の内部のフィルタと電極の形は、画
素素子の互いに隣接する行と列の重なりを得るように設
計されでいる。
るが、カラー・フィルタおよび感光層に付けられたモザ
イク状の背面電極の幾何学形状を変更している。本発明
のイメージセンサ−の内部のフィルタと電極の形は、画
素素子の互いに隣接する行と列の重なりを得るように設
計されでいる。
従って、例えば画素を六角形に作り、それらを互いに隣
接する行と列に配置することによって、画素は水平方向
と垂直方向の両方で重なる。水平と垂直の両方向で車ね
ることによって、モアレ縞を減らすことが可能となる。
接する行と列に配置することによって、画素は水平方向
と垂直方向の両方で重なる。水平と垂直の両方向で車ね
ることによって、モアレ縞を減らすことが可能となる。
第６図の画一には、基板１、ソース領域６、ドレイン領
域７、ソース端子１０、ドレイン端子７′およびゲート
端子６′より成るＭＯ３蓄積型トランジスタより成る。
域７、ソース端子１０、ドレイン端子７′およびゲート
端子６′より成るＭＯ３蓄積型トランジスタより成る。
このＭＯＳの上に重ねられているのは感光層２であり、
この層は光樽′４層９、西明な上部電極８および底電極
１０より成り、底ｉｄ極１０はまたソース端子に接続し
ているかソース端子として餉く。絶縁層１２もまた図示
のように形成されている。後にさらに詳細に説明するｉ
ｓ５図においては、底−極トロはＭ２Ｓのドレインに接
続されているように概略的に図示されている・しかし、
実際の接続は第３図に示しているものの方が正確である
。従って、底電極をドレイン（またはソース）１４ｉ１
子に接続されていると記載するかもしれないが、そのよ
うな記載は、例えば１０である電極が底電極とドレイン
（またはソース）端子として−＜１＃造を含むつもりで
ある。
この層は光樽′４層９、西明な上部電極８および底電極
１０より成り、底ｉｄ極１０はまたソース端子に接続し
ているかソース端子として餉く。絶縁層１２もまた図示
のように形成されている。後にさらに詳細に説明するｉ
ｓ５図においては、底−極トロはＭ２Ｓのドレインに接
続されているように概略的に図示されている・しかし、
実際の接続は第３図に示しているものの方が正確である
。従って、底電極をドレイン（またはソース）１４ｉ１
子に接続されていると記載するかもしれないが、そのよ
うな記載は、例えば１０である電極が底電極とドレイン
（またはソース）端子として−＜１＃造を含むつもりで
ある。
前述の英国特許に記載されているように、また容易に理
解できるように、画素の感光パターンは感光層であり、
ＭＯＳは電荷転送を行なう。従って、感光部は画素全体
と同じ面一に作ることができる。１本の配列全体で光導
電体層９と上部電極８は連続的であるが、背面電極１０
はモザイク状である０すなわち、個別の背面電極を各画
素に形成しなければならない。ＭＯＳの代わりに、Ｏａ
Ｄや他の゛１荷蓄積転送素子を使用することができる。
解できるように、画素の感光パターンは感光層であり、
ＭＯＳは電荷転送を行なう。従って、感光部は画素全体
と同じ面一に作ることができる。１本の配列全体で光導
電体層９と上部電極８は連続的であるが、背面電極１０
はモザイク状である０すなわち、個別の背面電極を各画
素に形成しなければならない。ＭＯＳの代わりに、Ｏａ
Ｄや他の゛１荷蓄積転送素子を使用することができる。
第６図にはフィルタ層が示されていないが、実際のイメ
ージセンサ−では本発明に従って、測子というフィルタ
の配列が透明な正面電極不要８の上に重ねられている。
ージセンサ−では本発明に従って、測子というフィルタ
の配列が透明な正面電極不要８の上に重ねられている。
また、多色フィルタの上に配置された広帯域連続フィル
タを含むことが可能である。そのような広帯域型のフィ
ルタは、例えば赤外光フィルタや紫外光フィルタのよう
に、人間の目に見えない光をすべてろ過するように設計
することができる。
タを含むことが可能である。そのような広帯域型のフィ
ルタは、例えば赤外光フィルタや紫外光フィルタのよう
に、人間の目に見えない光をすべてろ過するように設計
することができる。
本発明に従い、瞬接する行と列の両方が互いに重なるよ
うにフィルタが配置される。隣接する行と瞬接する列の
両方の重なりを実現するために、フィルタとその下のモ
ザイク状の背面電極の両方にとって望ましい形は六角形
であることが確認された。従って、六角形の画素素子は
、本発明の好適な実施例に従って第４図に示すように形
づくられ配置される。
うにフィルタが配置される。隣接する行と瞬接する列の
両方の重なりを実現するために、フィルタとその下のモ
ザイク状の背面電極の両方にとって望ましい形は六角形
であることが確認された。従って、六角形の画素素子は
、本発明の好適な実施例に従って第４図に示すように形
づくられ配置される。
次に第５図を参照すると、本発明の固体カラー・イメー
ジセンサ−の一部の分解斜視図が示されている。六角形
のフィルタ１１は、赤外フィルタや紫外フィルタのよう
な広帯域フィルタが利用されていないとき、イメージセ
ンサ−の上部層つまり正曲層より成る。フィルタ１１は
多色フィルタであり、色パターンは第４図に示している
ように配置される。望む特定の結果によっては、他のｗ
Ｉ成の色パターンを使用することができる。フィルタは
透明な電極層１１１１Ｂの上に配置されている。不要８
は光導電不要９の上に重ねられてｒ：／’６ｏ小層９不
要導電材料は、電極Ｊ＃８と六角形の背面電極層の配列
の間に配置されている。不要１０はモザイク状の背面電
極層である。電極１０はアルミニウム合金のアルミニウ
ムより成り、各電極１０は第６図にさらに詳細に示して
いるように半導体ベース内のそれぞれの下にあるスイッ
チング素子に電気的に接続されている。電極１０は当然
、他の電極と電気的に接続するようにセットされ、スイ
ッチング素子も通常の手段によって互いに電気的に絶縁
されている。
ジセンサ−の一部の分解斜視図が示されている。六角形
のフィルタ１１は、赤外フィルタや紫外フィルタのよう
な広帯域フィルタが利用されていないとき、イメージセ
ンサ−の上部層つまり正曲層より成る。フィルタ１１は
多色フィルタであり、色パターンは第４図に示している
ように配置される。望む特定の結果によっては、他のｗ
Ｉ成の色パターンを使用することができる。フィルタは
透明な電極層１１１１Ｂの上に配置されている。不要８
は光導電不要９の上に重ねられてｒ：／’６ｏ小層９不
要導電材料は、電極Ｊ＃８と六角形の背面電極層の配列
の間に配置されている。不要１０はモザイク状の背面電
極層である。電極１０はアルミニウム合金のアルミニウ
ムより成り、各電極１０は第６図にさらに詳細に示して
いるように半導体ベース内のそれぞれの下にあるスイッ
チング素子に電気的に接続されている。電極１０は当然
、他の電極と電気的に接続するようにセットされ、スイ
ッチング素子も通常の手段によって互いに電気的に絶縁
されている。
フィルタ１１と電極１０の両方を互いに直接重なるよう
に六角形に配置することによって、画素素子の行と列が
垂直と水平の同平曲で重なる。従って、モアレ干渉パタ
ーンを乗車と水平の同平曲で排除することが可能である
・。
に六角形に配置することによって、画素素子の行と列が
垂直と水平の同平曲で重なる。従って、モアレ干渉パタ
ーンを乗車と水平の同平曲で排除することが可能である
・。
望みの特定の結東によっては、各種の構成と数の異なる
色フィルタを設けることができる。しパしフィルタと背
面電極の形は、垂直と水平の同平曲でモアレ縞を減らす
ために、重なり合う行と列に、望ましくは六角形に、保
たなければならない。
色フィルタを設けることができる。しパしフィルタと背
面電極の形は、垂直と水平の同平曲でモアレ縞を減らす
ために、重なり合う行と列に、望ましくは六角形に、保
たなければならない。
色のわずかな相違に関する人間の視覚に基づいて利用で
きる仰″ｌ−＃報の量を最大にする配列内のそのような
フィルタの配置の極めて効率的な構成は、１９７６年７
月２０日に発行された米国特許第６゜９７１．０６５号
および１９７７年９月６日に発行された米国特許第４，
０４７，２０３号に記載されている。これら米国特許は
いずれも参考として本明細書に組込んでいるものである
。本発明の重なる行と列の使用によって、これらの構成
の変更が必要となるものである。
きる仰″ｌ−＃報の量を最大にする配列内のそのような
フィルタの配置の極めて効率的な構成は、１９７６年７
月２０日に発行された米国特許第６゜９７１．０６５号
および１９７７年９月６日に発行された米国特許第４，
０４７，２０３号に記載されている。これら米国特許は
いずれも参考として本明細書に組込んでいるものである
。本発明の重なる行と列の使用によって、これらの構成
の変更が必要となるものである。
利用する感光１偶の特定の種類と装置の使用法によって
は、装置の動作に異なるはの電圧を使用することができ
る。さらに、望む特定の結果によっては、異なる色フィ
ルタの間に配置された異なる端子に関連して異なる電圧
を利用することができる。光のどの特定の色の強度も感
光材料不要の抵抗の変化の程度によって決定することが
でき、抵抗の変化が大きいほど光強度は大きい。
は、装置の動作に異なるはの電圧を使用することができ
る。さらに、望む特定の結果によっては、異なる色フィ
ルタの間に配置された異なる端子に関連して異なる電圧
を利用することができる。光のどの特定の色の強度も感
光材料不要の抵抗の変化の程度によって決定することが
でき、抵抗の変化が大きいほど光強度は大きい。
この固体カラー・イメージセンサ−は、最も実用的で好
適な実施例と考えられるものを本明細書に開示し記載し
た。特定の材料、用語および色フィルタへの言及は、単
に好適な実施例を開示するために行なったのである。し
かし、本発明の範囲内でこの好適な実施例から逸脱する
ことができ、そのような変更は当業者が本明細書を読め
ば思いつく、ということが認識される。
適な実施例と考えられるものを本明細書に開示し記載し
た。特定の材料、用語および色フィルタへの言及は、単
に好適な実施例を開示するために行なったのである。し
かし、本発明の範囲内でこの好適な実施例から逸脱する
ことができ、そのような変更は当業者が本明細書を読め
ば思いつく、ということが認識される。
第１図は感光素子の相殺構造を示す平面図、第２図は多
色フィルタの相殺構造を示す平面図、第６図は固体カラ
ー・イメージセンサ−の断面図、 第４図は本＋１．期の多色フィルタの六角形吠とノザタ
ーンの平面図、 ｉＡ５図は本発明の固体カラー・イメージセンサ−の拡
大斜視図である。 １・・基 板 ２・・感光能動素子６・・ソー
ス領域 ６′・・ゲート端子７・・ドレイン領域７
′・・ドレイン端子８・・上部電極 ９・・光導
電Ｊ−１０・・底電極 １１・・フィルタ゛１２
・・絶縁層 １
色フィルタの相殺構造を示す平面図、第６図は固体カラ
ー・イメージセンサ−の断面図、 第４図は本＋１．期の多色フィルタの六角形吠とノザタ
ーンの平面図、 ｉＡ５図は本発明の固体カラー・イメージセンサ−の拡
大斜視図である。 １・・基 板 ２・・感光能動素子６・・ソー
ス領域 ６′・・ゲート端子７・・ドレイン領域７
′・・ドレイン端子８・・上部電極 ９・・光導
電Ｊ−１０・・底電極 １１・・フィルタ゛１２
・・絶縁層 １
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）行と列に配置され各々が光強度を表わす電気信号
を生ずる固体画素の配列を有する形式の固体イメージセ
ンサ−において、前記画素は信号切替部分と別個で献信
号切替部分に電気的に接続された感光部分を有する形式
であり、該感光部分の各々は前記信号切替部分に接続し
ている前記感光部分の下の底電極のパターンによって決
まり、該底電極は互いに隣接する画素が行と列の両方向
で重なるようにパターンを形成し、多色フィルタが前記
画素をおおうと共に前記底電極のパターンに対応してパ
ターンを形成しているこ、とを特徴とする固体カラーイ
メージセンサ−０ （２）Ｗ数の行と列に配置され電気信号を蓄積したり切
替えたりすることができる固体素子の配列Ｊ： ’）
３９るベース、該、ベースの上に重ねられた感光層、電
気絶縁層、および枚数の多色フィルタの配列より成り、
前記感光層は透明な正面電極不要、各々が前記ペースの
前記固体素子の対応するものに電気的に接続された複数
の背面電極のモザイク状配列および前記正面電極と前記
背面電極の間に配置された感光不要より成り、前記電気
絶縁層は前記ペースと前記背面電極の間に配置され、前
記固体素子と前記感光層と前記多色フィルタは複数の行
と列に配置された複数の画素を形成し、μいに瞬接する
画素の行と列が重なることを特徴とする固体カラーイメ
ージセンサ−０ （６）前記背面電極と前記多色フィルタの各々の形が六
角形であることを特徴とする特許請求の範囲第２項に記
載の固体カラーイメージセンサ−０（４）ｉｊｌ記多色
フィルタは第１種が赤色光をろ過し第２種が緑色光をろ
過し第６種が青色光をろ過する３種の多色フィルタであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第２項または第６項
に記載の固体カラーイメージセンサ−０ （５）前記固体素子がＭＯＳ型であることを特徴とする
特許請求の範囲第２項または第３項に記載の固体カラー
イメージ七ンす−。 （６）前記固体票子がｏｏｎ型である特許請求の範囲第
２項または第３項に記載の固体カラーイメージセンサ−
０ （７）前記多色フィルタと前記背面電極のすべてが同じ
大きさの正六面体であることを特徴とする特許請求の範
囲第６項に記載の固体カラーイメージセンサ−０ （８）前記多色フィルタが補色を含６多色フィルタであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第２項または第３項
に記載の固体カラーイメージセンサ−０
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/307,146 US4441123A (en) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | Photosensor pattern of solid-state imaging sensors |
| US307146 | 2002-11-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5870204A true JPS5870204A (ja) | 1983-04-26 |
| JPH0544642B2 JPH0544642B2 (ja) | 1993-07-07 |
Family
ID=23188443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57167711A Granted JPS5870204A (ja) | 1981-09-30 | 1982-09-28 | 固体イメ−ジセンサ−の感光パタ−ン |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4441123A (ja) |
| JP (1) | JPS5870204A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS62114558U (ja) * | 1986-01-08 | 1987-07-21 | ||
| WO2011148437A1 (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-01 | パナソニック株式会社 | 固体撮像素子 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH0638662B2 (ja) * | 1986-02-05 | 1994-05-18 | 富士写真フイルム株式会社 | カラ−イメ−ジセンサ− |
| IL91193A (en) * | 1989-08-02 | 1996-01-19 | Yeda Res & Dev | Tumor detection system |
| US5748770A (en) * | 1993-11-30 | 1998-05-05 | Polaroid Corporation | System and method for color recovery using discrete cosine transforms |
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| US6252218B1 (en) * | 1999-02-02 | 2001-06-26 | Agilent Technologies, Inc | Amorphous silicon active pixel sensor with rectangular readout layer in a hexagonal grid layout |
| JP4500434B2 (ja) * | 2000-11-28 | 2010-07-14 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及び撮像システム、並びに撮像方法 |
| US7154549B2 (en) * | 2000-12-18 | 2006-12-26 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Solid state image sensor having a single-layered electrode structure |
| EP1444736B1 (de) * | 2001-11-15 | 2008-04-02 | STMicroelectronics N.V. | Farbfiltermatrix für einen optischen bildsensor |
| US20050285956A1 (en) * | 2001-11-15 | 2005-12-29 | Stmicroelectronics N.V. | Color-filter array for an optical-image sensor |
| US7807951B1 (en) * | 2004-03-01 | 2010-10-05 | Raytheon Company | Imaging sensor system with staggered arrangement of imaging detector subelements, and method for locating a position of a feature in a scene |
| US7405389B2 (en) * | 2004-11-19 | 2008-07-29 | Silicon Light Machines Corporation | Dense multi-axis array for motion sensing |
| US7880787B2 (en) | 2005-09-14 | 2011-02-01 | Fujifilm Corporation | MOS image sensor |
| US7721609B2 (en) | 2006-03-31 | 2010-05-25 | Cypress Semiconductor Corporation | Method and apparatus for sensing the force with which a button is pressed |
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| JPS54137356A (en) * | 1978-04-17 | 1979-10-25 | Toppan Printing Co Ltd | Crossing type color stripe filter and its preparation |
| JPS5610982A (en) * | 1979-07-05 | 1981-02-03 | Sony Corp | Color image pickup element |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4242700A (en) * | 1979-01-22 | 1980-12-30 | Rca Corporation | Line transfer CCD imagers |
-
1981
- 1981-09-30 US US06/307,146 patent/US4441123A/en not_active Expired - Lifetime
-
1982
- 1982-09-28 JP JP57167711A patent/JPS5870204A/ja active Granted
Patent Citations (4)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0544642B2 (ja) | 1993-07-07 |
| US4441123A (en) | 1984-04-03 |
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