JPS5870422A - 磁気記録用媒体の後処理法 - Google Patents

磁気記録用媒体の後処理法

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JPS5870422A
JPS5870422A JP57164785A JP16478582A JPS5870422A JP S5870422 A JPS5870422 A JP S5870422A JP 57164785 A JP57164785 A JP 57164785A JP 16478582 A JP16478582 A JP 16478582A JP S5870422 A JPS5870422 A JP S5870422A
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JP
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film
magnetic
magnetic layer
particles
acicular
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JP57164785A
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English (en)
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ツ・チエン
ピエトロ・エル・カバロツテイ
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Xerox Corp
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F41/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
    • H01F41/14Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/84Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
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  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ビデオ、オーディオ或は他のデジタル化した情<It 
1呆仔にテープ、シート又は円盤状記録装置を用い/C
従来の磁気6己録法では、非磁性基材上に形成された磁
気記録用層上に、記録用変換器即ちヘッドに対する媒体
の相対的動きの方向と平行な長手方向にそのフィルムの
平面中のその磁気記録用層を磁化することによって信号
を記録する。之は横型磁化方式(’]、ongitud
ina、l magnetization mode 
)として言及されている。記録工程中、保存すべき情報
〔又はピッ) (bit ) ]を磁化の状態又は方向
を変えることによって記録する。即ち情報のビットを、
磁性媒体の磁化方向を逆にするか又は逆の磁束を生じさ
せることによりつくり出す。横型磁化方式で記録する時
、強い消磁場が媒体の、反対に磁化さftた領域の間に
生ずる。横型磁化記録方式でこの消磁場が存在すること
により、残留磁化の減衰及び回転を起し、記録信号を再
生した時に減衰した出力が得られる結果になる。この減
衰及び信号の悪化は、情報詰め込みの線密度が増大する
に従って或は横型磁化の方向の記録用信号波長が減少す
るに従ってひどくなる。その結果横型磁化方式で可能な
最大記録密度が制限されることになる。
もし磁性層が原理的に残部のフィルム向に直角な磁化を
維持できるならば、従ってもし信号が、その信号の模様
に従って磁性層の表面に直角な向きに磁化方向を逆にす
ることにより記録される( 1.!IIも、いわゆる垂
直磁化方式で記録される)ならば、記録ぞ度を増大する
ことによるような記録信号の波長の減少は消磁場の減少
を起す。従って(毘気記録媒体の与えられた領域に保存
される情報密度の増大にとって、垂直磁化方式による記
録(今後垂直記録として言及する)は、横型磁化方式を
用いた従来の記録(横型記録として今後言及する)より
有利であることは分るであろう。
垂直記録用磁性記録媒体を製造するための現在提案され
ている方法に伴われる問題を解決するために、垂直記録
用媒体のためのフィルム向に垂直に局度に配向した磁化
容易軸(easy axis offrlagnθti
zation )を有する磁気記録用媒体で、極めて低
コストで製造でき、多くの垂直記録の用途に非t:ζに
よく逸合し、競合できるものにすることかできる磁気記
録用媒体を製造する別の方法が見出された。この方法を
ここで詳細に説明するが、その主題は同時に出願された
特許出願5erial A6(D/81003)の基礎
になっている。本発明は垂直磁化ヒステリシス特性をよ
くするため、そのような媒体を後処理することに関する
。他の後処理法は同時出願の特許出願5erial A
6 (D /81089 )の主題であり、その基礎に
なっている。
本発明によれば、本発明の方法は、基材と、その上に針
状結晶状磁性粒子からなる薄い磁性層を付着させたもの
からなる連続的な薄いフィルム状磁性媒体で、各粒子の
結晶の結晶学的” It軸を針状粒子の長手方向の軸に
平行に配向させ、針状粒子のその長手方向の軸が該磁性
層の面に対し実質的に垂直に配向されているフィルム状
磁性媒体の後処理に関する。後処理法によって、フィル
ムの磁性粒子間の分離が大きくなり、それによってそれ
らの消磁場Haを減少しながら保磁力(coθrciv
1ty)Hcを増大することができる。この方法は粒子
相互の界面での強めた粒子界面反応を用いて、磁性層に
反応剤を拡散させるか又は磁性層を食刻刑で食刻するこ
とにより効果的に粒子の分離を達成する工程からなる。
本発明によれば、Co又はCo合金を基礎にした薄い磁
性フィルムの如き薄い磁性フィルム又は層に対する種々
の後処理によって、磁性層の垂直粒子間に大きな粒子相
互の分離を与え、それによって薄いフィルムの磁化性を
改良し、更に垂直記録用媒体の垂直磁化ヒステリシス特
性をよくすることができる。磁性媒体は針状結晶粒子か
らなる磁性層で、各粒子の結晶の結晶学的”C+l軸が
針状粒子の長軸と平行に配列し、それらの粒子が磁性層
の平面に実質的に直角になっている磁性層からなる。処
理はここで論する特定の製造法に限定されるわけではな
いが、得られるフィルムが上述の垂直異方性をもつ眠り
、スパッタリング或は真空蒸后の如き他の方法によって
製造される他の垂直記録用媒体にも適用できる。之等の
処理は強力な粒子界1用拡散及び強力な粒子界面賞刻の
原理に基いている。
本発明の上記及び他の目的、特徴及び利点は付図に関連
した次の記載を参照することにより一層明確になり、理
解されるであろう。
1)垂直記録用磁性フィルム製造のために好まし配向を
したCo及びCO基礎合金の電気メツキ第1図は本発明
を構成する磁気記録用媒体10を例示している。この例
示は、磁気記録用層14の微細構造及び性質を一層理解
し易くするために著しく拡大して示しである。層或はフ
ィルム14は電気化学的メッキ法により、導電性支持体
12上に付着されている。メッキ法の条件は、得られる
磁性フィルム14の微細構造が、多数の実質的に均一な
針状或は柱状結晶子即ち粒子16からなっていて、然も
その針状体の長軸と、粒子16の結晶学的“ II軸1
8が共にフィルム面に対し垂直と配列しているように選
択すべきである。
こと及び後の実施例で論するフィルム14を構成する結
晶質材料は、HCP Co又はCoを基質にした合金の
粒子である。Coを基礎にした合金の例ばCoRe 、
  CoCr及びCoNiである。
フィルム粒子16は、粒子+Ujの粒子境界22に存在
する不純物又は空腔20によって物理的に分離されてい
る。もし媒体が第1図に示した好ましく配向した柱状型
及び結晶異方性の両方をもつ何個の針状粒子16からな
るならば、磁性層即ちフィルム14は磁化容易軸をフィ
ルム面に直角にした強い一軸異方性をもち、その電着さ
れたフィルムを垂直記録に極めて適したものにするであ
ろう。
「完全に好ましい異方法」とは結晶の°“″軸18か谷
針状粒子の長手方向の軸に実質的に宿った配向をしてお
り、同時に各針状粒子16の長手方向の軸がフィルム1
40面に直角(実質的に垂直)に配列していることを意
味する。
第2図はフィルムの大きな領域上で振動試料磁力計によ
って測定した記録用層の適用磁場Hと磁化Mとの間の関
係を表す理想的磁気ヒステリシスループを例示するもの
である。実線のヒステリシスループ24は磁性フィルム
がフィルム面に直角な一軸異方性を有する時の垂直(土
)磁化方向の場合の理想的ヒステリシス特性を表し、点
線のヒステリシスルーツ26は磁化方向が同じフィルム
の長手方向(II)にある場合の理想的ヒステリシス特
性を表す。全体的フィルムの理想的垂直ヒステリシスル
ープ24は、容易に磁化する方向と反対の方向に油った
消磁場(Ha)効果により長方形の平行な管を傾けた平
行四辺彫型になるであろう。
もしフィルムの主要部分から消磁場効果のない個々の磁
性粒子だけを考えれば、−軸異方性の大きなフィルムの
粒子の固有ヒステリシスルーズは、第3図のヒステリシ
スルーズ28で例示したように、傾斜のない優れた矩形
の形になるであろう。
高缶度記録即ち短波長(λ)記録の場合、逆になった磁
化の間の直線距離は全く小さく、従って一つの磁化ビッ
ト領域内の消磁場H(1は波長(λ)が短くなると共に
減少し或は苓に近づいていく。
結局、高密度記録ではそのような磁化鎖酸の磁気ヒステ
リシスルーズは、第6図に例示した固有ル試料輯力計で
測定して、フィルム生簀部分の垂直ヒステリシスループ
が第2図のループ24で表わされた形に似た形をしてい
る第5図の良好な平行四辺形のヒステリシスループ30
を示す結果になの磁化ビット領域の固有ループとフィル
ム主要部の磁気ヒステリシスループとの相関関係のもつ
物理的事実によるものである。
基本的に固有ループ28から、フィルム主要部又は長波
長記録用領域のヒステリシスループ30が傾いていくの
は、消磁部Haに起因する。原理的に、消磁部Haの程
度はCr或はReの如き合金元素をドープ(dopθ)
することによって媒体の磁化Meを減少させるか又は粒
子16間の分離を増大する即ち粒子境界22の大きさを
増大することにより減少させることができる。合金元素
のドープにより消磁部Hdを減少させる場合には、傾斜
の程度は必ずしも減少しないのに対し、結晶子間の分離
を増大することにより消磁部Haを減少させる場合は、
傾斜の程度を劇的に減少させることができる。
一般に、良好な垂直異方性を有するが、垂直方向に強い
消磁部H(iを伴う実際的で有用なフィルムについては
、実際上フイルム主要部分について測定して垂直磁化ヒ
ステリシスループがいくらかの傾きを示し、平行な彎曲
がいくらか残っているである。之等の平行(11)及び
垂直(土)磁化ヒステリシスループの臼型的な例は、第
4A図にループ32及び34として夫々例示されている
。傾斜の程度及び二つのループの間の相対的傾斜度はフ
ィルム中の消磁部H(Lの強度に関係している。
もし垂直方向の消磁部が磁性粒子の粒子間分離を増大す
ることによって減少するならば、垂直ヒステリシスルー
プ34は傾斜が減少し、同時に保磁力Haが増大するで
あろう。それに対し平行ヒステリシスループ32は傾斜
が増大する。2等平行(]1)及び垂直(±)ヒステリ
シスループで得られる相対的位置及び形は、例えば第4
B図に例示したヒステリシスループ32′及び34′の
ような形に変化してくるであろう。
垂直ループ34の傾斜の減少及びHeの増大は、媒体が
磁化域の自己消磁を起すことなく長波長側の記録を保持
し、それによって記録されたビット情報の信頼性及び正
確度が増大することを意味しているであろう。
形及び結晶学的方向の両方で好ましく配向した結晶子に
より上述のフィルム特性を有し、然も垂直方向の消磁部
Haを減少させた磁気記録用フィルムを、メッキ条件を
制御して針状磁性粒子間の分離を調節し、史にその電着
させたフィルムを後処理工程にかけることにより分離を
増大することにより製造する経済的な電着方法が発見さ
れた。
第5図に示した装着40によりフィルム14を製造する
電気メツキ法を行うことができる。C。
又はCo基礎合金フィルム14をメッキ用タング42に
入れたメッキ浴44から形成させる。C。
フィルムの場合には、浴44のメッキ用電解液は、例え
ばIMj Wコバルト、ji化コバルト、スルフアミ2 メッキ条件で浴溶液中のCO++イオンはCo(OH)
+又はC04(OH)4++の如き水酸化物イオンを形
成し、陰極48の方へ移動して電子を受け、その水酸化
物イオンはCo’に還元され、CO金金属して基材12
〔陰極48〕上に付着する。之は次の化学反応で示され
る: Co(OH)++ 2e−+Co’ (付着金属)+O
H(1)基材12上に各金属CO0原子の付着を伴う式
(1)の化学反応では、遊離のOH−イオンが生ずる。
付着が継続するにつれて基材表面の近傍には粒子成長界
面520所に過度の濃度の○H−イオンが存在するよう
になるであろう。この過剰OH−イオン濃度は第6図の
54で例示されている。第6図に関し、化学反応法に含
まれている濃度勾配で誘起される拡散機構の原理に従え
は、浴溶液の上狭部分に存在する濃度よりも制〈なって
いる粒子成長界面52の所の過度の濃度のOH−イオン
は、粒子16の成長前面52の中心部から離れて浴溶液
44の主要部分中へ移動していくであろう。之は第6図
の矢印58で例示されている。この移動は粒子相互の境
界域56即ち粒子成長界面52近くの隣接粒子16間の
縁の中へと起きていき、第6図矢印60で例示されてい
るように、実際上或はほとんどCo’付着は起きなくな
る。
コバルト塩溶液中、もし溶液中のPH値(pHはH+及
びOH−イオンの濃度を示している)が約7の値に近い
か又はそれを超えているならば、溶液中のCo(OH)
+イオンは次の化学反応に従ってCo(OH)。
として溶液から析出してしまうであろう二〇〇(OH)
” + OH−−+ Co(OH)2↓     (2
)(pH>7) もし電気メッキ浴が7より小さい…値例えば6或は6.
5をもっていると、浴溶液の主擬部分ではCo(OH)
2析出は起きないであろう。しかしそのような…水準を
もつ浴でフィルムをメッキしている間、粒子成長界面5
20近くの粒子境界域56中のOH−イオンの濃度は、
前述の如く粒子成長界面5 域56と溶液主要部44の方へ連続的に移動するため徐
々に増大するであろう。もし粒子成長界面52近くの粒
子境界域56中のOR−イオン濃度の増大がその領域中
の溶液の一1値を約7の値を超えさせるに充分な程高く
なると、その領域中にCo(OH)2の析出が起きるよ
うになる。この析出は第6図の矢印61で示されている
。この特別の成長条件で、00粒子の細胞状或は柱状微
細構造が形成される。もし粒子の付着が、フィルムの厚
さが1μmかそれよ少少ない位になる迄充分な時間継続
されると、例えば粒子は針状体の長軸とHOP C。
粒子の結晶学的C′′軸18がフィルム面にほとんど直
角に配向した針状型をもつようになるであろう。更に粒
子は大きな粒子境界22によって周囲の粒子から物理的
に分離されるであろう。この粒子相互の境界内では非磁
性Co(OH)2の析出物が付着するか又は未反応溶液
が取り残された空隙が存在するであろう。非磁性Co(
OH)2の付着析出物は、矢印61で示したように、粒
子境界22の中6 開領域に形成される。なぜならこの点のPH値が浴溶液
の主要部に比較して高くなる、即ちこの領域の…値がC
o(OH)2析出の起きる点以上になるからである。し
かし浴溶液の主要部のPH値は依然としてCo(OH)
2析出が溶液主要部で起きる値よシは低い。
一般に粒子16の幅及び粒子間の分離程度即ち、メッキ
されたフィルム14の粒子相互の境界22の幅は、メッ
キ用溶液中のCO++イオン濃度、溶液の両値、電気メ
ッキ浴の温度或は電気メツキ工程の電流密度で定義され
る粒子付着速度の如き電気メッキ浴の条件を変えること
によ多制御することができる。針状粒子16の長さ即ち
フィルム14の厚さは、電気メッキの時間によって原則
的に決定される。粒子の長さ対幅比は例えば6:1でも
よい。
実際的垂直記録用媒体10を得る目的からは、電着フィ
ルム14中の結晶子即ち粒子16は消磁エネルギーを克
服する強い垂直異方性をもつのみならず、それら粒子中
の消磁場はできるだけ太きく減少しているのがよく、即
ち垂直ヒステリシスループの傾斜はできるだけ小さいの
がよく、そして垂直ヒステリシスルーツの保磁力Haは
垂直磁化を維持するのに充分な強さをもつが、磁気記録
用ヘッドによって生ずる適用磁場強度の許容限界内にあ
るのに充分な位小さいものであるべきである。
強い一軸異方性、減少した消磁場及び制御された保持力
をもつフィルムを製造するために、針状粒子の幅及び長
さ、粒子間の分離及び結晶学的+1 CII軸の配向及
び針状粒子の長軸の如きフィルムの微細構造は制御され
なければならない。原則として、之等の微細構造のパラ
メーターは前に説明した電気メッキの機構に基き、電気
メツキ条件の調節即ちCO+1イオン濃度、緩衝溶液、
PH値、浴温度、電流密度及び浴溶液中のイオン物質の
形の付加的合金用元素などの調節によシ変化或は制御す
ることができる。
本発明の媒体及び方法に用いられるメッキ条件の範囲の
例は、限定のためではなく単なる例示として示すと次の
ようになる。
(i)  浴溶液中のCO+ +  イオン濃度:約0
.1〜2モル浴液 (11)緩衝剤:緩衝剤が全くないか、約0.5モルの
H3BO3又はそれに相描する址迄。緩衝剤の使用によ
り大きな電流密度を使用でき、従って一層大きな電着速
度が得られる。
(111)PH値:約5〜6.7或は溶液主要部分にC
(:1(OH’)2の析出が起きるようになる前迄の最
大PH値近く迄。
(1v)浴温度:大体室温(22℃又は26°C)から
約70°C迄。
(V)  ’Ili流密度:約1〜200 mA/al
+” 。
(vi)  合金元素:合金用元素を添力1しないか、
Co  メッキ浴液中の二次メッキ用元素約20%迄。
用いてもよい合金用元素イオンの例は、Ni” 。
Cr”十 、  Re”  、  Os”  、  R
u”  、  P(]→十   y n 十+  。
l、t o” ” 、C11++或は電気メツキ条件で
COと固溶体9 を形成するその他の元素。
本発明の好ましい具体例の一例として、体性層14は単
純fz Co 塩溶液から電着された実質的に純粋のC
o  剣状粒子を含み、例えは約1oooXから数ミク
ロンの全ルサを有する。
2)電気メツキ型及び他の型の磁性フィルムの高度な粒
子境界拡処理却、定した粒子微細構造(イ)・もつ磁性
フィルムを製造するための好ましいメッキ条件の選択は
、Ai1節で特定化した因子の各々についての条件を広
い範囲内で選択することにより行える。1〜かしもし各
磁性粒子に比較して消磁用Hdを減少させるのに、合金
化による飽和磁化の減少ではなく針状粒子間の分離を増
大するやシ方を選択するならば、粒子間の境界22の大
きさを増大させるのに電気メツキ後処理を用いてもよい
。そのような後処理はいくつか可能である。之等の処理
は強力な粒子境界拡散及び高度の粒子境界の食刻を行う
原理に基いている。之等の処理は第7図及び第8図に概
略的に例示した図に関連して説明する。
0 第7図は電着フィルム14の強力な粒子境界拡散処理中
の粒子微細構造の変化を例示している。
基材12の表面上に電気メッキされた磁性フィルム14
を、63で示した反応物、Rを含む環境中に入れる。反
応物は水素、酸素、窒素の如きガス或はフィルム材料と
は異なった元素の気相或は他の拡散剤でよい。もし反応
物63の拡散の反応速度が充分側けれは、反応物63は
フィルム14の粒子16中へ固体相拡散を受ける。この
拡散は矢印62で示したように、粒子の露出表面を通っ
て粒子主要部中へ直接性われるか、或は矢印64で示す
ように、最初は粒子境界22を通シ、次に粒子主要部へ
入って行くようにして行われる。反応物63がCo又は
Co基礎合金粒子16中へ拡散していくにつれて、領域
66で示したように、各粒子の外側領域の周りにCO又
はCO合金との非磁性相化合物即ち固溶体が形成され、
乱されていない磁性粒子即ち右部68を″残す。
そ力第二物質の粒子への拡散は、62で示した路を経て
粒子の主要部へ直接入るか又は64で示した路を経て粒
子側壁を横切るように入っていくよシは、65で示した
路を経て粒子境界22に沿っていく方が1桁以上速いで
あろう。従って強力な粒子境界拡散処理は第7図の陰影
をつけた領域66で例示したように各粒子16の周りに
非磁性相の層を生ずる。結局、拡散処理に曝されなかっ
た各粒子の右部68の未処理磁性物質は、その最初の磁
気モーメント及び針状形態を持った捷まになっているで
あろう。粒子16の隣接した磁性筋部68間の有効磁気
分離は、粒子6部68の間の領域中に非磁性相部分66
が形成されたため増大しているであろう。この最初の磁
性粒子16間の分離の増大は、各粒子の消磁用Hd  
の減少及びそれに対応するそれらの保磁力の増大をもた
らすことになる。
之等の強力な粒子境界拡散処理の一つとして、高温での
酸化処理を用いることができる。こ1の種の酸化をフィ
ルム後処理として用いることにはいくつかの利点がある
。第一に、粒子の熱処理によってそれらに焼鈍効果を与
えることになる。その結果、結晶の歪みの減少及び(又
は)粒子中の1なった傷が減少することにより原理的に
改良されだT(CP Co  合金粒子を得ることがで
きる。第二に焼鈍効果は結晶子の異方性を増大すること
にもなるであろう。第三に、粒子境界に沿った粒子間酸
化物及び粒子の前面に沿った酸化物の形成は一層イll
I!<、一層女定なフィルムを与え、その記録保持性が
増大する。
磁性杓子16間の有効分鳥11を増大するだめの別の後
処理法は、第8図に概略的に例示した電着フィルム14
の強力な粒子境界食刻を用いることにより行われる。
もし粒子16の如き多結晶子材朴1を、適当に選択l〜
た化学桑品を用いて普通の化学的又は電気化学的方法に
より食刻すると、全材料の除去速度は粒子16の衣面域
即ち食刻剤と面接接触している界面520所の先端粒子
成長領域の、9[よシも、粒子界面22 VC沿った方
が速い。伺随する暴利12上の’jM >hフィルム1
4を第8図中70で示した食刻剤Eを含む化学的又は電
気化学的食刻浴゛液中に6 入れると、薬剤70け粒子の表面の粒子前端72の所で
粒子を直ちに侵食する外、粒子境界22に沿って粒子を
侵食する。結晶学的II cII軸が好捷[〜く配向し
た粒子からなるフィルム14では、粒子境界22に沿っ
た粒子境界22近辺の領域14中V)磁性材料が除去さ
れる速度は、粒子前端720所よシ大きい。之は(1)
粒子境界22は大きな自由エネルギーをもち、従って粒
子固有の粒子部分よシも大きな食刻速度になる傾向があ
ること、及び(2)室温フィルムの粒子境界22は酸浴
液に極めて浴は易いCo(OH)2の如き官有物を含み
、従って粒子境界領域が開いてそこに存在する狭刻剤が
入り易くなるためである。
結局、点線で示した境界部分76の粒子材料75は粒子
から除去され、もし食刻工程を適当な時間で止めれは、
各粒子の心部分78かもとのま1残る。粒子の心部分7
8はそれら力最初の磁気モーメント及び針状形態を保持
しているが、第8図から明らかなように粒子間の分離が
一層大きくなっている。粒子16の隣し合つだ姉性心部
分4 78の間の有効磁気分離は、粒子を取り巻く領域中の部
分75が除去されているため増大している。
この磁性粒子間の分離の増大は各粒子の消磁場11d 
 の減少をもたらす。
粒子の分1iil+は、枠子境界での拡散或は酸化と化
学的食刻とを組み合せることにより一層大きくすること
かできることは分るであろう。
粒子の消磁場を減少させるためここで提案している強力
な粒子境界拡散又は強力な粒子境界食刻による寛尤フィ
ルムの後処理は、例えはスパッタリングによるCnCr
又はCoRe合金フィルム又は真空蒸着磁1生合金フィ
ルムの如き他の製造方法によって最1?/J製ス貨され
だ磁1生粒子にも、フィルム中σ)粒子の微細構造が柱
状又は針状構造で、その柱状又は針状粒子の長軸及びそ
れら粒子を構成するT−] CP粒子結晶の“C″′の
軸がフィルム而に垂直に配向している1沢り、J用する
ことができることを指摘しておき度い。
本発明のフィルム14と共に用いられる非磁性基材12
は、硬い支持体例えば堅い板、円盤、ドラム又はシート
状のアルミニウム又はアルミニウム合金、銅、真鍮、又
は導電性金属層等で被榎されたガラスでもよい。金属又
は非金總基なは、(1)得られる磁性媒体の機械的性質
を増大するために導電性非磁性硬質金属層又は(2)磁
気ヘッドによる記録及び再生の効率を増大するために米
国特許第4.210,946号に提案されているような
パーマロイ(permalloy )の如き高透磁率、
低保磁力を与える導電性磁性層で検校してもよい。別法
として、非磁性基材はポリイミド、ポリエチレンテレフ
タレート、ポリカーボネート等からなる合成樹脂フィル
ムを、前述の堅い支持体の場合の如く導電性金属層等で
被栓したものからなる、例えばしなやかな円盤又はシー
ト又はデーゾのような可撓性の支持体の形をしていても
よい。
3)好ましい具体例の例 本発明による磁気記録用媒体の製造を更に特定の実施例
に関連して例示する。実施例1〜5は電気メツキ法の試
料を例示する。実施例6〜9は後処理の試料を例示する
。之等の実施例は特計バ〆I求の範囲に記載の発明を明
瞭にし例示するだめのものであり、そのパラメータ及び
用途に意図的に正確な限定を置くものではない。実施例
を調べれば明らかになるように、多くの異なったパラメ
ーターの選択を容易に行うことができる外、互に大きさ
を相対的に変えることができる。成る場合には、之等の
パラメーターは(^き換えたり或は除いたりしてもよい
。いずれにしろ、垂直記録に過した記録用媒体のだめの
望ましい性能及び機能が得られることは、電気メッキ及
び磁気記録技術の当業者によって普通に認められるであ
ろう。
実施例1 非磁性導電性支持体を記録用媒体10のだめに使用した
。その支持体は負空蒸着したCr及びCuで被椀したガ
ラス支持体からなっていた0之に従来の無電tyr法に
より非磁性Ni −P の層を付着させた。Cr 、 
Cu及びNi −P 層の目的は、’e4n:気メッキ
装置40中の陰極と1−で働くのに良好な接着性及び青
′【E性をもつ基材を与えることにある。
次に導電性表面をもつ基材を電気メッキ浴44の陰極と
して配置した。純粋のCo  板を浴44の陽極46と
して用いた。メッキ浴溶液は1モル/lのスルフアミド
酸コバルト、0.15モル/)の塩化コバルト、Co 
C12からなり、溶液のp+−1を飽和水酸化バリウム
溶液を用いて6.5の値に調節した。この浴を記録のた
めに「浴L」と呼ぶことにする。
次の表I及び■に明記したように、26℃及び50 ’
Ofl二つの異なった浴温度で2.5 mA / cn
l” 〜50 mA / c+rr2の間の範囲の電流
密度でCOメッキ層をつくった。
表 I pH=6.5で23°Cの浴りにより試料をメッキした
091680−04 2.5mA%m21μm  20
分091680−07 5mA/cm21μm  10
分091680−05 7mA/cm21μm  7.
9秒 1 091680−06 85rr+A7z21μm  5
分52秒091680畦310mψn21μm  5分
091680−10 20mAA1n21 prn  
2分30秒表  ■ PH== 6 、5で、50℃の浴りにより試料をメッ
キした。
Co試料番号  霜1流密度  厚 さ  メッキ時間
(w/i 02μm) 091980−03 5m〜偽21μm  10分09
198001  10+nJVC+++21μm  5
分091980−09 10rn〜’am21μm  
5分091980−07 10+m1VcIn205μ
m  2分60秒091980−08 10n+AA′
m22μm  10分091980−04 15mA%
m21.3μm  5分全てのfJi看co  フィル
ムをX線回折測定にかけて結晶子の好ましい配向の程度
を決定した。比較のため得られた二つの典型的な回折像
を第9A図及び第9B図に示した。第9A図は表■の試
料091680−05で得られた回折像であるのに対し
、第8 9B図は表■の試料091980−01で得られた回折
像を示す。X線回折の結果に基き、第9A図と第9B図
によって表わされた試料のCOフィルムの粒子の配向を
次の如く解釈することができる。
第9A図の場合にはフィルム中の粒子のほとんどは、強
い(002)回折線に現われているように、フィルム面
に直角に配向したHCP結晶子のII c II軸の強
い好ましい配向を示しているが、回折像中の(100)
回折線の存在に現われているように、フィルム中のいく
らかの結晶子がそれらの“a″軸をフィルム面に直角に
して配向している。一方策9B図の像で示されている試
料の場合には、回折像中非詣に強い(002)回折線が
現われ、コバルトフィルムからの他の回折線がないこと
、特に矢印80及び81で夫々示したように41.5°
と47.5°の所の回折線(100)と(101)がな
いことによって示されているように、フィルム中の全て
の結晶子がそれらのHCP II C++軸をフィルム
面に対し直角にして配向している。このことは、完全に
全てではないとしても、はとんど全での結晶が垂直記録
にとって望ましい選はれた配向をしていることを意味し
ている。
基本的には、COフィルム中の結晶子の好ましい結晶学
的配向の程度は、フィルム中グ)HCP結晶子粒子の特
性X線同折線の相対的強度から固定することができる。
例えば無作為的に配向した結晶子を有するCOフィルム
のX線回折像は、(100)。
(C1021及び(101)の結晶学的百の各特性結晶
子が好ましい結晶学的配向をしたフィルムでは、2衿の
回折線の相対的ピーク強度は、無作為的に配向した結晶
子をもつフィルムの強度とは変っているであろう。C″
軸が、無作為的配向の場合よりもフィルム面に対し直角
な方向に一層選択的に配向したフィルムでは、対応する
(002)線の回折強度は増大し、他の回折線の強度は
、無作為的に配向した結晶子をもつCo  フィルムの
場合より低下しているであろう。
この原理に基き、異なったメッキ条件で得られたフィル
ム中の結晶子の好ましい結晶学的配向グ)程度を、与え
られたフィルムの厚さに対する特性回折線の強度を基準
化するために与えられた回折角度でのバックグラウンド
の螢光強度に対する(002)、(100)又は(10
1’)回折線の如き与えられた特性回折線のピーク強度
値の比を測定し、決定することにより定量化することが
できるO 第10A図及び第10B図は夫々回折強度化工(Co2
)/■Bo 及び工(100)、/1BG  を、fi
I及び■に列挙した1μm浮のCOフィルムについての
メッキ電流密度の関数として示している。ここで工(0
02”)とI(100)は(CO2)と(100)回折
の谷ピーク強度であり、■B。は回折計角度2θ−69
°でとった対応する像のバックグラウンド強度であり、
Cu Kα線を用いた。
第10A図に例示しであるように、室温(260C−表
■)の浴で電着したフィルムは強い■(002)/より
。比で示されるように、それらの°′C″軸をフィルム
面に直角にして結晶子の大部分が強く好1 捷しい配向をしているが、全てのフィルムが工(1oo
)/より。強度比が存在していないことに現われている
ように、いくらかの結晶子がそれらの°゛a′″軸をフ
ィルム面に垂直な方向に配列していることを示している
。更にこの一連のCo  フィルムの回折像を詳しく分
析すると、小さな回折強度の(101’)回折線が存在
していることを示している。これはフィルムが〔101
)軸をフィルム面に対し垂直にして配向した少量の粒子
をももっていることを示している。一方50’C(&n
)の同じ浴りで電着したCo  フィルムについての第
10B図を調べると、回折像は(1[11)回折線を示
していない。又、メッキ電流密度を20 mA/山2 
より低く保つと、回折像は第10A図に比較して一層大
きな強度比をもつ非常に強い(002)回折線のみを示
し、更に(10n)又は(101)回折線はいずれも存
在していないことを示している。
之等の結果は20 mA / cnl”よシ低い電流密
肛で浴り中で′電着したCo  フィルムは、そのフィ
ルム中の全ての結晶子が°′C°′軸をフィルム面に垂
直に2 して配向した完全な異方性配向をしていることを示して
いる。結晶配向でこの種の完全な異方性を有するフィル
ムは、垂直記録用媒体用に極めて適したものである。之
等の試別は、結晶子の好ましい異方性配向が、本発明の
電気メツキ法で達成できることを示している。
第10B図14更に、メッキ電流密度を2[] mA/
σ2 を超えて増大していくと、電着フィルムは結晶子
の完全な異方性配向を失い始め、第10B図’ ■(1
00)/■BG 強度比が現われてぎていることがらも
明らかなように、この電流密度点よシ上では、フィルム
面に°a”軸を垂直にしたいくらかの粒子が存在してい
ることを示している。
X線回折分析に基〈実施例1のこれらの結果から、この
特定の浴浴液を用いた場合、好ましい配向、即ちフィル
ム中の全ての結晶子が結晶学的II CII軸をフィル
ム面に対し垂直にして配向したCOフィルムが、50℃
のメッキ浴温度と、約5〜2 [:l mA / cm
”の電流密度を用いて得られると結論することができる
。更にもしフィルムをこの範回内の矩−流密度、例えば
約10 mA / cyn”で、500Cで電気メッキ
すると、第10C図及び表■のデーターから■(002
)、/■Boと工(100’)/よりG地対フィルム厚
のプロットに例示されているように、約0.5〜2μm
 の範囲のフィルム厚に対し、好捷しい配向を生じさぜ
ることができる。特に第10Cシ]は、表IIの試別0
91980−07 、091980−08及び0919
80−〇9  について得られたデーターに基いている
1↓1.子顕微鋭(SEM )を用いてフィルムの微細
構造を調べると、もしフィルムが好ましい(002)配
向をもっているならば、結晶子は針状形態をもち、その
針状体の長軸もフィルムの表面に対し垂直に配向してい
る、即ち針状体の長軸が結晶子の゛Cパ軸と平行になっ
ていることを示している〇釧状結請、子の幅はメッキ中
に用いたメッキ電流密18−と浴温度に依り、数百〜千
オングストロームをlヒ(える範囲で変えることができ
る。結晶学的及び形態」二の両方力異方性とじてこJ)
釉のフィルム面に垂r1′、1な好廿しい配向をしてい
る哄型的フィルムの1; F Mによる微細構造は、第
11A図及び第5 11B図に示されている。この場合SFAM微細構造は
表IIの試料091980−08からとっである。第1
1B図は第11A図に示した構造の一部の拡大写真であ
る。
好ましい配向、即ち大きな(002)ピーク強度をもち
、(100)及び(101)の方の配向が全く又は実際
上存在しないCOフィルムの垂直(±)磁気ヒステリシ
スループは、第12B図に示すように約1.2 koe
 K等しい高い保磁力B’c  をもつ良好な平行四辺
形状の形を示している。垂直(1)及び平行(11)ヒ
ステリシスループ86及び88は表IIの試料0919
80−02でとったもので一方、(100)又は(10
1’)軸をフィルム面に垂直にして配向した結晶子をい
くらかもつフィルムd:、表■の全ての電’jj’jフ
ィルム及び表11の約2Q mA/cm”  よシ大き
な電流密度で′電気メッキしたフィルムの場合であるが
、第12A図のループ82の例で示しだように、垂直、
平行ヒステリシスループについて平行四辺形状の形が一
ノ曽悪くなっていることを示している。垂直及び平行ヒ
ステリシスルろ6 −プ82及び84は表Iの試料091980−05につ
いてとったものである。之等のフィルムは第10A図及
び第10B図に示したように、奸才しい強い(002)
配向を示しているが、それらは約0.751<Oeに等
しいHc  の如き低い保磁力値及び平行四辺形J〕形
θ)よくないループを示しでいる。
実施例2 実施例1の試料と共に用いた同じ非線!ig >4 ’
Iff性基材12−&夾施例2の試料と一緒に用いた。
メッキ治も塩化コバルトのモル含有量を除き、同じであ
った。メッキ浴浴液は1モルのスルフアミド酸コバルト
、0.05モル/lの塩化コバルト、CoC42′fK
:含み、浴液のPHは0.1モル/ l Ba、(OH
)2酢液により6.5の値に調節した。この浴は記録上
の1≠I的から1浴L Cjと叶ぶことにする。
6組の試料を22°C835“′C及び50℃の温度で
調節した。2堝−の試料の組の各々の結果を衣用■及び
vVC示す。
表■ 第1組試料、pH=6.5.22°Cで浴TJCでメッ
キ。
110480−01 10mAhIL25分    1
μm11048002 20mAAm22分、30秒 
 1μm110480−03 5[JmA/m21分 
   1 μm11[J480−04 5ma%m21
0分    1μm110480−05 7.36mA
/&m”  7分、9秒  ’;:: 1 am110
480−06 7mh/am27分、9秒  1μm1
10480−07 2mIV′CTn225分    
1 μm110480−08 30mA/cr/121
分、40秒  1 ttm表■ 第2組試料、pH=6−5.65°Cで浴LOでメッキ
120480−01 10mVcrIL”   5分 
   1μm120480−02 20mA/m22分
、60秒  1μm120480−03 5mA/m”
   io分    1μm120480−04 35
mA/m21分、26秒  1 μm120480−0
5 50mA/m”   1分    1μm1ml2
O48O−062,4m”    25分    1μ
m120480−07 15mA/m”    3分、
20秒  1μm120480−08 3.5mIV/
Cm2 14分、17秒 1μm120480−09 
1浴L、/m250分    1μm表■ 與)、6絹試利、PH=6.5.50°Cで浴LOでメ
ッキ。
120580−01 10mA/CrIL25分   
 1μm120580−02 20mA/m22分60
秒  1μm120580−03  5mAAL2  
   10分        1  ttm12058
0−04 35mA/2z”   1分26秒  i 
μm12058[1−0550+nAAut21分  
  1μm12058[)−062mA/m225分 
   1μm120580−07 70mA/u+24
3秒    1μrn1205130−08 100m
AATn250秒    1μm実施例1の試料の場合
の如く、表IH5IV及び■の三つの組のCoフィルム
をX線回折測定にかけ、結晶子の好捷しい配向の程度を
決定した。之等三つの組の試料の結果’ ■(002)
 /よりG−■(10θ)/より。及び工(101,1
/よりGの比対電流密度として第16図にプロットしで
ある。
第16図に示されているように、浴LOKよる電光・フ
ィルムは、浴温度22°Cで広い範囲の′醒流密度即ぢ
2mA/C7n2〜10mA/crIL2の範囲で垂直
9 異方性を示し、浴温度65℃で2mA/cTL2〜20
mA / cs”、浴温度500Cで2 mA / c
IrL2〜7QmA/cTL2の範囲で垂直異方性を示
している。
電流密度は、大きな面積をもつフィルムの実際的製造に
対し、かなり広い範囲の温度及び電流密度に亘って好ま
しい配向及異方性をかなり一定した程度で与えている。
従って媒体製造工程でフィルムの大きな面積に亘って結
晶子の好ましい配向について望丑しい均一性ケ得るため
には、精密な浴条件、温度或は適用電流密度については
問題にする必要はない。従って浴温度及び電流密度につ
いてのオ′i′l密な制御がいらないことにより、媒体
製造工程及び製造課のコストを甚だしく低下することが
できると共に、一層連続的に再現性ある磁性媒体製品を
つくることができろ。
好1しく配向したフィルムは、22°C165°C及び
50°Cの各浴温度での試料からの三つの試料について
第14A図、第14 B図及び第140図に示したルー
プで例示しであるように、垂直磁気ヒステリシスループ
は良好な平行四辺形の形な示0 している。第14 A図は表Illの罪1組の試料11
0480−05についての垂直及び平行の磁気ヒステリ
シスループ90及び92を示している。
垂直磁気ヒステリシスループ90は約1.1 KOeに
等しい大きな保磁力He ’l”もつ良好な平行四辺形
の形を示している。al JB図は表■の第2組の試料
12 [] 4’ 80−01についての垂直及び平行
の磁気セステリシスループ94及び96を示している。
垂直磁気ヒステリシスループ94は、約1.3KOeに
等しい大きな保磁力H8をもつ良好な平行四辺形の形を
示している。!4140図は表■の第6mの試料の12
0480−07についての垂直及び平行の磁気ヒステリ
シスループ98及び100を示している。垂直磁気ヒス
テリシスループ98は約i、3KOeに等しい大きな保
磁力Hcをもつ良好な平行四辺形の形ン示している。
実施例6 実施例1及び2の試料と共に用いたのと同じ非磁性導電
性基材12ケ、同じ〈実施例乙の試料と一緒に用いた。
しかし、実施例2で用いたメッキ浴の因子を変え、その
浴を記録上の目的から「浴工」と呼ぶことにする。この
メッキ浴溶液は1.7モル/lのスルフアミド酸コバル
ト、0.2モル/lの塩化コパル)C!ocJ2を含み
、溶液の−は0.IBa (OR) 2溶液を用いて6
.5の値に調節した。記載の電着フィルム試料について
の結果を表■に記載する。
091280−05 5mA/ci   io分   
 1μm0991280−08 7+r+AAm”  
  7分、9秒  1μm091280−04 10m
A/crn25分    1μm091280−07 
15rnN鍾2 2分、60秒 C]、75.cim実
施例1及び2の試料の場合と同様に、表VlのCoフィ
ルムなX趣回折測定にかけ、結晶子の好丑しい配向の程
度乞決定した。之等の試料の結果を工(002) / 
■BG及び工(100) / IBG比対電流@贋とし
て第15図にプロットしである。
電気メッキ浴工による電着Coフィルムは、或る範囲の
電流密度即ち約4.8 mA / cm” 〜10 m
A/cnL2に対し、浴温度22°Cで垂直ヒステリシ
スループ及び垂直異方性について良好な形の平行四辺形
状態を示している。ここでも大きな面積のフィルムを実
際に製造するに当って、かなり広い範囲の電流密度に亘
って好ましい配向及び異方性の程度かかなり一定してい
ることを示している。X線回折分析に基き、好ましい配
向、即ち全ての結晶子の結晶学的°“C”軸がフィルム
面に垂直に配向したCOフィルムを、22°Cのメッキ
浴温度の浴工及び約5〜10 mA /(Im”の電流
密度を用いて得ることかできる。10 mA / cm
2より太きいと、(100)回折線が現われ、II C
IT軸をフィルム面に垂直な方向とは別の方向に配向し
た粒子かいくらか存在していることン示している。
実施例4 前の実施例の試料と共に用いたのと同じ非磁性導電性基
材12を、同じ〈実施例4の試料と共に用いた。しかし
異なったメッキ浴を用〜)、それを記録上の目的から「
浴A」と呼ぶことにする。こ6 のメッキ浴溶液は1モル/lの硫IF2コバルト、CO
SO4,0,1モル/lの塩化コバルト、Co(J2’
&含み、その溶液を609/lのH3BO3緩衝し、溶
液のPTlをNaOH溶液で6.65の値に調節した記
載の電着フィルム試料についての結果ビ表Vllに記載
試料はpH= 6.35で、26°Cの浴Aでメッキし
た。
082680−01 50mA/c1rL”  1分 
   1μm082680−03 40mA/m”  
 1分、15秒  1μm082680−04 30m
AAnL21分、40秒  1μm082680−05
 20m鞄2 2分、60秒  1μm082680−
06 70mAA?   43秒    1μm082
680−07 100mAAx”  30秒    1
μm082680−08 25mAArr22分   
 1μm082680−09 10mIVC*25分 
   1μm前の実施例の場合と同様に、表■のCOフ
ィルムをX線回折測定にかけ、結晶子の好ましい配向の
程度を決定した。2等試料の結果乞工(002) /工
お。、及び工(100) /工、。の地動電流密度とし
て4 第16図に同じくプロットしである。
電気メッキ浴Aにより電着したcoフィルムは成る範囲
の電流密度、即ち約40 mA / ts2〜70mA
 / cm2の範囲で、浴温度26°Cで良好な形の平
行四辺形状態を示している。ここでもかなり一定した8
厩の好ましい配向及び異方性が、実際的人面槓フィルム
の製造に際しかなり広い範囲の電流@度に亘って示され
ている。X線回折分析に基き、好捷しい配向即ちフィル
ム中の全ての結晶子の結晶学的゛C′”軸がフィルム面
に苅し垂直に配向したCOフィルムが、メッキ浴温度2
3°Gの浴A及び上記範囲P」の電流@度ケ用いて得る
ことができる。約40 mA / CnL2より低いか
或は約7 Q mA /crn2より筒いと、(100
)回折線が現われ、nCnCnフケフィルム面直な方向
とは別の方向に配向した粒子がいくらか存在しているこ
とを示している。
この実施例のフィルム試料は、良好な平行四辺形を示す
垂面ループ状態をもつ好ましい配向に示しているが、フ
ィルム試料は前の実施例と比較してわずかに低い保磁力
H8を有する。例えは試料082680−0(SのHo
は約650 oe、試料082680−03及び082
680−04は約7000θ、試料082680−08
は約72000である。
実施例5 実施例1の完全に好ましい配向乞したCOフィルムを得
るためのメッキ条件を、異なった種類の非磁性導電性支
持体について再び適用した。先ず全ての場合について基
材12はmx性基材であった。第二に、被緩は三つの異
なった種類のものからなる。支持体Aはアルミニウム基
材を無電解銅で被覆し、次いでニッケル燐、NiP、で
被覆したものからなる。支持体Bは銅テープ基材をニッ
ケル燐で被覆したものからなる。支持体Cはアルミニウ
ム基材にスパッタでCo −Re ’fg被覆したもの
からなり、然もその被覆は2000Aの厚芒で、全ての
結晶粒子のN CII軸がフィルム面に対し垂直に配向
した好ましい配向のHOP 0oRa結晶子からなるも
のであった。
支持体A、B及びC上に、表1及び■に記載した試料の
フィルム厚及び電流密度で形成した電気メッキCOフィ
ルムは、ヒステリシス特性及び好ましい異方性配向、即
ちフィルム中の全ての結晶子の結晶学的” II軸及び
針状粒子の長軸が、実施例1で最初用いた導電性被稜ヲ
もつガラス支持体で達成されたのと同じように、フィル
ム面に垂直に配向している点に関し、本質的に同じ結果
!与えた。
■ 後処理 実施例に の実施例は、強めた粒子境界反応により後で処理した電
気メツキCoフィルムに関する。この後処理はjH性フ
ィルムの電気化学的陰極処理によって達成される強い粒
子境界拡散である。
実施例1の試料と共に用いたのと同じ非磁性基材12を
実施例6の試料と共に用いた。メッキ浴も同じであった
か但し塩化コバルトのモル含txtか異なっていた。メ
ッキ浴溶液も実施例20時と同シであり、1モルのスル
フアミド酸コバルト、7 0.05モル/lの塩化コバルト、C! o CM 2
を含み、溶液(7) PHは0.1 % ルア 1のB
a(OH)2溶液によって6.5の値に調節した。この
浴を記録上の目的から[浴LAJと呼ぶことにする。表
■の四つの試料全てに対するフィルムメッキ条件は、浴
温度65°C。
電流密度20mA/c/112であった。フィルムの厚
さは全て約1μmであった。
陰極処理は、第5図の電気メツキ装置40中の溶i44
の代りに、0.1モル/l!のチオレア(Th1are
a )と3.OeC/lのH2SO4の酸溶液用いるこ
とを含んでいた。陰極48としてのCO試料と陽極46
との間の印加電圧の適用により浴液から陰極作用で発生
した水素がフィルム中へ拡散していく。水素の拡散速展
は結晶子の本体中へ、特に粒子前端部52の所から入っ
ていくよりも、フィルノ、140粒子粒子境界拡散って
いく万が速い。
結局、針状結晶子間の間隔は非磁性Co−H化合物又は
合金により占められ、それによって結晶子間の分離が増
大すると共に、消磁場Hdが減少する。
8 四つの試料についての陰極処理の電流密度、処理時間及
び浴温度は表■に示しである。
表Vll1 100180−01  0     0    25°
0100380−05  4.5mA/m24分   
 25°C100680−054,5+r+A、628
分    25°0100680−04  10mVc
TrL28分    25°C117A、B、O及びD
は夫々これら四つのフィルム試料についての垂直及び平
行の磁気ヒステリシスループを示す。比較のため、処理
を適用しない場合の試料100380−04のヒステリ
シスループ(第17A図の平行(11)及び垂直(±)
のループ102及び104〕と、処理Y適用した場合の
試料100680−05.100680−05及び10
0680−04のヒステリシスループ〔第17B図の平
行(11)及び垂直(土)ループ、106及び108、
第170図の平行(11)及び垂直(±)ループ、11
4及び116、及び第17D図1の平行(11)及び垂
直(±)ループ、118及び120〕が示されており、
保持力H8のゎずがな増大及び消磁場Hdの大きな減少
が、第17B図、第170図及び第17D図の垂直ヒス
テリシスループ108,116及び118の傾きの著し
い減少によって示きれている。斯様に、水素陰極処理に
よる強力な粒子境界拡散により粒子間分離を効果的に増
大し、それによって消磁場ケ減少し、従って保磁力H。
ヲ増大すると同様、Mr/ M、比を増大する。
一層大きな電流@度、例えは20mA/cfn2〜10
0 mA /an2でメッキした他の試料を陰極処理す
ると、粒子相互間の結晶子分1’&与えるこの処理の有
効性は、低い電流@度、例えは20以下から30 mA
 / cm2の電流密度でメッキした試料の場合程効果
的ではないことが示されている。なぜならフィルム中に
好1しくない配向をした粒子が存在するからである。
実1m例7 この実施例は、別の種類の促進した粒子境界反応を後で
施した′[1モ気メツキCOフィルムに関する。
この候処理は磁性フィルムを陽極処、g、11すること
により連成されるり!1)めた粒子境界食刻である。
実施例1の試料と共に用いたのと同じ非磁性暴利12を
、この実1iiu例7の試料と共に用いた。メッキ浴も
、塩化コバルトのモル含有量の点を除き同じものであっ
た。メッキ浴溶液は実施例乙の場合と同じで、浴LAか
らなっていた。表■の三つの試料の全ての場合について
、メッキ条件はメッキ浴温1ザが50℃、電流密度が4
0 mA/α2であった。フィルムの厚さは全て約1p
mであった。
上記浴により生じた好ましい配向をもつ三つの電気メツ
ギOoフィルムを次に装置t!r40の陽柿5:46上
に同定した。浴液44の代りに0.1モル/lのチオレ
アと30CC/lの帳H2S 04の酸溶液からなる浴
をタンク42中に用いた。この配置で、材ヰ1は印加′
電流の下で針状粒子の粒子境界22に沿って優先的に食
刻され、それによって結晶子間の1 分離が効果的に増大した。結局、フィルムの消礎賜は減
少し、Mr / Ms比はJI、・Iし、Haは増大す
る。
三つの試オ・1についての電流密度、li!極処理時間
及び浴温度は、表■に示しである。
表 ■ 1[]1380−012.5mA/cn+22分  2
4°C’101580−[1132,5mA、/cm2
5分  24°C101380−022,5mA/Cn
+28分  246C第18A図、第18B図及び第1
80図は之ら三つのフィルム試料について、平行01)
及び垂直(1)の磁性ヒステリシスループ、122及び
17、4 、126及び12B、132及び134を夫
々示している。
陽極処理は、第17A図の未処理フィルムの垂直(1)
ヒステリシスループ104と比較して、垂直(」−)ヒ
ステリシスループ124 、128及び134の傾斜の
減少で示されるように、消磁用Haを効果的にか・少さ
せ、従って結晶子間の材料2 を′iL気化学的に食刻除去してそれらの分離を効果1
1’lに増大することにより、磁・1・−1:、OOフ
ィルムのMr / M[]比を」1・1大し、保持力H
aを増大することになることは認めらるべきである。
より、針状結晶子間の分1錐を効果的に増大でき、従っ
て消イ妊効果が減少する外、Hcと、Mrの値が増大す
ることを示している。従って之等の処理技術を用いて、
特定の垂直記録用に望ましい特別なヒステリシス特性を
与えるようフィルムを処理することができる。
実Bi丘例8 この実施例は更に別の楯頒の後処理を恢で施した′電気
メッキCOフィルムに関する。この後処理は、酸浴の中
で磁性フィルムを化学的に食刻処理することにより達成
される強力な粒子境界食刻である。
’J52it’i例7の浴LAによってつくった好まし
い配向をした′電気メッキCOフィルムをこの実施例8
の後処理のために用いた。食刻浴は溪H2SO40,1
モル/lの溶液からなるものを食刻用タンク中で調製し
た。フィルム試料をその酸浴中に入れ、針状結晶子の主
要部よりは大きな速度で粒子境界22に沿って優先的に
椙料を食刻除去した。これにより増大した粒子間分離が
得られた。表Xは試料の食刻処理時間及び浴温度を示し
ている。
表  X 101480−05  8分   24°Cerg 1
9図に示した平行(11)ヒステリシス及び垂直(土)
ループ136及び138をH:、gべることにより、同
じ浴LAでつくった未処理Ooフィルムに比較して、消
磁用の減少、Mr / Ms比の増大及びHa の増大
を知ることができる。しかしこの食刻処j11!の効果
は、同じような処理時間では実施例7の陽極処理はど顕
著なものではない。
実施例9 前に示した如く、実ah例6〜実施例9の後処理は、こ
こに記載した電〉(メッキ法で製造したフィルムに限定
されるものではない。之等の処理は、垂直記録に有用な
垂直異方性をもつフィルムを与える他の方法でΦ゛!潰
される池の磁性フィルムに容易に適用することができる
。この実h11(例では普通のスパッタリング法でつく
た垂直異方性を有するフィルムにり・ii T/J f
:c粒子、1・゛1c界拡散を!I−]用する。
スパッターによる0o−Rθ合金フィルムを従3i4の
スパッタリング製筒を用いて、前に論じた電気メッキで
つくったフィルムと同様な結晶学的及び結晶子形態の好
ましい配向をもつように製造した。
好ましく配向したフィルムを得る方法及び条件は、ザ・
ジャーナル・オブ・アプライド・フィジックス・J−A
、T)1)−Phy−50、4285(1979)に報
告されているTuOhen及びG 、B 、 Ob、a
rlanによる「スパッターによるCo−Rθ薄膜の高
保磁力及び高ヒステリシスループ矩形性(Hlgh 0
oercivityand、Hj、gh  Hyste
risis  Loop  5quareness  
ofSputtered 0o−Re Th1n Fi
lm) jという表題の論文中に記・j&された方法と
同様である。この実IMj例で5 製造された試別は、COと10原子%のReとからなる
合金ターケゝットからスパッターで製造した。
スパッターは75ミクロンのアルゴン圧で行なった。フ
ィルムは約3[10[]Xの全フィルム厚が得られる迄
、o、5A/抄の伺着辷度で100℃でガラス基材上に
付〃1させた。佃陪したままのフィルムは完全な異方性
を示し、フィルム中の全ての結晶子+7J・C・軸が、
実施例1及び第9A図及び第9B図に関連して記述した
x HA回折法により見出すことができるように、フィ
ルム面に垂直に配向している。之等のフィルムでは、消
磁場の減少を伴った垂直異方性は、00をReで合金に
することによりフィルムの磁化を減少させて達成されて
いる。従って之等のスパッターで付着したままのフィル
ムについては、それらの消磁場Hd及び保磁力Ha は
、従来のスパッターによる製造でイ(すられることか現
在知られているそれらの性質の限界を超えて改良するこ
とはできない。
垂直記録用媒体として用いるためには、消磁効果の一1
1Jの減少、Mr / Ms比及びHaの増大が低6 周波記録のためにはj6々必要になってくる。従ってス
パッターしたままの状態のフィルムの消磁場を更に減少
し、Mr/Ms比及びHcの値を増大するためには、後
処理として強力な粒子境界拡散処理を既にスパッター形
成したOo −Rθフィルム試料に適用し、結晶子間の
磁気分離を増大し、それによってHdを減少し、Mr/
Ms比及びHeを増大する。特ニコノ実施例では、(7
0−Re 121478−〇1の記号で示したスパッタ
ーによるフィルムを、600°Cの炉で大気中で18時
間熱処理し、酸化による粒子境界拡散を促進した。
付yDさせたままのフィルムと酸化焼鈍をしたフィルム
に対する垂直(↓)及び平行(11)のヒステリシスル
ープについて磁気ヒステリシス測定をした結果を第20
A図及び第20B図に夫々示す。
未処理フィルム及び処理フィルムに夫々対応する平行(
11)ループ142及び146の相対的傾斜を、末処]
シ1!フィルム及び処J41jフィルムに夫々対応する
垂直(↓)ループ144及び148の傾斜と比較するこ
とにより、処」)1!フイルムは、平行(11)ループ
146に門して垂直(±)ループ148の傾斜の減少に
よって示されているように、消磁場の減少を示している
ことが分る。亦、処理フィルムのMr/Ms比と同様保
持力Hcも、未処理フィルムのものより増大しているこ
の実施例の結果は、強力な粒子境界拡散原理を、垂直異
方性を有するスパッター形成フィルムにも適用できるこ
とを例示している。
本発明を特定の具体例に関連して記述してきたが、今迄
の記述を参照することにより多くの別のやり方、修正、
変更が当業者には明らかになることは明白である。−例
として、本発明を実施するのに、co又はOo合金以外
の磁性材料及び合金を用いることである。従って本発明
は特許請求の範囲内に入るそのような別のやり方、修正
、変りは全て含むものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は、針状倣細結晶及び磁化容易軸を層表向に対し
垂直にしたそれら粒子の結晶3.配向を例示した本発明
の媒体を概1116的に示す立ノLす側面図である0 第2図は、消イa隻を含む理想化した無′i′c1:・
平面内M −Hループを例示したグラフである。 第61□71は、消磁場を含む実荻的垂直M−Hループ
及び消磁場を実験的M −11ループから減じた後の固
有M−Hループを例示するグラフである。 第4A及びな4B図Llいずれも希望の垂直異方性をも
つ実際的記録用媒体に対する消磁楊を含むM −11ル
ープを例示したグラフである。 第5トン1は、本発明による垂直co 基礎磁性記録用
媒体を製造する方法を実施するのに用いられる′市シ、
h装置iftを例示する概略的側面図である。 第6図は、本ジC明を構成する電ン笥法で柱状(イ4造
体を形成する細胞状成長機構を詳細に例示する図である
。 第7図は、磁性粒子間のJ37子相互の分離を大きくす
るため、増大させた粒子界面拡散処理にかけたrヲの磁
性フィルムを概l11?5的に例示する図である。 第8図は、磁IlN、粒子間の粒子相互の分離を大きく
するため、増大した粒子界面食刻処理にかけた9 後の磁性粒子の微細シイ4造を軸1 +1gS的に例示
する図である。 第9A図は、実施例1の電着磁性フィルム試料の表面に
よるX線回折像で、粒子のいくつかがそれらのl c 
l軸をフィルム面に垂直ではなく、フィルム面内に配列
している場合の回折像である。 第9B図は、実施例1の電着磁性フィルム試料の表面に
よるX線回折像で、全ての粒子がそれらの°C″1li
tf+をフィルム面に原則的に垂直に配列している場合
の回折イ・9である。 第10A図は、実施例1のフィルム試料のための第一浴
温度での回折強度比対’R7Lj電流蕾度、及び成る範
囲のフィルム試別についてフィルム中の粒子の成る好ま
しい配向を例示するグラフである。 第10B図は、実hla例1のフィルム試料について第
二浴温度での回折強度比対’f6着′亀流密度、及び同
じ浴で得られた成る範1)[(のフィルム試別について
のフィルム中の粒子の完全な好ましい配向を例示するグ
ラフである。 第100図は、実施例1の完全に好ましい配向0 をしたが:利についての第二浴温度での回折強度比対厚
さく Pm)を例示するグラフである。 第11図は、完全に好ましい配向をしたフィルムの破断
面について得られた基材上に支持された電着磁性フィル
ムの電子顕微鏡(SEM )写真で、全てがフィルム面
に対し直角に配向した望ましい自、1状或は柱状磁性結
晶粒子を例示する写↓゛4である。 The 12 A図は、強い好ましい配向を・している
が、フィルム面内に“c l軸が配回したいくつかの粒
子を泊゛する第9A図の電着磁性フィルム試料のフィル
ムlf+iに平行(11)及び垂直(土)に適用した4
ia場についてとったM −Hヒステリシスループの軌
跡を示す図である。 ゝ第12E図は、完全に好ましい配向をした第9B図の
電着磁性フィルム試別のフィルム面に平行(11)及び
垂直(±)に適用した磁場についてとったM−Hヒステ
リシスループの軌跡を示す図である。 第13図は、実唾例2の別の′tt着浴で得られた磁性
フィルム試料についての、第一、第二及び第三浴温度で
の回折強反対電流蕃度、及び特定のフィルム試料の各々
についてのフィルム粒子の好ましい配向の程LPを例示
するグラフである。 第14A図は、第一浴温度で電着した第13図の完全に
好ましい配向をした磁性フィルム試料のフィルム面に対
し平行(11)及び垂直(1)に適用した磁場について
とったM−)Iヒステリシスループの軌跡を示す1てで
ある。 第14B図は、第二浴温度で電着した第16図の完全に
好ましい配向をした磁性フィルム試料のフィルム面に対
し平行(11)及び垂直(±)に磁場を適してとったM
 −Hヒステリシスループの軌跡を示す図である。 第140図は、第三浴温度で電着した第16図の完全に
好ましい配向をした磁性フィルム試料のフィルム面に対
し平行(11〕及び垂1ホ(1)に磁場を′114用し
てとったM −Hヒステリシスループの1IdL跡を示
す図である。 第15図は、第3図のフィルム試料について、前の実M
a例と比較するようにして、第一温度でのスル7アメー
トを2□(にした電着浴の異なった濃度で得られた磁″
1イLフィルム試料の回折強電対電流密度及び成る範囲
のフィルム試料についてのフィルム粒子の好ましい配向
を例示するグラフである。 第16図は、実I11:E例4のフィルム試料について
、+119実施例と比11をするようにして、第一温度
での(pfrl 酸塩を基にした電着浴で得られた磁性
フィルム試料の回n1゛強度対電流密度、及び成る範囲
のフィルム試料についてのフィルム粒子の好ましい配向
を例示するグラフである。 第17A% 17B% 170及び17D図は、陰41
′lJ2処理で水素拡散による後処理を前に受けた実施
例乙の四つの磁性フィルム試料のフィルム面に対し平行
(11)及び垂直(±)に磁場を適用してとったM−H
ヒステリシスループの軌跡を示すグラフである。 第18A%  18B及び180図は、陽イ所処]ノ■
をJIIいた強力な粒子界面長剣による後処理を前に受
けた実1jl’li例7の三つの磁1イトフィルム試料
のフィルム面に平行(11)及び垂直(±)に磁場を適
用し3 てとったM−Hヒステリシスループの軌跡を示すグラフ
である。 第19図は、IM単な化学的食刻による後処理を行なっ
た後の実施例8の= igcフィルム試料について、フ
ィルム而に平行及び垂直(±)に磁場を湾ハ1してとっ
たM−Hヒステリシスループの軌跡を示すグラフである
。 H20A IA及び第20E図は、夫々、スパッタリン
グで形成したフィルムについて強力な粒子界面拡散機構
を示す酸化による後処理を受ける11J及びイ災の、実
施例9の磁性フィルム試料についてフィル面に対し垂直
に磁場を適用してとったM−Hヒステリシスループの軌
跡を示すグラフである。 12・・・41′腎性支持体、14・・・磁気記録用層
、16・・・針状粒子、22・・・粒子境界。 代理人 浅 村   皓 外4名 4 FI6.1 FIG、5 FIG、6 FIG、 7 (( H6,8

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)基材に、針状結晶磁性粒子からなる薄い磁性層を
    上に付着させたものからなる連続的な薄いフィルム状磁
    性媒体で、各粒子中の結晶の結晶学的1C“軸が針状結
    晶の長軸に平行に配向されておシ、針状粒子の長軸が前
    記磁性層の平面に対し実質的に直角に配向されているフ
    ィルム状磁性媒体を、磁性粒子間の分離を効果的に増大
    し、それによってフィルムの消磁場を減少させながらそ
    れらの保磁力を増大するように後処理する方法において
    、該磁性層に反応剤を拡散させるか又は磁性層を食刻剤
    で食刻することによシ粒子相互間の境界で強力な粒子界
    面反応を与える工程からなる磁性フィルム後処理法。 (2)  強力な粒子界面反応を与える工程が、反応剤
    を苫む溶液を直憧作用によって電気化学的に荷電し、そ
    の溶液中に磁性層を浸漬し、それによって反応剤を、磁
    性層を構成する針状粒子の外側部分中に拡散させること
    からなる前記第1項に記載の方法。 (3)反応剤が、溶液から陰極作用によって生じた水素
    、酸素又は窒素からなる群から選択される前記第2項に
    記載の方法。 (4)強力な粒子界面反応を与える工程が、酸化性雰囲
    気の存在下で磁性層を加熱し、それによって磁性層を構
    成する針状粒子の外側部分に酸素を拡散させることから
    なる前記第1項に記載の方法。 (5)強力な粒子界面反応を与える工程が、針状粒子を
    構成する物質とは異なった元素の蒸気相の存在下で磁性
    層を加熱し、それによって針状粒子の外側部分に該元素
    を拡散させ、内部磁性心を取シ巻く非磁性層を形成させ
    ることからなる前記第1項に記載の方法。 (6)強力な粒子界面反応が、食刻剤を含む溶液で選択
    的に食刻し、磁性層を溶液へ浸漬し、それによって磁性
    層を構成する針状粒子の外側部分を除去することからな
    る前記第1項に記載の方法。 (力 強力な粒子界面反応を与える工程が、反応剤を含
    む溶液で陽極作用により電気化学的に食刻し、磁性層を
    核浴液中に浸漬し、それによって磁性層を構成する針状
    粒子の外側部分を除去することからなる前記24!1項
    に記載の方法。 (8)磁性層がCO又はその合金の磁性針状粒子からな
    り、前記第1項〜第7項に記載の方法のいずれかに記載
    の後処理を施した磁性記録用媒体。 (9)  前言己第1項〜第7項のいずれかに記載の方
    法によって後処理された磁性記録用媒体。 (10)磁性層が電気化学的方法、スパッタリング法又
    は真空#:着法によって前身って作られており、MfJ
    記第1項〜第7項のいずれかに記載の方法により後処理
    された磁性記録用媒体。
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Özdemir et al. Investigation of the structural and magnetic properties of the cobalt-nickel alloys fabricated in various electrolyte solutions