JPS587128A - 光学的アナログデイジタル変換方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は光学的アナログディジタル変換方法及び装置に
関する。

電子回路を用いることによりアナログデイジタルコーグ
を作製することが公知である。しかし、集積された光学
技術は電子工学での性能レイルに比較し得る性能しばル
を有する信号処理操作を実行することを可能にする。従
って、集積された光学振幅変調器の特性を用いてアナロ
グデイジタルコーグを作製することが公知である。この
振幅変調器はマツハーゼンｒラー（Ｍａｃｈ−Ｚｅｎｄ
ｌｅｒ　）型二波干渉計を集積変形したものである。そ
のような干渉計では伝送された光強度は干渉計の２つの
アーム間で作られた位相ずれの関数として正弦的に変化
する。この位相ずれは導波管の両側に配置された電極間
の電位差を付与することにより得られろ。そのようなア
ナログデイジタルコーグでは変調器の数は出力ワードの
ビットの数に対応する。数字化されるべき信号は夫々全
てこれらの変調器に対応しながら電極に適用される。

グレイ（Ｇｒａｙ　）コート９システムを考慮するとき
これは各々の転移に対し同じ絶対的な精度を課し、従っ
て相対的な精度は動的制限であり得る出力ワードのビッ
トの有意さに比例して増加する。

集積された光学振幅変調器の特性を用いる本発明による
方法はこの制限を有していない。

従って本発明はディジタル出力ワード９のｎビットに対
応するｎチャネルを有するコーグでの光学的アナログデ
ィジタル変換方法に関するものであり、各々のチャネル
は電気光学的物質基板の表面に２つのアームを有する干
渉計を含む少くとも１つの光強度変調器を有しており、
現れる放射強度は干渉計のアームの少（とも１つの近傍
での基板の表面上に配置された電極間の電位差の付与に
より導入された位相ずれの関数であり、数字化されるべ
き信号Ｖ（ｔ）を表わｊ’ｌ’ｌｔ位差の１つは電極の
端子での全ての干渉計に付与され、その長さは−２ チャネル１に対しＬｌ＝２　　　Ｌｌであり、（ここで
１は２からｎまで変わり得、Ｌｌはチャネル２に対する
電極の長さであり、）チャネル１は出力ワード９の最も
有意なビット１に対応し、チャネル１＋１の出力信号が
正のとき、補足的位相ずれ＋ΔΦは前記チャネルｌに対
応する変調器のアームの少（とも１つに対応する電極の
端子に電位差を付与することによりチャネル１の出力信
号に導入され、信号チャネルｔ＋ｉの出力信号が負のと
き、補足的位相ずれ−ΔΦは前記チャネル１に対応する
変調器のアームの少くとも１つに対応する電極の端子に
電位差を付与することによりチャネルｌの出力信号に導
入され、位相ずれΔΦは１ΔΦ１〈ｒ／２である。

本発明は又この方法を遂行するための装置に関する。

本発明を非制限的具体例と添付図面に関し以下で詳細に
説明する。

第１図には先行技術による集積された光学的アナログデ
イジタルコーグが図示されている。これは２つのアーム
を有する干渉計と共に製作された光強度変調器を含む構
成部品に基き作製されている。レーザ源により作られた
光波１１は６つのチャネルを有する装置の入力に供給さ
れ、各々のチャネルは基板１０上で集積された基本的光
学変調器を有している。従って出力ワードの１ビツトが
各々の変調器に対応する。

数字化される信号５（ｔ）は各々の基本的光学変調器に
属する電極に適用され、前記電極の長さは異なる。チャ
ネル１の変調器に対しては長さＬｌがあり、他のチャネ
ル２．３．４．５．６に対しては長さＬｌ　　＋　ＬＳ
　　＊　Ｌ４　　＋　”５　　＋　Ｌ６がある。

このように出力導波管に到達する２つの波の間で位相ず
れを調整することが可能であり、従って信号期間はＩ、
＝ｆ（ΔΦ′）である。

純粋の二進コード及びグレイコート９に対し１が２から
Ｎまで変化し、この場合Ｎ＝６である関数Ｌ１＝２”Ｌ
ｌが考慮される。従ってディジタル出力ワード９のビッ
ト１を表わす信号期間は信号１＋１を表わｊ信号期間の
２倍である。チャネル１は最も有意なビットに対応する
。グレイコードの場合ＴＪ１　”Ｌ２であり、他方純粋
二進コー１−９の場合Ｌ２＝２Ｌ１である。

これらの異なるチャネルの変調器に付与されたＶｉｂｉ
ａｓと呼ばれるバイアス電圧が考慮され得、前記電圧は
１つのアームに固定された位相ずれ又はノ２イアスを導
入することを可能にさせる。

これらの異なる電圧Ｖｉｂｉａｓは基板１０で集積され
た各々の基本的光学変調器の２つのアームで光学パスを
補償することを可能にさせろ。従ってこれらの光学・ぞ
スは作製方法の結果厳密に等しい長さではあり得ない。

従ってこれらの光学ノ２スは、特にグレイコードが用い
られるとき、補足的位相ずれを導入することを可能にさ
せる。この場合、１、つのディジタル値から次のディジ
タル値への移行は多重転換の危険性を防止するディジタ
ル値−Ｐの１個のビットを変更することにより生じる。

更に信号Ｓ　（ｔ　）　＋　Ｖｌｂｌａｓを１個の電極
に伝送することも可能であり、各々の干渉計は所定の長
さＬｉの１個の電極のみを有している。

１３に示された比較器が後続してなる光学検出器はこれ
らの変調器の出力に配置されており、固定された基準値
６０の関数としてそれらの出力値でＯ又は１を得ること
を可能にし、前記固定されダを表わしている。

出力でＡＮＤゲート１４は特別な瞬間での出力信号の有
意化を許容する。この有意化はこれらの変調器での経過
時間を考慮に入れ得る。例えばノＺルスレーザが入力１
１で用いられるとき、これは結局サンプリングを許容す
る。従って二進ワードが平行に得られる。そのようなア
ナログデイジタルコーダの応答時間が測定され、それは
０．５ナノセカンド以下である。

第１図では１つのアーム上に配置された長さＬｉの電極
が示されているが、又両方のアームに電圧Ｖ（ｔ）を印
加することも可能である。この場合位相ずれの値は２倍
になる。従って、電極と同時に変調器のアームを伸ばす
必要性をなくすため。

電圧Ｖ（ｔ）を、次に２Ｖ（ｔ　）を印加することが可
能であるが、しかし約２マイクロメータの導波管厚さに
対する４乃至５マイクロメータの電極間の距離に対し約
４０Ｖである破壊電圧による電圧制限がある。導波管の
屈折率と基板の屈折率間に存在するはずの差による別の
制限があり、従って３０Ｖの所与の最大値がある。

しかし第１図に図示された装置では、特にグレイコード
を用いるとき、各々の転換に対し同じ絶対的な精度が得
られねばならず、従って相対的な精度はディジタルワー
ドのビットの有意さと共に増加し、これは動的制限のも
とどなる。

次に比較器の出力での信号が考慮され、前記信号は零平
均値の周りで変化する。第２図は光強度ＩＥを変調する
ことを可能にする２つのアームを有する干渉計を図示す
る。この干渉計は光波強度ＩＥが連結されている単一モ
ード入力導″波管分岐１を含んでいる。分岐１は接合部
Ｂ１で単一モード導波管を構成する２つの平行なアーム
２及び３に更に分割され、これらのアームは再び接合部
Ｂ２で結合し、単一モード出力導波管分岐４を構成し、
ここで強度１１９を取り戻し得る。４つの導波管での伝
搬方向は同じである。実際この２つのアームを有する干
渉計は２つの出力を有している。従って信号が反対位相
にあるとき、光は基板内を伝搬し、導波管の中を伝搬す
るかわりに基板の中に消失するより高いモート９を励起
させる。電極は各々の導波管２．３の両側に配置面され
ており、例えば中央の電極Ｅｏがあり、アーム２の他方
の側には電圧ｖ２が印加されている電極Ｅ２があり、ア
ーム３の他方の側には電圧ｖ３が印加されている電極Ｅ
３があり、電極Ｅ０はアースされている。第２図に示さ
れた態様での電極装置、即ち、導波管を重ねずに隣接さ
せている装置は、前記各々の導波管２及び３で図面の平
面で導波管の伝搬方向に対し垂直な電界を生起させる。

この場合導波管で用いられる伝搬モート９はＴＥモーゾ
である。完全な装置はリチウムニオブ酸塩（ＬｉＮｂＯ
２）、　ＩＪチウムタンタル酸塩（ＬｉＴａＯ５）又は
ガリウム砒化物（ＧａＡｓ　）　などの電気光学特性を
有する基板の表面で作製される。例えばリチウムニオブ
酸塩基板では光学導波管は従来からの写真平版方法の結
果選択的なチタン拡散により得られろ。導波管に適用さ
れた電界が図の平面にある第１図の場合、リチウムニオ
ブ酸＋１　ｃ軸が又この平面にあり、最大の電気光学効
果を得るように導波管１乃至４に共通な伝搬方向に垂直
であることが好ましい。電圧ｖ２及びｖ５が同じ符号を
有しているなら、電界は各々の導波管に対する光波の伝
搬率に変化を生起させ、電圧Ｖ３は又伝搬率に比例する
逆方向−Δβ２での変化に通じる。これらの率変化は接
合部Ｂ２で、元々接合部Ｂ１で同相であった導波管２及
び３からの２つの波の間の位相ずれに通じろ。この位相
ずれΔΦ′はΔβ５Ｌ５＋Δβ２Ｌ２　ｉＣ等しく、こ
こでＢ２及びＩ、Ｓは２つの接合部Ｂ１及びＢ２間の電
極の長さである。一般ＫＬ２＋Ｌ３　＝Ｌであり、従っ
てΔΦ′＝（Δβ３＋Δβ２）である。明らかに２つの
’ｍ　ＬＥ　Ｖ　２又はｖ３の１つが零であり得、従っ
て変化Δβ５又はΔβ２のみに表わされ得、式中ｖＥは
Ｅに等１−い位相ずれｉＣに、市じろ′１ル圧の合計で
ある。導波管４で取り戻された光波は接合部Ｂ２に、入
ろ導波管２及び３Ｅ がらの波の結合から生じ、即ち、強度α−乏一の２つの
波はΔΦ′の相対的位相ずれを有している。従ｒｈ に１き表わすことが出来、式中α及びＭは結合損失及び
干渉計の非対称性て開存する定数である。

同様な結果は一対の電極、例えばＥｏとＢ５、でＩ。

も得られこの場合Δβ２−０及び工ｓ＝α７（１＋第３
図は２つのアームを有する干渉計の図であるが、しかし
この場合ｔ　極Ｅ　５及びＥＯは２つの導波管２及び３
の上の基板の表面上に配置されている。谷々これらの導
波管２及び３では、これらの電極装置は光波の伝搬に垂
直な及び図の平面に垂ＩＮな電界を生起させる。リチウ
ムニオブ酸塩Ｃ軸が導波管１乃至４に共通な伝搬方向に
垂直で図の平面に垂直であるのが好ましい。

第４図は接合部Ｂ２での位相ずれΔΦ′の関数として第
２図及び第３図に示されｆこ２つの型の干渉計に関して
、或いはアースに関する符号と共に電極Ｅ２及びＢ３の
少くとも１つに印加された電圧（′ａいは電圧の合計）
に等しい電圧Ｖでの現れる強匿工ｓ　　を表オつ丁曲線
である。■が零のとき、出力強矩１５は最大であり、Ｉ
ＳＭに等しい。■の絶対値が増加すると、光強度Ｉ３は
減少し、Ｖ−Ｖ７Ｈに対し最小値工ｍが得られ、前記値
工ｍは第４図に７ｒ 示されたように」！■論的に零であるＣＶン−の近（で
はＩｓの変化は最初にｉＣ又はＶの関数と同様Ｍ線速に
１曽〃口１−る。

以下では第２図に図示された型の干渉計が考慮されるが
、又第３図に図示された型の干渉計を考慮することも可
能である。

電極２及び３は又２つの部分圧分割され得ろ。

各々の干渉計アームの陵さの一部分は又第一電圧ＶＭか
ら得られた変調′１１４　’ｆｆ−にきらされ、他方他
の部分は第二電圧ＶＲからの変調電界にさらされる。

第１図で考慮されているのはこの型の干渉計である。

干渉計の２つのアーム２及び３に対し反対方向での同じ
強度の電界の伺与全通して変調器の感度は増加され、即
ち、所与の位相ずれを得るのに必要な変調電圧は減らさ
れる。

本発明は第１図に図示されたワードと同じ構造であり、
基本構成部品として前記変調器のような集積された光学
振幅変調器を用いるアナログディジタルワードに関する
。しかし、用いられた方法は前記問題を除去することを
可能にする。即ちあいまいさを除去する。

本発明の方法を用いることを可能にする装置が第５図に
図示されている。従ってｉが１とｎの間にあり有意さ２
−１と２−（１＋１４対志する変調器が考慮されるであ
ろう。

先行技術の装置では対応する出力信号は第６図に示され
たように２度のうち１回は同時に零を通過する。ビット
１にエラーがないよさにするため、零通過のときの精度
と関連増幅器の利得とはビットｌ＋１に対するよりも２
倍高（な（てはならない。これは速度、ワードの出力ワ
ード１のビット数、及び製作許容誤差に対し不利である
。

この問題を克服するため、本発明による装置６３の第５
図の回路を考慮しながら、第７図に図示された方法を用
いる。６４で検出されるビット１＋１に対応する信号２
０が正であるとき、例えば＋ｒ／４であり得る位相ずれ
＋ΔΦを導入することにより６７として示されたように
ビットｌに対応する信号２１の零通過は変位される。ビ
ット１に対応する新しい信号が得られ、即ち、信号は２
２である。

６５で検出されるビット１＋１に対応する信号２０が負
のとき、例えば−７ｒ／４の補足的位相ずれ−ΔΦを導
入することにより６６で示されるビット１に対応する信
号２１の零通過は変位される。

ビットｌに対応して新しい信号が得られ、即ちこの信号
は２３である。補足的位相ずれΔΦは１ΔΦ１アくＴ／
２である。

従ってビットに対応する信号２１は第７図の太い線で示
された結果として生じる信号２４により出力で置換され
る。この信号は前記のようにＯＲデート２８に続き信号
２２及び信号２３の部分により構成されている。

従ってビットｉ＋１に対応する信号２０が課されるため
、スイッチングレはルに関する不正確さは除去される。

従ってビット１＋１に対応する信号２０の連続する正の
ハーフサイクルは太い線で示された結果として生ずる信
号２４の一部である信号２２の正の、次に負のハーフサ
イクルと同相であるということが明確である。同様に、
ビットｉ＋１に対応する信号の連続する負のハーフサイ
クルは太い線の結果として生じた信号２４の一部である
信号２３の正又は負のハーフサイクルと同相であるか又
は反対位相である。この方法は決定を強制することを可
能にする。

第８図及び第９図に関しビット１＋１及び１十２に対応
する信号が信号２０及び２５だけである場合同じ方法が
考慮される。前の信号２２に対応する信号２６と前の信
号２３に対応する信号２７とが得られる。これはワード
出力で信号２０を置換する太い線の結果として生ずる信
号２８を得ることを可能にする。

以下では一般に、！又は１＋１を表わす信号に関して−
ΔΦにより変位された信号２２又は２６を信号Ｂと呼び
、＋ΔΦにより変位された信号２３又は２７を信号Ａと
呼ぶ。

出力ワードの１ビツトに対応する集積された光学回路の
幾つかの異なる具体例が考慮され得る。

基本構成部品は、ΔΦが４例えば１ｒ／４に等しい＋Δ
Φ又は−ΔΦの位相ずれを確保する補足的電圧に加えて
数字化される信号が適用される電極で集積された光学振
幅変調器である。第５図に図示された場合のように、光
学７４１間に存在する相異を補償する１こめの、或いは
グレイコート９を用いろときの位相ずれのような補足的
位相ずれを導入するためのノＺイアス電圧Ｖｉｂｉａｓ
＋も又あり得る。第一の具体例が第１０図に示されてお
り、ここではレーザ２０からの放射は同時に２つの同一
変調器で結合されろ。第一（第二）変調器の電極に印加
された電圧は＋ΔΦ（又は−ΔΦ）の補足的位相ずれを
確保する電圧に加えて数字化される電圧である。第一の
変調器は信号Ａを第二の変調器は信号Ｂを生起する。２
つのチャネルに対応する出力Ａ及びＢは３２で表わされ
た段１＋１からの論理信号により３１でスイッチが入れ
られる。比較器が後に続く光学検出器は２９と３０に示
されている。

この原理は階位ｌのビットに対し完全に有意であり、１
は１からｎまで変化し、最も高い階位のコーグの精度だ
けが重要であり、他のものはあいまいさを除去するのに
役立つだけであるということが理解されろ。第１１図に
図示され１こ第二〇具体例は、数字化されろ電圧以外に
、段１＋１により与えられた情報の関数として＋ΔΦ又
は−ΔΦの位相ずれを確保する電圧が印加されろ電極上
の１１固の振幅変調器のみを用いることから成り、比較
器が後続してなる光学的検出器が４４に示されている。

従って集積された光学コーグの場合、出力ワード９のｎ
ビットが平行で得られる。

この新しいコーダ杉態では異なるビットが連続的に判明
し、最も有意なビットが最後に判明する。

段につき１ナノセカンド９の応答時間を想定し、ビット
１に対する応答がビット（ｉ＋ｉ）を判明させる必要性
があるという事実は、全応答時間はｎビットのコーグに
対してはｎナノセカンド９であり或いは出力ワー−の６
ビツトのコーグに対しては約６ナノセカント９であり、
この通過時間は大部分の適用に対しては不利ではないと
いうことを意味する。

更にこれらのビットの対応する論理に遅延路を導入する
ことが可能であり、これは例えば段の数に無関係に出力
ワードにつき１ナノセカンドの流れ率を再設定すること
を可能にする。

最も有意でないビットに対応する回路の変更は第１２図
に図示されており、この変更は２つの補足的精度ビット
を加えることを可能にする。従って信号Ａ　、　Ｂ、−
Ａ　、　−Ｂを得ることが可能であり、−Ａ及び−Ｂは
信号Ａ及びＢと反対位相の信号である。補足的情報は正
弦曲線が配置されているダイアルから得られる。出力ワ
ード９０２つのビットはコード転換により得られる。第
１３図に示されているようにこれらのＳｎ＋１の１つば
Ａ及びＢの比較に対応し、他のＳｎ＋２はＡ及び−Ｂの
比較に対応する。

第１２図は幾つかの変更がなされた第１０図に対応する
。回路５０及び５１は信号−Ａ及び−Ｂを得ろことを可
能にする。回路５２の出力では信号Ａ、Ｂ、−Ａ、−Ｂ
があり、回路５３の出力では２つの補足的ビットＳｎ＋
１及びＳｎ＋２に対応する信号がある。

第１４図は第１０図に図示された前記装置の特別な具体
例を示す。−ΔΦの位相ずれを導入する・螺圧ＶＢはバ
イアス電極４０　Ｋ印加されろ。ビット１＋１からの信
号Ｖｓｉ＋１はビットが０ならば０であるか、或いはビ
ットが１ならばＶであるかのどちらかである。それは基
準電圧Ｖｒｅｆｌが導通されている比較器５６に導入さ
れろ。

Ｖ　ｉ　＋１　（Ｖｒｅｆｌ　　、　ｖｓｚ　Ｏならば
、電極４１に印力目された′１圧ＶＡは０と僅かに異な
っており、ＶＡ〜０ならば零位相である。Ｖｊ＋１）Ｖ
ｒｅｆｌ、　Ｖｓｆ−０ならば、電極４１に印加された
電圧ＶＡは位相ずれが２ΔΦであるようなものである。

従ってビット１＋１が零なら、ＶＢ　＋ＶＡなら、−Δ
Φの位相ずれであり、他方ピッ）ｌ＋１が１なら、Ｖ　
Ｂ　＋　Ｖ　Ａなら、＋ΔΦの位相ずれである。

導波管出力に配置された検出エレクトロニクスは電圧Ｖ
ｔと比較器５５を調整するため４４で表わされた増幅器
が後続してなる光学検出器を含んでいる。増幅器からの
電圧Ｖｉは基準電圧Ｖ　ｒ　ｅ　ｆ　２と比較される。

Ｖ　ｉ　（Ｖ　ｒｅ　ｆ　２ならばＶｉ＝０であり、ｖ
ｌ＞ｖｒｅｆ２ならば　Ｖｔ＝１である。

【図面の簡単な説明】

第１図は先行技術てよるアナログデイジタルコーダの説
明図、第２図及び第３図は先行技術圧よる光学変調器の
２つの型を示す説明図、第４図は第２図及び第３図の変
調器の作用を示すグラフ、第５図は本発明による装置の
説明図、第６図、第７図、第８図及び第９図は本発明に
よる装置の作用を示すグラフ、第１０図、第１１図及び
第１２図は本発明による装置の一部を示す説明図、第１
３図は第１１図の変形を示すグラフ、第１４図は本発明
による装置の部分回路を示す説明図である。 １．４・・・・・・導波・α分岐、２．３・・・・・・
導波管アーム、１０・・・・・・基板。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　ディジタル出力ワード３のｎビットに対応す
   るｎチャネルをｊｒ４ｊろコーグでの光学的アナログデ
   ィジタル変換方法であり、各々のチャネルは電気光学的
   物質基板の表面上に２つのアームを有する干渉計を含む
   少（とも１つの光強度変調器を有しており、現れる放射
   強度は干渉計のアームの少くとも１つの附近で基板の表
   面上に配置され１こ電極間に電位差を与えることにより
   導入された位相ずれの関数であり、数字化される信号Ｖ
   （ｔ）を表わす電位差の１つは電極の端子での全ての干
   渉計に付与され、その長さはチャネル１に対しＬｉ＝２
   ”Ｌ２であり、ｌは２からｎまで変わり得、Ｌ２はチャ
   ネル２に対する亀・匝の匿さであり、チャネル１は出力
   ワード９の最もイイ意なビット１に対応し、チャネル１
   ＋１の出力信号が正のとき、補足的位相ずれ＋ΔΦは前
   記チャネルｌに対応する変調器のアームの少くとも１つ
   に対応する′Ｉ！極の端子に電位差を付与することによ
   りチャネルｌの出力信号に導入され、信号チャネル１＋
   １の出力信号が負のとき、補足的位相ずれ−ΔΦは前記
   チャネルｌに対応する変調器のアームの少（とも１つに
   対応する電極の端子に′１′イ位差を付与することによ
   りチャネルｌの出力信号に導入され、位相ずれΔΦは１
   ΔΦｌ＜７ｒ／２であることを特徴とｊる光学的アナロ
   グディジタル変換方法。
2. （２）ディジタル出力ワード９のｎビットに対応するｎ
   チャネルを有するコーグにおいて、各々のチャネルは電
   気光学的物質ｗ板の表面上に２つのアームを有する干渉
   計を含む少（とも１つの光強度変調器を有しており、′
   １と１執は少（とも１つの干渉計アームの付近で基板の
   表面上に配備されており、各々のチャネルに対しコーグ
   の出力信号の正及び負のハーフサイクルを検出するため
   の手段が備えられており、チャネル１＋１の場合の前記
   手段はすぐ下の階位のチャネル１の出力信号上で位相ず
   れ＋ΔΦ又は−ΔΦを生起可能にする手段に連結されて
   おり、ｉは１とｎの間にあり１問題のディジタルコーデ
   ィングはダレイコードであり、チャネル１及び２に対応
   する電極Ｌ１及びＬ２は同一であることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項に記載の光学的アナログディジタル
   変換方法を遂行するための装置。
3. （３）干渉計とガ′イドとは、屈折率が基板の屈折率よ
   りも高い領域を形成すること圧より基板の１つの表面上
   で作製されることを特徴とする特許請求の範囲第２項に
   記載の装置。
4. （４）基板がリチウムニオブ酸塩から作られ、干渉計と
   力゛イドとは局部的なチタン拡散により得られることを
   特徴とする特許請求の範囲第３項に記載の装置。
5. （５）電位差は夫々干渉計の２つのアームに付与、され
   、第−電極及び夫々第二及び第三電極間で得られ前記３
   つの電極は夫々第二及び第三電極に付与され、第一電極
   と較べて同じ極性を有する電圧が２つのアームで反対方
   向の電界を生起するように配備されていることを特徴と
   する特許請求の範囲第２項に記載の装置。
6. （６）３つの電極が干渉計のアームに隣接するように配
   備されており、第一〇１極がアームに基板の表面に平行
   な電界を創出するように干渉計の両側に配置されている
   ことを特徴とする特許請求の範囲第５項に記載の装置。
7. （７）第一電極は選択的にアームの１つをおおうよ５に
   ２つのアーム間に配置されており、第二の電極は前記ア
   ームに隣接するように配置されており、第三の電極はカ
   ”イｌ、−に基板の表面に垂直な電界を生起するように
   他のアームをおおうように配置されていることを特徴と
   する特許請求の範囲第５項に記載の装置。
8. （８）基板はそのＣ軸がガイドに作られた電界に平行に
   なるように配向されていることを特徴とする特許請求の
   範囲第３項に記載の装置。
9. （９）コーグの各々のチャネルが２つの光学的変調器を
   含んでおり、電位差は＋ΔΦ及び−ΔΦの位相ずれを連
   続的に生起すべくそれらのアームの１つに付与され、比
   較器が後続してなる検出器は各々これらの変調器の出力
   に配備され、スイッチは有意さがピッ２の有意さのすぐ
   下にあるビット１＋１を表わす信号の正又は負のハーフ
   サイクルの関数としてこれらの２つの比較器の片方の出
   力信号を選択することを可能にさせることを特徴とする
   特許請求の範囲第２項に記載の装置。 住〔光学的変調器は各々のチャネルに対応し、電位差は
   、有意さがビットｌの有意さのすぐ下にあるピッｌ−１
   ＋１を表わす信号の正又は負のハーフサイクルの関数と
   して＋ΔΦ及び−ΔΦの位相ずれ′を連続的に生起すべ
   くそのアームの片方の端子に印加され、前記変調器には
   光学的検出器と比較器が後続劣ａ２とを特徴とする特許
   請求の範囲第２項に記載の装置。 α◇　最も有意でないチャネルｎに対し、２つの新しい
   出力ビットは、＋ΔΦにより変位された出力信号を−Δ
   Φにより変位された出力信号と及び反対位相でのこれら
   の信号と比較することにより発生させられることを特徴
   とする特許請求の範囲第２項に記載の装置。