JPS5871626U - 差圧ダンパ− - Google Patents
差圧ダンパ−Info
- Publication number
- JPS5871626U JPS5871626U JP16638481U JP16638481U JPS5871626U JP S5871626 U JPS5871626 U JP S5871626U JP 16638481 U JP16638481 U JP 16638481U JP 16638481 U JP16638481 U JP 16638481U JP S5871626 U JPS5871626 U JP S5871626U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- differential pressure
- room
- pressure damper
- guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 2
Landscapes
- Air-Flow Control Members (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案に係る差圧ダンパーの正面図、第２図は
同縦断側面図、第３図は設定圧と処理風量との関係を示
す性能曲線である。 １：外筐、４：通風口、５ニガイド、７：羽根、１２：
抵抗カバー。
同縦断側面図、第３図は設定圧と処理風量との関係を示
す性能曲線である。 １：外筐、４：通風口、５ニガイド、７：羽根、１２：
抵抗カバー。
Claims (1)
- 外筐に水平に対し室の内側より外側に向けて上向きに傾
斜したガイドを設け、そのガイドに羽根を摺動自在に係
合し、その羽根が外筐に設けた通風口と平行に対向して
開閉移動するようにした差圧ダンパーにおいて、上記羽
根を室の内側に向けて凹形に形成すると共に、その羽根
の周りにその羽根が開閉移動する範囲にわたって風量を
規制する抵抗カバーを設けたことを特徴とする差圧ダン
ノで−。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16638481U JPS5871626U (ja) | 1981-11-07 | 1981-11-07 | 差圧ダンパ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16638481U JPS5871626U (ja) | 1981-11-07 | 1981-11-07 | 差圧ダンパ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5871626U true JPS5871626U (ja) | 1983-05-14 |
Family
ID=29958547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16638481U Pending JPS5871626U (ja) | 1981-11-07 | 1981-11-07 | 差圧ダンパ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5871626U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9275887B2 (en) | 2006-07-20 | 2016-03-01 | Applied Materials, Inc. | Substrate processing with rapid temperature gradient control |
-
1981
- 1981-11-07 JP JP16638481U patent/JPS5871626U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9275887B2 (en) | 2006-07-20 | 2016-03-01 | Applied Materials, Inc. | Substrate processing with rapid temperature gradient control |
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