JPS587359U - 集積回路装置 - Google Patents

集積回路装置

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JPS587359U
JPS587359U JP10084281U JP10084281U JPS587359U JP S587359 U JPS587359 U JP S587359U JP 10084281 U JP10084281 U JP 10084281U JP 10084281 U JP10084281 U JP 10084281U JP S587359 U JPS587359 U JP S587359U
Authority
JP
Japan
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conductor layer
integrated circuit
circuit device
layer
substrate
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JP10084281U
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English (en)
Inventor
和夫 小笠原
川田　茂
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Publication of JPS587359U publication Critical patent/JPS587359U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａおよびｂは階段的調整の原理の説明図、第２図
ａは本発明の実施例のモニタ素子部分の平面図、第２図
す第２図ａのｘ−ｘ’での断面図である。 なお、図において、１，２・・・・・・端子、３．　４
゜５．６・・・・・・抵抗、７．　８．　９・・・・・
・切断部、２１゜２５．２６．２７・・・・・・導体、
２２．２４・・・・・・コンタクト、２３・・四条結晶
シリコンまたは膜抵抗による切断部、２８・・・・・・
酸化膜、２９・・開学導体基板、である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 基板上に形成された第１の導体層と、該第１の導体層の
    両端に接続され、該第１の導体層より小さな層抵抗を有
    する第２の導体層とで構成され、前記第１の導体層の溶
    断及び抵抗値の測定が可能なモニタ素子を有することを
    特徴とする集積回路装置。　□
JP10084281U 1981-07-07 1981-07-07 集積回路装置 Pending JPS587359U (ja)

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JP10084281U JPS587359U (ja) 1981-07-07 1981-07-07 集積回路装置

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JPS587359U true JPS587359U (ja) 1983-01-18

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ID=29895522

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