JPS587552A - ガス検知素子 - Google Patents

ガス検知素子

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Publication number
JPS587552A
JPS587552A JP10607981A JP10607981A JPS587552A JP S587552 A JPS587552 A JP S587552A JP 10607981 A JP10607981 A JP 10607981A JP 10607981 A JP10607981 A JP 10607981A JP S587552 A JPS587552 A JP S587552A
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JP
Japan
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gas
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detection
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resistance
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Pending
Application number
JP10607981A
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English (en)
Inventor
Shigeo Akiyama
茂夫 秋山
Shigekazu Kusanagi
草薙 繁量
Toru Nobetani
延谷 徹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
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Publication date
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Publication of JPS587552A publication Critical patent/JPS587552A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid

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  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はガス機知素子、ことに都NガスIIallス
ーれ譬報@KJI−るに適し九ガス機知原子に関する。
一鍍に、 Smog e Zlloe Fe103 #
 ImxOa a 103 # CeOs等Om 11
金属鹸化物亭尋体紘、高亀に加熱した状態で水嵩ガス、
メタンガス、プメンtlス等にlI!蝕すると抵抗変化
を起こす性質を有する。そこで。
この性質を11JIIシてLPG、天然ガス等0−科ガ
スの漏れを検知するガス検知素子が実用化されて−る。
とζろが、これらOガス検知素子線ガス0遥択性に欠け
る。すなわち、家誕で消費されるLPG 。
天然ガス等に含まれる水嵩ガス・メタンカス、ブタンガ
ス等O#L知すべき対象カスに対してIII&抗変化を
示すのみならず、#l1j111中に生ずるエタノール
ガス・水蒸気に対しても抵抗変化を示す性質が−る。
その丸め、検出すべき対象ガス以外の非対象ガスをも検
知し、検出の信頼性を組書するのts6る。
ナこで、水嵩ガス、メタンガス。ブタンガス等の検出す
べ龜対象ガスの4−が存在すると′#i社もちろん、水
1気、エタノールガス、4mの如龜検出すべ暑でな^非
対象カスが併存するときでも非対象ガスに111書され
ることなく対象ガスを検出で龜。
さらには非対象ttxoみが存在するときには、誤報の
原因となる検出信号を警報−路に送信し1に%/%s*
tom−検出範力を有するカスaf′L機出装置が求め
られることになる。
とζろで、ガス膳れ検出K11Iシて、り「のような先
行技術OII示がすでに1されて−る。すなわち* U
SF 3644716 K&t、 5nO1*Z膳0−
Pesosその他NiOe Cr gos  の如膚金
属鐵化物の半導体をガス検知素子成分とし、これにシリ
コーン化合物を添加して強度の^いガス検知エレメント
トシ・このエレメントの抵抗変化による出力をプず−に
人力する*gが開示され、USP 3835529 に
は。
5n03 e ZnO+ Fe2O3+ TsOx *
 Cr srs * NiOe CoO等の金属酸化物
半導体から成るガス検知素子を混合。
成形、焼成し、電#Aを付ける工St−経て製作する点
について開示され、USP3732519 Kは、半導
体粒子を含む多孔性の金属酸化物と一対の電極とから成
り、金属酸化物にはAlto3e 5i02の粒子が含
まれ九ガス検知素子が開示されている。しかし、これら
の技術によっては、燃料ガス漏れが発生し丸場合にのみ
警報を発するという目的を達成することができな−0 このような事情に鑑みて、つぎの↓うなガス漏れ検出装
置が提案され九。すなわち、水素ガス。
メタンガス、メタンガス等の燃料ガスのガス漏れ検出a
mにお−て、ガス漏れの検出のl1lII性を高めたも
のであって、メタン、ブタン、水嵩等の検出の対象ガス
とともにアルコール、水蒸気、a等O検出の非対象ガス
に対しても抵抗変化を示す主ガス検知素子、および主と
して非対象ガスにのみ抵抗変化を示す南ガス検知素子を
併せてもつとともに、主ガス検知素子の抵抗変化に基づ
く出力が並列に入力する。IE1コンパレータおよびこ
の纂lフンパレータに比べて基準電圧0tvh纏2コン
パレータを併せてもち、かつ、mガス検知素子の抵抗変
化に基づく出力によって纂2コンパレータの警報暴動信
号が遮断されるゲート回路を有するとともに、このゲー
ト−路の出力と上記菖lコンパレータO出力のiずれか
を蕾@回路の警報暴動信号とすることを脣黴とするガス
−れ検出装置で参る。
菖1図は、このガス−れ検出装置七a成する基本回路図
で、検知するガス濃度が増大するに′)れて電気抵抗が
低下する性質を有するalll金属酸化物をガス検知素
子として用−九実施態様を示す。
−に示す如く、検出の対象ガスのみならず検出の非対象
ガスが接触し九とき4JIlt抗が大巾に変化する主カ
ス検知素子Smと、検出O#1対象ガスが接触すると検
出の対象ガスに比べて抵抗が大巾に変化する^ガス検知
索子S、を有している。主ガス検知素子Sm、副ガス検
知素子S、は各々のガスの接触に起因して抵抗変化が急
激に生ずる温度に加熱保持される。この目的で各々はヒ
ータHm。
H,t″有し、これらのヒータHm・Hlは、抵抗変化
率が極限を示す素子加熱温度が得られるように、定電圧
制御回路を含む温度制御回路Tm+ T @で制御され
る。
上に述べた素子としては、一般に知られているnjll
金属酸化物半導体の中から適宜なものが選ばれてよい。
そのようなものを具体的に例示すると、Snug + 
ZnO、Fe103 e 101 e Ce0g I 
Inz03  等である。
これらの金属酸化物は、ガスの濃度が一定状悪下におい
てはガス種によって抵抗の変化に差が69゜又ガス種が
同一でも保持する温度によって抵抗の変化に差があるの
みならず、その濃度によっても抵抗が変化する性質を有
していることが知られている。したがって、ガス漏れの
結果一定のガス濃度に遅したときに生ずる養定の抵抗の
変化は、電圧を印加することによりて出力の変化を生ぜ
しめるので、この変化し九出力を設定し九基単電圧と比
験して検出信号を得ることができるので参る。
再び1111図に轟いてカス検出−路を説明する。
主ガス検知素子Sm、副ガス検知素子S、は各々抵抗R
=、R,と直列に接続されている。これらの両端に直流
電圧を印加することによって、主ガス検知素子Sm・ 
−ガス検知素子s8 のijk抗変比変化づく素子KR
れる電流の変化を抵抗R工・R,の各々の両端電圧とし
て検出し、素子Sm、S、の抵抗変化に基づく出力Om
l e o、、を得る。
主ガス検知素子Sm、 @ガス検知素子S、へ0ガスの
接触によって生ずる抵抗変化に対応し九出力Oml・0
11を得るための出力−路は、このように構成されてい
る。
次に、この検出回路は3個のコンパレータを有してiる
。すなわち、tず、王ガス検知素子Smの抵抗変化に基
づく出力Omlが入力する111のコンパレータC11
m1なラヒに菖lのコンパレータCm1と並列に対をな
す菖20コンパレータC工、を有している。この總2の
コンパレータCmlの比壁基皐電圧vm1は、JIIl
のコンパレータc、1okk、叡基皐電圧Vmiに比べ
て低−基準電圧に設定されている。
そして、#11ガス検知嵩子S、の抵M変化に基づく出
力O$1が人力するg3のコンパレーメC1倉も有して
いるのでるる。このコンパレータC3の比砿基阜電圧は
電圧V、に設定されている。lE3のコンパレータC,
の出力01m  はインバータlで1&層され、IL転
されて、インバータの出力olとなる。
この検出回路はま九AND iij jll Aをもり
て匹る。
イン/<−p O出力0.3と3112のコンパレータ
ノ出力OmJとは、このANDigl路に人力されて、
ここで論理積46層を受ける。このANDN0回路線、
二ノの入力0□と0m3とがと(にHレベルであるとき
のみ、出力0^がHレベルで得られる。後述するように
、纂2のコンパレータの出力0゜s d、 第3のコン
パレータからの高(H)レベルの出力0.、に基づき、
インバータの出力o、jとの閣でこの論塩積J6at受
けることによって、そのレベルが高(2)から低(L)
に変更される必要がるる。七〇丸めK。
OようKあらかじめ反転させておく必要があるのである
。
AND il Jig Aの性質に基づいてここから得
られる出力0ム と、第Lt)フンパレータCmlの出
力0工。
とは次に、 OR−路ORに入力され、ここで論1和で
#&層される。こ0OR−路Olでは、二つの入力0ム
・0.、の少なくとも開方がHレベルであれば。
Hレベルの出力001が得られる。
OR−路OHレベル出力00鳳は**−路ALに入力さ
れ、この警報回路を嘉動する。
このように、この検出−路においては、豐IIjAm路
AL Kよってカス漏れ時06報表示がなされるように
なりて−る。こOS@表示には、可聴音。
可視光の発生など周知0手Rが適用されるなど。
l11M@がなio 次に、ガス検知素子S、、5.O抵糺炙化を鱒発する検
出の対象ガスと検出O非対象ガスの存否に基づ〈−作に
ついて貌明する。
(l)〔検出の対象ガス−検めの非対象ガスがいずれも
存在しなめ場合〕 王ガス検知素子S、とIIJIIl11半導体たる^ガ
ス検知素子S、には抵抗の低下がなく、いずれから4−
t″れぞれの抵抗に対応する出力0゜11.0111 
が得られ。
これらの出力に起因して1ilQコンパV−タロ18.
第2のコンパレータC,,ItびJig3のコンバレー
IC。
かうはいずれもLレベルの出力0−、so□s”osx
が祷られる。
第3のコンパレータC,tPら+11n&Lレベルの出
力0.2は、インバータ!で反転されHレベルになるが
、 ANDN0回路線いて第2のコンパレータCm、か
らoLレベルの出力O1,と論鳳積処塩される丸め、A
NDfEA路からはLレベルの出力OA が得られる。
OR&gijllOi K入る二つの出力0I112 
e OAは、このように、いずれもLレベルとなってい
る丸め。
OR−路からはLレベルの出力001が得られる。
しかし、このLレベルの出力001によりては、警報回
路はS励されない。
つまり、検出の対象カスも検出の非対象ガスも存在しな
いときは警報もない。
(乃 〔検出の対象ガスのみが存在する場合」n臘半導
体たる細カス検知素子S、に扛抵抗O低Fがなく、その
抵抗に対応する出力08.が得られ、この出力08□に
起因してJI31Z)コンバレーIC1の出力O8,は
Lレベルで得られる。このLレベルの出力0□はインバ
ータlで反転される丸め。
インバータ!の出力O8,はHレベルで得られる。
−万、主ガス検知素子S。には抵抗の低下が生じ。
その結果この素子Smからはそれに対応するレベルの出
力Omlが得られ、この出力0ffllが!120コン
パV−タC!n!の基準電圧V□よ〉も4位のときには
Hレベルの出力Om3がJl12OコンパレータC11
から得られる。
上述のように、王ガス検知虞子Smと副ガス検知素子S
、の出力0゜8,0.□に起因するAND iij踏A
の入力は双方ともHレベルであるので、このAND−路
AからはHレベルの出力0ムが得られる。
トコ口で、JllのコンバレーIC□では、検出対象ガ
スの濃度OA低に応じてHレベルま九tiLレベルの出
力osnsが得られるが、上述のようKAND−路の出
力0ムがHレベルであるので、この出力0゜、Oレベル
がH,Lいずれでるっても、 OR−路ORから出る出
力QolはHレベルとなる。
″)tす、検出の対象ガスのみが存在する場合は。
警報が発せられる。
(j)〔検出の非対象ガスの今が存在する場合〕主ガス
検知素子Smでは抵抗が低下し、これに対応する出力0
Enlが得られるが、これが112のコンパレータC1
,の基準電圧v、、よりも高位のときHレベルの出力O
msが$12のコンパレータCalから得られる。−万
一ガス検知索子S、でも抵抗が低FL、この低下に対応
する出力01.が得られる。
この出力0.1がII3のコンパレータC,の基準電圧
V、よりも1位のとき、wh3のコンバレーIC3から
はHレベルの出力O1が得られる。この出力0.2はイ
ンバータ■にsP−て反転され、Lレベルの出力013
が得られる。
こOLレベルの出力0□と纂2のコンパレータC−,O
出力0jlnJとは論jlIRをとるAND fl路A
において#&層され、Lレベルの出力0ムが得られる。
なお、この場合、謔lのコンパレータCmlからO出力
omsはLレベルでるるので、ORk?IjlOJIに
おいてはLレベルの出力Ooiが得られる。
し九がって、検出O非対象ガスOみが存在する場合は、
e@が発せられない。
((転) 〔検出の非対象ガスと構出の対象ガスが共存
する場合〕 一ガス検知素子Sあ  では抵抗が低下し、これに対応
するレベルの出力081がJIE3のコンパレータC,
に入力する。ここで出力が基準電圧V、よp44位で参
れば纂3のコンパレータC8かう1iレベルの出力0.
が得られ、インバータIでLレベルに反転される。−万
2主ガス検知素子−でも、非対象ガスと対象ガスの%濃
acieJg算しfI−加算効果を受けて抵抗が低ドし
、この遮ItK対応するレベルの出力−llX1llf
l及び纂20コンパレーメCユ、C□に人力する。
インバー1112)出力0sari上遮Oよ5KLレベ
ルで番るので、1I2QDコンパレ一タcms o出力
01゜のレベルがHで弗っても、 AND−路Aからは
Lレベルの出力0ムしか得られない。しかしながら、こ
の場合、第2のコンパレータCmlの出力Oma ハn
対象ガスによる出力をノイズとして含むもので弗り九か
ら、対象カスによる出力のみについてみれば#11底H
レベルに遍しないものでるり良。換言すれば、この場合
、対象ガスの濃度は礁黴量であったと言えるので14)
、 ml出するに値しなiもので69九。したがりて、
上述のごと<、AND回路AからはLレベルの出力0ム
しか得られないけれども。
こnは検出−れに線相轟しなio 他方、対象ガスの濃度が轟くなり、非対象ガスの一度を
川算し九斡和に対応して、主ガス検知素子Smから菖l
のコンパレータC1lの比歇基準電圧V。1よりも高−
レベルの出力0.1が得られたとキニハ、籐lのコンパ
レータC!nlの出力0□tiHレベルで得られ e機
駆動信号で赤るので、 OR−路oILの出力Oomは
Hレベルとなる。りまり、警報−路ムLは悪勅するので
参る。
検知の対象ガスと非対象カスの存否に基づ〈動作に関す
る上記−明を車通して一覧嶽で番られせば、菖1表のと
お9で娶る。
(以 下 鎗 白) 作する丸め、調mなどに伴って発生する検出の非対象ガ
スによっては誤報1!な−。しかも、検出の対象ガスの
―れが微量で番りても確実に警報奮発する。
検出の対象ガスとして天然ガスの主成分たるメタンを、
ま九検出の非対象ガスとしてアルコールをそれぞれ偶に
とタ、嬉2−に基−て、このガス−れ検出装置のも九ら
す効果をよp臭体的にIS!明すると、りぎのとお夕で
ある。すなわち、検定基準で定められた蕾報關紬濃度下
@社、jlK図の符号Bで示される4囲でなければなら
ない。しかし、従来のガス漏れ検出装置では、検出の非
対象ガスによる雑音を避けるため検出感度tiiして−
るので、1X2−の符号Cで示される1III内の検出
能力しか有しない。これに対し、上記提案され九ガス漏
れ検出装置で性、検出0揮対象ガスによる雑音を論する
仁とができる九め、検出諺力を高めて。
11N2図の符号Eで示す纏−すなわら検定基準で定め
られえ纒−と−−OS−で検出の対象ガス會検出するよ
うにすることができるのである。
ところで、提案されたこのガス漏れ検出装置は。
藺紀のように、燃料ガスの存在を検出する丸めの主ガス
検知素子を必要とする。しかし、従来の可燃性ガス検知
素子には、以下に述べるような開離が参る丸め、改豐が
望まれえ。すなわち、従来のガス検知素子は、都市ガス
用ガス漏れ警報器に用9ると、S重ガスの穏鎖によりて
警報濃度が大きく異なると−う閏隠が番りた。具体例を
挙げると。
一般的には、液化天然ガス(LNG)  t−主成分と
する都市ガスに対しては高濃度となるまで警報を発しな
いが、液化石油ガス(LPG)  を主成分とする都市
ガスに対してはよシ低濃度でも警報を俺するという傾向
があったのでbる。それは、1!!来のガス検知素子の
場合、 LNGの主成分たるメタン(CHa)ガスに対
する感度がLPGの主成分九るブタン(C411xo)
  ガスに対する感度よりも低いという1由による。と
ころが、前記の間離は、単一に、メタンガスに対する感
度を高めるというだけでは解決されない、すなわち、メ
タンガスの爆発下Ill (LEL)が5.6マol嚢
であるのに対し@ 110−ブタンガスの爆発F隈は1
.8 vol−である友1t)、ブタンとメタンとの相
対感度ではブタンの方が高くなければならな−からであ
る。さらに、S重ガスの主成分として一般的な水嵩(l
ig)  ガスはそO爆尭下臓が4 vol−て番9.
これに対してもj蟲な相対感度を示すものでなければな
らない。
以上により明らかなように、 l1iiiiガス用カス
−れ曽@liK用いるに好適なガス検知素子としては。
主成分がメタン、ブタンまたは水嵩で構成される各種0
6市ガスが存在する以上、これら3種の主成分ガスにバ
ランス艮く感度を示すものであることがlI車される。
このような事情に鑑み、この要求を構えナベく。
こOS@者らは、ここにこO殉明を提案する。
すなわ5.こ0見@にかかるガス検知素子は。
カスを検知する艶力を示す成分、すなわ5有効成分が2
s〜50重重−〇−化インジウム、75〜SO重量−〇
−化鰻2よびα06〜5重量−の纜(kパラジウムから
なることt41黴とする。つぎに。
これをより詳しく説明する。
この発明にかかるカス検知素子は有効成分1m化インジ
ウム、*化部および酸化パラジウムの3肴で構成してい
ると仁ろに菖lの特徴が番ゐ。すなわら、各濾ガスに対
する感度の向上とバランスを図る丸め、それぞれに特質
を有する3種の成分を混ぜ合わせて用いることとし九の
である。
素子1k111威する各鹸化物は、複数11@(D原子
価をもつことに起因して櫨々の鹸化形IIIをとりうる
ことがあるが、その種IiIは問わない。を友、複数種
lIO鹸化形態が存在する酸化物につめては、いずれか
の酸化形lIOものが単独で素子中に存在する場合のほ
か、複数種類の鹸化形llOものが併せて素子中に存在
する場合もある。なン、ここにいう酸化形態には格子欠
陥などに起因して非化学量論的組成1に一つ%t)も含
まれて−る。
賜りとも、普通、ill化インジウムはIn101 m
鹸化−はSnO2という酸化形層でhり、鹸化パラジウ
ムはPdOとiう鹸化形−で春る。し良がって。
この@−書において、素子をgIitt、b成分の一合
(組成比)を考えるに当たっては、各酸化物はナベて上
に表わされている酸化形−のものに換算されることとし
ている。なお、 In 、Sn 、 Pd B元素状膳
で素子中に存在することもあるが、そのような場合もこ
れを上記の酸化物とみなして組成比が計算される。
この発明にかかるガス検知素子は、上記3種の成分の相
互割合を、酸化インジウムが有効成分全体の25〜50
重量僑(以下嗟と略す)を占め。
酸化錫が有効成分全体の75〜5016を占め、*化パ
ラジウムが有効成分全体のQ、06〜5慢を占め−るよ
うに選んでいるところに、IE2の特徴がある。
酸化インジウムがso*kiiiえると、素子抵抗値が
小さくなりすぎて警報器の一路形成上問題が生じる。さ
らに、メタンに比較して水素やブタンに対する感度が低
くなるという問題も生じる。酸化錫が75参を超えると
、水嵩の#度依存性が小さくなり、高濃度での感度がF
がってくる。酸化パラジウムが5gIIを超えると素子
抵抗値が小さくなシ、各ガスに対する感度も下ってくる
。鹸化パラジウム量が0.06−未#になると、メタン
に対する感度がなくなる。
カス検知素子をつくるに当たっては、ガス検知能【示す
成分にバイン〆−として機能する成分や単なる増量剤と
して働く成分尋がJえられること46る。このようなと
きにおいても、ガス検知能を示す成分が鍾化インジウム
と *化部と、酸化パラジウムとからなるもので6少さ
えすれば、この発明の聰1に入る。この明細書において
、有効成分が前記3種の酸化物からなると述べているの
は、正に、上記のように、実−にガス検知素子をつくる
に轟たってはガス検知能を示す成分以外の成分がしばし
ば添加されることを考慮した結果で6る042とも、こ
のようvc述べ九からと言って。
上記のような有効成分のみで可燃性ガス検知素子が構成
されている場合も勿論この発明の範−に入るのでhシ、
このような場合を除く趣旨ではない。
この発明にかかる可燃性ガス検知素子の形層としては、
良好なガス感度が容易に得られる。経時安定性が良い等
の連山から、一般的には焼結体に構成する形−が選ばれ
るが、これに限定されるものでなく、fI−とえば薄膜
や軍属に形成されてもよいのであって、その形層は自由
で6る。重要、その履違原料、製造方法畳も、原料の入
手の容易さ。
コストやその使用目的等を勘案して遥宜に選ばれる。製
造用出発原料としては、素子となり九ときKal化イン
ジウムであり、鹸化−でhり、を九鹸化パラジウムで6
少さえすれば種類は問わず(目的の鹸化物そのものであ
りてもよい)、ま良必要によシ出弛原料に加えられる中
間感温の区別も関わない。
前述Oように、水嵩、ブタン、メタンは、それぞれ、4
mi、1llli、5.5mとh5異ナク九値0鳥発隈
界下限値をもっている。この発明によると。
上記各下限値を基準として、それぞれの100分01.
10分の1.4分の1などのガス濃度で。
ガスmを間わずすべて−−のガス感度をそなえたガス検
知素子が得られる。したがって、この発鳴にかかるガス
検知素子は、これを用いることによ)、ガス穏がいずれ
で番りても、ナベてはぼ崗−程度でその危険状部を検出
する仁とができるようになるので1種々のカス成分が存
在する都市カスに対しm−のガス漏れ警@器によってカ
ス漏れを監視することができ、家嶌坩ガス−れ警ll器
の検知素子としては、、m、m的なもので番ると言える
。
つぎに、実施例にりいて比較例と併せて説嘴する。
原料粉末として、Inx0a 、 SnO2およびPd
Oを選び、これらを、素子組成が後部の第2表記載のと
お9となる一合で配合し1石川式−潰嶺で充分温合(総
量1g−30分関)したのち、混合粉末を一定量(15
mg)秤量して、白金線電極(電極0.2mH$ *長
さ15m5n)が2本平行にm設され九直径2 mmd
 +−1kさ2 mmで円柱状の素子形状に圧縮酸形(
圧力1〜2 t/ca+”) L、焼成温度600″u
 7GG’C,750℃ま九はgoo℃、焼成時間1〜
3時閲。
空気中という焼成条件で焼成することによって水子すな
わちガス感応体(焼結体)f:つく9た。
X線分析O!ISによると、ガス感応体t@成している
各駿化物は混合状膳で存在してiることが析し友結果に
よると、各成分の分散状層は非常に均一であるこくも分
かりた。ESCA(jt電子分光分析)によって確認し
たところによると、酸化パラジウムが一部金属パラジウ
ムに還元されて−る場合一番ることが分かったが、この
発明ではこの金属パラジウムも酸化パラジウムとみなし
、縄成比の計算においては酸化パラジウムに算入し丸。
上記で得られた各ガス感応体のまわり°に、コイル状ヒ
ータを付設し、さらに防鳥の九〇ステンレススチール製
の金網キャップで被覆したものをガス検知部とし友。
(以 下 余 白) 上で得られ友各素子について ssi空気と、これに水
嵩、メタンま九はブタンを含有させ友ものを被検ガスと
して、ガス濃度と抵抗値の関係を脚べ九。結果は113
図な1nLII22図として示されている。これらの図
と各偶との対応は菖2表に示されている。各−において
、總LHは水嵩の、線LM はメタンの、セしてIIL
ji  はブタンの、それぞれ濃度−抵抗値関係をあら
れしている。
抵抗値の一定はつぎのようにして行なわれた。
ナなわら、IIられ九アルコール検知素子五に、躯23
図に示すように抵抗一定用〇一定抵1t2(抵抗値はR
cΩ)を直列に接続し、これらの両端に5■の一定電圧
tかける。同定抵抗20両端の電位vc(v)k一定す
れば、アルコール検知素子lの抵抗値R,(Ω)が次の
式によシ求められる。ここK。
i#f−路を流れる電流で6る。
、R,=Rc(−−1) C まず、アルコール検知素子を装入し九一定普内に、湿度
管理されたN製空気を送り込み、#−気を充分に安定さ
せ九〇ら、前記の方法で素子抵抗値t−欄一定る。つぎ
に、水嵩、メタン、ブタンを職に掘定槽内に送9込み、
充分に安定した状履(約2時間経過後)で、それぞれの
ガス#−気中における抵抗値を同様な方法で一定する。
この場合。
一定の履aを残さないよう、それぞれの一定の間に1日
sJ![の間隔をあけるのが望ましい。なお。
一定に―しては、素子麻熱用ヒータに負荷する電圧1m
整することにより、素子の温度を450℃に設定保持し
た。
また、素子が水素、メタンおよびブタンのいずれに対し
ても同様に感動しているかどうかを判断する指標Eを下
式で求めて、gz表に示した。
上式において、 R1は爆発限界下限の100分の1で
ある水素0,0411.メタン0.05m)よびブタン
0.02参にンける各素子抵抗値のうちの最小値を、ま
え、Rs は爆発限界下限の4分の1でるる水$10チ
、メ#:/l、251GおよびブタンOJS嚢における
各素子抵抗値のうちの最大値tiられす。
さらに、こOようにして得られ九最小値と最大値の相乗
平均5.會求め、中間抵抗値として11211に併記し
友。
以上のIIi兼を一合して判定すれば、実施例はいずれ
も比較例よりすぐれてい喪。すなわち、比較例1〜3な
らびに比軟@6〜lOはEが小さく。
比較例4.5はメタンの#J[−抵抗関係纏り、の勾配
がゆるやかすぎ、比較例5.6は中間抵抗値が低すぎる
からで番る。
【図面の簡単な説明】
1111gはこの発明にかかるガス検知素子が用いられ
るガス−れ検出装置の電気−路a4.菖2図は仁のカス
―れ検出装置の効果を説明する丸めの一明図、纂3−な
いし菖22−は実施例および比較例C)II2#度−抵
抗値一係t−心られすグラフ、1g23図は素子の抵a
t調べるための電気−路一で6本・ 特許出願人 松下電工株式会社 代理人 弁理士 松 本  武  彦 第3図       第4図 第5図       第6図 濃度(0ム)           濃度(・1.)第
7図       第8図 第9図       第10図 第11図        第12図 第13図        第14図 第15図        第16図 J度(Φ)、IJノtt@ノー) 第17図        第18図 第19図       第20図 第21図         第22図 i− 第23図 手続補正り (自発) 昭和56年9月7日 特j庁長官殿 1、・11件の表示 昭和s6年特許願第 106079  号2、発明の名
称 ガス検知素子 :3゜f+li +Eをする者 “1イ件との関係   特許出願人 住 所     大阪府門貞市大字門貞1048番地名
 称   (583)松ド電玉株式会社代表者    
 代表取締役  神 的 善 −1、代理人 住 所〒530  大阪市北区天神橋2」−目4番17
号千代1+1第−ビル8階 な   し 6、補正の対象 7、補正の内容 (1)明細書第21頁第6行目冒頭の「もある。」とそ
の後に続く「このようなとき・・・」の間に、下記の文
言を挿入する。 [tた、酸化パラジウムの場合に詔いて例をみるように
、原料物質中に白金(Pt)、aジウA (1m)など
目的の成分以外のものを含むため、それらの酸化物(p
(g、 、 1Lhlosなど)が素子中区必然的に導
き込まれることもある。」 (2)明細書第23頁第18行目の「・・・つくった、
」の後に、下記の文言を挿入する。 [なお、PdOの原料粉末としてPt01やILIIl
sOs が混在するものを用い、上記と同様にしてガス
感応体をつくった例を実施例11.実施例12とし、第
2表に示す。」 (3)明細書1825頁の第2表を末尾添附の別紙lの
と■りに訂正する。 (4)明細書第26頁第4行目に「第22図」とあるを
、「第24図」と訂正する。 (5)明細書第26頁第11行目に「第23図」とある
を、「第25図」と訂正する。 (6)  明細書第28頁第18行目に「第22図」と
あるを、「第24図」と訂正する。 (7)明細書第28頁第20行目に「第23図」とある
を、「第25図」と訂正する。 (8)  添附図画中の第23図を削除し、別紙■に示
す第23図、第24図詔よび第25図をそれぞれ追加す
る。 & 添附書類の目録 (1)  別紙l(訂正後の第2表)   1 通(2
)別紙n(追加図面)      l 過第23図  
       第24図 1→ 第25図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (υ 有効成分が25〜50重量gIIのIl化インジ
    Oh、75−541重量IsO1m 化錫訃ヨび(LO
    I!−5重量−の酸化パラジウムからなるガス機知素子
    。 (2)  素子$−M体でs!41許11求o11al
    l1m記載のガス機知素子。
JP10607981A 1981-07-06 1981-07-06 ガス検知素子 Pending JPS587552A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6231098U (ja) * 1985-08-10 1987-02-24
JPS63215957A (ja) * 1987-03-04 1988-09-08 Snow Brand Milk Prod Co Ltd 防爆型センサ−
CN105424885A (zh) * 2015-12-08 2016-03-23 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种焦炉煤气成分在线监测方法及装置
CN110346421A (zh) * 2019-06-27 2019-10-18 重庆大学 一种气敏材料及其制备方法和应用

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