JPS5877050U - 基板吸着装置 - Google Patents

基板吸着装置

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Publication number
JPS5877050U
JPS5877050U JP17183581U JP17183581U JPS5877050U JP S5877050 U JPS5877050 U JP S5877050U JP 17183581 U JP17183581 U JP 17183581U JP 17183581 U JP17183581 U JP 17183581U JP S5877050 U JPS5877050 U JP S5877050U
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JP
Japan
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adsorption device
substrate adsorption
suction device
substrate
substrate suction
Prior art date
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Pending
Application number
JP17183581U
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English (en)
Inventor
洋 佐野
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Publication of JPS5877050U publication Critical patent/JPS5877050U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来使用の基板吸着装置の断面図、第２図は本
考案の一実施例を示す断面図、第３図は本考案の他の実
施例の断面図である。 なお図において、１・・・・・・基板、２・・・・・・
電磁弁、３・・・・・・真空ライン、４・・・・・・弁
、５・・・・・・バネ、６・・・・・・吸着調整板、７
・・・・・・段差、である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体用の基板吸着装置において、該基板吸着装置の内
    壁部に段差を有し、かつ吸着具の調整が可能な吸着調整
    板を有し、真空を止めると同時に弁が真空口を塞ぐ手段
    を有することを特徴とする基板吸着装置。
JP17183581U 1981-11-18 1981-11-18 基板吸着装置 Pending JPS5877050U (ja)

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JP17183581U JPS5877050U (ja) 1981-11-18 1981-11-18 基板吸着装置

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JP17183581U JPS5877050U (ja) 1981-11-18 1981-11-18 基板吸着装置

Publications (1)

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JPS5877050U true JPS5877050U (ja) 1983-05-24

Family

ID=29963744

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JP17183581U Pending JPS5877050U (ja) 1981-11-18 1981-11-18 基板吸着装置

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