JPS5878642U - 位置決めステ−ジ - Google Patents
位置決めステ−ジInfo
- Publication number
- JPS5878642U JPS5878642U JP17511281U JP17511281U JPS5878642U JP S5878642 U JPS5878642 U JP S5878642U JP 17511281 U JP17511281 U JP 17511281U JP 17511281 U JP17511281 U JP 17511281U JP S5878642 U JPS5878642 U JP S5878642U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- positioning stage
- fine movement
- positioning
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図、第２図は各々従来の位置決めステージの平面図
、正面図、第３図、第４図は各々本考案の一実施例の平
面図、正面図である。 なお図において、１・・・・・・基板、２・・・・・・
ワーク固定台、３・・・・・・基板ストッパー、４・・
・・・・基準ポイント、５・・・・・・ＸＹ微動ステー
ジ、６，７・・・・・・ＸＹ微動ステージ、調整ツマミ
、８・・・・・・微動θステージ、９・・・・・・ＸＹ
ポジショニングステージ、１０・・・・・・基板のポイ
ント、１１・・・・・・回転角微調整用ネジ、１２・・
・・・＝突当て棒、１３・・・・・・加圧スプリング部
、である。
、正面図、第３図、第４図は各々本考案の一実施例の平
面図、正面図である。 なお図において、１・・・・・・基板、２・・・・・・
ワーク固定台、３・・・・・・基板ストッパー、４・・
・・・・基準ポイント、５・・・・・・ＸＹ微動ステー
ジ、６，７・・・・・・ＸＹ微動ステージ、調整ツマミ
、８・・・・・・微動θステージ、９・・・・・・ＸＹ
ポジショニングステージ、１０・・・・・・基板のポイ
ント、１１・・・・・・回転角微調整用ネジ、１２・・
・・・＝突当て棒、１３・・・・・・加圧スプリング部
、である。
Claims (1)
- ＸＹポジショニングステージと、該ＸＹポジショニング
ステージ上の微動θステージと、該微動θステージ上の
ＸＹ微動ステージと、該ＸＹ微動ステージ上のワーク固
定台とを含んで構成されることを特徴とする位置決めス
テージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17511281U JPS5878642U (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | 位置決めステ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17511281U JPS5878642U (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | 位置決めステ−ジ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5878642U true JPS5878642U (ja) | 1983-05-27 |
Family
ID=29967354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17511281U Pending JPS5878642U (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | 位置決めステ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5878642U (ja) |
-
1981
- 1981-11-25 JP JP17511281U patent/JPS5878642U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5867658U (ja) | 締付治具 | |
| JPS5878642U (ja) | 位置決めステ−ジ | |
| JPS58102052U (ja) | バイス | |
| JPS6059213U (ja) | 顕微鏡用保持装置 | |
| JPS58185499U (ja) | 作品パネル | |
| JPS60190544U (ja) | 小物部品の位置決め装置 | |
| JPS6062613U (ja) | スタツドのワ−クに対する固定装置 | |
| JPS6120253U (ja) | ワ−ク面取り装置 | |
| JPS6082335U (ja) | 吸着装置付座標入力装置 | |
| JPS582656U (ja) | 分光光度計の試料セツト用基板 | |
| JPS60109767U (ja) | 台付砥石 | |
| JPS60151172U (ja) | 耐震用卓上装置 | |
| JPS60171415U (ja) | 歯科模型分割用の安定台 | |
| JPS60128685U (ja) | 輪郭投影マ−ジヤン台 | |
| JPS5826607U (ja) | すきま測定具 | |
| JPS6042536U (ja) | 機械加工用位置決め治具 | |
| JPS59151682U (ja) | 波板加工補助器具 | |
| JPS5928498U (ja) | パンチ用紙位置決め器 | |
| JPS6014987U (ja) | 線引き定規 | |
| JPS5886599U (ja) | 微動調整付マグネツトベ−ス | |
| JPS58140523U (ja) | デイテクタの微調機構 | |
| JPS59107717U (ja) | 回転ヘツド装置の磁気ヘツド調整装置 | |
| JPS5917134U (ja) | クランプ装置 | |
| JPS5851969U (ja) | 蝶ねじ締付用工具 | |
| JPS585757U (ja) | 鍵盤入力装置 |