JPS5879731A - 平面形表示装置の欠陥修正方法 - Google Patents
平面形表示装置の欠陥修正方法Info
- Publication number
- JPS5879731A JPS5879731A JP56177752A JP17775281A JPS5879731A JP S5879731 A JPS5879731 A JP S5879731A JP 56177752 A JP56177752 A JP 56177752A JP 17775281 A JP17775281 A JP 17775281A JP S5879731 A JPS5879731 A JP S5879731A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transistor
- line
- defect
- scanning line
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は平面形表示装置の欠陥修正方法に関するもので
ある。
ある。
平面形表示装置は各画素ごとにトランジスタ、６董、表
示素子を悟載し、これらの画素を走査線、信号線、パワ
ー線で結線することＫよシマトリックス表示を行なう。
示素子を悟載し、これらの画素を走査線、信号線、パワ
ー線で結線することＫよシマトリックス表示を行なう。
この時トランジスタとしてＭＯＳＦＥＴを用いるが、製
作工程中のピンホール、汚染など、あるいは動作中の劣
化によりトランジスタ（ＤＰ−）とソース（あるいはド
レイン）間のｒ−）Ｊａｉｌ膜の耐圧が低下し、トラン
ジスタの短絡故障が起こることがある。このようなトラ
ンジスタの短絡故障が生じた場合、走査線と信号線間が
短絡し１表示不可能となる。
作工程中のピンホール、汚染など、あるいは動作中の劣
化によりトランジスタ（ＤＰ−）とソース（あるいはド
レイン）間のｒ−）Ｊａｉｌ膜の耐圧が低下し、トラン
ジスタの短絡故障が起こることがある。このようなトラ
ンジスタの短絡故障が生じた場合、走査線と信号線間が
短絡し１表示不可能となる。
この場合トランジスタの故障が少くとも１カ所Ｋ、生じ
ると、仁のトランジスタが接続されている走ｆ：縁の全
画素が動作せず、いわゆる線欠陥となってしまうとｉう
欠点があった。
ると、仁のトランジスタが接続されている走ｆ：縁の全
画素が動作せず、いわゆる線欠陥となってしまうとｉう
欠点があった。
本発明は、平面形表示装置の走査線全体の線欠陥を部分
的な点欠陥に修正することで、装置故障を救済し得る平
面形表示装置の欠陥修正方法を提供することを目的とす
る。
的な点欠陥に修正することで、装置故障を救済し得る平
面形表示装置の欠陥修正方法を提供することを目的とす
る。
以下本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の実施例であって、ＩＦｉシリアル・・
ｆラレル変換回路、２は走査回路、３は表示／ｌネル、
４は画素、５は走査線、６は信号線、１は電流針、８は
レーデ−光源あるいは電子ビーム源である。図には一部
を代表して示しているが、表示装置は、走査線、信号線
１画素がマトリックス状に形成されている。また第２図
は画素４の部分を示す構成回路図であ）、９は駆動用ト
ランジスタ、１０はトランジスタのｆ −ト、１１はト
ランジスタのソース、１２は表示素子である。
ｆラレル変換回路、２は走査回路、３は表示／ｌネル、
４は画素、５は走査線、６は信号線、１は電流針、８は
レーデ−光源あるいは電子ビーム源である。図には一部
を代表して示しているが、表示装置は、走査線、信号線
１画素がマトリックス状に形成されている。また第２図
は画素４の部分を示す構成回路図であ）、９は駆動用ト
ランジスタ、１０はトランジスタのｆ −ト、１１はト
ランジスタのソース、１２は表示素子である。
上記構造において、トランジスタ９が欠ｔｌた場合、走
査線５に走査回路２よシミ位を加えると信号線６に外部
接続した電流計１にもれ電流が現われる。一方トランジ
スタ９が正常の場合は、走査線５と信号線−はトランジ
スタ９のｒ−）Ｊ４）Ｋよル分離され、電流計２にもれ
電流は現われない。この検査を、表示部Ｏ線欠陥が生じ
た走査線ｊＫ接接続た全画集について行なう事によル、
欠陥箇所の走査線５の番地！、信号ＩＮ６の番地ｊが決
定する０番地（１，ｊ）を光学顕微鏡と陰極線管（ＣＲ
Ｔ）に表示し、この番地（１，Ｊ）Ｋレーデ−光源ある
いは電子ビーム源８から発射されたレーデ−光線あるい
は電子ビームを位置合わせする。トランジスタ９の構成
＃科は、半導体層として、Ｃｄｓ・、Ｃｄｓ。
査線５に走査回路２よシミ位を加えると信号線６に外部
接続した電流計１にもれ電流が現われる。一方トランジ
スタ９が正常の場合は、走査線５と信号線−はトランジ
スタ９のｒ−）Ｊ４）Ｋよル分離され、電流計２にもれ
電流は現われない。この検査を、表示部Ｏ線欠陥が生じ
た走査線ｊＫ接接続た全画集について行なう事によル、
欠陥箇所の走査線５の番地！、信号ＩＮ６の番地ｊが決
定する０番地（１，ｊ）を光学顕微鏡と陰極線管（ＣＲ
Ｔ）に表示し、この番地（１，Ｊ）Ｋレーデ−光源ある
いは電子ビーム源８から発射されたレーデ−光線あるい
は電子ビームを位置合わせする。トランジスタ９の構成
＃科は、半導体層として、Ｃｄｓ・、Ｃｄｓ。
ａｉなど、絶縁膜として、８１０２ 、 Ａｔ２０ａ
ｅ ＴｉＯ２など、電極材料として％ Ａｚ ａ ｘｖ
ｓ ／ ｃｕ ａ ｘｎ ／ ｃｒなどとなっている。
ｅ ＴｉＯ２など、電極材料として％ Ａｚ ａ ｘｖ
ｓ ／ ｃｕ ａ ｘｎ ／ ｃｒなどとなっている。
この番地（１、１）に上記構成材料を蒸発させるのに必
要なエネルギー密度以上のレーデ−光線あるｉは電子ビ
ームを照射し、構成物質を蒸発させる。この仁と虻よシ
、第３ｂ！！ＪＫ示しえように、トランジスタＩが消滅
し、走査線５と信号線−とがオープン状態となる。
要なエネルギー密度以上のレーデ−光線あるｉは電子ビ
ームを照射し、構成物質を蒸発させる。この仁と虻よシ
、第３ｂ！！ＪＫ示しえように、トランジスタＩが消滅
し、走査線５と信号線−とがオープン状態となる。
この効果によルトッンゾスタ９の損失にともなって生ず
る線欠陥を番地（１，Ｊ）のみ和することができる。
る線欠陥を番地（１，Ｊ）のみ和することができる。
勿論、本夾施例での電流計７の代シＫ［圧計を用いても
かまわない、ｔた、８はレーデ−スクライバあるいはマ
スク０修正に使用するマスクリベアラ−でも良い。４１
に、）ランゾスタの配列が規則的であること、ならびに
蒸発させる領域がトランジスタ部分の限られた形状で小
面積である丸め容易にマスクリベアラーが使用できる。
かまわない、ｔた、８はレーデ−スクライバあるいはマ
スク０修正に使用するマスクリベアラ−でも良い。４１
に、）ランゾスタの配列が規則的であること、ならびに
蒸発させる領域がトランジスタ部分の限られた形状で小
面積である丸め容易にマスクリベアラーが使用できる。
以上説明したように１本発明は、少くとも１箇所の欠損
に起因した線欠陥を点欠陥に修正することができ、平面
形表示装置の機能を容易に回復させることが可能となる
平面形表示装置の欠陥修正方法を提供できる。
に起因した線欠陥を点欠陥に修正することができ、平面
形表示装置の機能を容易に回復させることが可能となる
平面形表示装置の欠陥修正方法を提供できる。
第１図は本発明の実施例、第２図は第１図の画素部分の
構成回路図、第３図は本発明によル蒸発させた後の画素
部分の構成■である。 １・・・シリアル・・９ラレル変換回路、２・・・走査
回路、３・・・表示／４ネル、４・・・画素、５・・・
走査線、６・・・信号線、１・・・電流針、８・・・レ
ーデ−光線あるいは電子ビーム源、９・・・駆動用トラ
ンジスタ、１０・・・トランジスタの？−ト、ｘｘ・・
・トランジスタのソース、１２・・・表示素子。
構成回路図、第３図は本発明によル蒸発させた後の画素
部分の構成■である。 １・・・シリアル・・９ラレル変換回路、２・・・走査
回路、３・・・表示／４ネル、４・・・画素、５・・・
走査線、６・・・信号線、１・・・電流針、８・・・レ
ーデ−光線あるいは電子ビーム源、９・・・駆動用トラ
ンジスタ、１０・・・トランジスタの？−ト、ｘｘ・・
・トランジスタのソース、１２・・・表示素子。
Claims (1)
- アクティブマトリックスと表示素子とからなる平面形表
示装置において、アクティブマトリックス内のトランジ
スタの少くとも１カ所の短絡故障によシ生ずる表示にお
ける線欠陥を、短絡故障したトランジスタ箇所へのレー
デ−ビームあるいは電子ビームの照射によってその構成
物質を蒸発させ短絡故障箇所を開放状態とすることによ
り表示における線欠陥を点欠陥とすることを特徴とする
平面形表示装置の欠陥修正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56177752A JPS5879731A (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 平面形表示装置の欠陥修正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56177752A JPS5879731A (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 平面形表示装置の欠陥修正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5879731A true JPS5879731A (ja) | 1983-05-13 |
Family
ID=16036500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56177752A Pending JPS5879731A (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 平面形表示装置の欠陥修正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5879731A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62191804A (ja) * | 1986-02-18 | 1987-08-22 | Toppan Printing Co Ltd | カラ−フイルタ−の修正方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5552091A (en) * | 1978-10-13 | 1980-04-16 | Suwa Seikosha Kk | Correcting substrate for liquid crystal panel |
-
1981
- 1981-11-05 JP JP56177752A patent/JPS5879731A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5552091A (en) * | 1978-10-13 | 1980-04-16 | Suwa Seikosha Kk | Correcting substrate for liquid crystal panel |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62191804A (ja) * | 1986-02-18 | 1987-08-22 | Toppan Printing Co Ltd | カラ−フイルタ−の修正方法 |
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