JPS5879732U - 真空焼付露光装置 - Google Patents

真空焼付露光装置

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Publication number
JPS5879732U
JPS5879732U JP17511881U JP17511881U JPS5879732U JP S5879732 U JPS5879732 U JP S5879732U JP 17511881 U JP17511881 U JP 17511881U JP 17511881 U JP17511881 U JP 17511881U JP S5879732 U JPS5879732 U JP S5879732U
Authority
JP
Japan
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vacuum printing
sheet
printing exposure
exposure equipment
exposure apparatus
Prior art date
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Pending
Application number
JP17511881U
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English (en)
Inventor
博 村井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａは真空焼付露光装置の側面図。第１図すおよび
Ｃは、マスターパターンをガラス乾板およびフィルムに
したときの感光性フィルムおよびゴムシートの密着状態
を示す拡大断面図。第２図は本考案に用いる枠体の斜視
図。第３図は、本考案に用いるゴムシートの中央部を切
抜いた状態の斜視図。第４図ａおよびｂは、本考案に用
いるテフロン材シートの斜視図および断面図。第５図は
本考案に用いるゴムシートにテフロン材シートを接着し
た状態の断面図。第６図は本考案装置によるマスク露光
パターンの作製状態を示す断面図。 １・・・マスターパターンフィルム、２・・・感光性フ
ィルム、３・・・ゴムシート、４・・・焼枠、５・・・
透明板、６・・田−タリーポンプ、７・・・排気ホース
、８・・・マスターパターンガラス乾板、９・・・枠体
、１Ｇ・・・ゴムなどのシート、１０ａ・・・弾性シー
トの切抜き孔、１１・・・テフロン材シート、１１ａ・
・・テフロン材シートの突出面、１１ｂ・・・テフロン
材シートの削キ取り部。 ｔａ） ＜ｂ）

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 排気装置及び露光光源を内蔵する筐体の上面に設けた透
    明板上にマスターパターンと感光性フィルムとを重ねて
    上面から密接する弾性シートを有する焼枠を備えた真空
    焼付露光装置において、前′　　記シートの中央部に表
    面が帯電防止され、かつ滑り性を有するシートとしたこ
    とを特徴とする真空焼付露光装置。
JP17511881U 1981-11-25 1981-11-25 真空焼付露光装置 Pending JPS5879732U (ja)

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JP17511881U JPS5879732U (ja) 1981-11-25 1981-11-25 真空焼付露光装置

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JP17511881U JPS5879732U (ja) 1981-11-25 1981-11-25 真空焼付露光装置

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JPS5879732U true JPS5879732U (ja) 1983-05-30

Family

ID=29967361

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