JPS5879784A - 無声放電励起レ−ザ−装置 - Google Patents
無声放電励起レ−ザ−装置Info
- Publication number
- JPS5879784A JPS5879784A JP17753981A JP17753981A JPS5879784A JP S5879784 A JPS5879784 A JP S5879784A JP 17753981 A JP17753981 A JP 17753981A JP 17753981 A JP17753981 A JP 17753981A JP S5879784 A JPS5879784 A JP S5879784A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- series
- silent discharge
- reactor
- laser device
- power supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は無声放電励起レーザー装置に関するもので、
電極の動作特性を改良すること管目的とする。
電極の動作特性を改良すること管目的とする。
従来、この種の装置として第１図に示すものがあった。
この装置において、電源（１）の出力は１表面が誘電体
に優れた一対の電極（２Ａ）（２８） Ｋ接続されてい
る。この電極（２Ａ）（２Ｂ） はレーザー謀質ガヌ（
３）１−満たしたレーザー発振器（４）内に配設され、
この電極（２Ａ） （２Ｂ）間に無声放電（５）を発生
させる。そして、全反射鏡（６）及び部分透過鏡（７）
が上記無声放電（５）を挾んで対向して配設されるとレ
ーザー発振が起こり、レーザー光（８）が出力される。
に優れた一対の電極（２Ａ）（２８） Ｋ接続されてい
る。この電極（２Ａ）（２Ｂ） はレーザー謀質ガヌ（
３）１−満たしたレーザー発振器（４）内に配設され、
この電極（２Ａ） （２Ｂ）間に無声放電（５）を発生
させる。そして、全反射鏡（６）及び部分透過鏡（７）
が上記無声放電（５）を挾んで対向して配設されるとレ
ーザー発振が起こり、レーザー光（８）が出力される。
ｖｇｚ図は第１図の電極部分の断面を示したもの〒、電
極（２Ａ） （２Ｂ）は導体（９Ａ） （９Ｂ）及び誘
電体Ｃｌ０Ａ） （ＩＯＢ） Ｋよって構成され、導体
（９Ａ）（９Ｂ）が電源（１）の出力に接続されている
。そして仁の電源（１）の出力電圧を上けると電極（２
Ａ）（２Ｂ）間に無声放電（５）が生ずる。
極（２Ａ） （２Ｂ）は導体（９Ａ） （９Ｂ）及び誘
電体Ｃｌ０Ａ） （ＩＯＢ） Ｋよって構成され、導体
（９Ａ）（９Ｂ）が電源（１）の出力に接続されている
。そして仁の電源（１）の出力電圧を上けると電極（２
Ａ）（２Ｂ）間に無声放電（５）が生ずる。
また第８図は無声数″’１（５）を発生している電極
−（２Ａ） （２Ｂ）の電気的な等価回路？示したも
ので、図において％（ＩＩＡ） （ＪＩＢ）は誘電体（
ＩＯＡ）（ＩＯＢ）の静電容量、０１は無声数ｆ（５）
の等価抵抗である。
−（２Ａ） （２Ｂ）の電気的な等価回路？示したも
ので、図において％（ＩＩＡ） （ＪＩＢ）は誘電体（
ＩＯＡ）（ＩＯＢ）の静電容量、０１は無声数ｆ（５）
の等価抵抗である。
一般［Ｗ源（１）の出力は１０ ｋＨｚ 以上の交流
であり電源（１）の出力電流は誘電体の静電容量（ＩＩ
Ａ）ＣＩＩＢ）と等価抵抗０３の直列インピーダンスに
工り決定されてしまう。そのため誘電体の静電容態（Ｉ
ＩＡ） （ＩＩＢ）のインピーダンスが高いと電源（１
）の出力電流が流れず等価抵抗０３に投入される放ｖｆ
軍力が制限されてしまう。
であり電源（１）の出力電流は誘電体の静電容量（ＩＩ
Ａ）ＣＩＩＢ）と等価抵抗０３の直列インピーダンスに
工り決定されてしまう。そのため誘電体の静電容態（Ｉ
ＩＡ） （ＩＩＢ）のインピーダンスが高いと電源（１
）の出力電流が流れず等価抵抗０３に投入される放ｖｆ
軍力が制限されてしまう。
また出力電流の力率が悪くなり大きな容量の電源（１）
が必要になるという欠点があった。
が必要になるという欠点があった。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、電極と直列にリアクトルを接続す
ることにより、Ｗ源から最大のイカを無声放電電力とし
て取り出すことができ高出力の無声放電励起レーザー装
置を提供することを目的としている。
めになされたもので、電極と直列にリアクトルを接続す
ることにより、Ｗ源から最大のイカを無声放電電力とし
て取り出すことができ高出力の無声放電励起レーザー装
置を提供することを目的としている。
以下、この発明の一冥施例を図について説明する。第４
図において、＠１図と同一符号はそれぞれ同一または相
当部分を示し、α４はりアクドルで。
図において、＠１図と同一符号はそれぞれ同一または相
当部分を示し、α４はりアクドルで。
このリアク）７Ｌ／（ロ）は電極（２Ａ） （２Ｂ）と
直列に接続されている。
直列に接続されている。
＠５図は１ｇ４図の電気的な等価回路である。ここで上
記リアクトルａ４と各静電容量（ＩＩＡ） （ＩＩＢ）
の直列回路が電源（１）の出力周波数に直列共振するよ
うにリアクト７ＭＱ４の値を選ぶと、このリアクトＭα
→と静ｗ容量（ＩＩＡ） （ＩＩＢ）の直列インピーダ
ンスはゼロとなり第６図に示すように電源（１）の負荷
は無声放電の等価抵抗斡のみとなって電源（１）の出力
電圧は全て無声放電電圧となり最大の電力が電源（１）
より無声放電に投入される。
記リアクトルａ４と各静電容量（ＩＩＡ） （ＩＩＢ）
の直列回路が電源（１）の出力周波数に直列共振するよ
うにリアクト７ＭＱ４の値を選ぶと、このリアクトＭα
→と静ｗ容量（ＩＩＡ） （ＩＩＢ）の直列インピーダ
ンスはゼロとなり第６図に示すように電源（１）の負荷
は無声放電の等価抵抗斡のみとなって電源（１）の出力
電圧は全て無声放電電圧となり最大の電力が電源（１）
より無声放電に投入される。
なお、無声放電は一般に高電圧が必要であるので、第７
図に示すように外圧トランス（至）を使用する場合が多
いが、外圧トランスに）の低圧側にリアクトルα４ｆ接
続すれば、リアクトＩｖＱ４のインダクタンスは第４Ｆ
ｊｌＡＫ示した電極（２Ａ） （ｇＢ）に直接接続し九
ものに比べてさらに小さな値で済み、上記実施例と同様
の効果管奏する。
図に示すように外圧トランス（至）を使用する場合が多
いが、外圧トランスに）の低圧側にリアクトルα４ｆ接
続すれば、リアクトＩｖＱ４のインダクタンスは第４Ｆ
ｊｌＡＫ示した電極（２Ａ） （ｇＢ）に直接接続し九
ものに比べてさらに小さな値で済み、上記実施例と同様
の効果管奏する。
また上記リアクトＡ／Ｑ４は電源（１）より電極（２人
）（２Ｂ）までの配線のインダクタンスと、外圧トラン
ス（至）のもれインダクタンスを含んだ値であっても良
い。
）（２Ｂ）までの配線のインダクタンスと、外圧トラン
ス（至）のもれインダクタンスを含んだ値であっても良
い。
第８図ｈ＋圧ト呼ン゛ス（至）の１次側における等価イ
ンピーダンスを示す。
ンピーダンスを示す。
ここでトランスの１次側に対する２次側の巻数、比ｔｎ
とすると静電容量（ロ）蝶静電容量（ＩＩＡＸＩＩＢ）
の直列容量のｎｌ 倍、抵抗＠は等価抵抗（２）の１／
ｎｔになる。この値をそれぞれがＣ−”／ｎｔとし、リ
アクトｖａ４のインダクタンスをり、電源（１）の出力
電圧）Ｅとすれば抵抗（Ｊ４に消費される電力ｗＨと表
すことができる。
とすると静電容量（ロ）蝶静電容量（ＩＩＡＸＩＩＢ）
の直列容量のｎｌ 倍、抵抗＠は等価抵抗（２）の１／
ｎｔになる。この値をそれぞれがＣ−”／ｎｔとし、リ
アクトｖａ４のインダクタンスをり、電源（１）の出力
電圧）Ｅとすれば抵抗（Ｊ４に消費される電力ｗＨと表
すことができる。
この時電力Ｗが最大になる条件は分母の虚数部（ｃｕｎ
Ｌ−−１−）＝０の時である。
Ｌ−−１−）＝０の時である。
ωｎＣ
よって巻数比ｎが
のとき電力Ｗは
となる。
また上記式＜２） ｆ ＊き直すと
ωＬ＝−
ωｎ”ｃ
となりリアクタンスＬと静Ｗ＃ｔｎ’Ｇとの直列共振の
条件を満たしている。そのためリアクトルα菊と静電容
量（ロ）の直列インピーダンスはゼロとなり、第８図は
第９図のように書き直すことができる。
条件を満たしている。そのためリアクトルα菊と静電容
量（ロ）の直列インピーダンスはゼロとなり、第８図は
第９図のように書き直すことができる。
ぶことによプリアクトｔｖＱ４と静電容量ＣＩＬＡＸＩ
ＩＢ）を直列共振させることができ上記実施例と同様の
効果を奏するのである。
ＩＢ）を直列共振させることができ上記実施例と同様の
効果を奏するのである。
以上のようにこの発明によれば、リアクトＶを電極に直
列に接続して直列共振させることにより。
列に接続して直列共振させることにより。
電源から最大の電力を無声放電電力として取出すことが
でき、抵抗負荷のため力率が良く、同一のレーザー出力
を得るための電源の電力電流は小さなものでよく、それ
だけ小さな電流容量の電源とすることができる効果があ
る。
でき、抵抗負荷のため力率が良く、同一のレーザー出力
を得るための電源の電力電流は小さなものでよく、それ
だけ小さな電流容量の電源とすることができる効果があ
る。
１！ＩＩＮ〜第８図はそれぞれ従来のレーザー装置管水
したもので、 ＩＩ！１ｗＪはその構成を説明する図、
第２図は断面図％第８図は電気的な等価回路図、第４図
〜第６図はそれぞれこの発明の一実施例によるレーザー
装置を示したもので、第４図はその構成を説明する図、
第５図は電気的な等価回路図。 ［４図は等価回路の動作を説明する図、＠７図〜Ｉｇ９
図はそれぞれこの発明の他の実施例を説明する構成図で
ある。 図において、（１）は電源、 （２Ａ） （２ＥｌｌＷ
＆、 （３）はレーザー媒質ガス、（４）はレーザー＠
振器、（５）は無声放電、（６）は全反射鏡、（７）ｔ
ｉ部分透過鏡、（３）はレーザー光、（９Ａ） （９Ｂ
） ｈ導奄体、Ｃｌ０Ａ） （ＩＯＢ）は誘電体、（Ｉ
ＩＡ） （ＩＩＢ）は誘電体の静Ｗす載α４は無声放電
の等価インピーダンス、α４１９−ＩＩＩアクドル、α
・は外圧トランス、（１７）ｌ淘は外圧トランス◇Ｑの
１次側より見たｉｔｗの等価インピーダンスである。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 葛野信− 第１図 第２図 第６図 第４図 第５図 第６図 第７図 第８４． 第９丙 手続補正書（−発） 特許庁長官殿 １、小作の表示 特願昭 ｌｌ−１７２１１１号
２、発明の名称 無声放電励起レーザー装置 ３、補正をする者 代表者片山仁へ部 ５、 補正の対象 （１） 図面 ６、 補正の内容 （１） 図面の第２図を別紙のとおり訂正する。 １、 添付書類の目録 （１１訂正図面（第２図） １通以上 第２図
したもので、 ＩＩ！１ｗＪはその構成を説明する図、
第２図は断面図％第８図は電気的な等価回路図、第４図
〜第６図はそれぞれこの発明の一実施例によるレーザー
装置を示したもので、第４図はその構成を説明する図、
第５図は電気的な等価回路図。 ［４図は等価回路の動作を説明する図、＠７図〜Ｉｇ９
図はそれぞれこの発明の他の実施例を説明する構成図で
ある。 図において、（１）は電源、 （２Ａ） （２ＥｌｌＷ
＆、 （３）はレーザー媒質ガス、（４）はレーザー＠
振器、（５）は無声放電、（６）は全反射鏡、（７）ｔ
ｉ部分透過鏡、（３）はレーザー光、（９Ａ） （９Ｂ
） ｈ導奄体、Ｃｌ０Ａ） （ＩＯＢ）は誘電体、（Ｉ
ＩＡ） （ＩＩＢ）は誘電体の静Ｗす載α４は無声放電
の等価インピーダンス、α４１９−ＩＩＩアクドル、α
・は外圧トランス、（１７）ｌ淘は外圧トランス◇Ｑの
１次側より見たｉｔｗの等価インピーダンスである。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 葛野信− 第１図 第２図 第６図 第４図 第５図 第６図 第７図 第８４． 第９丙 手続補正書（−発） 特許庁長官殿 １、小作の表示 特願昭 ｌｌ−１７２１１１号
２、発明の名称 無声放電励起レーザー装置 ３、補正をする者 代表者片山仁へ部 ５、 補正の対象 （１） 図面 ６、 補正の内容 （１） 図面の第２図を別紙のとおり訂正する。 １、 添付書類の目録 （１１訂正図面（第２図） １通以上 第２図
Claims (5)
- （１） レーザー課質ガスｔ、対向して配設された電
極間で無声放電させることにより励起してレーザー出力
を得る無声放電励起レーザー装置において、上記電極と
直列にリアク）７１／が接続されることｔ特徴とする無
声放電励起レーザー装置。 - （２） リアクトＶの値は、このリアクトＶと電極の
静電容量とが直列共振する値であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の無声放電励起Ｖ−ザー装置。 - （３） 電極は外圧トランスを介して電源に接続され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
無声放電励起レーザー装置。 - （４） ！Ｊアク）Ａ’ｉｊ昇圧トランスの低圧側に
直列に接続されていることを特徴とする特許請求の範囲
１ｇ８項Ｋ１１Ｉｉ３載の無声放電励起レーザー装置。 - （５）外圧トランスの巻数比は、外圧トランスの低圧側
に直列に接続されたツクトルと電極の静電容量とが直列
共振する値であることを特徴とする特許請求の範囲第８
項記載の無声放電励起レーザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17753981A JPS5879784A (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 無声放電励起レ−ザ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17753981A JPS5879784A (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 無声放電励起レ−ザ−装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5879784A true JPS5879784A (ja) | 1983-05-13 |
| JPH0413872B2 JPH0413872B2 (ja) | 1992-03-11 |
Family
ID=16032704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17753981A Granted JPS5879784A (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 無声放電励起レ−ザ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5879784A (ja) |
-
1981
- 1981-11-05 JP JP17753981A patent/JPS5879784A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0413872B2 (ja) | 1992-03-11 |
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