JPS5881606U - 微小変位駆動装置 - Google Patents
微小変位駆動装置Info
- Publication number
- JPS5881606U JPS5881606U JP17537281U JP17537281U JPS5881606U JP S5881606 U JPS5881606 U JP S5881606U JP 17537281 U JP17537281 U JP 17537281U JP 17537281 U JP17537281 U JP 17537281U JP S5881606 U JPS5881606 U JP S5881606U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drive device
- displacement drive
- micro displacement
- expanded
- amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案による微小変位駆動装置の基本構成図、
第２図は本考案による他の実施例の基本構成図である。 、 １・・・・・・電歪素子、２・・・・・・棒状
ロッド、３・・・・・・部材、４・・・・・・部材の一
面、５・・・・・・穴部（６・・・・・・テコ入力片、
７・・・・・・Ｘ軸駆動装置、８，１２・・・・・・ロ
ッド、９・・・・・・平行板バネ、１０・・・・・・Ｙ
テーブル、１１・・・・・・Ｙ軸駆動装置、１３・・・
・・・試料テーブル。
第２図は本考案による他の実施例の基本構成図である。 、 １・・・・・・電歪素子、２・・・・・・棒状
ロッド、３・・・・・・部材、４・・・・・・部材の一
面、５・・・・・・穴部（６・・・・・・テコ入力片、
７・・・・・・Ｘ軸駆動装置、８，１２・・・・・・ロ
ッド、９・・・・・・平行板バネ、１０・・・・・・Ｙ
テーブル、１１・・・・・・Ｙ軸駆動装置、１３・・・
・・・試料テーブル。
Claims (1)
- 加えられる電界に応じて歪を生ずる電歪素子の変形量を
、一つの平板に穴あけと溝入れとの加工をほどこして形
成した切り欠き部の弾性変形を支点とするテコ型変位変
換機構により拡大し、該拡大された変位量により被駆動
物を駆動することを特徴とする微小変位駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17537281U JPS5881606U (ja) | 1981-11-27 | 1981-11-27 | 微小変位駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17537281U JPS5881606U (ja) | 1981-11-27 | 1981-11-27 | 微小変位駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5881606U true JPS5881606U (ja) | 1983-06-02 |
Family
ID=29967709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17537281U Pending JPS5881606U (ja) | 1981-11-27 | 1981-11-27 | 微小変位駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5881606U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6454514A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-02 | Hitachi Construction Machinery | Minute displacement mechanism |
| JPS6454516A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-02 | Hitachi Construction Machinery | Minute displacement mechanism |
| JPS6454515A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-02 | Hitachi Construction Machinery | Minute displacement mechanism |
-
1981
- 1981-11-27 JP JP17537281U patent/JPS5881606U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6454514A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-02 | Hitachi Construction Machinery | Minute displacement mechanism |
| JPS6454516A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-02 | Hitachi Construction Machinery | Minute displacement mechanism |
| JPS6454515A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-02 | Hitachi Construction Machinery | Minute displacement mechanism |
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