JPS5883183A - 伸縮自在ヒ−トパイプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はヒートパイプの両端面を熱交換半面として使用
する型（ヒートバイブの構造に関するものである。又不
発Ｌ９′３は基板上に多数搭載されである個々の発熱体
から熱エネルギーを吸収して共通の冷却平板に伝達して
市却する如き賜金の発熱、耐却両平板曲の熱接続素子と
して最適の小型ヒートパイプ全提供せんとするものであ
ン）。

近米霜１子枦；器等に於いて印刷配線基板、セラミック
基板再に搭載される名利・牛碑体回路チップ等の搭載￥
１”、’度が増大し、又半病体回鮪ナツプ自芽の回路の
高庇度化傾向も増々進展し、それ等に依る発生熱工不ル
キーの放散冷却は電子機器の信頼性保証、寿命の保持等
の点から極めて重要な課題となりつつある。

従来この柚の酊却方法としてＶ」、発熱チップ等の熱は
一旦基板に吸収せしめ、基板の熱を基板表向に取付けた
金属製ヒートシンクに（Ａｌｌ）吸収拡散せしめ、必要
に応じて該ヒートシンク全強制空冷せしめたり、又は基
板全体を強制空Ｇせしめる等の方法が主流でおった。然
し近来の重度に小型化し、尚＠度に実装された電子機器
では、上述の様な間接的冷却手段では各部品や基板の温
度上Ｊｊ＋全防ぐことが困難となりつつある。又金属製
ヒートシンクは４セ器小型化、＠量化の時代趨勢に反す
るものと考えられ始めている。

最近、冷却手段の小型軽量化及び効率化の為、発熱半導
体テップ等から直接に発生熱を吸収し、共通の熱運搬手
段に伝達せしめ、該熱運搬手段に依り機器外に熱工坏ル
キー會放ｈりせしめる方法か注目され始めている。この
共通の熱連搬手寂としては内部に冷媒液を循環せしめた
冷却平板や平板状ヒートパイプが有望視されている。こ
の株な冷却に際してけ共通の熱運搬手段と個々の発熱半
導体チップを熱ｍｌに接ｈ１−シて効来的に熱又換を実
施させる為の熱接続素子か重要々役目を不するものでり
る。この様な熱接続素子としての必要な条件としては恰
めて熱抵抗が小さいことたけでなく、接続構造組立ての
容易性、発熱半導体搭載に依る基板の熱膨張や熱変形等
を吸収する為の伸縮性、ａＪ撓＆等も重要な必要条件と
なる。本発明に係る円筒形伸線自在ヒートパイプはこれ
等の心安条件の総へて全満足ぜしめる熱接続素子としで
案出されたものでめる。

第１図は上述の如き半得体回路チップからの直接熱吸収
に依る冷却力法を小す略図である。

図中１はセラミック基板、Ｔｌ　、’ｌ°２　、Ｔ３は
夫々セラミック基板上に搭載された半導体（ロ）路チッ
プ、２は共通の熱運搬牛Ｊ莢でおる平板状ヒートハイブ
の吸熱部、３は平板状ヒートパインの放熱部、５は水冷
容器、４は機器筐体であり、Ｈ，、Ｊ。

Ｈ３は夫々半導体回路チップと半板状ヒートパイプとを
熱的に接続する素子て゛ある本発明に係る円筒形伸縮自
在ヒートバイフである。谷牛碑杯回路チップＴＩ　　＋
　Ｔ２　　＋　Ｔ３　で発生した熱はセラｄツク基板温
声會過熱することなく、旧つ回路チツン自身の温度を過
度に上昇せしめることなく、素子Ｈ１＋　Ｈ２＋　Ｈ３
に依り熱工不ルキーを平板状ヒートパイプに伝達せしめ
、平板状ヒートパインはこの熱を水冷室を器中に放熱す
る。又素子ｕｉａするその構造に依り平４ν状ヒートバ
イグ、セラくツク基板の熱膨張差にイイＸる歪や、都魚
形に依る歪を吸収し、該冷却構造の長期鍔部、長ルｊ伯
和汁を株ｔｆｉｔ二する。第１図のｙｌｌ＜共通の熱蓮
搬手■夕として平嶺状ヒートパイプを１す・用する場合
は、効率良く熱運搬させる為に水冷容器５は筐体の４゛
１６位置か上部に位１〆ｔせしめ平板状ヒートパイプが
トップヒートにならぬ様江怠する必要かめる。、共通の
熱運搬手段と］〜て冷媒液循填型金用冷却平ｅ　ｆ使用
１〜でもよい。熱接続系子Ｈ１ｒ　Ｈ２ｒ　１１！１　
　もヒートバイノで凌）るがら素子は水平であるか、４
１計的の場合は図の如くセラミック基板を１に冷却平板
を土に位１亙ゼ′しめてトラフヒートにならぬ様に１−
で１史用する。当然であるが素子ヒートパイプを水平使
用する賜金りセラミック基鈑及び共」Ｊの熱運搬手段で
七）る冷勾ｊ半板は共に垂直に筐体内に配置す−される
。

この椋な熱接続系子として従来第２図の如きヒートバイ
ブ素子か提案ちれている（慣開ｔｉｐ　６６−１００２
９４　）、１１．１２Ｕ、両端制止平面であり、１２が
熱入六平１ｉ、ＩＩか熱出力平面であ４〕。Ｊ３は螺旋
コルク−１・型のベロースコンデナである。ベローズの
作用効果はヒートパイプ系士にＯＪ　ｍ惟及び伸縮性を
与えると共に「ト動赦の還庫路としての伐１か力えられ
である。可焼性及び伸丸憔は発熱半導体回路チップと冷
却平板を熱的に桜和１−する除の組立てに極めて便利で
あり、各チップ毎の冷却平板との間隔の赤も問題とせす
容易に組立てることが可能であり、又冷却平板、セラミ
ック基板の熱膨張の差に依る歪みも吸収して該熱汝に補
遺の長勘侶頼牡を保砒１−る。又螺旋コルクートのコン
テナ内側＃４はヒートバイブ素子の伸縮に依り悪影響を
受りることなく安矩した作動液υ１敲として熱父換も性
を保証する。本従業に依るヒートバイブ素子は多数の半
導体回陥チッ７“の発熱を秩収し６囚ｊ平板に伝達する
熱接続系子として極めて有効な構造と云うことが出来る
。然し本折箱の熱接続系子には次に述べる如さ止太な欠
点かあり、使用上人「１コな制限かｌ・吸なものでめっ
た。その欠点は次の〃１」＜である。

（イ）　小ピツチの螺旋コルケート介゛作動液流鮎とす
る為、還び１蹟の長さか極めて艮くなる。螺旋回数か１
ｑ回の塾１合１ｌ−１，長さはπＮｉＪとなりＮか５１
！、Ｉ」とした鵠台的住りの約１０倍に逐すゐ。ヒート
ハ４ノ糸子の長Ｂが１］佳住の１．２５倍とう“ｉｔは
作動亀魚η１゜路の狭さは素子長もの１２．８ｉ台と乃
り団ｊ′帛のに−トバイプの遠ｖ１Ｌ、路艮烙はｅまは
ヒートバイノ長さにやデしいから本従業に依る作動欣匠
１１☆」にさｔよ抽ｍのヒートパイプに比軟して異常に
艮いことに々る。

このことは作動准の流体１（（仇を壇太ゼしめて作動液
還可１．景及び速度を低下せしめヒートパイプ素子性を
低下せしめる。

（ロ）　前項と回じ灼゛山から連続動作の為に妥する作
動液の必吸引−か増加し、ヒートバイブ停止時に熱入力
面１ＴＡ１ｊに溜る作＊１７＆ｌ換の厚さか惨めて厚く
なり、その熱抵抗に依り４差益始動時の熱応答外（Ｗが
低下する。又作動数流路が惨めて艮い点から連続動作の
熱サイクルか完成′１−る迄の時間も長くなり応答速度
低下の原因となる。

（〕→　ヒートパイプ素子の押動性を良くする為には螺
旋コルク゛−トの螺旋ピッチを小さくする必要か蒼）す
、これに依り螺旋角が小さくなる。−力ｊ糸旋コルケー
トの作′ｆｎＪ　ｈ蹄、路は毛細官作用力・小娘く１力
の１簀を受り易い。本ヒートパイフ系子は螺旋角板」二
にヒートパイプか傾斜した場合は第３１ン１例ボの如く
作動液は螺旋の一族（ＩＪに１１（力に抗して上昇する
必要があり、作動液遠１ｚｔｉか怜めて困軸とムシ、ヒ
ートパイプ特性か極めて恋化する。即ち庫提案のヒート
パイプ素子葡使月１した機器はヒートパイプ素子が傾斜
しない様、その設置自−に配慮する必要かある。特にこ
の４〉）、な機器ＱＪ、（ＬＩｉ斜ｍ１を長時間足行す
る様な移動用車輛省に苅する拾４イ・１時にはへ却性仙
低１につき配励、する必要がある。第３図に於いてＸ、
−Ｘ２は水平線、βＣ１、螺旋角、αす、ヒートパイプ
系子のイ頃余［角である。

に）　ヒートパイプ素子をその中心軸が水平になる（永
に１更用することは絶対に赴ける必要がある。

ｈｕち冷却平板及びセラミック基板等が歩直になる様な
場合はヒートパイプ系子か介＜１７１動しＡくなるので
この様な使用力法乞１、全く年目」能と々る。ヒートパ
イプはボトムヒート型で垂直に使用する場合が最も高性
能であり、水平で使用する場合の性能はボトムヒート型
で使用する場合の’／２−　％に低下する宿命にあるが
螺旋グループヲ廟するヒートパイプの場合は水平で使用
する場合螺旋グループがかえって作動液移動全妨害して
ヒートバイ−プとしての特性を殆ど失なうことは衆知す
るＱｒ’″ｒ：ある。本提業の如き殆ど螺旋管に近い様
な螺旋グループ内の作動液は水平便用の場合、車力の作
用に依りグループ内に封じ込められ、毛細管作用に依っ
てもクループ内の移動は全く不ｉＪ能となり、ヒートパ
イプとしては全く作動不可能となるに至る。

（ホ）　本提某のヒートパイプ素子の他の欠点として、
熱入力平面と熱出力平面との間の熱交換の他に機器内に
放散する熱量が比較的大きいものである点かあけられる
。第２図から明らかな如く細かいヒツチのベローズ状コ
ンテナはそれ自身で良好なフィン付冷却管の作用があり
、和に螺旋状グループの作動液流路とならない外面クル
ープは深くヒートパイプの作動液蒸気通路内に突出して
居り、且つこの部分には外気が流通自在になって居る為
、作＊ａ蒸気の治する熱エネルキーの一部は外気加熱の
鳥油＊６れて了りもので、このエイルキーはベローズ状
の仏大されたコンテナ外壁を通じて機器内に放散されて
了りもので、これは機器内の温度を上昇せしめることに
なる。

以上に述べた如〈従来提案逼れているベローズ盲状コン
テナを有する熱接続素子は各棟の欠点と又も稚の便用上
の太１１］な制約會イＪするものであな。

本発明に係る伸材白自在ヒートパイプはこれ等の使用土
の制約も受けず、欠点も改善された画性Ｗｉｇの熱接続
素子を提供せんとするものである。

以下図面に従って詳細に説明する。第４図、第５図、及
び第６図は夫々不発明ＶＣ係る伸１に６自在ヒートバイ
ブの実施態椋世」全軍す断面図でりイ）。図中共通査号
で示された２１は熱出力平面となる端末封止板で平板状
ヒートパイプ又は６却平板公の如き各発熱チップ共通の
熱運搬手段に接沼され−（める。２２は熱入力士■とな
る端末封止板で発熱体の半導体回路チップ２９の発熱面
に接層されである。

これ等の接着は半田接着の焦合もあれは、接着平面を銚
曲伸暦した上で伸４１６１午コンテナの加力を３・１」
用して抑圧接触させるだけの場合もある。２３はベロー
ズ管状コンテナでベローズに憤り伸動自在となっている
。コンテナ利賀が一藪ヒートパイプの如く純軟鋼管か使
用される場合は作動液注入時の減圧に依りベローズは収
縮状態に々つて居り、使用時には伸張せしめて冷却平板
、半導体回路チップ等に半田伺けして使用する。伸張困
次１１４な場合は若干の加温を実施することに依９作動
液蒸気の内圧か上昇して容易に伸張壊せることが出来る
。この伸動自在性は半導体１０１路チツンの抽油の相異
に依る若干の商さのに異、基板や冷却平板の熱変形、加
工誤差等に依り生ずる歪応力金容易に吸収する。

又ベローズに依る可撓性は昂゛却平権とセラミック基板
の熱膨張差に依る歪応力も児全に吸収すゐ。

又該コンテナの伸縮自在性及び可撓性は機器全体の急冷
、８１．熱に依る熱変形や振動、価′４等に依る外見、
力に対しても極めて不動に吸収緩和せしめ該熱接続構造
の長期にわたる待命と伯１・ＩＩ性を＆＃する。本ベロ
ーメ管状コンテナの材質をバネ判又はバネ材と純銅の複
合旧料等を用い、ヒートパイプ形成時の熱処理温度であ
る２５０℃〜３５０℃でも弾性全欠なわない材料で構成
することにイイにり本発明に係る伸縮自在ヒートパイプ
はそれ自身として強靭なスプリングとして形成すること
が可能となる１この場合は前述の如く半田接着全省略し
て、抑圧のみに依る熱接続の可能な素子とすることが出
来る。この場合は組立解体の極めて答易な構造となり、
史に機器筐体内の部品レイアウトか容易となる利点もあ
る。本発明に係る伸縮自在ヒートパイプのベローズ管状
コンテナは作動液流路としても作動液蒸気通路としても
、全く第１」用ゼす、コンテナに伸縮自在性及び可撓性
を付与するだけの為である。この沖に於いて前述の従来
提案されているヒートパイプ素子とは全く異なるもので
ある。従ってベローズの形状やコンテナ上に於けるベロ
ーズ形成位置に（ｉＪ等の制約を受けることが無い。従
来提案されているヒートパイプ系子はヒートパイプ全長
にわた多連続した螺旋状コルゲートで構成したベロース
龜以外には適用不用能であるのに対し、本発明のヒート
パイプは作動液の流通を考慮する必要が全くないから、
蛇腹管状のベローズでも螺旋状コルゲートに依るベロー
ヌ管のイρ」れでも艮い。又作動液に対し毛管作用を与
える必要も々いから必蒙な伸縮性と可撓性が有られるな
らばより洩渦のコルゲートでも良く、又太ピッチの蛇腹
管でも螺旋管でも適用が可能である。又コンテナの全長
にわたりベロース哲にする必猥もなく、必少なｐＪ撓性
と伸縮性を与える小ピツチのコルゲー１・全コンテナの
一部分の所望の位置に設けても良い。但し一部分に設り
る場合、作動液をベローズ部分に流入させない為には第
５図の如くコンテナの上半部に設けることが望ましい。

本発明に係る伸縮自在と−トパイフの電も重質な特徴ハ
ベロース費部に於いてコンテナが２皿管構造になってい
る点である。各図に於いて２４はての内管でめる。内管
２４の−＃１ｉ２５は熱出力部＊＋＋の端末封止板の内
側に接鳩されである。その接地は出来る限り端末刺止板
の外様近くで接着されることが望ましい。内管はその中
心中空ワ１５が作動液の蒸気通路として、又その内壁面
が作動液還流路としての役目が与えられる。史に作動液
の蒸気及び作動液が外管ベローズ部の内壁に流入ｊるの
奮防いで、該ヒートパイプ内の作動に於ける熱交換サイ
クルがベローズ部の突起や螺旋グループに依って妨けら
れ性能が低下するのケ防止する＆目がある。

作動液蒸気０二放熱向に於ける冷却に依り蒸気が液化し
その部分の蒸気圧が低下［２、吸熱面で気化した蒸気が
蒸気圧の低下した部分に吸引され急速に移動するのであ
る。＠つて内管内にイｆｉｔ央に仔細Ｊ液蒸気を取込む
為には内管端禾乙の部分Ｃ」冷却ｉＩｌを出退そるたけ
仏く包宕−することか望才しい。内管２４０１０１１槓
は出来るたり一広いことが望才しいのであるか又他面で
は熱入力面と熱出力曲以外での熱放散を小さくする為に
はタ１管ベローズ部内枠−との接触は出来るたけ赴ける
力が望ましい。又内管は外宮コンテナの伸縮に汗って、
熱１１１力［１１１側の端末刺止板と共ＶＣ移動する。

この様な点から内管コンテナはｌＡ管ベローズ部の内枠
よりやや小さな外径になって居ジ、外宮内壁に滑動自在
となるイ求にその直径が定められる。内管コンテナの長
さはヒルドパイブの伸縮を妨けることのない長さに足め
られる。従って内管コンテナは熱入力１則に於いて自由
端になって居り、その端本あが外貨コンテナか必要な収
縮をした時に端末刺止板２２の内ｍ［に接近する程度に
足められる。父内宮コンテナの目出端部は外管コンテナ
が涜む場合にベロース内壁金協つけることのＡい様外住
は若干細く形成しである。

第５図の如く直線状コンテナ部かおる場合は内管はベロ
ーズ部のみに形成し、その先端部は血腺部コンテナ内壁
面に近接する様端末部は＆官避れである。面縁部外管コ
ンテナの部分は内管の存在は殆ど意味が無く又作動液蒸
気の侵入を防ぐ為にこの様な形状が望ましいものである
。熱出力側で／ｆ却液化され／辷作４）液は内β′壁面
に沿って液膜を形成しｌトら垂力に依り最端通路を通過
し一〇内管端禾２６からｃ１均１するか又は第５図の場
合は外壁部を通って熱入力面１１１ｊＶＣ還流する。こ
のへ合内ｔ”・コンブナ内壁端末円拘から出来るたけ均
一に作動液が還流することか望ましい。熱入ノ月ｊ＋１
でのｆ／［動液の均一な分散がその蒸発気化の効率を良
くするからである。内管コンテナ内壁面でヒートパイプ
が若干傾斜しても作動液が均一に分散する杆第４図及び
第５図に於いては比軟的大きなピッチで騨旋浅＠奸２７
が設けである。この浅溝イ］１・幻、並夕１１　した２
群の浅蒋柱が相互に父叉して旋回し乍らＱ：ｔ１’＋未
にＭ？る迄に少くも１／／２回転する様に形成してあり
、これに依り作動液は内壁面に均一に分散芒せられ乍ら
遠回りする。該浅溝相−は矧′帛のヒートパイプ′に設
けられるウィックやグループとは全くその目的が異なり
単に内管壁面を還流する作動ｉを分散せしめるだけであ
り熱１及収や放熱には全くＭ係がないものである。又毛
管作用も必要が無いので為群に極めて洩いもので良く溝
巾も広くて艮い。

第６図に於いては内管は金属油１線束全煽糾して形成し
た中空管路′で代替されている。上述の如く該編組中空
管もウィックとしての目的は全く必要としない。中空管
内での作動液分散全良好ならしめることが主目的である
から編組中空管は粗いピッチで且つ粗な密度で良い。編
組中空内宮の利点はその伸縮性と可撓性にあり、又その
来秋ａＶｃある。これ等の特性に依り編組中空管は外管
ベローズの可読性、伸縮性を全く妨けることなく、又ベ
ローズ内壁と接触してもこれ’ｒ％つりることがない。

上述の如く内管コンテナ発は作動液還流路、蒸気通路と
しての役目とコンテナからの熱放散防止の役目とかある
。作動液及び蒸気はノ１り短の距離を最短の時間で移動
するので従来構造のヒートパイプや従来提案されている
ヒートパイプ素子に比べて極めて早い速展で熱移送サイ
クルを実施することが出来る。又傾斜使用する場合も水
ＸＦＬ使用する場合も能率良く熱移送を実施することか
出来る点は先に述べた従来提案されているヒートパイプ
素子とは全く異なった且つ良好な特９を示すものと云え
る。水平で使用する場合、ｆ′１動液は内置内壁の下部
全流路として還流し、作動数の蒸気は内壁の上部全通路
として移動する。この鴨合作動准はベローズ部に流入し
て停油するので、ヒートパイプ形成時に作動′＃、はそ
の分たけ余分に注入しておく必要がある。又熱入力面の
刺止板の内ｍ１にけ作動液の吸収分散を良好にする為ウ
ィックを設けた方が良い。

第７図は水平使用時の本発明に係る伸縮目在ヒートパイ
プの作動ｊ状態全不す。：幻はウィック、３１は作動液
流である。

外管コンテナが非爛に湾内の場合、ヒートバインとして
形成する為の減圧に依り本発明に保る伸縮自在ヒートバ
イブは必要以上に収縮する場合かある。内管はその場合
必要以上の収縮を防止する役目がある。必要以上の収縮
は使用時の作業性を悪化せしめ、又ヒートパイプ内の容
積を減少せしめてヒートパイプとしての特性全低下ゼし
みるものである。

本発明に係る伸縮自在ヒートパイプが極めて大口径で交
換すべき熱量が大きい場合、作動液の還流全容易にし、
又熱出力仰］の熱交１弗面積を増大させる為、内も・の
中に更に中伊管を配ｔｒｉシて多重構造の内管とするこ
とも不動な手段′である。この様寿場合熱人力仙ｊもそ
のコンテナ内での加熱面穆ｊを増加させる為にウィック
を設けることが有効な手段となる。

この様に内管コンテナ２４は熱出力仙ｊの刺止板の耐却
平■會増大させる作用効果がおる。以上に詳述した如き
構造の本発明に係る伸縮自在ヒートパイプの作用効果を
狭約プれは次の如くである。

（１）ベロース宮状外りにコンテナの作用効果（イ）組
立て、分ル１船に便第１ｊである。

（ロ）熱膨張、裏作誤差等に依る歪応力の吸収（ハ）振
動、衝撃等の外力に対する保み（２）　　内管コンテナ
に依る作用効果（イ）　作動液のａ流速展葡早め熱応答
性を改善する。

（ロ）基板、冷却平板等の水平設置時たけでなく、傾斜
設置、垂回教直の場合にも熱′＋＆幌糸子とし１廟効。

←→　コンテナ部からの放熱に依る熱損失か少ない。

に）熱出力部の熱交換効率が改善される。

（ホ）外管コンテナの必要以上の収治白ヲレＪ止してヒ
ートバイフ％性の低１を防ぐ。

上述の如き本発明に係る仰鰯自在ヒートノ々イフの作用
効果はヒートパイプのｒ１１１１］堝四紮熱人ノ月ｆ４
１、熱出力部として熱交換を実施する如き場合、Ｉｔ米
型のヒートパイプや従来提案されて米たベローズ型ヒー
トパイプに比して極めてヴηノ′１．た熱接続素子とし
ての性能を発揮さ七ることか出坪る。欠本）３９ゆ」Ｖ
Ｃ恍る押縮自在ヒートバイプリ、小ノ１す前接り、：＊
子としてその用進を１奴定するものでカニ＜、人「」径
の曲間熱９０Ｘ＞用ヒートバイブとじ一〇もイ］効に活
用することか出来る。

不発ψ１にイボる伸粗自什ヒートバ１ノＩｌｉ熱人力倶
Ｊ発熱捧として小型の半尋体かハ］いらｉする場合智の
如くベローズ外径か１０　ｍｍｍ内直直径６　＋ｏｒ寺
の如く極ａ）て小さな熱俵ｉｔ素子ヒートバインとして
栴成する場合かある１、この４〉ｋな場合端本」？」止
キルや内管のロウ龜のためのロウ材かコンアナ端木都に
ω１．入し／こり、円官焙接都に盛」二９、このためヒ
ートノ々イフの熱父候慣−性を害するたｊ、れか少）４
）。

第８図及び第９図はこの様な揚台の対′ｉ４１を考慮し
た実用上の改善形状と１〜ての本発明に係る伸縮自在ヒ
ートパイプの丈施態椋を示１′。第８図に於いては熱出
力１ｔｌｌ端末刺止板２］と内魁コンテナとはプレス成
ル等にイｒ、り一体として成型しである。更に同時工程
で端面２１か光分な面桓となり伯るイ虫官端木部が充分
に拡管芒れてベローズ外径と量的、かそれより犬である
程のｉｋ仲になっている。これに依り内管冴と封止板２
］との略接は省略することか出来ると共に外管コンテナ
２３と刺止＆２１との烙按部は図の如く作動液及び蒸気
通路とは全く無−１示の外部でのロウ接かＯＪ能となる
。従ってロウ接材に依る端末封止板の内厚増大もなく、
コンテナ内容積の減少にもならないのでヒート／＜イブ
の性ｉＬを充分に維持づゐことか出来ることになる。Ｘ
端面積の拡大は単にヒートノ・イブの性能の維持に貿ま
らづ、熱交換ｈｔをｊ’＋’ｊ’犬させむしろ性能を改
善することにもなるものである。

第９図は１句、に熱入力１１（すに於いても、ベローズ
　・成型時に鮎、、　ｌ［ｉｉ刺土止板２２外管コンテ
ナと一体としてル′、型して夕・るνり葡７Ｊ・しであ
る。この」ル１合もψ１１．而忙形織する管端木部はベ
ローズ外径と同年ｊ、かそれ以上に拡噛しである。こ扛
に仏＃）ｌ：Ｉつ→μ加工りのＦｌ１４倣たけでなく、
ロウ接拐］」かコンブナ内に流入してヒートパイフ特ｔ
＋：葡舌、する恐７１、かなくなるものである。又第８
図と回椋端末拡看に依るｙｉｉｌｉ　１ｆｌｊの拡大は
ヒートハづプの熱夕〕捩慣［Ｅ全向上芒せることになる
。第８図及び紀９図のＭｌ」き柄止板の一体化成形にｔ
、ｉ容性の方法〃・あるが半載の深絞り技鞘鵠４ｃ依り
容易に製造することか出来２）。

【図面の簡単な説明】

第１図は半導体回路チップからのｌＩ′１接熱吸成熱吸
収冷却手段を小寸概略的な＠地図、弔２図は従来のビー
１バイノ隷子をボすｎノを面図、第、３凶はｔｊ−来の
ヒートパイフ木子（ｒｌ…斜状ｉ／Ｊにの断面図、第４
図は木酢ゆ」の一実施例を示すＭＩＴ４１図、第５１メ
Ｉから第９図は本発明の他の央／ｌ１１・′Ｖ／ｌｌを
ボ１的（（自１図である１う２１　、２２・・・端禾到
止板、Ｚつ・・べ「」−ズ′肖セ、コンテナ、２４　・
ｌ’Ｊ　’＆、２５−　ＱＱ　（内噛’　Ａｉ禾）、１
６−　目出！１１イ２７・！ｌＪ旋浅溝群、あ・・平板
状ヒートパイフ又は冷却手段、２９・・半導体回路チッ
プ。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　ヒートパイプの端面である両端封止部の外平
   面が夫々熱人力田１及び熱出力面であるヒートパイプで
   ろって、コンテナの所定の部分に於いてはコンテナが２
   里管構盾Ｖこなって居り、該２１管格造部に於ける外管
   は伸に自仕且つ１：１１恍性に鴛むベローズ管状に形成
   され、内宮は外管内に同心状に配置され、その一端は熱
   出力曲伸１の堝木到止板の内面に接鳥−され、他の一端
   は自由端になって居り、内管の外周は外管の内壁に対し
   滑動自在な直往に形成されてあり、内宮の艮ｅは外管の
   必要な伸縮葡保Ｉトすると共に必要以上の収給をジノ止
   する長さｉ／Ｃなっていることを特徴とする伸動自在ヒ
   ートパイプ。
2. （２）　　内宮の内壁面にし」−相互に反対力向に旋回
   する２硅の並列螺旋状浅溝群からなる父叉螺旋状浅溝８
   ＋、を設けであることを射程“ｌとＩる牛−ＩＩ：ｍ＋
   −＋求の祐し４田１第１項に記載の伸動自在ヒートパイ
   プ。
3. （３）　　内管は金属細線末を編組して形ｌ戊芒れた中
   空も・であること全心機とする私０狛求のｆｉ１１’Ｂ
   囲第１項に記載のイ申脂自自イｔヒートバイフ。
4. （４）　　ベローズ官秋夕）管コンテナー、ヒートパイ
   プ構成に必要な熱処理温度でバネ特性を失なわない弾力
   性に襖む金属材料で形成されであることを％徴とする％
   ｒ［請求の朝囲第１川にｈ［シ載の伸癲自在ヒー　ト　
   バイ　）−０
5. （５）内宮はその前向に更に中空背全ＩＭ＋心状に配置
   して構成された多重管構造であることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項に記載の伸縮自在ヒートパイプ。
6. （６）　　内％・と熱出力側端未到止板か一体として成
   形してあり且つ熱交換面を拡大する様端末都が拡管され
   であることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
   伸縮自在ヒート・クイズ。
7. （７）外管コンテナと熱入力側端木胎止板か一体として
   成形をれてあり目つ熱交換面全拡大するイ求端末部が拡
   管されであることを特徴とする特計詰＊の範囲第１項に
   記載の伸縮自在ヒートノくイブ。