JPS588319A - 高精度移動テ−ブル装置 - Google Patents
高精度移動テ−ブル装置Info
- Publication number
- JPS588319A JPS588319A JP10544881A JP10544881A JPS588319A JP S588319 A JPS588319 A JP S588319A JP 10544881 A JP10544881 A JP 10544881A JP 10544881 A JP10544881 A JP 10544881A JP S588319 A JPS588319 A JP S588319A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- moving table
- highly accurate
- voice coil
- spring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D3/00—Control of position or direction
- G05D3/12—Control of position or direction using feedback
- G05D3/14—Control of position or direction using feedback using an analogue comparing device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本！ｉ！明はビデオディスク、超ＬＳＩ等の微細加工装
置の試料台として組込むに好適なテーブルの位置精度が
高く、且つ簡単な構成で実用性の高い高精度移動テーブ
ル装置に関する。
置の試料台として組込むに好適なテーブルの位置精度が
高く、且つ簡単な構成で実用性の高い高精度移動テーブ
ル装置に関する。
ビデオディスク、超ＬＳＩ等の微細加工装置に組込まれ
る駆動テーブル装置で杜、一般に試料を載置したテーブ
ルを横力向に一定速度で移動させながら、あるいは定位
置に位置決めして試料に微細加工している。この場合、
上記テーブルの移動が長いストロークにわたって円滑に
、且つ高精度に行われなけれげ試料の加工精度の大幅な
劣化を招く問題がある。
る駆動テーブル装置で杜、一般に試料を載置したテーブ
ルを横力向に一定速度で移動させながら、あるいは定位
置に位置決めして試料に微細加工している。この場合、
上記テーブルの移動が長いストロークにわたって円滑に
、且つ高精度に行われなけれげ試料の加工精度の大幅な
劣化を招く問題がある。
しかしながら従来構造の移動テーブル装置にあっては、
以下に示す如き種々の問題があ夛、信頼性に乏しい。
以下に示す如き種々の問題があ夛、信頼性に乏しい。
例えば、従来からこのような目的に使用される移動テー
ブル装置として多くの場合第１図に示すように１回転制
御され九毫−タｌを歯車２，３によって減速し、送りネ
ジＳを回転させる。送りネジ５は軸受４によって軸方向
に支持されでいるからナツト６は軸方向に移動する。こ
のナラ）６の動−を連結棒７によって移動テーブル８に
連結し、案内１１によって支持されている移動テーブル
６を移動制御している。
ブル装置として多くの場合第１図に示すように１回転制
御され九毫−タｌを歯車２，３によって減速し、送りネ
ジＳを回転させる。送りネジ５は軸受４によって軸方向
に支持されでいるからナツト６は軸方向に移動する。こ
のナラ）６の動−を連結棒７によって移動テーブル８に
連結し、案内１１によって支持されている移動テーブル
６を移動制御している。
この場合毫−−が精度よく回転制御されていたとしても
、伝達部品である歯車、軸受、送）ネジナツト等の機械
部品の加工と組立の精度によって送り方向の速度ムラが
発生するという欠点があった。更に辷れも部品の加工及
び・組立の精度に拡隈度があり、摩耗等による精度の劣
化という点でも欠点があった。そして、このような駆動
機構を移動テーブルと直接的に連結していたため、移動
テーブルの動作が、駆動機構の精度の影響を大きく受け
て、０．１ＡＩＩＩ％糧度の精度が要求される微細加工
に大きな障害となっていた。
、伝達部品である歯車、軸受、送）ネジナツト等の機械
部品の加工と組立の精度によって送り方向の速度ムラが
発生するという欠点があった。更に辷れも部品の加工及
び・組立の精度に拡隈度があり、摩耗等による精度の劣
化という点でも欠点があった。そして、このような駆動
機構を移動テーブルと直接的に連結していたため、移動
テーブルの動作が、駆動機構の精度の影響を大きく受け
て、０．１ＡＩＩＩ％糧度の精度が要求される微細加工
に大きな障害となっていた。
本発明は上記事情を考慮してこれらの欠点を解決すべく
なされたもので、その目的とするところは、チープルの
移動精度が高く、且つ小蓋簡素化を図シ得る微細加工装
置に組込むに好適な実用性の高い高精度移動テーブル装
置を提供するＫＴｏ為。
なされたもので、その目的とするところは、チープルの
移動精度が高く、且つ小蓋簡素化を図シ得る微細加工装
置に組込むに好適な実用性の高い高精度移動テーブル装
置を提供するＫＴｏ為。
以下１図面を参照して本発明の一実施例について説明す
る。
る。
第２図に概略構成を示す。回転制御された七−タ１１、
減速歯車戎、１３、軸受１４．送りネジｂ、ナツト１６
．案内１９は第１図に示す従来例と同一である。連結棒
１７と移動テーブル１８の関にボイスコイル２１を介し
て連結棒１７と移動テーブル詔とを連結している。ボイ
スコイル４の内部構造は図では省略しているが、内部に
電磁式バネと機械式バネとを内蔵している。電磁式バネ
は電気的入力がある□と、その入力に応じて軸方向に伸
縮し１機械式バネとバランスした位置まで動作する。一
方、検出器加によって移動テーブル１８の軸方向の変化
とか送度ムラ岬を検出し、おのおのの目標値と比較した
差を電気的入力としてボイス；イル２１を駆動し移動テ
ーブル袷の動作を補正制御するものである。
減速歯車戎、１３、軸受１４．送りネジｂ、ナツト１６
．案内１９は第１図に示す従来例と同一である。連結棒
１７と移動テーブル１８の関にボイスコイル２１を介し
て連結棒１７と移動テーブル詔とを連結している。ボイ
スコイル４の内部構造は図では省略しているが、内部に
電磁式バネと機械式バネとを内蔵している。電磁式バネ
は電気的入力がある□と、その入力に応じて軸方向に伸
縮し１機械式バネとバランスした位置まで動作する。一
方、検出器加によって移動テーブル１８の軸方向の変化
とか送度ムラ岬を検出し、おのおのの目標値と比較した
差を電気的入力としてボイス；イル２１を駆動し移動テ
ーブル袷の動作を補正制御するものである。
かくして、上述した構造の高精度移動テーブル装置によ
れば１機械部品で構成された駆動機構の送り精度はボイ
スコイルの補正能力以内であれば十分であるからｐンダ
スＦロークの駆動機構が容易にでき、その全ストローク
にわたってボイスコイルで微小補正が可能であるから０
．１ｊＩｍ以下の送〉精度を保証する信頼性の高い田ン
ダス）ａ−りの高精度参勤テーブルが効果的に実現する
ことになる。 。
れば１機械部品で構成された駆動機構の送り精度はボイ
スコイルの補正能力以内であれば十分であるからｐンダ
スＦロークの駆動機構が容易にでき、その全ストローク
にわたってボイスコイルで微小補正が可能であるから０
．１ｊＩｍ以下の送〉精度を保証する信頼性の高い田ン
ダス）ａ−りの高精度参勤テーブルが効果的に実現する
ことになる。 。
尚、本発明は上記実施例にのみ限定されるものではない
。例えば駆動機構として、モータ、歯車軸受、送夛ネジ
等の構成部品は他の郁ＡＫ置自換えても、また検出器等
の計測系の構成４１１々変形しても１本発明の効果は変
わらない。更Ｋｄ、本装置をビデオディスク、超ＬＳＩ
以外の機器に組込むことも可能である。要するに本発明
はその畳旨を逸脱しない範囲で種々、変形して実施する
ことが可能である。
。例えば駆動機構として、モータ、歯車軸受、送夛ネジ
等の構成部品は他の郁ＡＫ置自換えても、また検出器等
の計測系の構成４１１々変形しても１本発明の効果は変
わらない。更Ｋｄ、本装置をビデオディスク、超ＬＳＩ
以外の機器に組込むことも可能である。要するに本発明
はその畳旨を逸脱しない範囲で種々、変形して実施する
ことが可能である。
以上詳述したように本発明によれば、従来装置の欠点を
鱗消し、長いス）ｏ−りにわたってテーブルの高精度で
信頼性の高い移動制御が行え、且つ小型形状の実用性の
高い高精度移動テーブル装置をここＫｔｌ供することが
できる。
鱗消し、長いス）ｏ−りにわたってテーブルの高精度で
信頼性の高い移動制御が行え、且つ小型形状の実用性の
高い高精度移動テーブル装置をここＫｔｌ供することが
できる。
第１図は従来の移動テーブル装置の構造の１例を示す構
成図、第２図は本発明の一実施例の移動テーブル装置の
構造を示す構成図である。 ｌ、１１・・・毫−夕、４．１４・・・軸受、２ 、３
．１２．１３・・・歯車、５，１５・・・送シネジ、６
．１６・・・ナツト、 ９．鱒・・・案内、７．１
７・・・連結棒、２［）・・・検出器、ｓ、１８・・・
移動テーブル、ガ・・・ボイスコイル。 代理人 弁理士 則 近 憲 体（ほか１名）第１図 ） ゛ 第２図 ／′３
成図、第２図は本発明の一実施例の移動テーブル装置の
構造を示す構成図である。 ｌ、１１・・・毫−夕、４．１４・・・軸受、２ 、３
．１２．１３・・・歯車、５，１５・・・送シネジ、６
．１６・・・ナツト、 ９．鱒・・・案内、７．１
７・・・連結棒、２［）・・・検出器、ｓ、１８・・・
移動テーブル、ガ・・・ボイスコイル。 代理人 弁理士 則 近 憲 体（ほか１名）第１図 ） ゛ 第２図 ／′３
Claims (1)
- 移動方向の案内機構によって移動可能なように支持され
たテーブルと、これを駆動するためにモー−や機械部品
で構成されたテーブル駆動機構との連結部にポイスコイ
ルを具備して、移−テーブルの動作を高精度に制御した
ことを特徴とする高精度移動テープ□ル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10544881A JPS588319A (ja) | 1981-07-08 | 1981-07-08 | 高精度移動テ−ブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10544881A JPS588319A (ja) | 1981-07-08 | 1981-07-08 | 高精度移動テ−ブル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS588319A true JPS588319A (ja) | 1983-01-18 |
Family
ID=14407864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10544881A Pending JPS588319A (ja) | 1981-07-08 | 1981-07-08 | 高精度移動テ−ブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS588319A (ja) |
-
1981
- 1981-07-08 JP JP10544881A patent/JPS588319A/ja active Pending
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