JPS5884438A - ウエ−ハロ−デイング装置 - Google Patents
ウエ−ハロ−デイング装置Info
- Publication number
- JPS5884438A JPS5884438A JP56182249A JP18224981A JPS5884438A JP S5884438 A JPS5884438 A JP S5884438A JP 56182249 A JP56182249 A JP 56182249A JP 18224981 A JP18224981 A JP 18224981A JP S5884438 A JPS5884438 A JP S5884438A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- reciprocating
- claw
- guide groove
- loading device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
- H10P72/76—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches
- H10P72/7602—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade or gripped by a gripper for conveyance
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、エツチング鋏置勢の半導体製造設備に適用さ
れるつ、−ノーローディング装置に係９．４１に、つ、
−／Ｓの掴み離しおよび搬送をつ、−ノ〜を損傷させず
に行うのに好適なり、＋／％＄１−ディング装置に関す
るものである。
れるつ、−ノーローディング装置に係９．４１に、つ、
−／Ｓの掴み離しおよび搬送をつ、−ノ〜を損傷させず
に行うのに好適なり、＋／％＄１−ディング装置に関す
るものである。
従来のつ、−ノ・ローディング鋏置例な第１図。
第２図によシ説明する。第１図、第２図は、ＩＩＩ＃金
昭５４−４１０７５号記載のつ、−／Ｓローディング懺
装置、！鳳は回転カムで、回転カム１ｍの平面にはガイ
ド溝２ａが設けられている。３ｍは往復動輪で、往復動
軸３ａ上面にはピン４が設けられ、ビン４は摺動可能に
ガイド＄１ｍに挿入されている。Ｓ鳳は爪で、往復動輪
３ａ端に取付けられている。６ｍは往復動軸３鳳の往復
動輪ガイド溝である。
昭５４−４１０７５号記載のつ、−／Ｓローディング懺
装置、！鳳は回転カムで、回転カム１ｍの平面にはガイ
ド溝２ａが設けられている。３ｍは往復動輪で、往復動
軸３ａ上面にはピン４が設けられ、ビン４は摺動可能に
ガイド＄１ｍに挿入されている。Ｓ鳳は爪で、往復動輪
３ａ端に取付けられている。６ｍは往復動軸３鳳の往復
動輪ガイド溝である。
このように構成されたウェーノーローディング装置では
、回転カム１ｍが回転しピン４が、ガイド溝２ｍを摺動
する１ことによシ爪５ｍは上下移動し、同時に、ビン４
がガイド壽！麿を摺動し、往復動軸３鳳が往復動輪ガイ
ド溝６１を摺動することによ）爪５１は放射状に開閉し
、ウェー／’１７の掴み諭しが行われる。しかし、従来
のり、−／・ローディング装置では、り、−ノＳ７の製
作公差の最大を考慮し、最大寸法にセットされた爪５１
によ〕、セット寸法以下の直径のウェー／Ｓ？を掴む場
合、ウェーハ７は無拘束状態であるため、例えば、搬送
時の振動によルウェーノ１７が購ったシ、落下したルし
てウェー／〜７あるいはウェー／１７表面の薄膜を損傷
させる欠点があつたｏｔた逆に、ウェーハフの製作公差
の最小を考慮し、最小寸法にセットされた爪５ｍによシ
ラ、 ＋ ）ｓ ７を掴む場合、爪５ａはガイド溝２麿
、ピン４、往復動軸ガイド溝６ａ＊の作用によ〕強制的
に閉じられるため、つ８−ハフ側面が強く拘束され、ウ
ェー７１７あるいはウェーハｙ＊ｍの薄膜を損傷させる
欠点があつた。更に、爪５ｍの放射状の開閉は全て摺動
によｐ行われるため、摩擦抵抗によシガイド壽２ｍ。
、回転カム１ｍが回転しピン４が、ガイド溝２ｍを摺動
する１ことによシ爪５ｍは上下移動し、同時に、ビン４
がガイド壽！麿を摺動し、往復動軸３鳳が往復動輪ガイ
ド溝６１を摺動することによ）爪５１は放射状に開閉し
、ウェー／’１７の掴み諭しが行われる。しかし、従来
のり、−／・ローディング装置では、り、−ノＳ７の製
作公差の最大を考慮し、最大寸法にセットされた爪５１
によ〕、セット寸法以下の直径のウェー／Ｓ？を掴む場
合、ウェーハ７は無拘束状態であるため、例えば、搬送
時の振動によルウェーノ１７が購ったシ、落下したルし
てウェー／〜７あるいはウェー／１７表面の薄膜を損傷
させる欠点があつたｏｔた逆に、ウェーハフの製作公差
の最小を考慮し、最小寸法にセットされた爪５ｍによシ
ラ、 ＋ ）ｓ ７を掴む場合、爪５ａはガイド溝２麿
、ピン４、往復動軸ガイド溝６ａ＊の作用によ〕強制的
に閉じられるため、つ８−ハフ側面が強く拘束され、ウ
ェー７１７あるいはウェーハｙ＊ｍの薄膜を損傷させる
欠点があつた。更に、爪５ｍの放射状の開閉は全て摺動
によｐ行われるため、摩擦抵抗によシガイド壽２ｍ。
ビン４．往復動軸ガイド＄６ａ等が摩耗し、爪Ｓ象の放
射状の開閉がスムーズに行われなくな夛、つ、−ハフあ
るいはウェー７１７表面の薄膜を損傷させる欠点があっ
た。また、更に、爪１５ａは金属薄板で成形されている
ため、ウェー／％７あるいはつ、−ハフ表面の薄膜を損
傷させる危険性が高いといつた欠点もあった０ 本発明は、上記欠点の除去を目的としたもので、つ、−
ハの製作公差範囲内の寸法誤差によりウーーハ側面に負
荷される拘束力の変動をスプリングの反撥力のみにより
吸収させ、また、爪の放射状の開閉を全て転勤によ）行
わせ、更に、爪を非金属かつ可撓性を有する材料で形成
することを４１１１とするつ、−ハローディング装置を
提供する４のである。
射状の開閉がスムーズに行われなくな夛、つ、−ハフあ
るいはウェー７１７表面の薄膜を損傷させる欠点があっ
た。また、更に、爪１５ａは金属薄板で成形されている
ため、ウェー／％７あるいはつ、−ハフ表面の薄膜を損
傷させる危険性が高いといつた欠点もあった０ 本発明は、上記欠点の除去を目的としたもので、つ、−
ハの製作公差範囲内の寸法誤差によりウーーハ側面に負
荷される拘束力の変動をスプリングの反撥力のみにより
吸収させ、また、爪の放射状の開閉を全て転勤によ）行
わせ、更に、爪を非金属かつ可撓性を有する材料で形成
することを４１１１とするつ、−ハローディング装置を
提供する４のである。
本発明の一実施例を第３図によシ説明する。第３図で、
ｂは回転カムで、回転カムｂ儒面Ｋａガイド溝２ｂがそ
の最深部若しくは最浅部で所定の逃げ代Δ８（＞０）が
設けられている。３ｂは往復動輪で、往復動軸３ｂの一
端には転動物ｌが取付けられ、他端からはウェーハ７を
損傷させない１度の反撥力をつ、−ハフに付与するスプ
リング書が挿設され、この状態で、転動物８がガイド溝
２ｂに挿入されるように、回転カ五ｌｂ側面に近接動軸
３ｂの他端には、つ、−ハフの掴み箇所の角度が垂直方
向に対して鋭角をなす爪ｓｂが着脱可能に取付けられて
いる。
ｂは回転カムで、回転カムｂ儒面Ｋａガイド溝２ｂがそ
の最深部若しくは最浅部で所定の逃げ代Δ８（＞０）が
設けられている。３ｂは往復動輪で、往復動軸３ｂの一
端には転動物ｌが取付けられ、他端からはウェーハ７を
損傷させない１度の反撥力をつ、−ハフに付与するスプ
リング書が挿設され、この状態で、転動物８がガイド溝
２ｂに挿入されるように、回転カ五ｌｂ側面に近接動軸
３ｂの他端には、つ、−ハフの掴み箇所の角度が垂直方
向に対して鋭角をなす爪ｓｂが着脱可能に取付けられて
いる。
一例として、ガイド溝２ｂの最深部に所定の逃げ代ΔＳ
を設け、転動物がボールとすれば、つ漠−ハフの掴み準
備として爪５ｂｔ−開く場合は、回転カムｔｂが回転し
、ボール８がガイド溝２ｂを深い方から浅い方に向って
転動することによシ往復動軸３ｂは爪５ｂを放射状に開
く方向（第３図では、矢印イ方向）に動作し、スプリン
グ９が圧縮される。次に、つ、−ハフを掴む場合は、回
転カム１ｂが回転し、ボール８がガイド溝２ｂを浅い方
から探い方に向って転動することによ〕往復動軸３ｂは
爪５ｂを放射状に閉じる方向（第３１１では、矢印口方
向）に動作し、ガイド溝２ｂの最深部に逃げ代Δ８を設
妙ているため、ボール８とガイド溝２ｂの側壁面の接触
は断たれ、往復動軸３ｂはスプリング９のみの力を付与
されるようになる。したがって、爪５ｂ間寸法が、つ、
−ハフの最小直径Ｄ□（第３図で、Ｉ）、＝Ｌ＋Ｄｔ）
Ｋセットされ、また、つ、−八７の直径がＤｌの時は、
ボール８とガイド溝２ｂの側壁面との間には、−間ΔＢ
が保持された状態とな〕、つ、−ハフは、スプリング９
の反撥力のみで、かつ、ウェーハ７の掴み箇所の角度が
垂直方向に対して鋭角をなしているため、爪５ｂにつ、
−ハフ１１面上部および下部が拘束された状態で掴まれ
る。ｔた、り、−ハフの直径が最大直径Ｄ＋ （ｊｌｌ
Ｅ ３ｒＩＡ”ｔ’、Ｄ、’ ＞ Ｌ ＋ Ｄ、 ）の
時は、ボール８とガイドｉｌｌ！ｂ側壁面との間にには
、隙間Δｓ ” （Ｄｓ’ ＤＩ ） が保持された
状態となシ、この場合も同様にり、−ハフはスプリング
９の反撥力のみで爪５ｂＫ掴まれる。
を設け、転動物がボールとすれば、つ漠−ハフの掴み準
備として爪５ｂｔ−開く場合は、回転カムｔｂが回転し
、ボール８がガイド溝２ｂを深い方から浅い方に向って
転動することによシ往復動軸３ｂは爪５ｂを放射状に開
く方向（第３図では、矢印イ方向）に動作し、スプリン
グ９が圧縮される。次に、つ、−ハフを掴む場合は、回
転カム１ｂが回転し、ボール８がガイド溝２ｂを浅い方
から探い方に向って転動することによ〕往復動軸３ｂは
爪５ｂを放射状に閉じる方向（第３１１では、矢印口方
向）に動作し、ガイド溝２ｂの最深部に逃げ代Δ８を設
妙ているため、ボール８とガイド溝２ｂの側壁面の接触
は断たれ、往復動軸３ｂはスプリング９のみの力を付与
されるようになる。したがって、爪５ｂ間寸法が、つ、
−ハフの最小直径Ｄ□（第３図で、Ｉ）、＝Ｌ＋Ｄｔ）
Ｋセットされ、また、つ、−八７の直径がＤｌの時は、
ボール８とガイド溝２ｂの側壁面との間には、−間ΔＢ
が保持された状態とな〕、つ、−ハフは、スプリング９
の反撥力のみで、かつ、ウェーハ７の掴み箇所の角度が
垂直方向に対して鋭角をなしているため、爪５ｂにつ、
−ハフ１１面上部および下部が拘束された状態で掴まれ
る。ｔた、り、−ハフの直径が最大直径Ｄ＋ （ｊｌｌ
Ｅ ３ｒＩＡ”ｔ’、Ｄ、’ ＞ Ｌ ＋ Ｄ、 ）の
時は、ボール８とガイドｉｌｌ！ｂ側壁面との間にには
、隙間Δｓ ” （Ｄｓ’ ＤＩ ） が保持された
状態となシ、この場合も同様にり、−ハフはスプリング
９の反撥力のみで爪５ｂＫ掴まれる。
このように、ガイド溝２ｂの最深部若しくは最浅部に所
定の逃げ代Δ８を設けた場合は、ウェー／’ｌ ７掴み
時に往復動軸３ｂの一端に取付けられ九転動物８とガイ
ド溝２ｂ＠壁面との接触が断たれるので、つ、−ハフ線
スプリング９のつ、−ハフを損傷させない程度の反撥力
のみによ〕掴まれ、ウェーハ７あるいはクエーハフ表面
の薄膜の損傷を防止できる。また、爪５ｂのウェーハ７
掴み箇所の角度を垂直方向に対し鋭角（第３図で、θ）
をなすようにした場合は、富につ、−ハフ１１面上部が
一定の力で拘束されるので、搬送時の振動によタク、−
ハフが踊っ九）、落下しｆｔ）するのが防止できる。
定の逃げ代Δ８を設けた場合は、ウェー／’ｌ ７掴み
時に往復動軸３ｂの一端に取付けられ九転動物８とガイ
ド溝２ｂ＠壁面との接触が断たれるので、つ、−ハフ線
スプリング９のつ、−ハフを損傷させない程度の反撥力
のみによ〕掴まれ、ウェーハ７あるいはクエーハフ表面
の薄膜の損傷を防止できる。また、爪５ｂのウェーハ７
掴み箇所の角度を垂直方向に対し鋭角（第３図で、θ）
をなすようにした場合は、富につ、−ハフ１１面上部が
一定の力で拘束されるので、搬送時の振動によタク、−
ハフが踊っ九）、落下しｆｔ）するのが防止できる。
ｇ＜ａは、ガイド溝に挿入される往復動軸一端構造の他
の実施例を示す−ので、認は往復動軸３ｂの一端にベア
リング■を介し軸支された揺動軸で、揺動軸認端にはガ
イド＠２ｂに挿入される転動物８が取付けられる。
の実施例を示す−ので、認は往復動軸３ｂの一端にベア
リング■を介し軸支された揺動軸で、揺動軸認端にはガ
イド＠２ｂに挿入される転動物８が取付けられる。
このように、ガイド溝２ｂに挿入される往復動軸３ｂの
一端に揺動軸セをベアリングを介し軸支し、かつ、揺動
軸認端に転動物を取付けた場合線、ガイド溝２ｂと転動
物８との摩擦抵抗が小さく、爪ｓｂの放射状開閉がスム
ーズになるため、り。
一端に揺動軸セをベアリングを介し軸支し、かつ、揺動
軸認端に転動物を取付けた場合線、ガイド溝２ｂと転動
物８との摩擦抵抗が小さく、爪ｓｂの放射状開閉がスム
ーズになるため、り。
−ハフあるいはウェーハ７表面の薄膜の損傷を防止でき
る。
る。
第５図は、爪構造の他の実施例を示すもので、５ｃＵ非
金属で、かつ、可撓性を有する材料、例えば、ゴム、合
成樹脂等で形成された爪で、爪５Ｃは往復動軸３ｂの他
端に取付けられた金属板１４にネジδ等によ〕着脱可能
に取付けられる。
金属で、かつ、可撓性を有する材料、例えば、ゴム、合
成樹脂等で形成された爪で、爪５Ｃは往復動軸３ｂの他
端に取付けられた金属板１４にネジδ等によ〕着脱可能
に取付けられる。
このように爪５ｃを非金属で、かつ、可撓性を有する材
料で形成した場合は、爪５ｃによ〕、ウェーハ７あるい
はウェーハ７表面の薄膜を損傷させる危険性がなくなる
。
料で形成した場合は、爪５ｃによ〕、ウェーハ７あるい
はウェーハ７表面の薄膜を損傷させる危険性がなくなる
。
本発明は、以上説明したように、ウェーハｐ−ディング
装置において、ガイド溝の最深部若しくは最浅部に所定
の逃げ代ΔＳを設け、往復動輪にり、−ハを損傷させな
い程度の反撥力を有するスプリングを挿設し、ｔた、往
復動輪の一端に揺動軸をベアリングを介し軸支し、更に
、爪のり、−ハ掴み箇所の角度な垂直方向く対して鋭角
をなすように、また、爪を非金属で、かつ、可撓性を有
する材料で形成させ九ので、つ、−ハを爪で掴み離しお
よび搬送する際にウェーハあるいはウェーハ表面の薄膜
の損傷を防止できる効果がある。
装置において、ガイド溝の最深部若しくは最浅部に所定
の逃げ代ΔＳを設け、往復動輪にり、−ハを損傷させな
い程度の反撥力を有するスプリングを挿設し、ｔた、往
復動輪の一端に揺動軸をベアリングを介し軸支し、更に
、爪のり、−ハ掴み箇所の角度な垂直方向く対して鋭角
をなすように、また、爪を非金属で、かつ、可撓性を有
する材料で形成させ九ので、つ、−ハを爪で掴み離しお
よび搬送する際にウェーハあるいはウェーハ表面の薄膜
の損傷を防止できる効果がある。
第１図、第２図は、従来のウェーハローディング装置例
を説明するもので、第１図は、ウェーハローディング装
置の平面図、第２図は、第１図のＡ−人視断藺図である
。第３図は、本発明の一実施例を説明するもので、本発
明によるウェーハローディング装置でのウェーハ掴み状
態を示す断藺図、第４図は、ガイド溝に挿入される往復
動輪一端構造の他の実施例を示す正面図、第５図は、爪
構造の他の実施例を示す正面図である。 ｌｂ・・・・・・回転カム、２ｂ・・・・・・ガイド溝
、３ｂ・・・往復動軸、Ｓｂ、５ｃ・・・・・・爪、６
ｂ・・−・・往復動軸ガイド溝、７・・・・・・ウェー
ハ、８・・・・・・転動物、９・・・スゲリング、認・
・・・・・揺動軸、ｎ・・・・・・スプリング、１４・
・・・・・金属板 ７ Ｚ 葉２Δ 才３Ｉ２１ 才ＳＶａ
を説明するもので、第１図は、ウェーハローディング装
置の平面図、第２図は、第１図のＡ−人視断藺図である
。第３図は、本発明の一実施例を説明するもので、本発
明によるウェーハローディング装置でのウェーハ掴み状
態を示す断藺図、第４図は、ガイド溝に挿入される往復
動輪一端構造の他の実施例を示す正面図、第５図は、爪
構造の他の実施例を示す正面図である。 ｌｂ・・・・・・回転カム、２ｂ・・・・・・ガイド溝
、３ｂ・・・往復動軸、Ｓｂ、５ｃ・・・・・・爪、６
ｂ・・−・・往復動軸ガイド溝、７・・・・・・ウェー
ハ、８・・・・・・転動物、９・・・スゲリング、認・
・・・・・揺動軸、ｎ・・・・・・スプリング、１４・
・・・・・金属板 ７ Ｚ 葉２Δ 才３Ｉ２１ 才ＳＶａ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 ウェーハを掴み離しおよび搬送するための爪、該
爪が端部に取付けられた往復動輪、該往復動輪を放射状
Ｋａ往復動せ爪を開閉させるガイド溝が設けられた回転
カム等で構成されたつ、−ハローディング装置において
、前記ガイド溝の最櫟部着しくは最洩部に所定の逃げ代
を設け、前記往復動輪の一端に転動物を取付け、かつ、
他端からスプリングを挿設した往復動軸を転動物がガイ
ド溝に挿入されるように前記回転カム側面に近接したホ
ルダの往復動軸ガイド溝に構設させ、を九、前記クエー
ハの掴み箇所の角度が開直方向に対し鋭角をなす爪を往
復動輪の他端に取付けたことを特徴とするつ、−／−ロ
ーディング装置。 ２、 前記往復動輪の一端に揺動軸をベアリングを介し
軸支し、かつ、揺動軸端に転動物を取付けた特許請求の
範囲第１項記載のクエーノ１０−デインク装置。 ３、前記系を非金属で、かつ、可撓性を有する材料で形
成した特許請求の範囲第１項記載のつ。 −ハローディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56182249A JPS5884438A (ja) | 1981-11-16 | 1981-11-16 | ウエ−ハロ−デイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56182249A JPS5884438A (ja) | 1981-11-16 | 1981-11-16 | ウエ−ハロ−デイング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5884438A true JPS5884438A (ja) | 1983-05-20 |
Family
ID=16114947
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56182249A Pending JPS5884438A (ja) | 1981-11-16 | 1981-11-16 | ウエ−ハロ−デイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5884438A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5000652A (en) * | 1986-09-22 | 1991-03-19 | International Business Machines Corporation | Wafer transfer apparatus |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS512154A (ja) * | 1974-06-24 | 1976-01-09 | Tokyo Shibaura Electric Co | Kogyoyorobotsuto |
-
1981
- 1981-11-16 JP JP56182249A patent/JPS5884438A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS512154A (ja) * | 1974-06-24 | 1976-01-09 | Tokyo Shibaura Electric Co | Kogyoyorobotsuto |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5000652A (en) * | 1986-09-22 | 1991-03-19 | International Business Machines Corporation | Wafer transfer apparatus |
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