JPS5885345U - 精密平面移動装置 - Google Patents

精密平面移動装置

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Publication number
JPS5885345U
JPS5885345U JP18113281U JP18113281U JPS5885345U JP S5885345 U JPS5885345 U JP S5885345U JP 18113281 U JP18113281 U JP 18113281U JP 18113281 U JP18113281 U JP 18113281U JP S5885345 U JPS5885345 U JP S5885345U
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JP
Japan
Prior art keywords
plane moving
moving device
precision plane
movement table
precision
Prior art date
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Pending
Application number
JP18113281U
Other languages
English (en)
Inventor
素也 谷口
稔 池田
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS5885345U publication Critical patent/JPS5885345U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来の平面移動装置（ｘｙテーブル）を示し
た斜視図、第２図は、本考案の具体的実施例の平面移動
機構を示す斜視図、第３図は、本考案に用いたりニアモ
ータの構成を示す説明図、第４図〜第７図は、本考案に
用いたりニアモータのソーヤの原理を示す説明図、第８
図〜第１０図は、本考案による、テーブルの位置制御方
法を示す説明図である。 １・・・・・・粗動テーブノへ２・・・・・・微動テー
ブル、１３・・・・・・電磁石、１４・・・・・・コン
トローラー、１５・・・・・・Ｌ形ミラー、１６・・・
・・・レーザ光、１７・・・・・・レーザ干渉測長器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 平面上を、自在に移動できるリニアモータを粗動テーブ
    ルとし、その上に微動テーブルを載置したことを特徴と
    する精密平面移動装置。
JP18113281U 1981-12-07 1981-12-07 精密平面移動装置 Pending JPS5885345U (ja)

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JP18113281U JPS5885345U (ja) 1981-12-07 1981-12-07 精密平面移動装置

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JP18113281U JPS5885345U (ja) 1981-12-07 1981-12-07 精密平面移動装置

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JPS5885345U true JPS5885345U (ja) 1983-06-09

Family

ID=29978339

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18113281U Pending JPS5885345U (ja) 1981-12-07 1981-12-07 精密平面移動装置

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JP (1) JPS5885345U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000065645A1 (en) * 1999-04-27 2000-11-02 Nikon Corporation Stage device and exposure device
KR20210032397A (ko) 2018-07-19 2021-03-24 도요 고한 가부시키가이샤 조화 니켈 도금판

Cited By (3)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000065645A1 (en) * 1999-04-27 2000-11-02 Nikon Corporation Stage device and exposure device
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