JPS5889871U - テストヘツド着脱固定装置 - Google Patents
テストヘツド着脱固定装置Info
- Publication number
- JPS5889871U JPS5889871U JP18440781U JP18440781U JPS5889871U JP S5889871 U JPS5889871 U JP S5889871U JP 18440781 U JP18440781 U JP 18440781U JP 18440781 U JP18440781 U JP 18440781U JP S5889871 U JPS5889871 U JP S5889871U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test head
- sliding
- test
- detachment device
- arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、ハンドラと本案装置の結合を示す図である。
第２図は本案装置の一側面図であり他の一側は対称に表
をれる。第３図はヘッド取付部を示す拡大斜視図である
。第４図、第５図は本案装置のシャーシを除いた一側面
図である。 １・・・・・・ヘッド部シャーシ。Ｃ１Ｃ・・・・・・
しゆう動部。８，８・・・・・・しゆう動用ハンドル。 ９，９′・・・・・・取付溝。６．７・・・・・・アー
ム。６′・・・・・・切欠き部。 Ａ′・・・・・・ハンドラ測定部。Ｂ・・・・・・ヘッ
ド部。 補正 昭５７． １１４ 図面の簡単な説明を次のよう番ミ補正する。 図面の簡単な説明 第１図は、ハシドラと本案装置の結合を示す図である。 第２図は本案装置の一側面図であり他のｍ−側は対称に
表われる。第３図はヘッド取付部の一側面を示す拡大斜
視図である。第４図、第５図は本案装置のシャーシ“を
除いた一側面図である。 １・・・・・・ヘッド部シャーシ。Ｃ，Ｃ−−−−−−
Ｌゆう動部。８，８・・・・・・しゆう動用ハンドル。 ９．９′・・・・・・取付溝。６． ７−・・・・・ア
ーム。６′・曲・切欠き部。 Ａ・・・・・・ハンドラ測定部。Ｂ−−−−−・ヘッド
部。
をれる。第３図はヘッド取付部を示す拡大斜視図である
。第４図、第５図は本案装置のシャーシを除いた一側面
図である。 １・・・・・・ヘッド部シャーシ。Ｃ１Ｃ・・・・・・
しゆう動部。８，８・・・・・・しゆう動用ハンドル。 ９，９′・・・・・・取付溝。６．７・・・・・・アー
ム。６′・・・・・・切欠き部。 Ａ′・・・・・・ハンドラ測定部。Ｂ・・・・・・ヘッ
ド部。 補正 昭５７． １１４ 図面の簡単な説明を次のよう番ミ補正する。 図面の簡単な説明 第１図は、ハシドラと本案装置の結合を示す図である。 第２図は本案装置の一側面図であり他のｍ−側は対称に
表われる。第３図はヘッド取付部の一側面を示す拡大斜
視図である。第４図、第５図は本案装置のシャーシ“を
除いた一側面図である。 １・・・・・・ヘッド部シャーシ。Ｃ，Ｃ−−−−−−
Ｌゆう動部。８，８・・・・・・しゆう動用ハンドル。 ９．９′・・・・・・取付溝。６． ７−・・・・・ア
ーム。６′・曲・切欠き部。 Ａ・・・・・・ハンドラ測定部。Ｂ−−−−−・ヘッド
部。
Claims (1)
- 半導体集積回路装置テストシステムにおけるハンドラ測
定部とテスタ装置のテストヘッド部を至近距離で結ぶテ
ストヘッドの着脱装置において、前記テストヘッド部Ｂ
を収容するシャーシ１の両側しゆう動部Ｃ１Ｃの上部を
開放とする２つのヘッド取付溝９． ９’ 、 ９．
９’に、前記テストヘッド部Ｂの両側部を取付は所定
の角度で固定し、前記しゆう動部Ｃ１Ｃのしゆう動作動
で前記テストヘッド部Ｂを着装、脱去可能とすると共に
、前記しゆう動部のアーム６．７と該アーム６に設けた
切欠き部６′を介して前記テストヘッド部Ｂの着装時ま
たは脱去時の固定を着脱時と同時にするようにしたこと
を特徴とするテストヘッドの着脱固定装置。゛
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18440781U JPS5889871U (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | テストヘツド着脱固定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18440781U JPS5889871U (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | テストヘツド着脱固定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5889871U true JPS5889871U (ja) | 1983-06-17 |
Family
ID=29984543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18440781U Pending JPS5889871U (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | テストヘツド着脱固定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5889871U (ja) |
-
1981
- 1981-12-11 JP JP18440781U patent/JPS5889871U/ja active Pending
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