JPS5890147A - 気体状物質の検知方式 - Google Patents
気体状物質の検知方式Info
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- JPS5890147A JPS5890147A JP18977381A JP18977381A JPS5890147A JP S5890147 A JPS5890147 A JP S5890147A JP 18977381 A JP18977381 A JP 18977381A JP 18977381 A JP18977381 A JP 18977381A JP S5890147 A JPS5890147 A JP S5890147A
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- gas
- received light
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の技術分野
本発明は光共鳴吸収現象を用いた気体状物質の検知方式
に係り、特に構成が簡単で取扱いが容易な気体状物質の
検知方式に関するものである。
に係り、特に構成が簡単で取扱いが容易な気体状物質の
検知方式に関するものである。
（２）技術の背景
近年、被測定物質、特に有害なガスの光（赤外線）共鳴
吸収現象を利用した濃度評定方法が盛んになって来てお
り、光源としては最近のレーザの発達に伴って、波長可
変なレーザ（以下単にレーザと称する）が、また光検出
手段としては、例えば水銀・カドミウム・テルル（Ｈｙ
ＣｃｔＴｇ ’）のような８元合金を材料とする受光素
子が用いられるよう［ｉになって来ている。
吸収現象を利用した濃度評定方法が盛んになって来てお
り、光源としては最近のレーザの発達に伴って、波長可
変なレーザ（以下単にレーザと称する）が、また光検出
手段としては、例えば水銀・カドミウム・テルル（Ｈｙ
ＣｃｔＴｇ ’）のような８元合金を材料とする受光素
子が用いられるよう［ｉになって来ている。
またガス濃度の評定方法に関しても、受光素子で検出さ
れる受光パワーＰと微分受光パワーＰ′との比を求める
ことにより、検出される光量のゆらぎに基づく測定値の
あいまいさを避ける方法がすでに確立されていることは
周知のとおりであって重畳すると共に、受光素子の出力
を並列運転される第１および第２のロックイン増幅器に
導入し、例えば第１のロックイン増幅器出力で受光パワ
ーＰを、また第２のロックイン増幅器出力で微分受光パ
ワーＰ′を、それぞれ求めた上で、両者を除算器に導き
、ｐ’ ／ｐを得る手法が常套手段として採用されてい
る。
れる受光パワーＰと微分受光パワーＰ′との比を求める
ことにより、検出される光量のゆらぎに基づく測定値の
あいまいさを避ける方法がすでに確立されていることは
周知のとおりであって重畳すると共に、受光素子の出力
を並列運転される第１および第２のロックイン増幅器に
導入し、例えば第１のロックイン増幅器出力で受光パワ
ーＰを、また第２のロックイン増幅器出力で微分受光パ
ワーＰ′を、それぞれ求めた上で、両者を除算器に導き
、ｐ’ ／ｐを得る手法が常套手段として採用されてい
る。
このために以下の実施例の説明中では、上記の微小交流
信号源ならびにロックイン増幅器などは省略して述べる
こととする。
信号源ならびにロックイン増幅器などは省略して述べる
こととする。
（３）従来技術とＩ￥！１顧点
第１図は従来の気体状物質の濃度検知方式を示すブロッ
クダイヤグラムであって、駆動電源１から供給される駆
動電流■によって駆動されるレーザ（半導体レーザ）Ｌ
から矢印イ方向に射出される光は第１のビームスプリッ
タＢＳ、によって、矢印口および矢印凸方向に分岐され
る。このうち矢印口方向への光は光路Ｈ１に沿って進み
濃度がＸなる未知の値を有する被測定気体状物質、例え
ば被測定ガスが封入された第１のガスセルＧＣ１中を透
過し、該ガスセルＧＣ，中の被測定ガスによる吸収を受
けて減衰した上で第２のビームスプリッタＢＳ２を介し
て受光素子りで検出されるようなっているのであるが、
上記第１のビームスプリッタＢＳ。
クダイヤグラムであって、駆動電源１から供給される駆
動電流■によって駆動されるレーザ（半導体レーザ）Ｌ
から矢印イ方向に射出される光は第１のビームスプリッ
タＢＳ、によって、矢印口および矢印凸方向に分岐され
る。このうち矢印口方向への光は光路Ｈ１に沿って進み
濃度がＸなる未知の値を有する被測定気体状物質、例え
ば被測定ガスが封入された第１のガスセルＧＣ１中を透
過し、該ガスセルＧＣ，中の被測定ガスによる吸収を受
けて減衰した上で第２のビームスプリッタＢＳ２を介し
て受光素子りで検出されるようなっているのであるが、
上記第１のビームスプリッタＢＳ。
によって矢印凸方向に分岐された光は第１の全反射ミラ
ーＭ、によって光路を矢印二方向に変えられて光路Ｈ２
に沿って進んだ後に第２の全反射ミラーＨ２によって再
たび矢印小方向に光路をかえられ、第２のビームスプリ
ッタＢＳ２で反射されて受光素子りに入射するようにも
なされている。そして上記光路Ｈ２上では濃度がＳなる
既知の値を有するガスが封入された第２のガスセル（標
準ガスセル）ＧＣ２と、濃度が零なる第３のガスセル（
標準ガス：セル。一般にはカラセルとも呼ばれる。実際
には窒素が充填されている）とが交換可能となるように
なされている。なお、Ａは図示しない２つのロックイン
増幅器の前段に配置される増幅器である。
ーＭ、によって光路を矢印二方向に変えられて光路Ｈ２
に沿って進んだ後に第２の全反射ミラーＨ２によって再
たび矢印小方向に光路をかえられ、第２のビームスプリ
ッタＢＳ２で反射されて受光素子りに入射するようにも
なされている。そして上記光路Ｈ２上では濃度がＳなる
既知の値を有するガスが封入された第２のガスセル（標
準ガスセル）ＧＣ２と、濃度が零なる第３のガスセル（
標準ガス：セル。一般にはカラセルとも呼ばれる。実際
には窒素が充填されている）とが交換可能となるように
なされている。なお、Ａは図示しない２つのロックイン
増幅器の前段に配置される増幅器である。
この従来の気体状物質の検出方式の操作は次のようであ
る。まず゛、光路Ｈ，上に配置されている光シヤツター
Ｓ２を閉じ、もう一方の光シヤツターｓ１を開いておく
。このようにすればレーザＬからの光は光路Ｈ２のみを
通って受光素子りで受光されるのであるが、この場合、
該光路Ｈ２上には上記のカラセルを配置しておく。こう
しておけばガス濃度が零でも第２図に示した縦軸上で、
（Ｐ′／Ｐ）。なる値がプロットできる。そして次に同
じ光路Ｈ２上に上記の第２のガスセル（ガス濃度はＳな
る既知の値）ＧＣ２を挿入すると、第２図中の横軸上の
Ｓなる値に対して縦軸上に（Ｐ′／Ｐ）Ｂなる値がプロ
ットできるから、ここに点ＱｌとＱ２とが求められるの
であるが、画点Ｑ１．Ｑ２を結んだ延長ｇ＋）を引くこ
とができる。
る。まず゛、光路Ｈ，上に配置されている光シヤツター
Ｓ２を閉じ、もう一方の光シヤツターｓ１を開いておく
。このようにすればレーザＬからの光は光路Ｈ２のみを
通って受光素子りで受光されるのであるが、この場合、
該光路Ｈ２上には上記のカラセルを配置しておく。こう
しておけばガス濃度が零でも第２図に示した縦軸上で、
（Ｐ′／Ｐ）。なる値がプロットできる。そして次に同
じ光路Ｈ２上に上記の第２のガスセル（ガス濃度はＳな
る既知の値）ＧＣ２を挿入すると、第２図中の横軸上の
Ｓなる値に対して縦軸上に（Ｐ′／Ｐ）Ｂなる値がプロ
ットできるから、ここに点ＱｌとＱ２とが求められるの
であるが、画点Ｑ１．Ｑ２を結んだ延長ｇ＋）を引くこ
とができる。
こうしておいた上で今度は光シヤツター８１を閉じ、他
の光シヤツター８２を開くと、光は光路Ｈ１に沿って第
１のガスセル（ガス濃度は未知の値Ｚを有する）ＧＣ１
中を通るために、第２図の縦軸上に（Ｐ′／Ｐ）ｘなる
値がプロットできるから、この値と延長ＩＪ リとから
横軸上において未知のガス濃度Ｘが求められる。
の光シヤツター８２を開くと、光は光路Ｈ１に沿って第
１のガスセル（ガス濃度は未知の値Ｚを有する）ＧＣ１
中を通るために、第２図の縦軸上に（Ｐ′／Ｐ）ｘなる
値がプロットできるから、この値と延長ＩＪ リとから
横軸上において未知のガス濃度Ｘが求められる。
方式では主光路たるＨｏの他に副光路たるＨ２を作を作
る必要があるために、ビームスプリッタＢＳ、。
る必要があるために、ビームスプリッタＢＳ、。
ＢＳ２および全反射ミラーＭｌ −Ｍ２が必要であって
、そのために装置全体が大型となってしまう。加うるに
光路が２つあるために光軸調整を精密に行わねばならず
、操作手順が非常に複雑になるという欠点があった。
、そのために装置全体が大型となってしまう。加うるに
光路が２つあるために光軸調整を精密に行わねばならず
、操作手順が非常に複雑になるという欠点があった。
（４）発明の目的
そこで本発明は上記従来の欠点に鑑みてなされたもので
、ビームスプリッタＢＳ１．ＢＳ２ならびに全反射ミラ
ーＭ１． Ｍ２をなくして、複光路であった所を単光路
とし、寸法が小でしかも光軸調整の簡単な気体状物質の
検知方式を構成することを目的とする。
、ビームスプリッタＢＳ１．ＢＳ２ならびに全反射ミラ
ーＭ１． Ｍ２をなくして、複光路であった所を単光路
とし、寸法が小でしかも光軸調整の簡単な気体状物質の
検知方式を構成することを目的とする。
（５）発明の構成
そしてこの目的は、本発明によれば、波長可変なレーザ
と受光素子間を結ぶ光路を形成し、該光路上に濃度が未
知なる気体状物質を介在させた第１の状態でレーザ駆動
電流対受光パワー特性を得して、気体状物質が存在して
いない状態における微分受光パワ一対受光パワー値を求
め、この値を零濃度基準とする一方、前記気体状物質の
介在空間に既知濃度の気体状物質が封入されたセルを挿
入し、この第２の状態におりる総計の微分受光パワ一対
受光パワー値ならびに上記第１の状態での直線補間前の
微分受光パワ一対受光パワー値の差と前記セル中に討入
された気体状物質の濃度から勾配を決定して、当該勾配
と先に求めた零濃度基準値とを用いて描かれるガス濃度
吸収曲線より、気体状物質の未知なる濃度を求めるよう
にしたことを特徴とする気体状物質の検知方式を提供す
ることによって達成される。
と受光素子間を結ぶ光路を形成し、該光路上に濃度が未
知なる気体状物質を介在させた第１の状態でレーザ駆動
電流対受光パワー特性を得して、気体状物質が存在して
いない状態における微分受光パワ一対受光パワー値を求
め、この値を零濃度基準とする一方、前記気体状物質の
介在空間に既知濃度の気体状物質が封入されたセルを挿
入し、この第２の状態におりる総計の微分受光パワ一対
受光パワー値ならびに上記第１の状態での直線補間前の
微分受光パワ一対受光パワー値の差と前記セル中に討入
された気体状物質の濃度から勾配を決定して、当該勾配
と先に求めた零濃度基準値とを用いて描かれるガス濃度
吸収曲線より、気体状物質の未知なる濃度を求めるよう
にしたことを特徴とする気体状物質の検知方式を提供す
ることによって達成される。
（６）発明の実施例
以下本発明の実施例を図面によって詳述する。
第８図は本発明に係る気体状物質の検知方式に用いられ
る装置のブロックダイヤグラムであって第１図と同等部
位には同一符号を付して示しである。この装置の取扱い
操作について次に述べる。
る装置のブロックダイヤグラムであって第１図と同等部
位には同一符号を付して示しである。この装置の取扱い
操作について次に述べる。
まず光路Ｈ，上に、カラセルＧＣ３をガスセルＧｃｌと
直列に挿入し、レーザＬの駆動電流Ｉを後述するＩｌな
る値からＩ２なる値まで掃引して受光パワーＰの曲線を
描かせる。この場合掃ぢＩする電流範囲はガスセルＧＣ
１中の濃度が未知なるガスによる吸収に基づいた曲線の
くぼみがまだ現われない値（これをＩ、とする）から始
まり、吸収によるくぼみが生ずる領域をｉｌ“＾ぎて、
再び吸収によるくぼみがなくなる値（これをＩ２とする
）までとする。
直列に挿入し、レーザＬの駆動電流Ｉを後述するＩｌな
る値からＩ２なる値まで掃引して受光パワーＰの曲線を
描かせる。この場合掃ぢＩする電流範囲はガスセルＧＣ
１中の濃度が未知なるガスによる吸収に基づいた曲線の
くぼみがまだ現われない値（これをＩ、とする）から始
まり、吸収によるくぼみが生ずる領域をｉｌ“＾ぎて、
再び吸収によるくぼみがなくなる値（これをＩ２とする
）までとする。
このようにして得られた駆動電流〜受光パワー特性（以
下１〜２曲線と呼ぶ）が第４図の実線オであって上記電
流値Ｉ１． Ｉ２に対応する受光パワーＰをそれぞれｐ
、、ｐ２ とする。ここで実線オ上の２点Ｐ１゜２２間
をＷ線補間する破線ワを引くと、これが光路Ｈ１上にガ
スが無い場合（すなわちガス濃度は零Ｐｐｍ）のＩ −
Ｐ曲線となる。この破線ワ上の点ＲＯｏから、実際に測
定を行う場合に用いるレーザ駆動電流ＩＤに対するガス
無し状態での受光パワーｐＤｏが決定できる。なお、こ
の場合の微分受光パワーＰ′Ｄｏは、この直線ワの傾斜
から算出できる。
下１〜２曲線と呼ぶ）が第４図の実線オであって上記電
流値Ｉ１． Ｉ２に対応する受光パワーＰをそれぞれｐ
、、ｐ２ とする。ここで実線オ上の２点Ｐ１゜２２間
をＷ線補間する破線ワを引くと、これが光路Ｈ１上にガ
スが無い場合（すなわちガス濃度は零Ｐｐｍ）のＩ −
Ｐ曲線となる。この破線ワ上の点ＲＯｏから、実際に測
定を行う場合に用いるレーザ駆動電流ＩＤに対するガス
無し状態での受光パワーｐＤｏが決定できる。なお、こ
の場合の微分受光パワーＰ′Ｄｏは、この直線ワの傾斜
から算出できる。
そして曲線オ上の点ＲＤ＆から、駆動電流がｒＤである
場合における未知のガス濃度Ｘに対する受光パワーＰＤ
、ｆが第４図の縦軸上に求められるのであるが、この場
合の微分受光パワーｐ’ｏｒは、従来法で行なったと同
じ方法、すなわち、レーザ駆動電流に微小交流信号を重
畳し、受光素子りの出力をロックイン増幅器で増幅して
、上記微小交流信号を当該ロックイン増幅器の参照信号
に用いた状態で求められるロックイン増幅器の出力を求
める方法によって決定でき、ここに零濃度基準値が決定
できる。
場合における未知のガス濃度Ｘに対する受光パワーＰＤ
、ｆが第４図の縦軸上に求められるのであるが、この場
合の微分受光パワーｐ’ｏｒは、従来法で行なったと同
じ方法、すなわち、レーザ駆動電流に微小交流信号を重
畳し、受光素子りの出力をロックイン増幅器で増幅して
、上記微小交流信号を当該ロックイン増幅器の参照信号
に用いた状態で求められるロックイン増幅器の出力を求
める方法によって決定でき、ここに零濃度基準値が決定
できる。
次に今までガスセルＧＣ，と直列に挿入されていたカラ
セルＧＣ３を光に！？ｉＨｔからはずし、そのかわりに
濃度が既知のガスが封入されたガスセルＧＣ２を光路Ｈ
１中に捜大してガスセルＧＣ１と直列に配置する。この
ようにすれば光の吸収分の総計はガスセルＧＣ１中の未
知なるガス濃度Ｘによる分と、ガスセルＧＣ２中の既知
なるガス濃度Ｓによる分との和になるから、この場合の
１〜２曲線は第４図中の１点鎖線力のようになって光吸
収による曲線のく光パワーは、上記１点鎖線力士の点Ｐ
Ｄ（ｒ＋ｓ）がら第４図の細軸上の値Ｐｐ（、ｒ＋ｓ）
として求められる。
セルＧＣ３を光に！？ｉＨｔからはずし、そのかわりに
濃度が既知のガスが封入されたガスセルＧＣ２を光路Ｈ
１中に捜大してガスセルＧＣ１と直列に配置する。この
ようにすれば光の吸収分の総計はガスセルＧＣ１中の未
知なるガス濃度Ｘによる分と、ガスセルＧＣ２中の既知
なるガス濃度Ｓによる分との和になるから、この場合の
１〜２曲線は第４図中の１点鎖線力のようになって光吸
収による曲線のく光パワーは、上記１点鎖線力士の点Ｐ
Ｄ（ｒ＋ｓ）がら第４図の細軸上の値Ｐｐ（、ｒ＋ｓ）
として求められる。
そしてこの状態での駆動電流ＩＤにおける微分受光パワ
ーＰ’ｏ（ｒ＋ｓ）は、やはり従来法、すなわち駆動電
流に微小交流信号を重畳してロックイン増ｌｌ１１器の
出力を求める方法から決定できる。
ーＰ’ｏ（ｒ＋ｓ）は、やはり従来法、すなわち駆動電
流に微小交流信号を重畳してロックイン増ｌｌ１１器の
出力を求める方法から決定できる。
以上からまとめて見ると次のようなデータが測定または
抑定し得たことになる。すなわち、１） ガス濃度が零
ｐｐｍの場合の受光パワーＰＤ。
抑定し得たことになる。すなわち、１） ガス濃度が零
ｐｐｍの場合の受光パワーＰＤ。
とその微分値ｐ／ ｎ０１
１Ｉ） ガス濃度が”ＰＰｍ（未知）の場合の受光パ
ワーＰＤａｃとその微分値ｐ／Ｄへ １１１）ガス濃度がｚ＋Ｓｐｐｍの場合の受光パワーＰ
Ｄ（ｒ＋Ｂ）とその微分値Ｐ’ Ｄ（ｒ＋ｓ ）。
ワーＰＤａｃとその微分値ｐ／Ｄへ １１１）ガス濃度がｚ＋Ｓｐｐｍの場合の受光パワーＰ
Ｄ（ｒ＋Ｂ）とその微分値Ｐ’ Ｄ（ｒ＋ｓ ）。
上記したｌ）、 Ｉｌ）、 ｌｉＤよりｐ’ ／ｐの各
場合に対するそれぞれの値、すなわち、Ｐ′員、Ｐ′Ｄ
、、／ＰＤｔ。
場合に対するそれぞれの値、すなわち、Ｐ′員、Ｐ′Ｄ
、、／ＰＤｔ。
Ｐａ’ （ｒ＋ｓ ）／Ｐ Ｄ（、ｒ＋ｓ ）がここに
得られたことが判る。
得られたことが判る。
この場合に対するｐ’ ／ｐの値を縦軸に、また、各場
合に対するガス濃度の値を横軸に、それぞれとヨが得ら
れ、そしてこの直線ヨを表わす式が得られれば、測定し
たｐ’／ｐから、求めんとする未知のガス濃度ｘか得ら
れることになる。
合に対するガス濃度の値を横軸に、それぞれとヨが得ら
れ、そしてこの直線ヨを表わす式が得られれば、測定し
たｐ’／ｐから、求めんとする未知のガス濃度ｘか得ら
れることになる。
これを行うには直線の傾きと切片が得られればよいが、
このうち切片としてはガス濃度が零（Ｏｐｐｍ ）の場
合のＰ′ｒ）。／ＰＤｏがすでに得られている。
このうち切片としてはガス濃度が零（Ｏｐｐｍ ）の場
合のＰ′ｒ）。／ＰＤｏがすでに得られている。
そしてｐ’Ｄ（ｆ＋１＋ ）／ＰＤ（、Ｔ＋８ ）、Ｐ
′ＤＪ”／ｐＤ、ｒのそれぞれに対する濃度は未知では
あるが、濃度の差としては、（ｘ ＋ｓ ）ｒ−８ｐｐ
ｍ ％すなわちガスセルＧＣ２中の既知なるガス濃度で
あるので、直線ヨの傾きは、（Ｐ’駒〆１）Ｄ（ｘ＋ａ
） Ｐ’Ｄｒβｏ、ｒ）ｓによって得ることができる
。
′ＤＪ”／ｐＤ、ｒのそれぞれに対する濃度は未知では
あるが、濃度の差としては、（ｘ ＋ｓ ）ｒ−８ｐｐ
ｍ ％すなわちガスセルＧＣ２中の既知なるガス濃度で
あるので、直線ヨの傾きは、（Ｐ’駒〆１）Ｄ（ｘ＋ａ
） Ｐ’Ｄｒβｏ、ｒ）ｓによって得ることができる
。
従って濃度がｙ ｐｐｒｎなる場合におけるＰ／ ７８
才１、・・・・・・・・・・・・・・・・・（１）の関
係が成立するので第８図の装置を用いてｐ／ ／Ｐが測
定されれば欲しい未知なるガス濃度ｙは上記（１）式を
用いて逆に求めることができる。
才１、・・・・・・・・・・・・・・・・・（１）の関
係が成立するので第８図の装置を用いてｐ／ ／Ｐが測
定されれば欲しい未知なるガス濃度ｙは上記（１）式を
用いて逆に求めることができる。
（７）発明の効果
以上、詳細に説明したように本発明に係る気体状物質の
検知方式は、従来まで複光路を必要とした所を単光路で
済むようになされるために、形状分法が小となる上に調
整が簡単となるのでそれだけ信頼性が増大し、このため
に実用上多大の効果が期待できる。
検知方式は、従来まで複光路を必要とした所を単光路で
済むようになされるために、形状分法が小となる上に調
整が簡単となるのでそれだけ信頼性が増大し、このため
に実用上多大の効果が期待できる。
第１図は従来の気体状物質の検知方式に用いられる装置
のブロックダイヤグラム、第２図は該装置を用いて未知
のガス濃度を求める方法を示す同第８図は本発明に係る
気体状物質の検知方式に用いられる装置のブロックダイ
ヤグラム、第４図および第５図は当該装置を用いて未知
のガス濃度を求める方法を示す図である。 図においては、■はレーザＬの駆動電源、Ａは増幅器、
Ｄは受光素子、ＧＣ４、ＧＣ２＋ ＧＯ］はガスセルＨ
１，Ｈ２は光路をそれぞれに示す。 （） 、Ｃ＋ ε Ｂ ８：ワ５Ｑフづづと 只
ジ ｑ 三 Σ Ｘ Σ ×（１−ＯＩＪ
ｖＱ７ ’ｌ−（ｎ 石・ご手続補正書 昭−１７年２月１日 特許庁長官 殿 １事件の表示 昭和５Ｇ 年持許ｅｉ 第１ ！Ｒ’ｌ ’７７３ 号
２発明の名称 諏イ半−友才勿偏′の腰欠ｄ式 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 神奈川県用崎市中原区上小田中１０１５番地（５
２２）名称富士通株式会社 代表者山本卓眞 ４ 代 理 人 住所 神奈川県川崎市中
京区上小田中１０１５番地富士通株式会社内− （７２５９）氏名弁理士 井 桁 貞 −１連烙先 電
話 明石（０７８）９３６−１２２１５、補正品性の日
１寸 り゛し ６ 補正しこより増加する発明の数 す（７、補正の
対象 叩才Ｐｌ訃 ｒをを千廿介本ｉ石崩ヨ＾巾に＋ ネ・
２ひ１叉ｊ血（１） 明細省筆１頁に記載の「特許請
求の範囲」を別紙のとおり補正する。 （２） 図面を別紙のとおり補正する。 ９、添付書類の目録 （１）特許請求の範囲 １通（２）
図 面 １通８、補正の内容 特許請求の範囲 ［波長可変なレーザと受光素子間を結ぶ光路を形成し、
該光路上に濃度が未知なる気体状物質を介在させた第１
の状態二レーザ駆動電流対受光パワー特性を得るととも
に、上記特性上の光吸収領域を直線補間して、気体状物
質が存在していない状態における微分受光パワ一対受光
パワー値を求めこの値を零濃度基準値とする一方、前記
気体状物質の介在空間に既知濃度へλ体状物質が封入さ
れたセルを挿入し、この第２の状態における総計の微分
受光パワ一対受光パワー値ならびに上記第１の状態での
直線補間前の微分受光パワ一対受光パワー僅の差と前記
セル中に封入された気体状物質の濃度から勾配を決定し
て、当該勾配と先に求めた零濃度基準値とを用いて描か
れるガス濃度吸収曲線より、気体状物質の未知なる濃度
を求めるようにしたことを特徴とする気体状物質の検知
方式。 」 第１図 第２図 Ｐ′
のブロックダイヤグラム、第２図は該装置を用いて未知
のガス濃度を求める方法を示す同第８図は本発明に係る
気体状物質の検知方式に用いられる装置のブロックダイ
ヤグラム、第４図および第５図は当該装置を用いて未知
のガス濃度を求める方法を示す図である。 図においては、■はレーザＬの駆動電源、Ａは増幅器、
Ｄは受光素子、ＧＣ４、ＧＣ２＋ ＧＯ］はガスセルＨ
１，Ｈ２は光路をそれぞれに示す。 （） 、Ｃ＋ ε Ｂ ８：ワ５Ｑフづづと 只
ジ ｑ 三 Σ Ｘ Σ ×（１−ＯＩＪ
ｖＱ７ ’ｌ−（ｎ 石・ご手続補正書 昭−１７年２月１日 特許庁長官 殿 １事件の表示 昭和５Ｇ 年持許ｅｉ 第１ ！Ｒ’ｌ ’７７３ 号
２発明の名称 諏イ半−友才勿偏′の腰欠ｄ式 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 神奈川県用崎市中原区上小田中１０１５番地（５
２２）名称富士通株式会社 代表者山本卓眞 ４ 代 理 人 住所 神奈川県川崎市中
京区上小田中１０１５番地富士通株式会社内− （７２５９）氏名弁理士 井 桁 貞 −１連烙先 電
話 明石（０７８）９３６−１２２１５、補正品性の日
１寸 り゛し ６ 補正しこより増加する発明の数 す（７、補正の
対象 叩才Ｐｌ訃 ｒをを千廿介本ｉ石崩ヨ＾巾に＋ ネ・
２ひ１叉ｊ血（１） 明細省筆１頁に記載の「特許請
求の範囲」を別紙のとおり補正する。 （２） 図面を別紙のとおり補正する。 ９、添付書類の目録 （１）特許請求の範囲 １通（２）
図 面 １通８、補正の内容 特許請求の範囲 ［波長可変なレーザと受光素子間を結ぶ光路を形成し、
該光路上に濃度が未知なる気体状物質を介在させた第１
の状態二レーザ駆動電流対受光パワー特性を得るととも
に、上記特性上の光吸収領域を直線補間して、気体状物
質が存在していない状態における微分受光パワ一対受光
パワー値を求めこの値を零濃度基準値とする一方、前記
気体状物質の介在空間に既知濃度へλ体状物質が封入さ
れたセルを挿入し、この第２の状態における総計の微分
受光パワ一対受光パワー値ならびに上記第１の状態での
直線補間前の微分受光パワ一対受光パワー僅の差と前記
セル中に封入された気体状物質の濃度から勾配を決定し
て、当該勾配と先に求めた零濃度基準値とを用いて描か
れるガス濃度吸収曲線より、気体状物質の未知なる濃度
を求めるようにしたことを特徴とする気体状物質の検知
方式。 」 第１図 第２図 Ｐ′
Claims (1)
- 波長可変なレーザと受光素子間を結ぶ光路を形成し、該
光路上に濃度が未知なる気体状物質を介在させた第１の
状態どレーザ駆動電流対受光パワー特性を得るとともに
、上記特性上の光吸収領域を直線補間して、気体状物質
が存在していない状態における微分受光パワ一対受光パ
ワー値を求めこの値を等濃度基準値とする一方、前記気
体状物質の介在空間に既知濃度の基体状物質が封入され
たセルを挿入し、この第２の状態における総計の微分受
光パワ一対受光パワー値ならびに上記第１の状態での直
線補間前の微分受光パワ一対受光パワー値の差と前記セ
ル中に封入された気体状物質の濃度から勾配を決定して
、当該勾配と先に求めた等濃度基準値とを用いて描かれ
るガス濃度吸収曲線より、気体状物質の未知なる濃度を
求めるよ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18977381A JPS5890147A (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | 気体状物質の検知方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18977381A JPS5890147A (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | 気体状物質の検知方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5890147A true JPS5890147A (ja) | 1983-05-28 |
Family
ID=16246947
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18977381A Pending JPS5890147A (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | 気体状物質の検知方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5890147A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0217446A (ja) * | 1988-05-12 | 1990-01-22 | General Motors Corp (Gm) | 同位体富化によるプロセス評価方法 |
| WO2007136124A1 (ja) * | 2006-05-19 | 2007-11-29 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | ガス分析装置及びガス分析装置におけるレーザの波長掃引制御方法 |
| CN102007397A (zh) * | 2008-04-15 | 2011-04-06 | 株式会社岛津制作所 | 装载有校正用气室的气体分析装置 |
| US8208143B2 (en) | 2005-04-28 | 2012-06-26 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust gas analyzer |
-
1981
- 1981-11-25 JP JP18977381A patent/JPS5890147A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0217446A (ja) * | 1988-05-12 | 1990-01-22 | General Motors Corp (Gm) | 同位体富化によるプロセス評価方法 |
| US8208143B2 (en) | 2005-04-28 | 2012-06-26 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust gas analyzer |
| WO2007136124A1 (ja) * | 2006-05-19 | 2007-11-29 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | ガス分析装置及びガス分析装置におけるレーザの波長掃引制御方法 |
| JP2009216385A (ja) * | 2006-05-19 | 2009-09-24 | Toyota Motor Corp | ガス分析装置及びガス分析装置におけるレーザの波長掃引制御方法 |
| CN102007397A (zh) * | 2008-04-15 | 2011-04-06 | 株式会社岛津制作所 | 装载有校正用气室的气体分析装置 |
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