JPS589032A - 真空容器の熱電対リ−ド引出構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は真空容器の熱電対リード引出構造に関する。

第１図は一般的な熱電対の構造を示す断面図である。熱
電対１はエポキシ等の樹脂２により、金属シース管３内
に固定される。この熱電対に接続されるリード線４を、
真空容器内部で金属シース管３の外部に引き出すと、シ
ール部５より樹脂から発生したガスがもれ出す危険性が
ある。このため、真空容器内に設置される熱電対には、
このようなシール部を真空容器内に作らず、リード線を
金属シール管３の内部に入れた″１′１真空容器の外部
に引き出す必要がある。このため、従来真空容器内部に
設置される熱電対は第２図に示すように、真空容器ポー
ト部まそリード線を金属シース管に入れたまま引き出し
、この部分にて金属シース管３とフランジ７を溶接し真
空を保持すると共に、リード線４の引き出しを行なって
いた。この方法では、金属シース管３の長さは、熱電対
固定端から、７ランジ溶接点筐で両端を固定した一定長
さとなっている。この場合、真空シール面８で真空もれ
が起った場合、メンテナンスを行なうためには、 （１）真空容器内部に取り付けられた熱電対を取り外す
。

（２）金属シース管６と、フランジ７を分解する。

の２作業が必要とな°る°。また、この作業によシ真空
容器の汚染等が考えられ、作業性が問題となる。

本発明の目的は、真空シール面の７ランジを容易に交換
しうる真空容器の熱電対リード引出構造を提供するにあ
る。

不発明は、リード線保護用金属シース管金固定する７ラ
ンジ１！−２重構造とし、真空容器内の熱電対を取外す
ことなくボート部と接触しているフランジを交換できる
ようにしたものである。

第３図は本発明の実施例を示す要部断面図でらる。第３
図においては第１図及び第２図で示したと同一部材であ
るものには同一符号を付している。

フランジ部は第３図に示すように、金属シース管３に溶
接される内側リング１０、該、内側リングｌＯの外周に
設けられ真空容器ボート部６と真空シールを行う外側リ
ング１１、該外側リング１１と内側リング１０との間に
設けられる琴接部１２ａ、１２ｂとより成る。溶接部１
２ａ、１２ｂは２層構造の外壁を有し、突端部が気密状
態に溶接されている。初期の製作時には、溶接１１ｉ１
２ａ。

１２ｂの突端を溶接後に真空容器ボート部に７ランジ部
金締め付ける。

取付後、万一真空シール面８で真空もれが発見された場
合には、溶接部１２ａ、１２ｂの突端を切断すれば、真
空容器内の熱電対を取り外すことなく、ボート部とｌｙ
Ｍ触している７ランジを交換できる。又、このフラじジ
交換後再度１２ａ、　１２ｂ部の突端を溶接することに
より、初期の性能を満足できる。本発明では、この溶接
部の長さ全調整することにより、数度の溶接、切断によ
るメンテナンスが容易に行なえる。

以上より明らかなように本発明によれば、真空容器内に
固定した熱電対を取外すことなく、かつ金属シース管と
７ランジ溶接部を分解することなく真空シール面の７ラ
ンジを容易に交換することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は一般的な熱電対の構造を示す断面図、第２図は
従来の熱電対リード引出構造を示す断面図、第３図は本
発明の実施例を示す要部断面図である。 １・・・熱電対、２・・・樹脂、３・・・金属シース管
、−４・・・リード線、６・・・真空容器ボート、１０
・・・内側リング、１１・・・外側リング、ｔ２ａ、１
２ｂ・・・溶接部。 ′ｖＦ　Ｉ　図 第　３ｉ２］

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、真空容器内に設けられた熱電対のリード線を前記真
   空容器の外に引き出すための熱電対リード引出構造にお
   いて、前記リード線を保護する金属シース管を固定する
   ためのフランジを、同心円状に２分割し、その分割面に
   溶接部を設けたことを特徴とする真空容器の熱電対リー
   ド引出構造。