JPS589066A - 超音波発生検出装置 - Google Patents
超音波発生検出装置Info
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- JPS589066A JPS589066A JP56107868A JP10786881A JPS589066A JP S589066 A JPS589066 A JP S589066A JP 56107868 A JP56107868 A JP 56107868A JP 10786881 A JP10786881 A JP 10786881A JP S589066 A JPS589066 A JP S589066A
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- transformer
- voltage
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- magnetic field
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2412—Probes using the magnetostrictive properties of the material to be examined, e.g. electromagnetic acoustic transducers [EMAT]
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、超音波を電磁的に発生、検出する超音波発
生検出装置に関する。
生検出装置に関する。
従来、金属材料などに、検査などの目的で超音波を退入
し、かつ検出する場合には、圧電振動子などを振動させ
、水、油などの接触媒質を介して材料に接触させること
により、青畳的結合を図る必要があり友、このため高温
材料５表面の粗い材料などに適用するのが困難であった
。したがって。
し、かつ検出する場合には、圧電振動子などを振動させ
、水、油などの接触媒質を介して材料に接触させること
により、青畳的結合を図る必要があり友、このため高温
材料５表面の粗い材料などに適用するのが困難であった
。したがって。
材料に非接触で超音波を退入しまた検出することのでき
る装置が望まれていた。
る装置が望まれていた。
このような装置は、すでに公知てあル、詳細は特開昭５
２−９２７８１号公報に記載されている。
２−９２７８１号公報に記載されている。
これによる装置を第１図に示す。この第１図においてｌ
は導電性表面を有する材料ｈ２はこの近傍に磁界を発生
させるための電磁石の鉄心であシ、この鉄心２Ｋｔｊ励
磁コ身ル３が巻装されている。
は導電性表面を有する材料ｈ２はこの近傍に磁界を発生
させるための電磁石の鉄心であシ、この鉄心２Ｋｔｊ励
磁コ身ル３が巻装されている。
励磁コイル３は電流源４から給電されるようになってい
る。また、鉄心２の下端には励起用コイル５および検出
用コイル６が配設されておル、励起用コイル５は材料１
に渦電流を発生させるためのものであシ、検出用コイル
６はこの渦電流を検出するためのものである。
る。また、鉄心２の下端には励起用コイル５および検出
用コイル６が配設されておル、励起用コイル５は材料１
に渦電流を発生させるためのものであシ、検出用コイル
６はこの渦電流を検出するためのものである。
７は高周波／４ルス電源であシ、高圧直流電源８゜充電
用抵抗９．コンデンサ１０．放電管１１とにより構成さ
れ、この高周波ノ母ルス電源７の出力は励起用コイル５
に送出するようになっている。
用抵抗９．コンデンサ１０．放電管１１とにより構成さ
れ、この高周波ノ母ルス電源７の出力は励起用コイル５
に送出するようになっている。
また、検出コイル６の出力信号は増幅器１２で増幅され
た後、オシロスコーグ１３で表示されるようになってい
る。第１図では、励起用コイル５と検出用コイル６は実
体的に描いているが、第２囚はその接続関係を示したも
のであシ、高周波ノ４ルス電源７の出力端が励起用コイ
ル５の両端に接続され、これと検出コイル６とが電磁結
合されている。
た後、オシロスコーグ１３で表示されるようになってい
る。第１図では、励起用コイル５と検出用コイル６は実
体的に描いているが、第２囚はその接続関係を示したも
のであシ、高周波ノ４ルス電源７の出力端が励起用コイ
ル５の両端に接続され、これと検出コイル６とが電磁結
合されている。
次に、従来の超音波発生検出装置の動作について説明す
る。電流源４によシ励磁コイル３に電流を流すと電磁石
用の鉄心２により導電性表面を有する材料１の表面近傍
に磁界を生じる。
る。電流源４によシ励磁コイル３に電流を流すと電磁石
用の鉄心２により導電性表面を有する材料１の表面近傍
に磁界を生じる。
一方、励起用コイル５と放電管１１と＝ンデンサｌＯは
直列に接続されている。コンデンサ１０は充電用抵抗９
を通して高圧直流電源８により充電される。；ンデンサ
ｌＯの端子間電圧がある電圧以上に充電されると放電管
ｌｌ内で放電が起プ。
直列に接続されている。コンデンサ１０は充電用抵抗９
を通して高圧直流電源８により充電される。；ンデンサ
ｌＯの端子間電圧がある電圧以上に充電されると放電管
ｌｌ内で放電が起プ。
励起用コイル５と放電管１１とコンデンサｌＯによ）直
列共振回路が構成され、励起用コイル５には高周波／母
ルス電流が流れる。
列共振回路が構成され、励起用コイル５には高周波／母
ルス電流が流れる。
このΔロス電流によ多、材料１０表面に渦電流が流れる
。この渦電流は、鉄心２によシ生じた磁界との相互作用
によ）、超音波を発生する０発生した超音波は、材料ｌ
の底面で反射され、再び表面近くに達し、前記磁界との
相互作用によ〕渦電流を発生する。この渦電流鉱検出コ
イル６によ多検出された後に、増幅器１２によ）増幅さ
れ、オシロスコーグ１３に表示されるｉ 従来の超音波発生検出装置は、励起用コイル５と検出コ
イル６とを並設しであるために、励起用；イル５に流す
高周波ノ母ルス電流によって、検出コイル６に直接、電
圧が誘起され、感度を上けるために、高周波パルス電流
を大きくすると検出コイル６に誘起される電圧が極めて
大きくな多、増幅器口の入力部を破壊する。あるいは、
それを防止するための保譲回路が必要である。また。
。この渦電流は、鉄心２によシ生じた磁界との相互作用
によ）、超音波を発生する０発生した超音波は、材料ｌ
の底面で反射され、再び表面近くに達し、前記磁界との
相互作用によ〕渦電流を発生する。この渦電流鉱検出コ
イル６によ多検出された後に、増幅器１２によ）増幅さ
れ、オシロスコーグ１３に表示されるｉ 従来の超音波発生検出装置は、励起用コイル５と検出コ
イル６とを並設しであるために、励起用；イル５に流す
高周波ノ母ルス電流によって、検出コイル６に直接、電
圧が誘起され、感度を上けるために、高周波パルス電流
を大きくすると検出コイル６に誘起される電圧が極めて
大きくな多、増幅器口の入力部を破壊する。あるいは、
それを防止するための保譲回路が必要である。また。
検出コイル（６）および増幅器ａ２ｔでのケーブルに耐
高電圧のものが要求されるなどの欠点があった。
高電圧のものが要求されるなどの欠点があった。
て−る。
これによる実施例を＠２Ａ図に示す。この２人図で、（
５）は励起用コイル、＠、−は励起用コイル（５；ｔ−
はさむように設けられた検出コイルＡおよヒ検出コイル
Ｂで、これらのコイルは被検査材料１１）に対向して置
かれる。このように、２個の平板状検出コイル旬、−を
被検査材料山の表面に対して、平行に９間隔をおいて重
ね、かつ。
５）は励起用コイル、＠、−は励起用コイル（５；ｔ−
はさむように設けられた検出コイルＡおよヒ検出コイル
Ｂで、これらのコイルは被検査材料１１）に対向して置
かれる。このように、２個の平板状検出コイル旬、−を
被検査材料山の表面に対して、平行に９間隔をおいて重
ね、かつ。
この２個の検出コイル旬、鎧のそれぞれに誘起される電
流の方向が逆向きになるように接続配置して９両検出コ
イル６υ、−の検出出力の和をとるようにしであるので
、励起用コイル（５）によって、検出コイルに誘起され
る電圧は、出力端、子から見るとキャンセルさせること
ができる。
流の方向が逆向きになるように接続配置して９両検出コ
イル６υ、−の検出出力の和をとるようにしであるので
、励起用コイル（５）によって、検出コイルに誘起され
る電圧は、出力端、子から見るとキャンセルさせること
ができる。
このために＃ｉ、励起用コイル（５）による鍔環が各検
出コイル旬、−各々に等しく生じなければならなｉ、こ
れは、各検出コイルａυ、−の形状。
出コイル旬、−各々に等しく生じなければならなｉ、こ
れは、各検出コイルａυ、−の形状。
寸法が等しければ、励起用コイル（５）から各検出コイ
ルｇ、 ａまでの距離がそれぞれ等しくすることにより
達成できる。しかし、この場合、励起用コイル（５）と
検出コイル−、−との間隔が狭ければ、検出コイル−が
検出コイル１ｉｌＫ近づき。
ルｇ、 ａまでの距離がそれぞれ等しくすることにより
達成できる。しかし、この場合、励起用コイル（５）と
検出コイル−、−との間隔が狭ければ、検出コイル−が
検出コイル１ｉｌＫ近づき。
検出しようとしてｉる超音波信号に対しても差動的に動
作し、検出効率が低下してしまう、また、励起用コイル
（５）と検出コイル旬、 Ｉ３との間隔を広くすれば、
励起用コイル（５）は被検査材料１１＋の表面から離れ
、超音波発生の効率が低下する。このように、検出コイ
ルを２側設は差動接続することは、励起信号による鍔環
をキャンセルすることには有効であるが、トランスデユ
ーサの効率を下げてしまうとｉう欠点がある。電磁超音
波は効率が極めて悪＾ので９以上のように効率を下げる
ように構成されたものｔｉ、実用上、大きな欠点がある
。
作し、検出効率が低下してしまう、また、励起用コイル
（５）と検出コイル旬、 Ｉ３との間隔を広くすれば、
励起用コイル（５）は被検査材料１１＋の表面から離れ
、超音波発生の効率が低下する。このように、検出コイ
ルを２側設は差動接続することは、励起信号による鍔環
をキャンセルすることには有効であるが、トランスデユ
ーサの効率を下げてしまうとｉう欠点がある。電磁超音
波は効率が極めて悪＾ので９以上のように効率を下げる
ように構成されたものｔｉ、実用上、大きな欠点がある
。
この発明扛、上記従来の欠点を除去するためになされた
もので、１次ａｔ−励起用コイルと直列に、および２次
ａｔ検出コイルと直列に接続した変成器を設けることに
より、励起用コイルに流れる高周波パルス電流によって
、検出コイルに高電圧が誘起されるのを防止できる超音
波発生検出装置１ｆ：ｍ供することを目的とする。
もので、１次ａｔ−励起用コイルと直列に、および２次
ａｔ検出コイルと直列に接続した変成器を設けることに
より、励起用コイルに流れる高周波パルス電流によって
、検出コイルに高電圧が誘起されるのを防止できる超音
波発生検出装置１ｆ：ｍ供することを目的とする。
以下、この発明の超音波発生検出装置の一実施例を図に
つｉて説明する。８ｇ３図はその一実施例における励起
用コイル（５７と検出用コイル（６）およびその近傍の
みを取り出して示す回路−であり、第２図と同一部分に
は同一符号が付されてｉる。第３図では、第１図におけ
る鉄心１２）。
つｉて説明する。８ｇ３図はその一実施例における励起
用コイル（５７と検出用コイル（６）およびその近傍の
みを取り出して示す回路−であり、第２図と同一部分に
は同一符号が付されてｉる。第３図では、第１図におけ
る鉄心１２）。
励磁コイル（３）、電流源（４）Ｋよる磁界発生装置の
部分の融水は省略されて−るが、この部分は第１図と同
様に＃Ｉ成されて−る。
部分の融水は省略されて−るが、この部分は第１図と同
様に＃Ｉ成されて−る。
この第３図において、変成器１４がこの発明によって新
たに付加された部分であ〕、変成器１４は１次巻！１１
５と２次巻１１１１６に一有してお’ｉｂ １次巻１１
１５と励起用コイル５が直列に接続されている。１次巻
１ｉ１５と励起用コイル５とによる直列回路の両端は高
周波パルス電源７の出力端に接続されている。
たに付加された部分であ〕、変成器１４は１次巻！１１
５と２次巻１１１１６に一有してお’ｉｂ １次巻１１
１５と励起用コイル５が直列に接続されている。１次巻
１ｉ１５と励起用コイル５とによる直列回路の両端は高
周波パルス電源７の出力端に接続されている。
同様にして、２次巻線１６と検出コイル６が直列に接続
されており、その両端は増幅！１２の入力端に接続され
ている。その他の部分は＃Ｉ２図と同様に構成されてい
る。
されており、その両端は増幅！１２の入力端に接続され
ている。その他の部分は＃Ｉ２図と同様に構成されてい
る。
なお、変成器１４は励起用コイル５．検出コイル６、材
料ｌの表面からは光分離れていて、それらと電磁的結合
はないようになされている。
料ｌの表面からは光分離れていて、それらと電磁的結合
はないようになされている。
次に１以上のように構成されたこの発明の超音波発生検
出装置の動作について説明する０発明の超音波発生検出
装置の動作について、第４図（ａ）ないし５１４図（ｄ
）に示す波形図を参照して説明する・この第４図（ａ）
〜第４図（ｄ）はそれぞれ第３図におけるｅａ−ｅｄの
波形図であり、横軸に時間、縦軸に電圧をとって示して
いる。検出コイル６と変成器１４０２次巻９１６との直
列回路の端子間電圧ｃｄは（ｅｂ＋ｅｃ）であるが、２
次巻１ｉ１６の両端の電圧上 と検出コイル６゜の両端
の電圧ｅｂとの位相が逆になるように、変成器１４の結
合を励起用コイル５と検出コイル６との結合と逆にして
おけば、上記直列回路の両端の電圧ｅｄを電圧ｅｂよシ
小さくすることができる。
出装置の動作について説明する０発明の超音波発生検出
装置の動作について、第４図（ａ）ないし５１４図（ｄ
）に示す波形図を参照して説明する・この第４図（ａ）
〜第４図（ｄ）はそれぞれ第３図におけるｅａ−ｅｄの
波形図であり、横軸に時間、縦軸に電圧をとって示して
いる。検出コイル６と変成器１４０２次巻９１６との直
列回路の端子間電圧ｃｄは（ｅｂ＋ｅｃ）であるが、２
次巻１ｉ１６の両端の電圧上 と検出コイル６゜の両端
の電圧ｅｂとの位相が逆になるように、変成器１４の結
合を励起用コイル５と検出コイル６との結合と逆にして
おけば、上記直列回路の両端の電圧ｅｄを電圧ｅｂよシ
小さくすることができる。
さらに、電圧・Ｃの絶対値が電圧・ｂの絶対値と等しく
なるように変成器１４の結合強度を調節すれば、電圧・
ｄは０になる・ 次に、材料ｌｏ表面へ到来した超音波Ｆｉ、磁界発生装
置によプ、別途に発生させた磁界との作用で渦電流を発
生し、この渦電流は、検出コイル６によル検出される。
なるように変成器１４の結合強度を調節すれば、電圧・
ｄは０になる・ 次に、材料ｌｏ表面へ到来した超音波Ｆｉ、磁界発生装
置によプ、別途に発生させた磁界との作用で渦電流を発
生し、この渦電流は、検出コイル６によル検出される。
検出コイル６で検出された信号は、変成器１４の２次巻
線１６を通して増幅器１２へ入力される。このとき変成
器１４の１次側社、コンデンサ１０．放電管１１．１次
巻４１１５゜励起用コイル５が直列に接続されているが
放電管１１によって切られている。したがって、検生コ
イル６と２大巻＠１６と増幅器１２０回路は、変成器１
４の１次個の状態には全く影響を受けない。
線１６を通して増幅器１２へ入力される。このとき変成
器１４の１次側社、コンデンサ１０．放電管１１．１次
巻４１１５゜励起用コイル５が直列に接続されているが
放電管１１によって切られている。したがって、検生コ
イル６と２大巻＠１６と増幅器１２０回路は、変成器１
４の１次個の状態には全く影響を受けない。
さて、第３図において、励起用コイル５と変成器１４の
１次巻線〕５と放電管１１とコンデンサ１０とは直列に
接続されていて、コンデンサ端子間電圧がある電圧以上
になると、放電管ｌｌ内で放電が起こシ、直列共振回路
が構成され、励起用コイル５と変成器１４０１次巻線に
は高周波／ぐルス電流が流れる。このときの励起用コイ
ル６の端子間の電圧・ａの波形は、第４（ｉ！０（ａ）
のようになっている。
１次巻線〕５と放電管１１とコンデンサ１０とは直列に
接続されていて、コンデンサ端子間電圧がある電圧以上
になると、放電管ｌｌ内で放電が起こシ、直列共振回路
が構成され、励起用コイル５と変成器１４０１次巻線に
は高周波／ぐルス電流が流れる。このときの励起用コイ
ル６の端子間の電圧・ａの波形は、第４（ｉ！０（ａ）
のようになっている。
励起用コイル５は導電性表面をもった材料１の表面の近
くに設けられているので、従来の超音波発生検出装置に
おける励起用コイル５と全く同じ働きをし、材料１に渦
、電流を発生させ別途発生されている磁界との相互作用
で超音波を発生する。
くに設けられているので、従来の超音波発生検出装置に
おける励起用コイル５と全く同じ働きをし、材料１に渦
、電流を発生させ別途発生されている磁界との相互作用
で超音波を発生する。
このとき、検出コイル６が励起用コイル５の近くに設け
られているために、検出コイル６に電圧ｅｂが誘起され
る。一方、変成器１４の１次巻線１５はそれと密に結合
した２次巻線１６に電圧ｅ（を誘起させる。
られているために、検出コイル６に電圧ｅｂが誘起され
る。一方、変成器１４の１次巻線１５はそれと密に結合
した２次巻線１６に電圧ｅ（を誘起させる。
以上、励起時、検出時に分けて説明したが、各部の電圧
を横軸に時間にして図示すると、第４図のようになって
いるのは一既述の通ルであり、この第４崗から明らかな
ように、検出コイル６と変成器１４の２次巻！１１６の
端子間には、励起時、高圧が誘起されることなく、超音
波を検出した信号だけが出力として表われる。
を横軸に時間にして図示すると、第４図のようになって
いるのは一既述の通ルであり、この第４崗から明らかな
ように、検出コイル６と変成器１４の２次巻！１１６の
端子間には、励起時、高圧が誘起されることなく、超音
波を検出した信号だけが出力として表われる。
ところで、励起時に検出＝イル６に誘起される電圧ｅｌ
）は、印加電圧ｅａｈ励起用コイル５と検出コイル６と
の幾何学的配置が一定であっても、材料１の物理的特性
などＫよって異なるので、変成器１４の１次巻＠１５と
２次巻線１６との結合係数を調部できるようにしておけ
ば、いろいろな材料に対して適用させることができる。
）は、印加電圧ｅａｈ励起用コイル５と検出コイル６と
の幾何学的配置が一定であっても、材料１の物理的特性
などＫよって異なるので、変成器１４の１次巻＠１５と
２次巻線１６との結合係数を調部できるようにしておけ
ば、いろいろな材料に対して適用させることができる。
なお、上記実施例で鉱、超音波の発生は、高周波パルス
電流による渦電流と、別途発生させた磁界との相互作用
による場合を示したが、高周波／母ルスｌｌＥ流による
渦電流とそれ自身による磁界との作用による場合でもよ
い。
電流による渦電流と、別途発生させた磁界との相互作用
による場合を示したが、高周波／母ルスｌｌＥ流による
渦電流とそれ自身による磁界との作用による場合でもよ
い。
また、変成器１４は、第３図では、励起用コイル５と検
出コイル６との近くに設は良場合を示しているが、高圧
パルス電波７中増幅１８１２０近くに設けてもよいφさ
らに放電管１１ｔｊ、耐電圧。
出コイル６との近くに設は良場合を示しているが、高圧
パルス電波７中増幅１８１２０近くに設けてもよいφさ
らに放電管１１ｔｊ、耐電圧。
耐電流が満足できる仕様のスイッチング素子てあれば放
電管に限らない。
電管に限らない。
以上のように、この発明の超音波発生検出装置によれば
、変成器の１次巻線を励起用コイルと直列にして高周波
！４ルス電源の′出力を供給させると七もに、この変成
器の２次巻線と検出コイルとを直列にして、励起特に、
検出フィル側に高電圧が誘起されるのを抑えるようにし
たので、受信器が破壊されるのを防止することができ、
保膜装置を必要とせず、また、検出コイルから受信器ま
でのケーブル弱電信号用り、−プルが使用でき、安価で
信頼性が高くなると太う効果を奏する。
、変成器の１次巻線を励起用コイルと直列にして高周波
！４ルス電源の′出力を供給させると七もに、この変成
器の２次巻線と検出コイルとを直列にして、励起特に、
検出フィル側に高電圧が誘起されるのを抑えるようにし
たので、受信器が破壊されるのを防止することができ、
保膜装置を必要とせず、また、検出コイルから受信器ま
でのケーブル弱電信号用り、−プルが使用でき、安価で
信頼性が高くなると太う効果を奏する。
第１９畝従来の電磁機械式の超音波発生検出装置の構成
を示ナプｐツク図、第２図は従来の超音波発生検出装置
の励起用コイルと検出コイルと音波発生検出装置の一実
施例における磁界発生を除く部分の回路図、第４図（ａ
）ないし第４図（ｄ）は第３図の各部の電圧波形を示す
図である。 ′ｌ・−材料、２・・・鉄心、３−・
・励磁コイル、４−・・電流源、Ｓ−・・励起用コイル
、６・−・検出コイルｈ７・・・高周波Δルス電源、１
２・・・増幅器、１４・・・変成ｆＦ。 １５・・・１次巻線、１６−・・２次巻線。 なお２図中、同一符号は同−又は相当部分を示す・ 代理人 葛 野 信 −
を示ナプｐツク図、第２図は従来の超音波発生検出装置
の励起用コイルと検出コイルと音波発生検出装置の一実
施例における磁界発生を除く部分の回路図、第４図（ａ
）ないし第４図（ｄ）は第３図の各部の電圧波形を示す
図である。 ′ｌ・−材料、２・・・鉄心、３−・
・励磁コイル、４−・・電流源、Ｓ−・・励起用コイル
、６・−・検出コイルｈ７・・・高周波Δルス電源、１
２・・・増幅器、１４・・・変成ｆＦ。 １５・・・１次巻線、１６−・・２次巻線。 なお２図中、同一符号は同−又は相当部分を示す・ 代理人 葛 野 信 −
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｉｌ＋導電性表面を有する材料の近傍に設けられる磁界
発生装置、高周波−ｆルス電源からの／ぐルス電流によ
ル渦電流を発生する励起用コイル、上記材料中の超音波
と上記磁界発生装置により発生された磁界との相互作用
によシ生起する渦電流を検出する検出コイル、１次巻Ｉ
ｉｌを上記励起用コイルと直列に接続されて、その直列
回路の両端に上記ｉ４ルス電源の出力が供給されかつ＆
２次巻線を上記検出コイルと直列に接続された変成器
、この変成器の２次巻線と上記検出コイルとの直列回路
の両端の誘起電圧を増幅および表示する手段を備えてな
る超音波発生検出装置。 （２）変成器の１次巻線と２次巻線の結合係数を調節で
きるようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項
記教の超音波発生検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56107868A JPS589066A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 超音波発生検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56107868A JPS589066A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 超音波発生検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS589066A true JPS589066A (ja) | 1983-01-19 |
| JPS6326349B2 JPS6326349B2 (ja) | 1988-05-30 |
Family
ID=14470111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56107868A Granted JPS589066A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 超音波発生検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS589066A (ja) |
-
1981
- 1981-07-10 JP JP56107868A patent/JPS589066A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6326349B2 (ja) | 1988-05-30 |
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