JPS5891840U - 管球用排気機の気密不良管検出装置 - Google Patents

管球用排気機の気密不良管検出装置

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JPS5891840U
JPS5891840U JP18635881U JP18635881U JPS5891840U JP S5891840 U JPS5891840 U JP S5891840U JP 18635881 U JP18635881 U JP 18635881U JP 18635881 U JP18635881 U JP 18635881U JP S5891840 U JPS5891840 U JP S5891840U
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JP
Japan
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tube
detection device
poor
exhaust equipment
airtight tube
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加賀爪　貞彦
光信 松本
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Hitachi Ltd
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は排気機の真空回路の概要を示す斜視図、第２図
はその分解図、第３図は管球の断面図、第４図は従来の
排気機の気密不良管検出装置の回路構成図、第５図は本
考案による管球用排気機の気密不良管検出装置の回路構
成図である。 １・・・固定バルブ、２・・・回転バルブ、３・・・真
空ポンプ、４・・・排気ヘッド、５・・・管球、６・・
・固定バルブ排気孔、７・・・回転バルブ排気孔、８・
・・マニホールド、９・・・排気管、１０・・・締付ゴ
ム、１１・・・真空゛圧力検出器、１２・・・スイッチ
、１３・・・電磁弁、１４・・・エアシリンダ、１５・
・・ピンチャ、１６・・・ゴム管、１７・・・電磁弁、
１８・・・自動オン−オフスイッチ、１９・・・電磁継
電器、２０・・・スイッチ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 管球類の排気機において、気密不良管からの空気流入に
    よって高まる真空回路内の気圧を検出する真空圧力検出
    器の検出精度を向上させるための閉回路形成用電磁弁の
    動作を常時閉とし、気密不良管の検出の直後にのみ開と
    するように構成されてなることを特徴とする管球用排気
    機の気密不良管検出装置。
JP18635881U 1981-12-16 1981-12-16 管球用排気機の気密不良管検出装置 Granted JPS5891840U (ja)

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JPS5891840U true JPS5891840U (ja) 1983-06-21
JPH025478Y2 JPH025478Y2 (ja) 1990-02-09

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